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Safety & Clean Technology
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CAT:NO.700-03-A
ZSZD A.Z ABA(I) D-gA
MEGA®-ONE Safety & Clean Technology
MEGA®-ONE LA NHD
MEGA®-ONE LA NHD 規格•材質
低壓型 高耐久氣動閥 規 格 口徑 最高使用壓力 使用流體溫度範圍 Cv值※
(20˚C氮氣時)
動作壓力 操作壓力連接口 連接接頭

MEGA®-ONE LA NHD是適用於各種製造．設備等的超高純度用流體及可燃性、毒性流體生產線的氣動 6. 35 0.4 UJR，UPG，F900

1MPa -10~80˚C 0.45~0.60 MPa M5×0.8
膜片閥。 9. 52 0.6 自動熔接接頭
實績測漏量 外部測漏：5×10-12Pa·m3/sec以下，閥座測漏：5×10-12Pa·m3/sec以下 全部通過He測漏檢驗
該閥利用直接式膜片結構，達到了高氣密性、高耐久性、小型、無微粒、零死角等要求的符合業界標準 檢查時的測漏量 外部測漏：5×10-10Pa·m3/sec以下，閥座測漏：5×10-10Pa·m3/sec以下
※上述數據會因閥體形狀不同而異。
的氣動閥。
材 質 零件名稱 材 質 溫度．壓力估算表 1.5

運用經年累月所累積的經驗所開發出的技術、實現了更高的耐久性、更高的應答性。
40˚C、1.0MPa
-10˚C、1.0MPa
80˚C、0.89MPa

閥體※ SUS316L 1.0 200˚C、0.71MPa

壓力 (MPa)
膜片 鎳鈷合金 0.5 150˚C、0.76MPa

閥座氣密 PCTFE
制動器 A5056 -10 0 20 40 60 80 100
溫度 (˚C)
120 140 160 180 200

搭載對應高速 ※亦能夠對應SUS316L二次熔煉材料。 閥座氣密材質：PCTFE 閥座氣密材質：PA•PI

關於規格範圍外的使用、請另行諮詢。
具有卓越的耐久性、可達3,000萬次以上。 應答的電磁閥機種
高Cv值 型號表示 訂貨時、請依據下述型號選定。

F P R - NHD -71 -6.35 - - -

A B C D E F G H I J K

J
TH：內置式加熱棒
附插入孔

I
無 ：閥座氣密材質為PCTFE
PA ：閥座氣密材質為PFA※
PI ：閥座氣密材質為聚 亞胺※

無 ：兩端為UJR公螺絲連接
H -2 ：兩端為UJR母螺絲連接
-3 ：入口為UJR公螺絲、出口為UJR母螺絲
高耐久性鎳鈷合金製膜片 UG ：UPG®接頭
BW：自動熔接接頭
配管連接口徑
G 6.35：1/4OD
9.52：3/8OD
12.7：1/2OD（連接UJR時、閥門口徑為9.52。）
SV：附電磁閥※
F RS：附近距感應器※
UP：UP處理品※
1：最高使用壓力1 MPa PS：Cr2O3處理品※ K
E FD：氟化鈍態處理品※

7：UJR接頭、UPG®接頭
D 9：F900接頭
5：自動熔接接頭

TB：三通閥
C CL：二通角閥
與氣體接觸的部分，全部依標準經 氣密材質採用標準PCTFE。亦可選
EP處理。 用PI、PA。 不 鋼製直接式膜片閥
亦可選用UP處理。
B
FPR：常閉型
A
※符號為選用產品或下單後生產產品。
產品出貨時、有時型號末端會標示#A.#B 、這些符號表示產品的履歷、並非表示功能、尺寸方面的變更。

1 2
MEGA®-ONE Safety & Clean Technology
MEGA®-ONE LA NHD
MEGA®-ONE LA NHD 規格•材質
低壓型 高耐久氣動閥 規 格 口徑 最高使用壓力 使用流體溫度範圍 Cv值※
(20˚C氮氣時)
動作壓力 操作壓力連接口 連接接頭

MEGA®-ONE LA NHD是適用於各種製造．設備等的超高純度用流體及可燃性、毒性流體生產線的氣動 6. 35 0.4 UJR，UPG，F900

1MPa -10~80˚C 0.45~0.60 MPa M5×0.8
膜片閥。 9. 52 0.6 自動熔接接頭
實績測漏量 外部測漏：5×10-12Pa·m3/sec以下，閥座測漏：5×10-12Pa·m3/sec以下 全部通過He測漏檢驗
該閥利用直接式膜片結構，達到了高氣密性、高耐久性、小型、無微粒、零死角等要求的符合業界標準 檢查時的測漏量 外部測漏：5×10-10Pa·m3/sec以下，閥座測漏：5×10-10Pa·m3/sec以下
※上述數據會因閥體形狀不同而異。
的氣動閥。
材 質 零件名稱 材 質 溫度．壓力估算表 1.5

運用經年累月所累積的經驗所開發出的技術、實現了更高的耐久性、更高的應答性。
40˚C、1.0MPa
-10˚C、1.0MPa
80˚C、0.89MPa

閥體※ SUS316L 1.0 200˚C、0.71MPa

壓力 (MPa)
膜片 鎳鈷合金 0.5 150˚C、0.76MPa

閥座氣密 PCTFE
制動器 A5056 -10 0 20 40 60 80 100
溫度 (˚C)
120 140 160 180 200

搭載對應高速 ※亦能夠對應SUS316L二次熔煉材料。 閥座氣密材質：PCTFE 閥座氣密材質：PA•PI

關於規格範圍外的使用、請另行諮詢。
具有卓越的耐久性、可達3,000萬次以上。 應答的電磁閥機種
高Cv值 型號表示 訂貨時、請依據下述型號選定。

F P R - NHD -71 -6.35 - - -

A B C D E F G H I J K

J
TH：內置式加熱棒
附插入孔

I
無 ：閥座氣密材質為PCTFE
PA ：閥座氣密材質為PFA※
PI ：閥座氣密材質為聚 亞胺※

無 ：兩端為UJR公螺絲連接
H -2 ：兩端為UJR母螺絲連接
-3 ：入口為UJR公螺絲、出口為UJR母螺絲
高耐久性鎳鈷合金製膜片 UG ：UPG®接頭
BW：自動熔接接頭
配管連接口徑
G 6.35：1/4OD
9.52：3/8OD
12.7：1/2OD（連接UJR時、閥門口徑為9.52。）
SV：附電磁閥※
F RS：附近距感應器※
UP：UP處理品※
1：最高使用壓力1 MPa PS：Cr2O3處理品※ K
E FD：氟化鈍態處理品※

7：UJR接頭、UPG®接頭
D 9：F900接頭
5：自動熔接接頭

TB：三通閥
C CL：二通角閥
與氣體接觸的部分，全部依標準經 氣密材質採用標準PCTFE。亦可選
EP處理。 用PI、PA。 不 鋼製直接式膜片閥
亦可選用UP處理。
B
FPR：常閉型
A
※符號為選用產品或下單後生產產品。
產品出貨時、有時型號末端會標示#A.#B 、這些符號表示產品的履歷、並非表示功能、尺寸方面的變更。

1 2
高耐久閥
High Durable
實現高耐久性能 專利申請通過 能夠對應IGS®
運用經年累月所累積的經驗所開發出的技術、實現了產
品的高壽命化。 能夠連接UPG®
3,000萬次以上。
適用於液態材料氣體。零死角。

高Cv值 選用產品
重新修正結構問題、與同尺寸的原有機種相比、實現了
高Cv值化。
電磁閥對應（選用產品）
實現了閥門開動時間為5 msec、閥門應答時間為
20 msec以下的目標。
品質穩定 30
操作壓力與應答時間 應答時間（全閉
CH1=1V CH2=20V
全開）
10ms/div
應答時間（全開
CH1=1V CH2=20V
全閉）
10ms/div
DC10:1 DC10:1 DC10:1 DC10:1
10NORM 5kS/s 10NORM 5kS/s
25 全閉 全開

閥門100%實施膜片開合高度調整與Cv值檢測。 全開
閥開度

應答時間 (msec)
20 全閉
開 閉 閥開度
15
閉 開
10 ON ON
OFF OFF
5 操作信號
操作信號

0
0.4 0.45 0.5 0.55 0.6 0.65

操作壓力 (MPa)

與MEGA®-ONE和NEW MEGA®-ONE
端點間距統一（Φ6.35僅有UJR口徑） 感應器對應（選用產品）
能夠對現有的管路進行升級。 閥門的ON/OFF能夠利用電力來輸出。

流量安定對應（選用產品）專利申請通過
可適用在高溫場合，且流量變化少。
1.5
40˚C、1.0MPa
-10˚C、1.0MPa
80˚C、0.89MPa

可適用高溫（使用流體溫度）
1.0 200˚C、0.71MPa

壓力 (MPa)
0.5 150˚C、0.76MPa

將PA·PI作為閥座氣密材質、能夠對應至200°C。 -10 0 20 40 60 80 100

溫度 (˚C)
120 140 160 180 200

閥座氣密材質：PCTFE 閥座氣密材質：PA•PI

3 4
高耐久閥
High Durable
實現高耐久性能 專利申請通過 能夠對應IGS®
運用經年累月所累積的經驗所開發出的技術、實現了產
品的高壽命化。 能夠連接UPG®
3,000萬次以上。
適用於液態材料氣體。零死角。

高Cv值 選用產品
重新修正結構問題、與同尺寸的原有機種相比、實現了
高Cv值化。
電磁閥對應（選用產品）
實現了閥門開動時間為5 msec、閥門應答時間為
20 msec以下的目標。
品質穩定 30
操作壓力與應答時間 應答時間（全閉
CH1=1V CH2=20V
全開）
10ms/div
應答時間（全開
CH1=1V CH2=20V
全閉）
10ms/div
DC10:1 DC10:1 DC10:1 DC10:1
10NORM 5kS/s 10NORM 5kS/s
25 全閉 全開

閥門100%實施膜片開合高度調整與Cv值檢測。 全開
閥開度

應答時間 (msec)
20 全閉
開 閉 閥開度
15
閉 開
10 ON ON
OFF OFF
5 操作信號
操作信號

0
0.4 0.45 0.5 0.55 0.6 0.65

操作壓力 (MPa)

與MEGA®-ONE和NEW MEGA®-ONE
端點間距統一（Φ6.35僅有UJR口徑） 感應器對應（選用產品）
能夠對現有的管路進行升級。 閥門的ON/OFF能夠利用電力來輸出。

流量安定對應（選用產品）專利申請通過
可適用在高溫場合，且流量變化少。
1.5
40˚C、1.0MPa
-10˚C、1.0MPa
80˚C、0.89MPa

可適用高溫（使用流體溫度）
1.0 200˚C、0.71MPa

壓力 (MPa)
0.5 150˚C、0.76MPa

將PA·PI作為閥座氣密材質、能夠對應至200°C。 -10 0 20 40 60 80 100

溫度 (˚C)
120 140 160 180 200

閥座氣密材質：PCTFE 閥座氣密材質：PA•PI

3 4
 ECV® Safety & Clean Technology
ECV®
電子式小型直接式膜片閥（ECV®） 應答特性（從輸入操作信號開始、到閥門動作終了為止。）
全閉 全開 CH1=5V
DC 10:1
CH2=100mV
DC 10:1
ON
1ms/div

NORM:1MS/s
全開 全閉 CH1=5V
DC 10:1
ON
CH2=100mV
DC 10:1
1ms/div

NORM:1MS/s
操作信號
約3.5 msec OFF
約5 msec OFF
操作信號
（閥門單體的動作 （閥門單體的動作
時間為2 msec 3.5msec 時間為3 msec 5msec

ECV®是最初採用電動式制動器的特殊材料氣體及高純度氣體用直接式膜片閥。 以下） 閥開度 以下） 閥開度

全開 全開
由於採用了使用新素材的超強力螺線管、實現了制動器的小型化與高速開合。
與原有的氣壓式制動器相比、實現了約只有1/20（5 msec）的應答時間※。 全閉 全閉

※所謂應答時間、是定義為從輸入操作信號開始、到閥門動作終了為止的時間。 2msec以下 3msec以下

規格
具有卓越的耐久性、可達400萬次以上 閥 門 口徑 最高使用壓力 MAX Cv值※1 使用流體溫度範圍 連接接頭
（高耐久性規格實績值為1,000萬次）
6. 35 1MPa 0.1 -10~80˚C※2 UJR，UPG®，Wseal®
通過採用超強力螺線管、實現了氣壓啟動的20倍的高速開閉 實績測漏量 外部測漏：5×10-12Pa·m3/sec以下，閥座測漏：5×10-12Pa·m3/sec以下 全部通過He測漏檢驗
檢查時的測漏量 外部測漏：5×10-10Pa·m3/sec以下，閥座測漏：5×10-10Pa·m3/sec以下
※1上述數據會因閥體形狀不同而異。※2將PA·PI作為閥座氣密材質時、能夠對應使用流體溫度上限的200°C。
專用電源部 供給電壓 操作信號 驅動閥門台數 最小閥門開關間隔時間

做為選用產品、能夠應用在附有近 AC 100~240V 接點輸入等 最大8台 8台連接時0.4sec 4台以下連接時0.2sec

距感應器的頭部。 注1. 亦可製造提供數台的高速連續開關對應專用電源 注2. 亦可製造提供UL．CE規格對應的4通道電源。

型號表示
F S R - S D- 7 1 -6.35 - -
通過使用專用電源、 Incorporated A B C D E F
不需要氣壓控制部
Controlled Valve
分。 HT：高溫規格 PI ：閥座氣密材質為聚 亞胺※
C F PA：閥座氣密材質為PFA※
高耐久性鎳鈷合金製膜片
R ：常閉型 無：兩端為UJR公螺絲連接
B 無：常開型 E 2 ：兩端為UJR母螺絲連接

S：螺線管 UG：UPG®接頭
A D
※符號為選用產品或下單後生產產品。
製品出貨時、有時型號末端會標示#A.#B 、這些符號標示產品的履歷、並非表示功能、尺寸方面的變更。

尺寸（FSR-SD-71-6.35） （單位：mm） 標準專用電源（8通道規格）

螺線管驅動電流
與氣體接觸部分、全部經過UP處 ø26
(90) 輸出端子
159
控制信號輸入端子

理。
OUTPUT INPUT

5
(10.7)
1
1 5 3
2
4
5
6
7
8
COM

2 6

161
100
3 7

4 8

POWER
AC 50/60Hz
100~240V
AC 輸入端子

良好的氣體置換特性
MONITOR

閥座氣密標準材質採用PCTFE FSR-C 8ch DRIVER

~

（UJR MALE TYPE與氣體接觸部

(105)
能夠對應使用流體溫度上限200°C
MODEL C08-H

(93)
FG
接地端子

分總內容積：0.84 cc） 的PI·PA規格 制動器

169

口徑ø6.35
（制動器部分的環境溫度為max 閥座 電源監視器端子 電源開關
139
閥體
80°C）

12
52 9/16-18UNF 21

120
螺絲部分長度 6 13
2-M5x0.8

13

3
5 6
 ECV® Safety & Clean Technology
ECV®
電子式小型直接式膜片閥（ECV®） 應答特性（從輸入操作信號開始、到閥門動作終了為止。）
全閉 全開 CH1=5V
DC 10:1
CH2=100mV
DC 10:1
ON
1ms/div

NORM:1MS/s
全開 全閉 CH1=5V
DC 10:1
ON
CH2=100mV
DC 10:1
1ms/div

NORM:1MS/s
操作信號
約3.5 msec OFF
約5 msec OFF
操作信號
（閥門單體的動作 （閥門單體的動作
時間為2 msec 3.5msec 時間為3 msec 5msec

ECV®是最初採用電動式制動器的特殊材料氣體及高純度氣體用直接式膜片閥。 以下） 閥開度 以下） 閥開度

全開 全開
由於採用了使用新素材的超強力螺線管、實現了制動器的小型化與高速開合。
與原有的氣壓式制動器相比、實現了約只有1/20（5 msec）的應答時間※。 全閉 全閉

※所謂應答時間、是定義為從輸入操作信號開始、到閥門動作終了為止的時間。 2msec以下 3msec以下

規格
具有卓越的耐久性、可達400萬次以上 閥 門 口徑 最高使用壓力 MAX Cv值※1 使用流體溫度範圍 連接接頭
（高耐久性規格實績值為1,000萬次）
6. 35 1MPa 0.1 -10~80˚C※2 UJR，UPG®，Wseal®
通過採用超強力螺線管、實現了氣壓啟動的20倍的高速開閉 實績測漏量 外部測漏：5×10-12Pa·m3/sec以下，閥座測漏：5×10-12Pa·m3/sec以下 全部通過He測漏檢驗
檢查時的測漏量 外部測漏：5×10-10Pa·m3/sec以下，閥座測漏：5×10-10Pa·m3/sec以下
※1上述數據會因閥體形狀不同而異。※2將PA·PI作為閥座氣密材質時、能夠對應使用流體溫度上限的200°C。
專用電源部 供給電壓 操作信號 驅動閥門台數 最小閥門開關間隔時間

做為選用產品、能夠應用在附有近 AC 100~240V 接點輸入等 最大8台 8台連接時0.4sec 4台以下連接時0.2sec

距感應器的頭部。 注1. 亦可製造提供數台的高速連續開關對應專用電源 注2. 亦可製造提供UL．CE規格對應的4通道電源。

型號表示
F S R - S D- 7 1 -6.35 - -
通過使用專用電源、 Incorporated A B C D E F
不需要氣壓控制部
Controlled Valve
分。 HT：高溫規格 PI ：閥座氣密材質為聚 亞胺※
C F PA：閥座氣密材質為PFA※
高耐久性鎳鈷合金製膜片
R ：常閉型 無：兩端為UJR公螺絲連接
B 無：常開型 E 2 ：兩端為UJR母螺絲連接

S：螺線管 UG：UPG®接頭
A D
※符號為選用產品或下單後生產產品。
製品出貨時、有時型號末端會標示#A.#B 、這些符號標示產品的履歷、並非表示功能、尺寸方面的變更。

尺寸（FSR-SD-71-6.35） （單位：mm） 標準專用電源（8通道規格）

螺線管驅動電流
與氣體接觸部分、全部經過UP處 ø26
(90) 輸出端子
159
控制信號輸入端子

理。
OUTPUT INPUT

5
(10.7)
1
1 5 3
2
4
5
6
7
8
COM

2 6

161
100
3 7

4 8

POWER
AC 50/60Hz
100~240V
AC 輸入端子

良好的氣體置換特性
MONITOR

閥座氣密標準材質採用PCTFE FSR-C 8ch DRIVER

~

（UJR MALE TYPE與氣體接觸部

(105)
能夠對應使用流體溫度上限200°C
MODEL C08-H

(93)
FG
接地端子

分總內容積：0.84 cc） 的PI·PA規格 制動器

169

口徑ø6.35
（制動器部分的環境溫度為max 閥座 電源監視器端子 電源開關
139
閥體
80°C）

12
52 9/16-18UNF 21

120
螺絲部分長度 6 13
2-M5x0.8

13

3
5 6