Мікросистема

Мікросистема — мініатюрна інженерна система, що звичайно складається з МЕМС і виконує спеціальні інженерні функції. Мікросистема має, як правило, три головні складові компоненти: мікросенсорну частину, актуатор, блок обробки інформації.

До мікросистемних пристроїв відносять пристрої, які можуть мати характерний розмір від мікрометрів до одиниць міліметрів і декількох сантиметрів.