Module Handbook

Master of Science (M. Sc.)

Embedded Systems Engineering
Subject-specific Examination Regulations 2021

Department of Microsystems Engineering (IMTEK)

Department of Computer Science (IIF)
Faculty of Engineering, University of Freiburg
29th of April 2021
 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

Content

The Master’s program in ESE............................................................................................ 3

Overview ............................................................................................................................ 3
Department / IMTEK .......................................................................................................... 5
Department of Computer Science / IIF .............................................................................. 6
Profile and Qualification Goals .......................................................................................... 7
Technical qualification goals...................................................................................... 7
General qualification goals ........................................................................................ 8
Peculiarities (international cooperation, studying abroad, internships).............................. 8
Examination Regulations and Module Handbook .............................................................. 9
Teaching and Learning Methods ..................................................................................... 10
Assessment Types .......................................................................................................... 10
Framework ....................................................................................................................... 11
Profile of the program and general program structure ............................................. 11
Detailed look: Areas and modules in the Master program ESE .............................. 13
Spezialization .......................................................................................................... 15
Example for a study plan ......................................................................................... 17
Study organization ........................................................................................................... 18
Examination Registration......................................................................................... 18
Repetition of Examinations ...................................................................................... 18
Module Descriptions ........................................................................................................ 19

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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

The Master’s program in ESE

Overview
University University of Freiburg (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg)
Faculty Faculty of Engineering
Department of Microsystems Engineering /
Institute(s) Institut für Mikrosystemtechnik, IMTEK
Department of Computer Science / Institut für Informatik, IIF
Subject Embedded Systems Engineering (ESE)
Degree Master of Science (M.Sc.)
Duration 4 semesters / 2 years, standard duration of studies
Type/Format Consecutive, full-time studies on campus
ECTS 120 ECTS credits
English (no German skills necessary; however, some
Language(s)
elective modules are offered in German)
The Master of Science program ESE is research-oriented and
consecutive. It is designed for highly qualified national and
international graduate students holding a bachelor‘s degree in
engineering or science. The English-taught master’s program
provides in-depth knowledge on design, development, fabrication
and application of embedded systems. In detail, it provides
knowledge about the design of microelectronic, micro-mechanic
and software-based components as well as their integration into
complete systems. Engineering optimization targets will be
Profile functionality, speed, costs, energy efficiency and reliability.
According to their individual study profile, students will gain and
deepen special knowledge in these areas. Furthermore, one of the
concentration areas Artificial Intelligence, Cyber-Physical
Systems, Circuits and Systems, Materials and Fabrication,
Biomedical Engineering or Photonics can be chosen as a
specialization. Students have the choice between a broader,
cross-sectional training on computer science and microsystems
engineering or a specialisation on one of the fields described
above that is documented in the diploma documents.
M.Sc. ESE students will have the opportunity to
• be involved in state-of-the-art research with internationally
renowned professors,
• benefit from state-of-the-art equipment on a modern campus
Educational and pioneering laboratories at partner institutes,
Goals/ • benefit from a European campus (www.eucor-uni.org),
Professional • live in one of Germany’s most appealing and green cities.
Prospects Successful students will be enabled to explore, design and apply
technical solutions for combined software-hardware based systems
during their subsequent employment as engineers. The
accomplishment of the Master’s degree qualifies for an academic
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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

career in research and development as well as for an occupation as

an engineer or a software developer in industry, in scientific or
research organizations or in a state authority.
• A bachelor‘s degree in engineering or in computer science with
a total of 180 ECTS and a duration of at least 3 years
Admission • An average grade of 2.9 or better on the German grading scale
Requirements • Advanced English language skills at the level of C1 on the
Common European Framework of Reference for Languages
(CEFR) or German C1 plus English B2
Intake Winter and summer semester
https://www.tf.uni-freiburg.de/en/study-
programs/embedded-systems-engineering/m-sc-
Homepage
embedded-systems-engineering

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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

Department / IMTEK
The Department of Microsystems Engineering IMTEK was founded in 1995. Presently, it has 21
professors, over 370 research, teaching, and technical staff, and 800 microsystems engineering
students. Today we are one of the world’s largest academic institutions in our field, and this is
reflected in IMTEK’s uniquely broad scope of research and courses. The main research focus
areas are: Energy Autonomous Microsystems, Smart Systems Integration, Lab-on-a-Chip and
Medical MEMS. With our scientific work we help to make life healthier, safer, more comfortable
and versatile, and, not least, easier. We turn research ideas into reality by laying the foundations
for better and more intelligent products based on micro- and nanotechnologies. We train young
scientists to be microsystems engineers by teaching them how to pass on this visionary spirit
and to make vision reality. IMTEK’s output can be measured by the numbers of high quality
scientific publications, patents, innovative products, and successful start-ups coming from
IMTEK. The research publications were cited 6607 times in 2018. This means that more than
five scientific publications published worldwide every day refer to an IMTEK research
publication.

Chairs at IMTEK
21 professors form IMTEK's backbone. Organised autonomously, they cover the whole variety of
Micro-Technology. In alphabetical order, they are:
Buse, Karsten Optical Systems
Dehé, Alfons Georg H. Endress Chair for Smart Systems
Integration
Diehl, Moritz Systems Control and Optimization
Eberl, Christoph Micro and Materials Mechanics
Egert, Ulrich Biomicrotechnology
Manoli, Yiannos/Dr. Matthias Keller Microelectronics
Pastewka, Lars Simulation
Paul, Oliver Microsystem Materials
Rapp, Bastian Process Technology
Rohrbach, Alexander Bio- and Nanophotonics
Rupitsch, Stefan Electrical Instrumentation and Embedded Systems
Rühe, Jürgen Chemistry and Physics of Interfaces
Stieglitz, Thomas Biomedical Microtechnology
Urban, Gerald Sensors
Wallrabe, Ulrike Microactuators
Wilde, Jürgen Assembly and Packaging Technology
Wöllenstein, Jürgen Thin-film Gas Sensors
Woias, Peter Design of Microsystems
Zacharias, Margit Nanotechnology
Zappe, Hans Gisela and Erwin Sick Chair of Micro-optics
Zengerle, Roland MEMS Applications
Adjunct Professors In German: Außerplanmäßiger Professor
apl. Prof. Dr. Hanemann, Thomas Materials Processing
apl. Prof. Dr. von Stetten, Felix Hahn-Schickard Insitute of Mikroanalysis Systems
Junior Research Group Leaders
Asplund, Maria BrainLinks-BrainTools Junior Research Group Leader
Lienkamp, Karen Emmy Noether Junior Research Group Lead
Osorio, Anayancy Margarete von Wrangell Junior Research Group
Leader
Vierrath, Severin Research Junior Group Leader

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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

Department of Computer Science / IIF

The technological developments of the past 20 years have changed our daily lives.
Smartphones, navigation devices, search engines or data streaming have become
indispensable in our everyday lives. Self-directed robots, autonomous vehicles, computers that
learn to understand images or mind-controlled prostheses are our future. At the Department of
Computer Science (IIF) in Freiburg we are designing the future. And for students that means we
teach the practical and theoretical skills anyone would need to work on these and other
innovations. The IIF currently has 23 professors and junior research groups, over 150 research
staff and about 900 computer science students. The two main research foci, aside from
theoretical and applied algorithms, networks and distributed systems, data management and
communication as well as bioinformatics, are
• Artificial Intelligence e.g. robotics and autonomous intelligent systems, artificial
intelligence and machine learning, computer vision and graphics
• Cyber-Physical Systems e.g. verification and analysis of hardware and software
systems, software development and programming languages, embedded systems

Chairs at IIF
20 professors form IIFs backbone. They cover a big variety of research topics with a special
focus on Artificial Intelligence. Sorted alphabetically, they are
Backofen, Rolf Bioinformatics
Bast, Hannah Algorithms and Data Structures
Boedecker, Joschka (Assistant Neurorobotics
Professor)
Brox, Thomas Computer Vision and Image Processing
Burgard, Wolfram Autonomous Intelligent Systems
Grabocka, Josif (Assistant Representation Learning
Professor)
Hutter, Frank Machine Learning
Kaiser Trujillo, Anelis Gender Studies in STEM
Kuhn, Fabian Algorithms and Complexity
Nebel, Bernhard Foundations of AI
Podelski, Andreas Software Engineering
Schneider, Gerhard Communication Systems
Schindelhauer, Christian Networks and Telematics
Scholl, Christoph Operating Systems
Teschner, Matthias Graphics Data Processing
Thiemann, Peter Programming Languages
Valada, Abhinav (Assistant Robot Learning
Professor)
Currently in appointment process:
n.n. (Armin Biere) Computer Architecture
n.n. Embedded Systems
n.n. Data Engineering and Data Analysis
Adjunct Professor (Außerplanmäßiger Professor):
Image Analysis apl. Prof. Dr. Olaf Ronneberger
(Assistant Professor)
apl. Prof. Dr. Cai-Nic
Cognitive Computation apl. Prof. Dr. Marco Ragni, DFG-
Heisenberg-group

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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

Profile and Qualification Goals

The Master program in Embedded Systems Engineering is research oriented and consecutive.
In the Embedded Systems Engineering Master program it is the overall educational goal to bring
graduate students to a post-graduate level where they can perform engineering tasks and
develop software and hardware systems on a high scientific level. To that purpose they will gain
expertise in subject areas that will be described in the further chapters. On the path from an idea
to a product the required professional skills will enable first for problem definition and then for
subsequent solutions finding and evaluation, be it in the physical world or in IT. While the
development of micro-devices and hardware systems will require methods of design,
construction and simulation in mechanical, electrical, materials and physical domains, the
approach to IT developtments and data analysis will require firm foundations in algorithm design,
software engineering and other computer science skills. Also, characterization and testing is
important in order to optimize on all levels of systems’ architecture.
On this basis, ESE master graduates will be capable of using engineering techniques as well as
practical and methodological computer science approaches, and use them effectively and
efficiently on the way from research to the market. Besides technical expertise graduates also
need non-technical skills like the ability to work in a team, social competence, creativity and
openness to new ideas, communication skills. The program also promotes entrepreneurial
thinking and the ability to motivate oneself.
The applications of embedded systems are manifold:
In medicine there are trends towards, minimally-invasive surgery, advanced diagnostics or
intelligent prostheses. Modern communications systems rely on optics or on radio frequencies
like mobile phones. Networks and sensors become more and more ubiquitous for consumers.
The same holds for industrial applications, process management and instrumentation. In
automobiles modern by-wire controls, safety features or even autonomous functions are based
on optical microsystems and micro-sensors. It appears impossible to provide the deepest
knowledge in all related fields. Therefore, the program was designed in a way that engineers
from related fields will be elevated to a postgraduate level on a standard knowledge platform of
Embedded Systems Engineering. Starting from this basis a specialization in the mentioned fields
will be possible.

Technical qualification goals

Students
• are able to analyse technical questions and to develop, design, test, optimize and
manufacture embedded (micro-)systems
• acquire an overview of the most important methods, models, processes and technologies
for realizing embedded systems; they are able to select, apply and combine the
processes and methods that are suitable for a given problem
• can analyse and develop software and program code for embedded systems on different
levels
• are able to assess the safety, security and efficiency features required for embedded
systems
• learn strategies for identifying and evaluating new applications of embedded systems
• are able to prepare, plan, carry out and document experiments independently
• have an applicable overview of the most common design, fabrication and test techniques
used in practice as well as their extensions and new methods
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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

• are proficient in using the usual IT tools, like programming, software development,
system design, optimization procedures, testing etc.
• acquire in-depth knowledge in a special field of embedded system engineering in the
area of concentration or specialization they have chosen
• know how to address technical problems that require knowledge beyond the learning
content of their studies

General qualification goals

Students
• have general, interdisciplinary problem-solving skills
• can work on a given technical question largely independently and document the result in
a scientific paper
• are able to team up in project groups, which can be made up of students from different
master’s courses in the specialization modules, to promote social and intercultural
competences
• are able to draw up a laboratory diary, write scientific reports, give a scientific lecture and
create a scientific poster
• can assess themselves and their performance to the point, that they are capable of
planning and implementing a wide variety of projects
• have the ability to work in a team and can take responsibility for themselves and others

Peculiarities (international cooperation, studying abroad, internships)

In addition to the ERASMUS-Partnerships of the University, the Department of Microsystems
Engineering has concluded a cooperation contracts with the following international Universities
and institutes:
• ESIEE – Ecole Supérieure d'Ingénieurs en Electronique et Electotechnique, Noisy-le-
Grand, Frankreich
• Technical University of Denmark (DTU), Lyngby, Dänemark
• College of Engineering, University of Michigan, USA
• Tohoku University, Graduate School of Engineering, Sendai, Japan
• University of Tokyo, Graduate School of Engineering, Tokyo, Japan
• Ritsumeikan University, Kusatsu, Japan
• Kyoto University, Graduate School of Engineering, Kyoto, Japan

Within this framework, Students have the opportunity to complete foreign semesters, in most
cases without additional tuition fees. Students who would like to broaden their cultural horizons
by spending a semester abroad will find information and support from various offices, such as
the University's International Office and the Faculty's Erasmus coordinator for planning and
coordination, and from the student advisor for useful adjustments to the individual personal
study plan.
There is no mandatory internship requested. We have observed, that international students
select to have elective internships in industry or to perform the work of their Master Thesis there.
Most find such positions on their own initiative. Some seek professors’ advice in order to get
contacts and to improve their applications.

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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

Examination Regulations and Module Handbook

The content and organization of studies are defined by the respective Subject-Specific
Examination Regulations (Prüfungsordnung, PO) for each program and the General
Examination Regulations (Rahmenprüfungsordnung). The latter provide the overarching
regulatory framework of a certain degree, in our case all Master of Science programs at the
University of Freiburg. One can find a German and English version on the program’s website.
The German version is the official version. The in-official English version is legally non-binding
and is just a courtesy translation.
This Module Handbook has been compiled according to the Subject-Specific Examination
Regulations: 2021 for the Master of Science Embedded Systems Engineering. These
regulations define all formal and legal aspects of this specific study program. In case of the
M.Sc. ESE examination regulations of 2021, the course structure is quite versatile and the
exam regulations only provide the framework, which students fill with individually chosen
lectures, seminars and other courses. There are 4 compulsory areas where students are
expected to complete courses with at least 18 credits in each are: 2 areas cover essential
courses for the topic of Embedded Systems divided in Computer Science respectively
Microsystems Engineering; 2 more areas contain specialization and concentration courses in
both the Elective area of Computer Science as well as MSE concentration areas. The
remaining ECTS credit points can be divided up as the students wish, by either adding more
courses in one of the 4 areas mentioned above or either completing some courses in the
Customized Course Selection area. The final module is the Master’s Thesis.
Students will be able to compile their own personal skill profile by either selecting a wide range of
different courses to broaden their expertise. Or they can choose to focus on a specialization in
either one of the Computer Science areas (Artificial Intelligence or Cyber-Physical Systems)
or one of the MSE concentrations (Circuits and Systems, Materials and Fabrication, Biomedical
Engineering and Photonics).

Detailed descriptions of the modules can be found at the end of this document, with an
extra Appendix for the Concentration areas in Microsystems Engineering, as those are used
in more than one study program and are, therefore, represented seperately. The subsequent
pages will provide detailed information about all areas and how to achieve the M.Sc. ESE
degree. A module is a self-contained unit within a scientific topic or an area that is defined by
specific learning goals. Modules may consist of one or more courses. A course is the smallest
unit described in this Module Handbook. There are different types of courses including lectures
(Vorlesung), exercises (Übung), laboratory/practical courses (Praktikum, Praktische Übung)
and seminars. This Module Handbook describes the modules that constitute the curriculum of
the ESE program. Individual module descriptions comprise elements such as title of the
module, qualification goals, recommended requirements, course content, name of the offering
institution & professor, type of assessment, and how many ECTS credits according to the
European Credit Transfer and Accumulation System (ECTS) will be awarded to the student
when completing the module successfully. These credits define the associated workload. For
a representative student, one credit is equivalent to a workload of 30 hours. The recommended
number of ECTS credits to be completed per term is 30. In this way, the ECTS credits define
the weighting of a module within the entire master’s program and its impact on the final overall
grade, similar to the Grade Point Average, GPA.
Students of the master’s program ESE have to complete 120 ECTS credits in total in order to
earn their degree. This usually requires two years, organized in four terms (semester). The

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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

entire Faculty of Engineering has installed a uniform ECTS system. This means that a module
or course has quantum size of 3, 6 or 12 ECTS credits. As it is possible to select elective modules
from other master programs, this standardization makes intra-faculty studies that utilize the complete
faculty much easier. Most of the courses offered for the ESE program by IMTEK and IIF are
also open for other Master degree programs in one capacity or another. The associated study
programs can be found in HISinOne, the university’s Campus Management System.

Teaching and Learning Methods

Lectures and the corresponding exercises make up the largest part of the modules and
courses within the master’s program of Embedded Systems Engineering.
Most modules offered within the four “compulsory elective” areas with required 18 ECTS credits
each in Computer Science and Microsystems Engineering consist of a lecture and an exercise.
Same goes for the Concentration Areas Circuits and Systems, Materials and Fabrication,
Biomedical Engineering and Photonics as well as the Specialization Courses in Computer
Science. These modules are open to all M.Sc. MSE respectively Computer Science students,
and mostly to other study programs, thus reaching a participant numbers of up to 100 students
or even more.
Within the elective modules/courses offered in the Microsystems Concentrations and
Computer Science as well as in the Customized Course Selection, the knowledge transfer is
carried out additionally in seminars, practical exercises, laboratory courses or even a study
project. These modules are typically more interactive due to the smaller group sizes. For
seminars and laboratory courses, the numbers of students are typically between 10 and 25,
with practical exercises it can be around 25 to 30. The study project is very similar to the
Thesis, in regards to the expected skills and knowledge as well as technical and organizational
aspects, as students work supervised, but independently on a current research topic in one of
the workgroups.
Within the scope of the Master’s Thesis, students can select an individual research topic
defined by themselves or the supervising professor from the Faculty of Engineering. After the
goal of an assigned topic has been agreed upon, the student will work independently. Guided
by the principal supervising professor, and in most cases by an additional academic
supervisor they learn to solve scientific questions within a given timeframe, on the basis of
capabilities acquired in the ESE program. The role of the 2nd official supervisor is mostly to consult
and to perform a redundant evaluation of the master’s thesis. If the student wishes, she/he can
perform an external master thesis when certain conditions of supervision and quality control
are met. Here external refers to a hosting organisation outside the Faculty of Engineering or
even outside the university.

Assessment Types
Generally speaking, students can complete a module/course in two ways: with a
Prüfungsleistung (PL) or a so-called Studienleistung (SL). Whether a course completes
with a PL or SL is defined in the Subject-Specific Examination Regulations. It is further outlined
in the framework and in the module descriptions on the subsequent pages.
A Prüfungsleistung (PL) is a graded assessment. So its grade(s) will count in the final overall
grade. According to the §14 of the General Examination Regulations of the University of
Freiburg, written Prüfungsleistungen are written supervised exams (Klausuren), open book
exams or written reports (schriftliche Ausarbeitungen). Mündliche Prüfungsleistungen are oral
exams (Prüfungsgespräche) or oral presentations. Praktische Prüfungsleistungen can consist
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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

of conducting and reporting experiments as well as of developing software programs or

demonstrators. The duration of the written and oral assessments as well as the length of
reports (e.g. number of pages) are usually defined in the module descriptions. Details are also
provided by the lecturers in the respective courses in a timely manner. In general, a written PL
can have a minimum duration of 60 minutes and a maximum of 240 minutes. An oral PL can
have a duration between a minimum of 10 minutes and a maximum of 45 minutes.
A Studienleistung (SL) can be either coursework (part of a module that has to be carried out
in addition to the exam/PL) or it is a pass/fail assessment (when there is no graded
assessment to complete the module) and must only be passed with a maximum grade of 4.0
on the German grading scale. These assessments do not count into the final overall grade,
even if they are graded. §13 of the General Examination Regulations defines that
“Studienleistungen are individual written, oral or practical assessments which need to be
completed by students in conjunction with the module/course”. They can take the form of active
participation (85 % to 100 % mandatory attendance), completion of exercises or project work,
written reports (e.g. protocols, posters), written exams, oral exams, oral presentations,
conducting experiments, development of software programs or demonstrators.

Summary of assessments
• In addition to registering for a module, a student needs to register for every exam she/he
wants to take.
• If failed, one can repeat every exam once. Two exams can be repeated twice.
• If one fails an exam, the student will automatically be registered for the retake in the
following semester.
• One can only withdraw from an exam if one is ill or if there is an emergency in the family.
• Missing an registered exam without a valid excuse leads to failing the exam.

Framework
Profile of the program and general program structure
The Master program in Embedded Systems Engineering is research oriented and consecutive.
The program addresses international graduates from bachelor programs in computer science
and in engineering, especially in electrical engineering, electronics, mechatronics and
information technology. The program provides in-depth knowledge on design, development,
fabrication and application of embedded systems. In detail, it provides knowledge about the
design of microelectronic, micro-mechanic and software-based components as well as their
integration into complete systems. Engineering optimization targets will be functionality, speed,
costs, energy efficiency and reliability. According to their individual study profile, students will
gain and deepen special knowledge in these areas. Furthermore, one of the concentration
areas Artificial Intelligence, Cyber-Physical Systems, Circuits and Systems, Materials and
Fabrication, Biomedical Engineering or Photonics can be chosen as a specialization. Students
have the choice between a broader, cross-sectional training on computer science and
microsystems engineering or a specialisation on one of the fields described above that is
documented in the diploma documents. Successful students will be able to explore, design
and apply combined hardware-software-based technical solutions during their subsequent
employment as engineers. The accomplishment of the respective Master’s degree qualifies for
an academic career, a position in research and development as well as an engineering or
scientific occupation in industry, in research organizations or in a state authority.

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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

The Master of Science program in Embedded Systems Engineering can be started both in the
summer term and the winter term. Courses and exams of the Master program Microsystems
Engineering generally will be taught in English. Several of the elective modules and courses
as well as the corresponding exams can be performed partly or completely in German
language.
The Master of Science program in Embedded Systems Engineering encompasses 120 ECTS
credits and cover manily into two fields: Computer Science and Microsystems Engineering.
The Master Thesis encompasses 30 ECTS credit points. The remaining 90 ECTS credits are
structured in 5 parts with a scope of 18 ECTS credits each. Four of these parts are compulsory:
• Essential Lectures in Computer Science
• Advanced Microsystems Engineering
• Elective Courses in Computer Science
• Microsystems Engineering Concentration Areas
Students are expected to choose modules/courses inside each of these areas with a scope of
18 credits.
The last part (with also 18 ECTS credits) is elective and students can choose modules/course
• either in one or more of the four areas mentioned above
• by completing courses from the facultative area of Customized Course Selection

When certain conditions have been met, a specialization can be certified in the diploma.

The following figure outlines the program structure in a compact overview:

The areas, modules and associated courses are listed and described in detail in the actual
module handbook attached to this document. In the following section, an overview of the
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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

individual areas and the specialization option is provided.

Detailed look: Areas and modules in the Master program ESE

Area of Essential Lectures in Computer Science (with at least 18 ECTS credits to an optional
maximum of 36 ECTS credits):
Here students have to choose 3 from the 9 lectures from Computer Science shown in the
following table. These courses cover essential topics that are relevant for students aiming to
work in the field of embedded systems. Some of the knowledge base laid in these courses
might have been part of the under graduate studies of the individual students, so the students
are expected to choose courses that complement their already existing fundamental
proficiencies. Students who want to take more than three modules in this area can achieve this
by using some or all of the 18 ECTS credits from the elective area here.
The modules are all lectures with exercises, that finish with a graded assessment (PL), which
in these cases always is a written exam. All the modules have a size of 6 ECTS credits and
usually also require some kind of coursework (SL).

Module Type SWS ECTS- Semester Assessment

Credits type

Algorithm Theory V+Ü 4 6 1 or 3 SL

PL: written exam
Cyber-Physical Systems – Discrete V+Ü 4 6 1 or 3 SL
Models PL: written exam
Databases and Information V+Ü 4 6 1 or 3 SL
Systems PL: written exam
Introduction to Embedded Systems V+Ü 4 6 1 or 3 SL
PL: written exam
Machine Learning V+Ü 4 6 1 or 3 SL
PL: written exam
Computer Architecture V+Ü 4 6 2 SL
PL: written exam
Foundations of Artificial Intelligence V+Ü 4 6 2 SL
PL: written exam
Image Processing and Computer V+Ü 4 6 2 SL
Graphics PL: written exam
Software Engineering V+Ü 4 6 2 SL
PL: written exam
Abbreviations:
PL=Prüfungsleistung/graded assessment; SL=Studienleistung/courswork or pass/fail assessment;
V=Vorlesung/lecture; Ü=Übung/exercise; S=Seminar/seminar; Pr=Praktikum/practical exercise;
SWS=Semesterwochenstunden/hours per week per semester; Semester=start in winter semester assumed

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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

Area of Advanced Microsystems Engineering (with at least 18 ECTS credits to an optional

maximum of 36 ECTS credits):
Students have to choose 3 from the 8 lectures from Microsystems Engineering shown in the
following table. The knowledge gained in these courses is fundamental for engineers working
in the field of embedded systems. Again, students can choose to take more than the required
3 modules here by using some or all of the 18 ECTS credits from the elective area. All 8
modules have an equivalent of 6 ECTS credits and are finalized with a written exam (graded
assessment (PL)). Depending on the course concept, additional coursework can be required.

Module Type SWS ECTS- Semester Assessment

Credits type

Assembly and Packaging V+Ü 4 6 1, 2 or 3 PL: written exam

Technology
Micro-electronics V+Ü 4 6 1 or 3 PL: written exam

Micro-mechanics V+Ü 4 6 1 or 3 PL: written exam

Micro-optics V+Ü 4 6 1 or 3 SL
PL: written exam
Modelling and System Identifcation V+Ü 4 6 1 or 3 SL
PL: written exam
MST Technologies and Processes V+Ü 4 6 1 or 3 SL
PL: written exam
Sensors V + Pr 4 6 1 or 3 SL
PL: written exam
Signal Processing V+Ü 4 6 2 PL: written exam
Abbreviations:
PL=Prüfungsleistung/graded assessment; SL=Studienleistung/courswork or pass/fail assessment;
V=Vorlesung/lecture; Ü=Übung/exercise; S=Seminar/seminar; Pr=Praktikum/practical exercise;
SWS=Semesterwochenstunden/hours per week per semester; Semester=start in winter semester assumed

Elective area in Computer Science (with at least 18 ECTS credits to an optional maximum
of 36 ECTS credits):
In addition to the Essential Lectures in Computer Science students have to complete courses
with a scope of at least 18 ECTS credits by taking appropriate Specialization Courses in
Computer Science. The Specialization Courses in Computer Science are principally offered
either as lectures with exercise, lectures with a seminar or as lectures with an exercise and
seminar. According to the individual concepts of the Specialization Courses in Computer
Science it is possible that additional coursework will be requested. A graded assessment of a
Specialization Course in Computer Science is either represented by a written exam or by an
oral exam.
Alternative to the Specialization Courses up to two seminars can be completed as part of the
Elective Courses in Computer Science. Seminars are awarded with 3 ECTS credits. They
comprise graded assessments and will be finalised with an oral presentation. In seminars,
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 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

active participation is required as coursework, which implies mandatory attendance.

Or students can opt to take a Study project in this elective area in Computer Science, which
is awarded with 18 ECTS credits after some coursework and a graded assessment have been
completed successfully. Depending on the project’s topic, the graded assessment can be a
written report, the development of software or the creation of a hardware demonstrator.
This big variety of both lectures covering many different topics in Computer Science as well as
different course types to choose from provides the opportunity to sharpen one’s personal field
of expertise in various ways.

Microsystems Engineering Concentrations area (with at least 18 ECTS credits to an

optional maximum of 36 ECTS credits):
Here, students have to choose courses with a scope of at least 18 ECTS credits in one of the
four Concentration areas offered in Microsystems Engineering:
• Circuits and Systems
• Materials and Fabrication
• Biomedical Engineering
• Photonics
The modules can be selected from the teaching portfolio of the Department of Microsystems
Engineering as published in the module handbook especially representing the Concentrations
areas. The courses comprise lectures, (practical) exercises and lab courses as well as
individual project work and bring either 3 or 6 ECTS credits each. A student selects one of the
four Concentration Areas and finishes modules of his own choice from the course portfolio
provided in that concentration. The kind of graded assessments (usually written or oral exams)
and potential additional coursework depends on the chosen courses.

Customized Course Selection (optional, with a maximum of 18 ECTS credits):

Instead of doing more than the required minimum of 18 ECTS credits in one or more of the four
compulsory areas, and covering the 18 ECTS credits from the elective area like this, the students
can also choose to acquire up to 18 ECTS credits by doing courses in the area of Customized
Course Selection. For the Customized Course Selection, modules from the portfolio of the Master
programs in Computer Science or Microsystems Engineering, that are not part of the Master ESE
curriculum can be chosen, if they are offered as pass/fail courses, like the lab courses in the Master
of Computer Science, for instance. Students can attend one language course offered by the Faculty
of Philology and the Faculty of Humanities (chosen from the courses provided for students from all
faculties). Also, modules or courses from the portfolio of selected other subjects offered at the
University of Freiburg can be taken. The responsible body of the Faculty of Engineering (usually
the dean of academic affairs together with the program coordinator) will consult about the suitability
of courses from other subjects with the offering unit of the university and decide on their clearance.
In all the modules from the Customized Course Selection only pass/fail assessments will be
requested.

Spezialization
While doing there Master studies in Embedded Systems Engineering, students can opt to
specialize in one of six areas:
• Artificial Intelligence (from CS)
• Cyber-Physical Systems (from CS)
• Circuits and Systems (from MSE)
• Materials and Fabrication (from MSE)

15
 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

• Biomedical Engineering (from MSE)

• Photonics (from MSE)
If one of these six areas has been selected as the specialization for the diploma, modules with
a total of at least 30 ECTS credits must be completed in that area, and also the master thesis
must have been assigned to the respective field. The degree awarded will be “Master of
Science in Embedded Engineering, Specialization in…” accordingly completed with the
respective area (Artificial Intelligence, Cyber-Physical Systems, Circuits and Systems,
Materials and Fabrication, Biomedical Engineering or Photonics).

The affiliation of a course with one of the specialization areas is mentioned in the detailed
module descriptions. As the MSE specialization areas correspond to the respective
Concentrations areas, the association is obvious. For the specialization areas in Computer
Science (AI and CPS), an overview of the lectures and courses that are assigned to the
respective area is shown in the following table:

Lectures belonging to the Lectures belonging to the

specialization area specialization area
Cyber-Physical Systems Artificial Intelligence
Advanced Lectures Advanced Lectures
• Rechnerarchitektur / Computer Architecture • Image Processing and Computer Graphics
• Softwaretechnik / Software Engineering • Foundations of Artificial Intelligence
• Machine Learning
Specialization Courses Specialization Courses
• Advanced Algorithms • Advanced Computer Graphics
• Automated Machine Learning • Artificial Intelligence Planning
• Blockchain and Cryptocurrencies • Automated Machine Learning
• Cyber-Physikalische Systeme - Diskrete • Bioinformatics I
Modelle / Cyber-Physical Systems – Discrete • Bioinformatics II
Models • Computer Vision
• Cyber-Physical Systems – Program Verification • Dynamische Epistemische Logik / Dynamic
• Einführung in Embedded Systems / Introduction Epistemic Logic
to Embedded Systems • Einführung in die Multiagentensysteme /
• Formale Methoden für Java / Formal Methods Introduction to Multiagent Systems
for Java • Information Retrieval
• Funktionale Programmierung / Functional • Introduction to data driven life sciences
Programming • Introduction to Mobile Robotics
• Hardware Security and Trust • Kompetitives Programmieren
• Quantitative Verifikation / Quantitative • Prinzipien der Wissensrepräsentation /
Verification Knowledge Representation
• Modellbildung und Systemidentifikation / • Reinforcement Learning
Modelling and System Identification • Robot Mapping
• Numerical Optimization • Simulation in Computer Graphics
• Numerical Optimal Control in Science and • Social Robotics
Engineering • Spieltheorie / Game Theory
• State Space Control Systems • Statistical Pattern Recognition
• Test und Zuverlässigkeit / Test and Reliability
• Verteilte Systeme / Distributed Systems

16
 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

Example for a study plan

Since all of the modules in this program are compulsory elective modules with a large selection
of courses to choose from, presenting a study schedule is only useful to a limited extent, as
the specific plan is different for each student. The following table gives an example of what
such an individual study plan might look like when startin in winter semester. It’s color coded
to differentiate between the areas.

Sem Module/Course PL/SL C/E SWS ECTS

Semester 1 30
1 Micro-electronics PL C 4 6
1 Sensors SL+PL C 4 6
1 Introduction to Embedded Systems SL+PL C 4 6
1 Machine Learning SL+PL C 4 6
1 MST Technologies and Processes SL+PL E 4 6
Semester 2 30
2 Assembly and Packaging Technology PL C 4 6
2 Image Processing and Computer Graphics SL+PL C 4 6
2 Hardware Security and Trust (Specialization course CS) PL C 4 6
2 Introduction to Mobile Robotics (Specialization course CS) PL C 4 6
2 Energy harvesting (MSE Conc. Circuits & Systems) PL C 4 6
Semester 3 30
3 Seminar in Computer Science SL+PL E 2 3
3 Cyber-Physical Systems – Program Verification SL+PL C 4 6
(Specialization course CS)
3 Reliability Engineering (MSE Conc. Circuits & Systems) PL C 2 3
3 Microcontroller Techniques – Praktikum PL C 2 3
(MSE Conc. Circuits & Systems)
3 Numerical Optimization (MSE Conc. Circuits & Systems) SL+PL C 6 6
3 Model Predictive Control and Reinforcement Learning SL+PL C 2 3
(MSE Conc. Circuits & Systems)
3 German Language Course at SLI SL E 2 6
Semester 4 30
4 Master Thesis PL C x 30

Abbreviations:
PL=Prüfungsleistung/graded assessment; SL= Studienleistung/courswork or pass/fail assessment;
V=Vorlesung/lecture; Ü=Übung/exercise; S=Seminar/seminar; Pr=Praktikum/practical exercise; C=module from
compulsory area, E=module from elective area; SWS=Semesterwochenstunden/hours per week per semester;
x=undefined, depends on the subject/module; Semester=start in winter semester assumed

17
 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

Study organization
In every semester, the Course Catalog (Vorlesungsverzeichnis) in HISinOne, the university’s
Campus Management System shows the offered courses and the corresponding modules.
Here, the students can orient themselves regarding the currently available courses. In their
personal Planner of Studies, the whole curriculum is represented, structured in areas and
modules as shown above following the examination regulations. Here, students can sign up
for courses (“booking”) and register for assessments.
Information about these organizational procedures is provided in various ways: on the websites
of the Faculty of Engineering (especially on the program website, the FAQs provided by the
program coordinators and the examination office, as well as special websites for new
students), in introductory events and video tutorials.
All courses offered by IMTEK, IIF or INATECH, which are all departments at the Faculty of
Engineering, are available for registration in HISinOne. Usually there is no limitation of seats
in compulsory courses, but in lectures (with their accompanying exercises), seminars as well
as in laboratories in the elective area, there can be limits to capacity. The information on the
maximum number of attendees and on the mode of granting access can be found in the
individual module description in HISinOne. The limited seats are in most cases allocated based
first-come-first-serve-principle; for seminars, there is a special procedure. Although there is no
legal right to get a seat in a specific course or module, the teacher can be addressed for
acceptance directly and will comply, when reasonable arguments are given.
If a course is not offered by the Faculty of Engineering (as offered in the Customized Course
Selection), it is the students’ own responsibility to look for further information about the course.
Normally, all information about courses is given in HISinOne or on the respective websites of
the faculties and chairs offering the courses. The different faculties and departments may have
specific registration requirements, periods and procedures. It is important that students make
sure that they will inform themselves in time and – if necessary – get in contact with these
units. Some courses are not offered regularly.

Examination Registration
In order to take a Prüfungsleistung and/or a Studienleistung, students must register the PL/SL
through HISinOne within the registration periods. The deadlines for the registration (and de-
registration) for exams, the modalities as well as the actual exam periods are listed on the
website of the Faculty of Engineering. Please note: courses from other faculties may have
different registration rules and periods. This refers to the ones within the Customized Course
Selection area. Some modules require both a PL and SL. If this is the case, students need to
register for both. The completion of the SL is not a requirement for the registration and
completion of the PL. In theory, the SL and PL can be completed independently from each
other. However, from a practical and study-efficient perspective it is highly recommended to
complete both the SL and PL within the same semester, i.e. within the semester when the
course is actually offered.

Repetition of Examinations
Prüfungsleistungen which are graded “not adequate” (5.0) or which are considered as “failed“
can be repeated once. In addition, a maximum of two failed Prüfungsleistungen can be
repeated twice. For further information and the modalities for improving the grade see the
Subject-Specific Examination Regulations.

Studienleistungen can be repeated as many times as needed until they are passed.
18
 Module Handbook M.Sc. Embedded Systems Engineering

Module Descriptions
In the following two documents (also titled “module handbooks” on their own, as created from
HISinOne) detailed descriptions for the available modules for the Master program in Embedded
Systems Engineering can be found:

• Modulhandbuch Master of Science im Fach Embedded Systems Engineering

(Prüfungsordnungsversion 2021)
• Anhang/Appendix zu den Modulhandbüchern: MSE Concentration Areas –
Vertiefungsbereiche der Studiengänge MSc ESE, MSE und MST

Please note: Since for the calculation of the final grade all relevant module grades (i.e. from
modules completed by a graded assessment) are weighted by ECTS credits, this is not
specifically mentioned in each individual module description. Please refer to the examination
regulations.

19
 Technische Fakultät

Modulhandbuch

Master of Science im Fach Embedded Systems

Engineering
(Prüfungsordnungsversion 2021)

1
Content
Prolog ...................................................................................................................................................... 4
Mastermodul..................................................................................................................................... 5
Essential Lectures in Computer Science ............................................................................................. 7
Algorithms Theory ............................................................................................................................ 8
Computer Architecture ................................................................................................................... 12
Cyber-Physikalische Systeme - Diskrete Modelle / Cyber-Physical Systems ................................ 50
– Discrete Models........................................................................................................................... 50
Datenbanken und Informationssysteme / Data Bases and Information Systems .......................... 55
Foundations of Artificial Intelligence ............................................................................................... 59
Image Processing and Computer Graphics ................................................................................... 64
Introduction to Embedded Systems ............................................................................................... 67
Machine Learning ........................................................................................................................... 72
Software Engineering ..................................................................................................................... 77
Advanced Microsystems Engineering ................................................................................................ 82
Assembly and packaging technology ............................................................................................. 83
Micro-electronics ............................................................................................................................ 87
Micromechanics ............................................................................................................................. 91
Micro-optics .................................................................................................................................... 95
Modelling and System Identification ............................................................................................... 99
MST technologies and processes ................................................................................................ 103
Sensors ........................................................................................................................................ 107
Signal processing ......................................................................................................................... 110
Elective Courses in Computer Science ............................................................................................ 114
Advanced Algorithms ................................................................................................................... 115
Advanced Computer Graphics ..................................................................................................... 119
Advanced Database and Information Systems ............................................................................ 123
Analyse von Life Science Hochdurchsatzdaten mit Galaxy ......................................................... 127
Artificial Intelligence Planning....................................................................................................... 130
Automated Machine Learning ...................................................................................................... 134
Bioinformatics I ............................................................................................................................. 139
Bioinformatics II ............................................................................................................................ 144
Blockchain and Cryptocurrencies ................................................................................................. 149
Computer Vision ........................................................................................................................... 153
Cyber-Physical Systems – Program Verification .......................................................................... 157
Dynamische Epistemische Logik / Dynamic Epistemic Logic ...................................................... 162
Einführung in die Multiagentensysteme / Introduction to Multiagent Systems ............................. 167
Formale Methoden für Java / Formal Methods for Java ............................................................... 172

2
 Funktionale Programmierung / Functional Programming ............................................................. 176
Hardware Security and Trust........................................................................................................ 181
High-Performance Computing: Fluid Mechanics with Python ...................................................... 186
Information Retrieval .................................................................................................................... 190
Introduction to data driven life sciences ....................................................................................... 194
Introduction to Mobile Robotics .................................................................................................... 197
Kompetitives Programmieren ....................................................................................................... 202
Maschinelles Lernen in den Lebenswissenschaften / Machine Learning in Life Science ............ 207
Netzwerkalgorithmen / Network Algorithms ................................................................................. 191
Prinzipien der Wissensrepräsentation / Knowledge Representation ............................................ 194
Quantitative Verifikation / Quantitative Verification ...................................................................... 198
Reinforcement Learning ............................................................................................................... 203
RNA Bioinformatik / RNA Bioinformatics ...................................................................................... 208
Robot Mapping ............................................................................................................................. 212
Simulation in Computer Graphics................................................................................................. 216
Social Robotics............................................................................................................................. 220
Spieltheorie / Game Theory ......................................................................................................... 224
Statistical Pattern Recognition ..................................................................................................... 228
Test und Zuverlässigkeit / Test and Reliability ............................................................................. 233
Verteilte Systeme / Distributed Systems ...................................................................................... 237
Seminars .......................................................................................................................................... 241
Seminar 1 ..................................................................................................................................... 242
Studienprojekt / Study project .......................................................................................................... 245
Studienprojekt / Study project ...................................................................................................... 246
Microsystems Engineering Concentration Areas ............................................................................. 248
Customized Course Selection.......................................................................................................... 249
Modules/courses from MSc Computer Science or MSc Microsytsems Engineering (SL only) ........ 250
Praktikum / Lab course from Computer Science .......................................................................... 251
Courses from other Subjects or Departments/Faculties at the University .................................... 253

3
Prolog
This module handbook is based on the upcoming version of the examination regulations for the Master of
Science degree program in the 2021 version, subject-specific provisions for the major in Embedded Systems
Engineering. These provisions define the course content structured in the modules and the curriculum
structured in terms of semesters and areas.

In the module descriptions, the required study and examination achievements are assessed with credit points,
the so-called ECTS points according to the "European Credit Transfer and Accumulation System". Due to their
amount, these indicate the weighting of a course in a module as well as the workload associated with the
course. One credit point corresponds to around 30 hours of work per semester for an average student. A
student should collect around 30 ECTS points per semester.

The standard period of study is four semesters. A total of 120 ECTS points must be acquired in the Master of
Science Embedded Systems Engineering.

Further information on the program (e.g. the examination regulations, the model study plan, entry
requirements, etc.) can soon be found at
https://www.tf.uni-freiburg.de/en/study-programs/embedded-systems-engineering/m-sc-embedded-systems-
engineering

4
Name des Moduls Nummer des Moduls
Mastermodul

Verantwortliche/r

Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 30,0
Empfohlenes Fachsemester 4
Moduldauer
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Workload 900 Stunden | hours
Angebotsfrequenz in jedem Semester

Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of modules with a scope of at least 72 ECTS credits.

Empfohlene Voraussetzung
In-depth knowledge of mathematical fundamentals, engineering methods and applications, practical and
theoretical IT areas and especially in the subject area in which the thesis will be written

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Masterarbeit / Thesis Prüfung Pflicht 27,0
Masterkolloquium / Colloquium Prüfung Pflicht 3,0

Inhalt
The topic of the master thesis is given by a professor from the Faculty of Engineering in consultation with
the student. The topic may originate outside of the Faculty of Engineering, as long as one of the professors
at the Department of Computer Science agrees to the assessment and evaluation of the work as the official
supervisor. The student is assigned a supervisor with a university-level qualification.
The technical content is task-specific and is predominantly acquired in self-study through independent rese-
arch.

If a specialization (Circuits and Systems, Specialization Materials and Fabrication, Biomedical Engineering
or Photonics in the Microsystems Engineering area, or Artificial Intelligence or Cyber-Physical Systems in
the Computer Science area) is chosen, the topic of the master thesis must be chosen from within the
relevant specialization.

Qualifikationsziel

5
In the master thesis, the students work independently on a computer science topic. For the given questions,
they carry out background research in literature for scientific sources. The students select suitable scientific
procedures and methods and apply them on their topic, adapt them or develop them. The results obtained
are critically compared with the current state of research and evaluated. The students present their results
clearly and in an academically appropriate form in their written thesis, as well in its presentation during the
colloquium. They are able to discuss their work on a suitable academic level.

Zu erbringende Prüfungsleistung
Written Master thesis in German or English, must be completed within six months

The master thesis is supplemented by an approximately 60-minute master colloquium, which may be held
in German or English at the student’s choice. The master colloquium is usually led and evaluated by the
supervisor of the master thesis and consists of an approximately 20-minute presentation by the student on
the results of the master thesis and a subsequent discussion. Admission to the master colloquium is gran-
ted only if the master thesis has been submitted. The master colloquium counts for 3 ECTS points and is
usually open to the university public.
Zu erbringende Studienleistung
Active participation (attendance can be required) in meetings with the supervisor, self-organizing the given
tasks, doing background research

Literatur

Abhängig vom Thema | Depending on topic

6
Name des Kontos Nummer des Kontos
Essential Lectures in Computer Science
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

ECTS-Punkte 18 to 36 credits
Benotung

Kommentar
Students have to choose at least 3 lectures from the following selection of Computer Science lectures.
They can take at most 6 of these lectures.
• Algorithm Theory
• Cyber-Physical Systems – Discrete Models
• Databases and Information Systems
• Introduction to Embedded Systems
• Machine Learning
• Computer Architecture
• Foundations of Artificial Intelligence
• Image Processing and Computer Graphics
• Software Engineering
Together with the chosen courses in the Elective Courses in Computer Science area, the amount of ECTS
credits must not surpass 54.

Overall, the limit of ECTS credits is 90 for the areas of

• Essential Lectures in Computer Science
• Elective Courses in Computer Science
• Advanced Microsystems Engineering
• Microsystems Engineering Concentration Areas

7
Name des Moduls Nummer des Moduls
Algorithms Theory 11LE13MO-2010_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Fabian Kuhn

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic algorithms and data structures knowledge, comparable to what is done in Algorithms and Data
structures, is assumed.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Algorithms Theory Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Algorithms Theory Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
The design and analysis of algorithms is fundamental to computer science. Students know important
algorithmic techniques, are able to apply them and, if necessary, adapt them for new situations. Students
have mastered the basic principles of algorithm design, and are able to use complex data structures to
implement algorithms. They can assess the power of algorithmic design principles, such as randomization
and dynamic programming, and are able to apply sophisticated approaches for the analysis of methods
designed according to such principles.

8
Name des Moduls Nummer des Moduls
Algorithms Theory 11LE13MO-2010_PO 2020
Veranstaltung
Algorithms Theory
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-2010

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen u.Datenstrukturen
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 47 Stunden
Selbststudium 118 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
This course teaches fundamental algorithms and data structures, and a variety of fundamental techni-
ques for their design and analysis. The focus is on material not already covered in the basic undergraduate
course on algorithms and data structures, or on the enhancement of that material. Example techniques are:
divide and conquer, randomization, amortized analysis, greedy algorithms, dynamic programming. Exam-
ple algorithms and data structures are: fast Fourier transformation, randomized quicksort, Fibonacci heaps,
minimum spanning trees, longest common subsequence, network flows.
The design and analysis of algorithms is fundamental to computer science. In this course, we will study effi-
cient algorithms for a variety of basic problems and, more generally, investigate advanced design and ana-
lysis techniques. Central topics are algorithms and data structures that go beyond what has been conside-
red in the undergraduate course Informatik II. Basic algorithms and data structures knowledge, comparable
to what is done in Informatik II, or , is therefore assumed. The topics of the course include (but are not limi-
ted to):
■ Divide and conquer: geometrical divide and conquer, fast fourier transformation
■ Randomization: median, randomized quicksort, probabilistic primality testing, etc.
■ Amortized analysis: binomial queues, Fibonacci heaps, union-find data structures
■ Greedy algorithms: minimum spanning trees, bin packing problem, scheduling
■ Dynamic programming: matrix chain product problem, edit distance, longest common subsequence pro-
blem
■ Graph algorithms: network flows, combinatorial optimization problems on graphs

9
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übung | see Exercises
Literatur
■ Jon Kleinberg and Éva Tardos: Algorithm Design, Addison Wesley
■ Thomas H. Cormen, Charles E. Leiserson, Robert L. Rivest, and Cliford Stein: Introduction to Algorithms,
MIT Press
■ Thomas Ottmann and Peter Widmayer: Algorithmen und Datenstrukturen, Spektrum Akademischer Ver-
lag
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundkenntnisse in Algorithmen und Datenstrukturen |
Basic algorithms and data structures knowledge

10
Name des Moduls Nummer des Moduls
Algorithms Theory 11LE13MO-2010_PO 2020
Veranstaltung
Algorithms Theory
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-2010

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen u.Datenstrukturen
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 15 Stunden

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see lectures
Zu erbringende Studienleistung
To successfully complete the course work, you need to have 50% of all exercise points.
Exercises should be done in groups of 2 students. Please team up with a colleague and send an email
(including name and matriculation number of both students) to the lecturer.
Teilnahmevoraussetzung

Bemerkung / Empfehlung
We might be able to offer German exercise tutorials (there will definitely be English tutorials). In case you'd
prefer to have the exercise tutorials in German, please indicate this via email to the lecturer.

11
Name des Moduls Nummer des Moduls
Computer Architecture 11LE13MO-2020_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernd Becker
Prof. Dr. Christoph Scholl

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlegendes Wissen und Kenntnisse aus dem Bereich der technischen Informatik (analog zum Modul
Technische Informatik), Grundlagen binärer Mathematik; Grundlagen zu digitalen Schaltkreisen;
Programmierkenntnisse in C / C ++ |

Basic knowledge and in the area of technical informatics (analogous to the module Technische Informatik),
fundamentals of binary mathematics; basic knowledge of digital circuits;
programming skills in C / C ++

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Rechnerarchitektur / Computer Architecture Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Rechnerarchitektur / Computer Architecture Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
Students will be introduced to methods of designing computers, which will cover the topics of testing and
verification of digital circuits, processor data and control paths, pipelining and parallelism. They will learn

12
about the RISC-V instruction set and related CPUs. Students will learn to maximize the performance of
computing machinery and how to guarantee the correctness of circuits. Finally, they understand how the
restrictions resulting from digital technology and the specific computer architectures affect higher levels of
abstraction, especially those of software technology.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

13
Name des Moduls Nummer des Moduls
Rechnerarchitektur / Computer Architecture 11LE13MO-2020_PO 2020
Veranstaltung
Rechnerarchitektur / Computer Architecture
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-2020

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 45
Selbststudium 120
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
An introduction to fundamental questions, methods and techniques of computer design and computer archi-
tecture is given. The following topics are included:
Instructions, Logic Design, Digital Circuit Verification, Testing, Placement & Routing, Single-Cycle Datapath
& Control, Pipelining and Pipelining Hazards, Parallelism, Exception and Interrupts

Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übung | see Exercises
Literatur
Mainly:
■ David A. Patterson, John L. Hennesey - "Computer Organization and Design - The Hardware Software
Interface [RISC-V Edition]

Also helpful:
■ J.Teich: Digitale Hardware/Software-Systeme, Springer Verlag, 1997.
■ Becker, Bernd and Drechsler, Rolf and Molitor, Paul, „Technische Informatik – Eine Einführung“, Pearson
Studium.

14
■ Tanenbaum: Structured Computer Organization, Prentice Hall, 3rd Edition, 1990.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlegendes Wissen und Kenntnisse aus dem Bereich der technischen Informatik (analog zum Modul
Technische Informatik), Grundlagen binärer Mathematik; Grundlagen zu digitalen Schaltkreisen;
Programmierkenntnisse in C / C ++ |

Basic knowledge and in the area of technical informatics (analogous to the module Technische Informatik),
fundamentals of binary mathematics; basic knowledge of digital circuits;
programming skills in C / C ++

15
Name des Moduls Nummer des Moduls
Rechnerarchitektur / Computer Architecture 11LE13MO-2020_PO 2020
Veranstaltung
Rechnerarchitektur / Computer Architecture
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-2020

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 15

Inhalt
Die Übungen sollen den Studenten ein besseres Verständnis der wichtigsten Techniken vermitteln, die sie
während der Vorlesungen lernen, indem sie die Prinzipien und Methoden anwenden. |

The exercises are intended to give students a better understanding of the most important techniques they
learn during lectures by applying the principles and methods.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Mindestens 50% der Punkte, die man für das erfolgreiche Bearbeiten von Übungsaufgaben erhält |
At least 50% of the points you'll receive for completing exercises successfully
Teilnahmevoraussetzung

16
Name des Moduls Nummer des Moduls
Cyber-Physikalische Systeme - Diskrete Modelle / Cyber-Physical Systems 11LE13MO-2070_PO 2020
– Discrete Models
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Andreas Podelski

Veranstalter
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlegende Kenntnisse in den Themenbereichen Rechnerarchitektur und Softwaretechnik / Softwareent-
wurf |
Basic knowledge in the areas of computer architecture and software engineering / software design

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Cyber-Physikalische Systeme – Diskrete Vorlesung Pflicht 6,0 3.00 180 Stun-
Modelle / Cyber-Physical Systems – Dis- den |
crete Models - Vorlesung hours
Cyber-Physikalische Systeme – Diskrete Übung Pflicht 1.00
Modelle / Cyber-Physical Systems – Dis-
crete Models - Übung

Qualifikationsziel
The course provides an introduction to discrete models of cyber-physical systems, their analysis and verifi-
cation:
The students learn how to model cyber-physical systems as transition systems. Here, the main focus lies
on software and hardware aspects of cyber-physical systems and on methods for modeling parallelism and
communication.
The students learn how to express properties about such systems. The course covers different mechanisms
to specify temporal properties including linear time properties and branching time properties such as LTL,
CTL, and CTL* properties.

17
Finally, the course demonstrates how to develop algorithms for checking whether these properties hold.
After presenting algorithms for explicit state systems we introduce symbolic BDD-based algorithms which
are able to tackle the well-known "state explosion problem". In addition, the course covers basic "Bounded
Model Checking" (BMC) techniques which restrict the analysis to computation paths up to a certain length
and reduce the verification problem to a Boolean satisfiability problem.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

18
Name des Moduls Nummer des Moduls
Cyber-Physikalische Systeme - Diskrete Modelle / Cyber-Physical Systems 11LE13MO-2070_PO 2020
– Discrete Models
Veranstaltung
Cyber-Physikalische Systeme – Diskrete Modelle / Cyber-Physical Systems – Discrete Models - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-2070

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Programmiersprache
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The course provides an introduction to discrete models of cyberphysical systems, their analysis and verifica-
tion:
■ The students learn how to model cyber-physical systems as transition systems. Here, the main focus lies
on software and hardware aspects of cyber-physical systems and on methods for modeling parallelism
and communication.
■ Moreover, the students learn how to express properties about such systems. The course covers different
mechanisms to specify temporal properties including linear time properties and branching time properties
such as LTL, CTL, and CTL* properties.
■ Finally, the course demonstrates how to develop algorithms for checking whether these properties hold.
After presenting algorithms for explicit state systems we introduce symbolic BDDbased algorithms which
are able to tackle the well-known “state explosion problem”. In addition, the course covers basic “Boun-
ded Model Checking” (BMC) techniques which restrict the analysis to computation paths up to a certain
length and reduce the verification problem to a Boolean Satisfiability problem.
■ All necessary foundations for these algorithms such as fixed point theory, data structures like Binary
Decision Diagrams (BDDs), and Satisfiability (SAT) solvers are introduced in the course as well.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

19
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen / see exercises
Literatur
■ Christel Baier, Joost-Pieter Katoen, Principles of Model Checking, MIT, 2008, ISBN 9780262026499
■ B. Berard, M. Bidoit, A. Finkel, F. Laroussinie, Systems and Software Verification, Springer, 2001, ISBN
3642074782
■ E. Clarke, O. Grumberg, D. Peled, "Model Checking”, MIT Press 1999
■ Kropf, Thomas, "Introduction to Formal Hardware Verification", Springer, 1999, ISBN 3-540-65445-3
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlegende Kenntnisse in den Themenbereichen Rechnerarchitektur und Softwaretechnik / Softwareent-
wurf |
Basic knowledge in the areas of computer architecture and software engineering / software design

20
Name des Moduls Nummer des Moduls
Cyber-Physikalische Systeme - Diskrete Modelle / Cyber-Physical Systems 11LE13MO-2070_PO 2020
– Discrete Models
Veranstaltung
Cyber-Physikalische Systeme – Diskrete Modelle / Cyber-Physical Systems – Discrete Models - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-2070

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Programmiersprache
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 15 Stunden

Inhalt
The lecture is accompanied by exercises.
Students train themselves to write down things in a formally correct way.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
To pass the study performance (Studienleistung), you must obtain at least 50% of the exercise points.
Also, every student must present his/her solution to an exercise in an exercise group at least once in the
semester.
Teilnahmevoraussetzung

21
Name des Moduls Nummer des Moduls
Datenbanken und Informationssysteme / Data Bases and Information 11LE13MO-2060_PO 2020
Systems
Verantwortliche/r

Veranstalter
Institut für Informatik, Datenbanken u. Informationssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge of practical computer science, algorithms and data structures as well as basic program-
ming skills;
Basic knowledge of operating systems and their use, fundamental knowledge about networks and protocols

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Datenbanken und Informationssysteme / Vorlesung Pflicht 6,0 2.00 180 Stun-
Data Bases and Information Systems den |
hours
Datenbanken und Informationssysteme / Übung Pflicht 2.00
Data Bases and Information Systems

Qualifikationsziel
Students understand the basic concepts of databases. They are able to think on different levels of abstrac-
tion and have methodical skills in designing a database. They know essential concepts of the SQL standard.
Students gained practical experience in using a declarative, set-oriented language for databases.
They are able to estimate the processing effort of a request and are able to deal with access rights.
Bemerkung / Empfehlung
While the course is usually offered in German, there are English recordings available; at least one exercise
group will be held in English. You are allowed to do the coursework and the written exam in English.

22
Name des Moduls Nummer des Moduls
Datenbanken und Informationssysteme / Data Bases and Information 11LE13MO-2060_PO 2020
Systems
Veranstaltung
Datenbanken und Informationssysteme / Data Bases and Information Systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-2060

Veranstalter
Institut für Informatik, Datenbanken u. Informationssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 32
Selbststudium 118
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Aufgabe von Datenbanken ist die Verwaltung großer, dauerhafter Datenbestände in der Weise, dass eine
Menge von Benutzern diese Daten unabhängig voneinander, effizient, bequem und sicher verarbeiten kön-
nen.
Der Stoff der Vorlesung wird in Übungen und einem parallel laufenden Praktikum anhand verschiedener
Datenbanksysteme konkretisiert.
Es werden im einzelnen die folgenden Aspekte behandelt:

■ Einführung in Datenbanken
■ Datenbankentwurf und Datenmodelle
■ Datenmanipulationssprachen
■ Entwurfstheorie
■ Datenintegrität
■ Transaktionsverwaltung
■ Physische Datenorganisation und aktuelle Entwicklungen.

|
The function of databases is to manage large, permanent data sets in such a way that a large number of
users can process this data independently, efficiently, comfortably and securely.
The material of the lecture is concretized in theoretiscal and practical exercises using various database
systems.
The following aspects are dealt with in detail:
■ Introduction to databases

23
■ Database design and data models
■ Data manipulation languages
■ Design theory
■ Data integrity
■ Transaction management
■ Physical data organization and current developments.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
Welche Leistung der Studierenden zu erbringen hat, wird in der Inhaltsbeschreibung der Übung detailliert
beschrieben und ebenso zu Beginn der Lehrveranstaltung vom Dozierenden mitgeteilt.
|
The coursework required of the students is described in detail in the description about the exercises and
also communicated by the lecturer at the beginning of the course.
Literatur
■ G. Lausen: Datenbanken - Grundlagen und XML-Technologien, Elsevier Spektrum Akademischer Ver-
lag, 2005.
■ A. Heuer, G. Saake: Datenbanken - Konzepte und Sprachen, International Thomson Publishing, 2. Auf-
lage, 2000.
■ A. Kemper, A. Eickler: Datenbanksysteme - Eine Einführung, Oldenbourg, 4. Auflage, 2001.
■ G. Vossen: Datenmodelle, Datenbanksprachen und Datenbank-Management-Systeme, Oldenbourg, 4.
Auflage, 2000.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundkenntnisse in praktischer Informatik, zu Algorithmen und Datenstrukturen sowie grundlegende Pro-
grammierkenntnisse;
Grundkenntnisse über Betriebssysteme und deren Einsatz, über Netzwerk und Protokolle
|
Basic knowledge of practical computer science, algorithms and data structures as well as basic program-
ming skills;
Basic knowledge of operating systems and their use, fundamental knowledge about networks and protocols

24
Name des Moduls Nummer des Moduls
Datenbanken und Informationssysteme / Data Bases and Information 11LE13MO-2060_PO 2020
Systems
Veranstaltung
Datenbanken und Informationssysteme / Data Bases and Information Systems
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-2060

Veranstalter
Institut für Informatik, Datenbanken u. Informationssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 30

Inhalt
Die Übungen vertiefen den in der Vorlesung behandelten Stoff in Theorie und Praxis. Die Übungsblätter
enthalten auch am Computer zu lösende Aufgaben. Hierzu ist ein Vertrautmachen mit der benötigten Soft-
ware erforderlich.
|
The exercises deepen the subject matter dealt with in the lecture in theory and practice. The exercise
sheets also contain practical tasks to be solved on the computer. Familiarization with the required software
is required for this.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Die Übungen vertiefen den in der Vorlesung behandelten Stoff in Theorie und Praxis. Die Übungsblätter
enthalten auch am Computer zu lösende Aufgaben. Hierzu ist ein Vertrautmachen mit der benötigten Soft-
ware erforderlich.
Alle Aufgaben auf den Übungsblättern werden korrigiert. Für das Bestehen der Studienleistung müssen
mindestens 50% der Punkte auf den Übungsblättern erreicht werden.
|
The exercises deepen the subject matter dealt with in the lecture in theory and practice. The exercise
sheets also contain tasks to be solved on the computer. Familiarization with the required software is requi-
red for this.
The exercise sheets will be assessed. To pass the course, at least 50% of the points you can get by working
on the exercise sheets must be achieved.
Teilnahmevoraussetzung

25
Name des Moduls Nummer des Moduls
Foundations of Artificial Intelligence 11LE13MO-2040_PO 2020
Verantwortliche/r
JProf. Dr. Joschka Bödecker
Prof. Dr. Wolfram Burgard
Prof. Dr. Frank Roman Hutter
Prof. Dr. Bernhard Nebel
Dr. Michael Willi Tangermann

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
keine | none
Grundlagenkenntnisse in mathematischer Logik können hilfreich sein | Basic knowledge about formal logic
can be helpful

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Foundations of Artificial Intelligence Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Foundations of Artificial Intelligence Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
Students have basic knowledge of the various techniques of artificial intelligence. They understand the
basic principles of artificial intelligence and apply the technical terms in the correct context. Students are
able to interpret tasks in the area of problem solving and searching, and can apply the learned algorithms
to new situations. Students know the usual types of knowledge representation and are able to analyze the
techniques presented and evaluate their use in new situations.

26
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

27
Name des Moduls Nummer des Moduls
Foundations of Artificial Intelligence 11LE13MO-2040_PO 2020
Veranstaltung
Foundations of Artificial Intelligence
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-2040

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 41
Selbststudium 126
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
This course will introduce the basic concepts and techniques used within the field of Artificial Intelligence.
The following topics will be covered:
■ Introduction to Artificial Intelligence, including a short history of Artificial Intelligence
■ agents
■ problem solving and search
■ logic and knowledge representation
■ action planning
■ representation of and reasoning with uncertainty
■ machine learning
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übung | see Exercises
Literatur
■ Artificial Intelligence: A modern approach, Stuart Russel and Peter Norvig, Prentice Hall, 2009

28
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
keine | none
Grundlagenkenntnisse in mathematischer Logik können hilfreich sein | Basic knowledge about formal logic
can be helpful

29
Name des Moduls Nummer des Moduls
Foundations of Artificial Intelligence 11LE13MO-2040_PO 2020
Veranstaltung
Foundations of Artificial Intelligence
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-2040

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 13

Inhalt
The exercises are intended to give students a better understanding of the most important techniques they
learn during lectures by applying the principles and formal methods to real life tasks.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see lecture
Zu erbringende Studienleistung
Working on the exercise sheets is voluntary, but strongly recommended. The exam will contain similar
tasks.

Teilnahmevoraussetzung

30
Name des Moduls Nummer des Moduls
Image Processing and Computer Graphics 11LE13MO-2050_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Thomas Brox
Prof. Dr.-Ing. Matthias Teschner

Veranstalter
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Fundamental mathematical knowledge and programming skills in C/C++

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Image Processing and Computer Graphics Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Image Processing and Computer Graphics Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
Students have basic knowledge of the tasks and procedures in image processing and computer graphics.
They are able to classify typical image processing problems and questions of generative computer graphics
and to understand the main features of current related literature.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

31
Name des Moduls Nummer des Moduls
Image Processing and Computer Graphics 11LE13MO-2050_PO 2020
Veranstaltung
Image Processing and Computer Graphics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-2050

Veranstalter
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 41 Stunden
Selbststudium 126 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The lecture provides an introduction of basic approaches and illustrates the state-of-the-art in image proces-
sing and computer graphics. The curriculum covers image generation, point operations on images, linear
and non-linear filters, image segmentation, optical flow and techniques such as calculus of variations and
energy minimization. In the context of computer graphics, rasterization-based image generation, i.e. the ren-
dering pipeline of modern graphics cards, is covered. Here, homogeneous coordinates, transforms, color
spaces, rasterization, visibility, local illumination models and textures are addressed.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
Will be announced in each lesson.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Fundamental mathematical knowledge and programming skills in C/C++

32
Name des Moduls Nummer des Moduls
Image Processing and Computer Graphics 11LE13MO-2050_PO 2020
Veranstaltung
Image Processing and Computer Graphics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-2050

Veranstalter
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 13 Stunden

Inhalt
The exercises are intended to give students a better understanding of the most important techniques they
learn during lectures. They are expected to implement some selected methods in C/C++ and develop an
intuition of their usage.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none

Active participation in exercises is recommended.

Teilnahmevoraussetzung

33
Name des Moduls Nummer des Moduls
Introduction to Embedded Systems 11LE13MO-910_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernd Becker
Prof. Dr. Christoph Scholl

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in the field of technical informatics, analog and digital circuits, programming knowledge in
C / C ++

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Einführung in Embedded Systems / Intro- Vorlesung Pflicht 6,0 3.00 180 Stun-
duction to Embedded Systems den |
hours
Einführung in Embedded Systems / Intro- Übung Pflicht 1.00
duction to Embedded Systems

Qualifikationsziel
Students understand the specific properties of embedded systems, their architecture and components, their
hardware and software interface, the communication between components, basic analog-digital-analog con-
version methods, low-power designs and specification techniques. They will be able to specify embedded
systems with VHDL, statechart and petri-nets and reason about properties of the modeled system, and write
basic programs in C for an embedded platform.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

34
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

35
Name des Moduls Nummer des Moduls
Einführung in Embedded Systems / Introduction to Embedded Systems 11LE13MO-910_PO 2020
Veranstaltung
Einführung in Embedded Systems / Introduction to Embedded Systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-910

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 45 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Eingebettete Systeme gelten als die Schlüsselanwendung der Informationstechnologie in den kommen-
den Jahren und sind, wie der Name bereits andeutet, Systeme, bei denen Informationsverarbeitung in eine
Umgebung eingebettet ist und dort komplexe Regelungs-, Steuerungs- oder Datenverarbeitungsaufgaben
übernimmt.
Die Vorlesung beschäftigt sich mit grundlegenden Konzepten für Modellierung und Entwurf Eingebette-
ter Systeme. Sie behandelt u.a. Spezifikationssprachen und Methoden für Eingebettete Systeme (wie z.B.
Statecharts, Petrinetze, VHDL), Abbildung von Spezifikationen auf Prozesse, Hardware Eingebetteter
Systeme sowie Hardware-/Software-Codesign.
Es wird auf die Bauelemente eines Eingebetteten Systems eingegangen (z.B. Prozessoren, AD-/DA-Wand-
ler, Sensoren, Sensorschnittstellen, Speicher) und es werden Methoden zum Entwurf und zur Optimierung
der zugehörigen Schaltungen bezüglich Geschwindigkeit, Energieverbrauch und Testbarkeit vorgestellt.
|
Embedded Systems are considered the key application in information technology for the years to come. As
the name suggests, they are systems embedding information processing into an environment, where com-
plex control or data processing tasks are executed.
The lecture deals with the basic concepts for modelling and designing embedded systems. Among others it
covers specification languages and methods for embedded systems (such as statecharts, petri nets, VHDL),
the mapping of specifications on processes, hardware of Embedded Systems as well as hardware/software
codesign.
It addresses the construction elements of an embedded system (e.g. processors, AD/DA converters, sen-
sors, sensor interfaces, memory devices) and presents methods for the design and optimization of the asso-
ciated circuits with respect to speed, energy consumption and testability.

36
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
1. Marwedel, P.: Embedded System Design. Springer-Verlag New York, Inc., 2006.
2. Marwedel, P. ; Wehmayer, L.: Eingebettete Systeme. Springer-Verlag Berlin, 2007.
3. Ritter, J. ; Molitor, P.: VHDL - Eine Einführung. Pearson Studium, 2004.
4. Chang, K. C.: Digital Design and Modeling with VHDL and Synthesis. IEEE Computer Society Press,
1996.
5. Teich, J. ; Haubelt, C.: Digitale Hardware/Software-Systeme. Berlin : Springer-Verlag Berlin, 2007.
6. Baker, R. J.; Li, H. W.; Boyce, D. E.: CMOS Circuit Design, Layout, and Simulation. IEEE Press Series
on Microelectronic Systems, 1998.
7. Rabaey, J. M.; Chandrakasan, A. P.; Nikolic, B.: Digital Integrated Circuits. Prentice-Hall, 2003.
8. Tietze, U.; Schenk, C.: Halbleiter Schaltungstechnik. Springer-Verlag, 2002.
9. Weste, N.; Eshraghian, K.: Principles of CMOS VLSI Design; A Systems Perspective. Addison-Wesley,
1993.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundkennnisse im Bereich Technische Informatik, analoge und digitale Schaltkreise, Programmierkennt-
nisse in C / C++ |
Basic knowledge in the field of technical informatics, analog and digital circuits, programming knowledge in
C / C ++

37
Name des Moduls Nummer des Moduls
Einführung in Embedded Systems / Introduction to Embedded Systems 11LE13MO-910_PO 2020
Veranstaltung
Einführung in Embedded Systems / Introduction to Embedded Systems
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-910

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 15 Stunden

Inhalt
Die Übungen bestehen aus theoretischen Aufgaben und Programmieraufgaben, um die Methoden und Kon-
zepte der Vorlesung in praktischen Anwendungen einzusetzen.
|
The exercises consist of theoretical assignments and programming assignments, to apply the methods and
concepts from the lecture.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Die Studienleistung ist bestanden, wenn 50% der erreichbaren Punkte aus den Übungen erreicht sind. |

For passing the coursework (Studienleistung) it is necessary to reach 50% of all points from the exercises.
Teilnahmevoraussetzung

38
Name des Moduls Nummer des Moduls
Machine Learning 11LE13MO-1153_PO 2020
Verantwortliche/r
JProf. Dr. Joschka Bödecker
Prof. Dr. Frank Roman Hutter
Dr. Michael Willi Tangermann

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
We have to rely on a solid background in basic math, specifically linear algebra (an eigenvalue decomposi-
tion, matrix operations, covariance matrices etc. should be very familiar concepts), calculus and probability
theory.

We use the Python programming language for most of our assigments. If you do not yet have Python expe-
rience, you must ramp up at least basic knowledge thereof.

We recommend basic knowledge of optimization and of the scikit-learn Python library.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Machine Learning Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den
Machine Learning Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
This course provides you with a good theoretical understanding and practical experience about the basic
concepts of machine learning. You shall be enabled to implement a number of basic algorithms, understand
advantages and drawbacks of single methods and know typical application domains thereof. Furthermore,
you should be able to use (Python) software libraries in order to work on novel data analysis problems.

39
The course will prepare you to dive deeper into advanced methods of ML, e.g. deep learning, recurrent net-
works, reinforcement learning, hyperparameter optimization, and into specific application domains such as
image analysis, brain signal analysis, robot learning, bioinformatics etc., for which specialized courses are
available.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

40
Name des Moduls Nummer des Moduls
Machine Learning 11LE13MO-1153_PO 2020
Veranstaltung
Machine Learning
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1153

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45
Selbststudium 120
Workload 180 Stunden

Inhalt
■ Applications / typical problems dealt with by machine learning
■ basic data analysis pipeline (from data recording to output shaping)
■ software libraries
■ linear methods (e.g. LDA, logistic regression, ICA, PCA, OLSR) for dimensionality reduction, classifica-
tion, regression and blind source separation
■ non-linear methods (e.g. support vector machines, kernel PCA, decision trees / random forests, neural
networks) for classification and regression
■ unsupervised clustering (e.g. k-means, DBSCAN)
■ algorithm independent principles in machine learning (z.b. bias-variance trade-off, model complexity,
regularization, validation strategies, interpretation of trained machine learning models, basic optimization
approaches, feature selection, data visualization)
Lernziele / Lernergebnisse
This course provides you with a good theoretical understanding and practical experience about the basic
concepts of machine learning. You shall be enabled to implement a number of basic algorithms, understand
advantages and drawbacks of single methods and know typical application domains thereof. Furthermore,
you should be able to use (Python) software libraries in order to work on novel data analysis problems.

The course will prepare you to dive deeper into advanced methods of ML, e.g. deep learning, recurrent net-
works, reinforcement learning, hyperparameter optimization, and into specific application domains such as
image analysis, brain signal analysis, robot learning, bioinformatics etc., for which specialized courses are
available.

41
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination with a duration of 35 minutes
Zu erbringende Studienleistung
see excercise
Literatur
Duda, Hart and Stork: Pattern Classification
Christopher Bishop: Pattern Recognition and Machine Learning
Hastie, Tibshirani and Friedman: The Elements of Statistical Learning
Mitchell: Machine Learning
Murphy: Machine Learning – a Probabilistic Perspective
Criminisi et. al: Decision Forests for Computer Vision and Medical Image Analysis
Schölkopf & Smola: Learning with Kernels
Goodfellow, Bengio and Courville: Deep Learning
Michael Nielsen: Neural Networks and Deep
Learning

In addition, literature for every section of the course is announced during these sections.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
We have to rely on a solid background in basic math, specifically linear algebra (an eigenvalue decomposi-
tion, matrix operations, covariance matrices etc. should be very familiar concepts), calculus and probability
theory.

We use the Python programming language for most of our assigments. If you do not yet have Python expe-
rience, you must ramp up at least basic knowledge thereof.

We recommend basic knowledge of optimization and of the scikit-learn Python library.

Lehrmethoden
For in-class lectures:

Despite the large lecture rooms, a teacher-centered style shall be enriched as much as possible by measu-
res like:

■ interactive question and answer rounds

■ discussions in sub-groups, reporting to the large group
■ cross-teaching
■ problem-oriented teaching e.g. via data analysis competition
■ repetition of important concepts in slightly altered contexts.

For virtual lectures:

■ flipped classroom teaching with videos provided
■ Q&A sessions to discuss the videos' content
■ Cross-teaching via Ilias forum
■ problem-oriented teaching e.g. via data analysis competition
■ repetition of important concepts in slightly altered contexts.
Zielgruppe
Advanced BSc., MSc. students and PhD students

42
Name des Moduls Nummer des Moduls
Machine Learning 11LE13MO-1153_PO 2020
Veranstaltung
Machine Learning
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1153

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 15

Inhalt
The exercises are intended to give students a better understanding of the most important techniques they
learn during lectures. They are expected to implement some selected methods to gain experience in practi-
cal applications.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Passing an oral or written examination.
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

43
Name des Moduls Nummer des Moduls
Software Engineering 11LE13MO-2030_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Andreas Podelski
Prof. Dr. Peter Thiemann

Veranstalter
Institut für Informatik, Programmiersprache
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge about practical Computer Science concepts, algorithms and datastructure,
Programming Skills

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Softwaretechnik / Software Engineering Vorlesung Pflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Softwaretechnik / Software Engineering Übung Pflicht 1.00

Qualifikationsziel
Students know the basic modeling techniques and construction principles for software systems, they have
an overview over the challenges of software engineering and the techniques and tools to address these
challenges. They have knowledge of the main activities during software development (in particular project
management, requirements engineering, design, testing, formal verification) with an emphasis on formal
methods. Students know the foundations of process models, software metrics, approaches to requirements
specification and analysis, (formal) modelling and analysis techniques, design and architecture patterns,

testing, and program verification, and can apply these techniques on a small scale and can acquire advan-
ced techniques on their own. Students have applied formal methods in example scenarios and are able to
assess in which situations such methods are useful.

44
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

45
Name des Moduls Nummer des Moduls
Softwaretechnik / Software Engineering 11LE13MO-2030_PO 2020
Veranstaltung
Softwaretechnik / Software Engineering
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-2030

Veranstalter
Institut für Informatik, Programmiersprache
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 40
Selbststudium 127
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Software engineering is "the application of engineering to software". This lecture provides knowledge of the
fundamental techniques in software engineering:
Revision Control, Process Models, Requirements Analysis, Formal and Semiformal Modeling Techniques,
Object Oriented Analysis, Object Oriented Design, Design Patterns, Testing.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übung | see Exercises
Literatur
■ Ludewig, J. and Lichter, H. Software Engineering
■ Jacobson, I. et al. Object Oriented Software-Engineering - A Use Case Driven Approach
■ Davis, A. Software Requirements - Analysis and Specification
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge about practical Computer Science concepts, algorithms and datastructure,

46
Programming Skills

(for Bachelor of Science: Participation in Softwarepraktikum)

47
Name des Moduls Nummer des Moduls
Softwaretechnik / Software Engineering 11LE13MO-2030_PO 2020
Veranstaltung
Softwaretechnik / Software Engineering
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-2030

Veranstalter
Institut für Informatik, Programmiersprache
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 13

Inhalt
The exercises consist of theoretical assignments and programming assignments, to apply the methods and
concepts from the lecture.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Um die Studienleistung zu bestehen, müssen mindestens 50% der Punkte aus den Übungsblättern erreicht
werden. |
50% of the total points from the exercise sheets are sufficient
Teilnahmevoraussetzung

48
Name des Kontos Nummer des Kontos
Advanced Microsystems Engineering
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

ECTS-Punkte 18 to 36 credits
Benotung

Kommentar
Students have to choose at least 3 lectures from the following selection of Microsystems Engineering
lectures. They can take at most 6 of these lectures.
• Assembly and Packaging Technology
• Micro-electronics
• Micro-mechanics
• Micro-optics
• Modelling and System Identifcation
• MST Technologies and Processes
• Sensors
• Signal Processing
Together with the chosen courses in the Microsystems Engineering Concentration Areas, the amount of
ECTS credits must not surpass 54.

Overall, the limit of ECTS credits is 90 for the areas of

• Essential Lectures in Computer Science
• Elective Courses in Computer Science
• Advanced Microsystems Engineering
• Microsystems Engineering Concentration Areas

49
Name des Moduls Nummer des Moduls
Assembly and packaging technology 11LE50MO-7700/986 PO 2021
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Wilde

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Assembly and packaging technology Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
Assembly and packaging technology Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
Using the example of packaging and interconnection technology, the realization step from basically functio-
ning microsystems to industrial products is demonstrated. In addition, an overview is given of the main tech-
nologies that are frequently used for the realization of demonstrators within the scope of the master's thesis.
AVT is a complex technology that serves to generate the hardware of electronic systems. This technology
draws directly from materials science, manufacturing technology, engineering mechanics and also electri-
cal engineering. The aim of this module is to build operationally higher integrated systems by integrating
and contacting a functional element and at the same time providing a barrier to protect it from environmental
influences.

The main learning objective is to understand the manufacturing technologies for electronic hardware and
specifically for microsystems using modern industrial manufacturing processes. Another important learning
objective is the knowledge of the concepts for the design and optimization of the assembly and interconnec-
tion technology in microsystems technology, taking into account functionality, service life, stress and opera-
ting conditions, and the ability to apply them to one's own scientific questions. The learning objective is also
to qualify students specifically for the practical questions on assembly and interconnection technology that
frequently arise during the master's thesis.

50
Name des Moduls Nummer des Moduls
Assembly and packaging technology 11LE50MO-7700/986 PO 2021
Veranstaltung
Assembly and packaging technology
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-7700/986_2018
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 hours

Inhalt
Assembly and packaging comprises a complex technology which aims at the fabrication of electronic hard-
ware. This technology is mainly based on Materials Science and Engineering, Mechanical and Electrical
Engineering. The target is to connect a functional element to an application and at the same time to protect
it from the environment.
Fabrication technologies comprise assembly, joining and interconnection, while the main constructional ele-
ments are substrates, housings or packages. For all of these present days' state of the art is presented and
the fundamental requirements are demonstrated. So the students will get an overview of the basic manufac-
turing operations and the required materials in order to integrate electronic hardware.
Besides, it is indispensable that knowledge about modern techniques for design optimisation will be taught.
Electronic systems must fulfil specifications concerning integration density, high frequency behaviour, ther-
mal management, thermal-mechanical behaviour and lifetime. To that purpose, the basic techniques for per-
formance and reliability optimization will be regarded. In this way, it is desired that the students will become
capable of finding own solutions in the field of assembly and packaging of microsystems.
The course comprises the following
1. Housing and packaging technologies - Hermetic and plastic packaging, wafer-level packaging
2. Substrates - Printed circuit boards, multi-chip-modules, moulded interconnect devices
3. Assembly technologies - Surface mount technology, adhesive bonding
4. Interconnection technology - Wire bonding, flip-chip-bonding
5. Electromagnetic compatibility EMC -Integrity and speed of electrical signals and equivalent circuits
6. Thermal management -Temperature problems and cooling techniques
7. Mechanical optimization -Stress-affected problems, solder joint reliability
Zu erbringende Prüfungsleistung
written examination (150 minutes)

Zu erbringende Studienleistung

51
see exercise
Literatur
■ An English manuscript will be made available in printed and in electronic form. Sources of information
and references for the various fields are given in the manuscript.
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

52
Name des Moduls Nummer des Moduls
Assembly and packaging technology 11LE50MO-7700/986 PO 2021
Veranstaltung
Assembly and packaging technology
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-7700/986_2018
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The exercise helps to reinforce the teaching contents of the lecture. It is the aim that students will be enab-
led to apply the acquired competences to relevant applications of assembly, packaging and interconnection
technology like power electronics or sensor systems. To that purpose specific tasks will be exercised, which
help to create suitable application-specific packaging concepts. Also it will be important to select the corre-
sponding materials and fabrication processes properly. A highly relevant aspect is the capability to evaluate
assembly and packaging concepts quantitatively with respect to the relevant performance parameters. Such
criteria comprise a signal's time-of-flight, the thermal resistance, stress level, and life-time.
Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung
The exercise is passed when the student obtains 50 % of the points that can be obtained from the exercise
sheets.
Teilnahmevoraussetzung
keine

53
Name des Moduls Nummer des Moduls
Micro-electronics 11LE50MO-7050/986 PO 2021
Verantwortliche/r
Dr.-Ing. Matthias Keller

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Mechanische Werkstatt

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in electrical engineering and good knowledge in electronics, particularly with regard to the
following topics:
■ semiconductor diode
■ bipolar transistor
■ MOS transistor
■ operational amplifier
■ digital circuit design
■ logic gates & logic families
■ sequential circuits

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Micro-electronics Vorlesung Pflicht 6,0 2.00 workload:
180 hours
Micro-electronics Übung Pflicht 2.00

Qualifikationsziel
Having attended the module, the students will be able to understand and to design widely used basic analog
integrated circuits like current mirrors and differential amplifiers. The students understand the physical prin-
ciples and the use of MOS transistors in circuits and are able to build simple circuits. Furthermore, they will
be able to analyze microelectronic systems on block and on transistor level.

54
Name des Moduls Nummer des Moduls
Micro-electronics 11LE50MO-7050/986 PO 2021
Veranstaltung
Micro-electronics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-7050/986

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload workload: 180 hours

Inhalt
This course covers the fundamentals of microelectronics for analog circuits. It starts with a review of the
CMOS process and the available components. Then, current sources, single stage amplifiers and differen-
tial amplifiers are discussed in time and frequency domain. The presentation of basic circuit concepts and
their enhancements is completed with an introduction into analog circuit layout and a discussion of electro-
nic noise in circuits.
At last, applications of the presented circuits are shown, with a special focus on MEMS sensor readout.
List of contents:
1. Introduction and review of CMOS technology and available components
2. Small signal equivalent circuit
3. Current sources
4. Single stage amplifier and its frequency behavior
5. Differential amplifiers
6. Noise in electronic circuits
7. Analog layout
8. MEMS Applications
Zu erbringende Prüfungsleistung
written examination with a duration of 120 minutes
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
1. Allen, Holberg: CMOS Analog Circuit Design, Oxford University Press

55
2. Sedra, Smith: Microelectronic Circuits, Oxford University Press
3. Razavi: Design of Analog CMOS Integrated Circuits, McGraw-Hill Higher Education
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in electrical engineering and good knowledge in electronics, particularly with regard to the
following topics:
■ semiconductor diode
■ bipolar transistor
■ MOS transistor
■ operational amplifier
■ digital circuit design
■ logic gates & logic families
■ sequential circuits

56
Name des Moduls Nummer des Moduls
Micro-electronics 11LE50MO-7050/986 PO 2021
Veranstaltung
Micro-electronics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-7050/986

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none

57
Name des Moduls Nummer des Moduls
Micromechanics 11LE50MO-7100/986 PO 2021
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Lars Pastewka

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Simulation
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Participants of this module have knowledge in mathematical analysis and linear algebra (basic calculus,
vector operations, matrices, tensors, …) and basic physics (forces, momenta, …).

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Micromechanics Vorlesung Pflicht 2.00 workload
180 hours
Micromechanics Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
The student...

...understands the relationship between displacement, strain and strain energy density.

...can formulate and solve the equations for static force equilibrium of rigid and elastically deformable
bodies.

58
Name des Moduls Nummer des Moduls
Micromechanics 11LE50MO-7100/986 PO 2021
Veranstaltung
Micromechanics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-7100/986

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Simulation
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload workload 180 hours

Inhalt
This course is an introduction into the mechanics of structures and materials with a focus on mechanics at
small scales. The lecture contains:

■ Statics: force systems, force couples, moments, bearings, internal force variables, free body diagrams,
distributed loads
■ Elastostatics: stress, force equilibrium, stress invariants, displacement, strain, Hooke’s law, strain energy,
compatibility, plane problems, Airy stress function, Westergaard stress function
■ Beams & Plates: Euler-Bernoulli beam theory, buckling of beams, Kirchhoff plate theory
■ Failure & Cracks: yield criteria, fracture modes, near-field solution, fracture toughness, strain energy
release rate, Griffith criterion
Zu erbringende Prüfungsleistung
The final examination will be written and of 150 minutes duration.
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
J.R. Barber, “Elasticity”, Kluwer Academic Publishers, 2012

P.C. Chou, N.J. Pagano, “Elasticity: Tensor, Dyadic, and Engineering Approaches”, Dover, 1992

D. Gross, W. Hauger, J. Schröder, W.A. Wall, J. Bonet, “Engineering Mechanics 2: Mechanics of Materials”,
Springer, 2011

59
D. Gross, T. Seelig, “Fracture Mechanics: With an Introduction to Micromechanics”, Springer, 2017

L.D. Landau, L.P. Pitaevskii, A.M. Kosevich, E.M. Lifshitz, “Theory of Elasticity”, Butterworth-Heinemann,
1986

J.L. Meriam, L.G. Kraige, “Engineering Mechanics: Statics”, John Wiley & Sons, 2014

S.P. Timoshenko, J.N. Goodier, “Theory of Elasticity”, McGraw Hill, 1987

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Participants of this module have knowledge in mathematical analysis and linear algebra (basic calculus,
vector operations, matrices, tensors, …) and basic physics (forces, momenta, …).

60
Name des Moduls Nummer des Moduls
Micromechanics 11LE50MO-7100/986 PO 2021
Veranstaltung
Micromechanics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-7100/986

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Simulation
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The exercises will practice the contents of the lecture with sample problems. The lectures largely introduce
the theoretical framework of mechanics analysis, while the exercise provides students the opportunity to
engage with applied problems. Due to limitations in both lecture and exercise time, however, it is strongly
recommended that students practice problems on their own as well. Exercise problems will not be graded or
count toward the final course grade. Exercise problems will give students practice in utilizing and synthesi-
zing multiple concepts in solving practical problems.
Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none

61
Name des Moduls Nummer des Moduls
Micro-optics 11LE50MO-7600/986 PO 2021
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Hans Zappe

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Micro-optics Vorlesung Wahlpflicht 2.00 180 hours
Micro-optics Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
Optics is the science and engineering of light and is one of the most important technical disciplines with
wide-ranging applications in both basic science and in industrial application.
Micro-optics is optics for microsystems, small-scale components and systems which bring light into MEMS.
This course will introduce the physics of light, the concepts of optics and optical components and their use
in a broad variety of microsystems.
The instructional aim of the course Micro-optics is the establishment of competence in basic optics, inclu-
ding optical components and systems, and generation of the ability to incorporate optical concepts into
MEMS.
At the completion of the course, the successful student should possess:
• a basic understanding of electromagnetic radiation and its interaction with matter;
• the ability to analyze and understand the most important optical components and their functionality;
• expertise in the analysis of fundamental lens combinations;
• the ability to design and calculate the behavior of simple optical systems;
• an awareness of the most important fabrication and assembly processes used in optics;
• the ability to understand and apply micro-optical components and concepts in microsystems.

62
Name des Moduls Nummer des Moduls
Micro-optics 11LE50MO-7600/986 PO 2021
Veranstaltung
Micro-optics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-7600/986

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 hours

Inhalt
This course covers the fundamentals of micro-optics with a focus on implementation and application in opti-
cal microsystems. Following an overview of the relevant basic mathematics and electromagnetics, we will
consider optical phenomena including Gaussian optics, optical interfaces and materials. The core of the
course consists of an in-depth presentation of reflective, geometric, diffractive and integrated optics. In each
section, both the basic optical components as well as their application in microsystems are considered.

Table of contents:

1. Electromagnetic waves
2. Light waves & beams
3. Optical materials
4. Optical interfaces
5. Reflective optics
6. Refractive optics
7. Refractive components
8. Refractive systems
9. Diffractive optics
10. Diffractive components
11. Waveguide optics
12. Fiber optics
13. Fabrication

Zu erbringende Prüfungsleistung

63
Written examination with a duration of 120 minutes

Zu erbringende Studienleistung
see exercise
Literatur
English:
• H. Zappe: Fundamentals of Micro-optics
• E. Hecht: Optics
• R. Hunsperger: Integrated Optics
• B. Saleh & M. Teich: Fundamentals of Photonics
• S. Sinzinger & J. Jahns: Microoptics
• W. Smith: Modern Optical Engineering
• H. Zappe: Introduction to Semiconductor Integrated Optics
In German:
• E. Hecht: Optik
• G. Litfin: Technische Optik in der Praxis
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

64
Name des Moduls Nummer des Moduls
Micro-optics 11LE50MO-7600/986 PO 2021
Veranstaltung
Micro-optics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-7600/986

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The curriculum of practice serves to deepen the learning material micro-optics.

Zu erbringende Prüfungsleistung
The exercises have been passed if at least 50% of the exercise sheets have been prepared and submitted
as well as if 50% of the practice sessions were attended. The grade is then calculated from the average of
all points from all exercise sheets.
Zu erbringende Studienleistung

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

65
Name des Moduls Nummer des Moduls
Modelling and System Identification 11LE50MO-2080 PO 2021
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Modellbildung und Systemidentifikation / Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
Modelling and System Identification
Modellbildung und Systemidentifikation / Übung Wahlpflicht 2.00
Modelling and System Identification

Qualifikationsziel
Aim of the module is to enable the students to create and identify models that help to describe and predict-
the behaviour of dynamic systems. In particular, students shall become able to use input-output measure-
ment data in form of time series to identify unknown system parameters and to assess the validity and accu-
racy of the obtained models.

66
Name des Moduls Nummer des Moduls
Modelling and System Identification 11LE50MO-2080 PO 2021
Veranstaltung
Modellbildung und Systemidentifikation / Modelling and System Identification
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-2080

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60 hours
Selbststudium 120 hours
Workload 180 hours

Inhalt
Linear and Nonlinear Least Squares, Maximum Likelihood and Bayesian Estimation, Cramer-Rao-Inequa-
lity,
Recursive Estimation, Dynamic System Model Classes (Linear and Nonlinear, Continuous and Discrete
Time, State Space and Input Output, White Box and Black Box Models), Application of identification
methods to several case studies. The lecture course will also review necessary concepts from the three
fields Statistics, Optimization, and Systems Theory, where needed.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (180 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
see exercise
Literatur
1. Lecture manuscript
2. Ljung, L. (1999). System Identification: Theory for the User. Prentice Hall
3. Lecture manuscript "System Identification" by J
Teilnahmevoraussetzung
None

Empfohlene Voraussetzung

67
Undergraduate knowledge in analysis, algebra, differential equations as well as in systems theory and feed-
back control.

68
Name des Moduls Nummer des Moduls
Modelling and System Identification 11LE50MO-2080 PO 2021
Veranstaltung
Modellbildung und Systemidentifikation / Modelling and System Identification
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-2080

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The exercises accompany the lecture content and are mostly computer exercises and case studies.
Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung
The course work is successfully completed if both of the following criteria are met:

1) Passing the exercise: For each exercise sheet, the achieved points are determined in percentage points
with respect to the maximum score of the respective exercise sheet. The two exercise sheets with the
lowest percentage points achieved will not be included in the assessment. The exercise is considered pas-
sed if the average of the achieved percentage points in the remaining exercise sheets is at least 50 percen-
tage points.

2) Passing the micro-examinations: For each micro-examination, the points achieved are determined in per-
centage points with respect to the maximum number of points. The micro-exam in which the fewest percen-
tage points were obtained will not be included in the evaluation. The microclauses are considered passed
if the average of the percentage points achieved in the remaining microclauses is at least 50 percentage
points.

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

69
Name des Moduls Nummer des Moduls
MST technologies and processes 11LE50MO-7250 PO 2021
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Claas Müller
Prof. Dr.-Ing. Bastian Rapp

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
MST technologies and processes Vorlesung Pflicht 2.00 180 hours
MST technologies and processes Übung Pflicht 1.00

Qualifikationsziel
It is the learning target that students will have a sound understanding of the fundamentals of MEMS techno-
logies. They will know
■ the physical and technological background of microsystems processing
■ process flows for the fabrication of MEMS elements
■ principals of material sciences (silicon and other semiconductors)
■ principals of clean-room and vacuum technologies

Also the students will be able to apply this knowledge practically to own designs, and especially in the MST
design laboratories.
Literatur
Marc Madou: Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, CRC Press; 3 edition (August 1,
2011), ISBN 978-0849331800
Menz, Mohr, Paul: Microsystem Technology, Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA; Edition: 1 edition
(February 15, 2001), ISBN 978-3527296347

70
Name des Moduls Nummer des Moduls
MST technologies and processes 11LE50MO-7250 PO 2021
Veranstaltung
MST technologies and processes
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-7250

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 hours

Inhalt
The content of the course:
■ overview of MEMS processing (silicon, polymers)
■ mechanical, chemical and physical properties of silicon
■ cleanrooms – layout, function and operational procedures
■ lithographic methods: physical background, optical lithography, ebeam lithography, x-Ray lithography
■ vacuum technology, thin film and etching processes: physical and chemical background, Oxidation,
Doping, Implantation, Physical Vapor Deposition (PVD), Chemical Vapor Deposition (CVD), Chemical
etching processes. Plasma and reactive ion etching (RIE)
■ surface and bulk micromachinig (process chains)
■ back end processing: wafer bonding, dicing
■ assembly and packaging
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written examination with a duration of 120 minutes
Zu erbringende Studienleistung
see exercises
Literatur
Marc Madou: Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, CRC Press; 3 edition (August 1,
2011), ISBN 978-0849331800

71
Menz, Mohr, Paul: Microsystem Technology, Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA; Edition: 1 edition
(February 15, 2001), ISBN 978-3527296347
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

72
Name des Moduls Nummer des Moduls
MST technologies and processes 11LE50MO-7250 PO 2021
Veranstaltung
MST technologies and processes
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-7250

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung
Within the practical course of this lecture, students will be assembled in teams and given an assignment to
perform. The assignment will stem from the context of the lecture and will be solved by the teams indepen-
dently under supervision of the professor. The assignment will be documented in a 4-page summary repor-
ted which will be graded and corrected. The result will then be presented in a 10-15 minute presentation.
Teilnahmevoraussetzung
keine

73
Name des Moduls Nummer des Moduls
Sensors 11LE50MO-7500/986 PO 2021
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Gerald Urban

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in physics, mathematics and materials

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Sensors Vorlesung Wahlpflicht 2.00 180 hours
Sensorik und Aktorik - Praktikum / Sensors Praktikum Wahlpflicht 1.00
- Laboratory

Qualifikationsziel
Participants should exhibit a comprehensive overview over all technical sensor types, their working princip-
les, measurement ranges, accuracies,
their realization technologies. Thermodynamics and material based conversion principles for sensor functi-
ons.
Students should be enabled to select, apply, optimise, existing sensor types and establish sensor signal
handling for a specific task. Furthermore, they should gain abilities to develop novel sensor types and tech-
nologies for their realization.

74
Name des Moduls Nummer des Moduls
Sensors 11LE50MO-7500/986 PO 2021
Veranstaltung
Sensors
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-7500/986

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 hours

Inhalt
The lecture Sensors gives an overview about methods and technologies creating sensors and actuators
focussing on micro-technology.
In the lecture, an introduction in basics of sensor principles is given starting with bionic principles, thermody-
namics as sensor theory and also close insights into industrial sensors and production technologies are pro-
vided. Emphasis is laid on micro technological technologies and methods.
The lecture covers physical sensors as temperature, radiation, force, pressure and gear rate. Also magne-
tic sensors , optical sensors and position and angular arte sensors are presented. The very actual topics of
chemo-, gas- and biosensors complete the lecture.
Additionally electronic interfaces, linearization procedures and applications will be communicated.
Examples of university and industrial environment will be demonstrated and the problems occurring in real
life discussed.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written or oral examination

Zu erbringende Studienleistung
see exercise
Teilnahmevoraussetzung
none

Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in physics, mathematics and materials

75
Name des Moduls Nummer des Moduls
Sensors 11LE50MO-7500/986 PO 2021
Veranstaltung
Sensorik und Aktorik - Praktikum / Sensors - Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-7500

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
For each experiment there will be an assessment of the work done during the lab course. For each protocol
a grade is assigned to the student who is responsible for the protocol.

Zu erbringende Studienleistung
For each experiment there will be a short written test with a grade for the individual student, the test is pas-
sed, if 50% of the max. points have been acquired.
Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in physics, mathematics and materials

76
Name des Moduls Nummer des Moduls
Signal processing 11LE50MO-7400 PO 2021
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Stefan Rupitsch

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Professur für Elektrische Messtechnik und Eingebettete Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Good knowledge in mathematics (complex numbers, trigonometry, calculus, linear algebra, circuit analysis,
differential equations).

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Signal processing - Vorlesung Vorlesung Pflicht 2.00 180 hours
Signal processing - Übung Übung Pflicht 1.00

Qualifikationsziel
With this module students will be able to mathematically model the propagation of signals in electronic
systems, enabling them to optimize their design. In particular, students will be able to design and test ana-
log and digital filters.

77
Name des Moduls Nummer des Moduls
Signal processing 11LE50MO-7400 PO 2021
Veranstaltung
Signal processing - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-7400

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Professur für Elektrische Messtechnik und Eingebettete Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 hours

Inhalt
The purpose of the course is to teach students how to mathematically model the propagation of signals
through electrical systems. The following topics will be covered in the course:
Matlab, Analog networks, Network analysis, Convolution, Impulse response, Signal response, Freq
response, Bode plot, Phasors, Transfer functions, Pole-zero plot, System response, Stability, Laplace trans-
form, Analog Filter design, Sampling, Quantizing, Analog to digital converter, Digital to analog converter,
Digital networks, Z transform, Digital filter design, Digital signal processor, Fourier series, Fourier transform,
Discrete Fourier transform, Fast Fourier transform, and Windowing.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (Klausur), 120 minutes
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
In English:
■ Denbigh, Philip: System Analysis and Signal Processing
■ Mertins: Signal Analysis
■ Mitra: Digital Signal Processing
■ Kay: Fundamentals of statistical signal processing & Modern spectral estimation
■ Ingle, Proakis: Digital Signal Processing using MATLAB

78
In German:
■ Butz, Tilman: Fouriertransformation für Fußgänger
■ Daniel Ch. von Grüningen: Digitale Signalverarbeitung, Fachbuchverlag Leipzig
■ E. Schrüfer: Signalverarbeitung, Hanser Verlag
■ R. Scheithauer: Signale und Systeme, Teubner Stuttgart
■ Kammeyer, Kroschel: Digitale Signalverarbeitung
■ Einführung in MATLAB, Skript zu den Übungen Signalverarbeitung SS2005
■ Vorlesungsskript Signalverarbeitung SS2005
■ Oppenheim, Schafer: Zeitdiskrete Signalverarbeitung
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Good knowledge in mathematics (complex numbers, trigonometry, calculus, linear algebra, circuit analysis,
differential equations).

79
Name des Moduls Nummer des Moduls
Signal processing 11LE50MO-7400 PO 2021
Veranstaltung
Signal processing - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-7400

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Professur für Elektrische Messtechnik und Eingebettete Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Good knowledge in mathematics (complex numbers, trigonometry, calculus, linear algebra, circuit analysis,
differential equations).

80
Name des Kontos Nummer des Kontos
Elective Courses in Computer Science
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

ECTS-Punkte 18 to 36 credits
Benotung

Kommentar
Students have to take at least 3 Specialization Courses in Computer Science.

Together with the chosen Essential Courses in Computer Science, the amount of ECTS credits must not
surpass 54.

Overall, the limit of ECTS credits is 90 for the areas of

• Essential Lectures in Computer Science
• Elective Courses in Computer Science
• Advanced Microsystems Engineering
• Microsystems Engineering Concentration Areas

81
Name des Moduls Nummer des Moduls
Advanced Algorithms 11LE13MO-1326_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Fabian Kuhn

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
some background in algorithm design/analysis and probability theory is expected (as gained in the course
"Algorithms Theory")

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Advanced Algorithms Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
Advanced Algorithms Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
Students have advanced knowlegde about modern algorithmic techniques. They know the advantages and
disadvantages of various methods for different applications.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

82
Name des Moduls Nummer des Moduls
Advanced Algorithms 11LE13MO-1326_PO 2020
Veranstaltung
Advanced Algorithms
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1326

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 28
Selbststudium 124
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
In the course, we discuss modern algorithmic techniques. The course covers a variety of topics, such as for
example:

- approximation algorithms
- randomized algorithms
- graph embeddings
- graph sparsification
- theory of learningk
- sketching and streaming algorithms
- continuous methods in combinatorial optimization
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral exam (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
Literature will be provided in the lecture.
Teilnahmevoraussetzung
none

83
Empfohlene Voraussetzung
There is no formal requirement, however some background in algorithm design/analysis and probability
theory is expected. Having passed the algorithm theory course (or a similar course) prior to taking the
advanced algorithms lecture is highly recommended.

84
Name des Moduls Nummer des Moduls
Advanced Algorithms 11LE13MO-1326_PO 2020
Veranstaltung
Advanced Algorithms
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1326

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 28

Inhalt
The lecture will be complemented by theoretical exercises that allow to apply and further develop ideas and
techniques discussed in the lecture. The exercises are an integral part of the lecture, the topics covered by
the exercises will also be part of the oral exam. There are two graded homework assignments that count
30% towards the final grade of the course.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung

85
Name des Moduls Nummer des Moduls
Advanced Computer Graphics 11LE13MO-1106_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Matthias Teschner

Veranstalter
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Programming skills
Knowledge in Algorithms and Data Structures, Linear Algebra and Analysis
Knowledge in Image Processing and Computer Graphics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Advanced Computer Graphics Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
Advanced Computer Graphics Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
Students know the main concepts for image synthesis as well as global illumination approaches. They are
able to use formal governing equation and solution techniques and know how to describe light. They know
bidirectional reflectance distribution functions for material modeling and can apply Monte-Carlo techniques
for approximately solving the rendering equation that describes the interaction of light with surfaces.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

86
Name des Moduls Nummer des Moduls
Advanced Computer Graphics 11LE13MO-1106_PO 2020
Veranstaltung
Advanced Computer Graphics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1106

Veranstalter
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 Stunden
Selbststudium 90 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The course addresses all aspects of the raytracing technique. The curriculum covers photometric quantities
to describe light, bidirectional reflectance distribution functions for material modeling and Monte-Carlo tech-
niques for approximately solving the rendering equation that describes the interaction of light with surfaces.
The curriculum also addresses the homogeneous notation, spatial data structures for ray-object intersecti-
ons and sampling strategies.

Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
■ Dutre, Bala, Bekaert: Advanced Global Illumination, A K Peters, 2006
■ Pharr, Humphreys: Physically Based Rendering, Elsevier, 2010
■ Shirley, Keith Morley: Realistic Ray Tracing, A K Peters, 2003
■ Suffern: Ray Tracing From The Ground Up, A K Peters, 2007
■ Foley, vanDam, Feiner, Hughes: Computer Graphics - Principles and Practice -, Addison Wesley, ISBN
0-201-84840-6
■ Tomas Moller and Eric Haines: Real-Time Rendering, A. K. Peters Limited, 1999, ISBN 1-56881-182-9

87
■ David F. Rogers: Procedural Elements for Computer Graphics, McGraw-Hill, 1998, ISBN 0-07-053548-5
■ OpenGL Programming Guide, Second Edition, Addison-Wesley, 1997, ISBN 0-201-461138-2
Teilnahmevoraussetzung

Empfohlene Voraussetzung
Programming skills
Knowledge in Algorithms and Data Structures, Linear Algebra and Analysis
Knowledge in Image Processing and Computer Graphics

88
Name des Moduls Nummer des Moduls
Advanced Computer Graphics 11LE13MO-1106_PO 2020
Veranstaltung
Advanced Computer Graphics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1106

Veranstalter
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 Stunden

Inhalt
Practical development of ray tracing components based on concepts from lectures
Zu erbringende Prüfungsleistung
see Lectures
Zu erbringende Studienleistung
none (voluntary work)
Teilnahmevoraussetzung

89
Name des Moduls Nummer des Moduls
Advanced Database and Information Systems 11LE13MO-1345_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Georg Lausen

Veranstalter
Institut für Informatik, Datenbanken u. Informationssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Foundations in databases and information systems

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Advanced Database and Information Lehrveranstaltung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
Systems den |
hours
Advanced Database and Information Übung Wahlpflicht 2.00
Systems

Qualifikationsziel
Students know advanced, system-oriented as well as theoretical aspects of databases and information
systems. They know fundamental techniques for storing, interchanging and querying data. They can apply
them, but also how to adapt them to slightly different circumstances. They can know common JSON and
XML standards and can choose the best way to apply them in different usage scenarios. Practical applica-
tion using SQL is part of their expertise.

90
Name des Moduls Nummer des Moduls
Advanced Database and Information Systems 11LE13MO-1345_PO 2020
Veranstaltung
Advanced Database and Information Systems
Veranstaltungsart Nummer
Lehrveranstaltung 11LE13V-1345

Veranstalter
Institut für Informatik, Datenbanken u. Informationssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30
Selbststudium 90
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The course introduces into advanced topics of Databases and Information Systems. The course covers
systemoriented and theoretical aspects, e.g.:

Systems:
- JSON and XML standard, language families and processing using SQL
- NoSQL and columnar datastores
- SQL on top of compute clusters: basics, HDFS, Parquet, Hive and SparkSQL

Theory:
- Equivalence Relational Algebra and Relational Calculus
- Conjunctive queries, containment and Chase
- Datalog families

Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral exam (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
see exercises
Literatur
High-quality literature for each topic can be found on the Web. Students are encoraged to make their own
selections.

91
Teilnahmevoraussetzung

Empfohlene Voraussetzung
Sehr gute Kenntnisse in Databases and Information Systems werden erwartet

92
Name des Moduls Nummer des Moduls
Advanced Database and Information Systems 11LE13MO-1345_PO 2020
Veranstaltung
Advanced Database and Information Systems
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1345

Veranstalter
Institut für Informatik, Datenbanken u. Informationssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30

Inhalt
Exercises give the students opportunities to deepen their understanding of the course material. Practical
exercises will demonstrate the specific problems arising when applying the methods on reals data.
Students are encoraged to present their own solutions.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see lectures
Zu erbringende Studienleistung
Students pass the coursework when they have presented at least one correct solution.
Teilnahmevoraussetzung

93
Name des Moduls Nummer des Moduls
Analyse von Life Science Hochdurchsatzdaten mit Galaxy 11LE13MO-1340_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rolf Backofen

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in bioinformatics

It is recommended to take the Bioinformatics I lecture before attending this course.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Analyse von Life Science Hochdurchsatz- Lehrveranstaltung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
daten mit Galaxy - Praktische Übung

Qualifikationsziel
Students can use Galaxy (open source, webbased platform for data intensive biomedical research) for big
data analysis as needed for biological and medical research. They know data analysis concepts for DNA
and RNA and can visualize results.

94
Name des Moduls Nummer des Moduls
Analyse von Life Science Hochdurchsatzdaten mit Galaxy 11LE13MO-1340_PO 2020
Veranstaltung
Analyse von Life Science Hochdurchsatzdaten mit Galaxy - Praktische Übung
Veranstaltungsart Nummer
Lehrveranstaltung 11LE13PÜ-1340

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 154 hours
Workload 180 hours

Inhalt
In biological and medical research big data analysis is urgently needed for understandig the information
which is encoded in the molecules of life. Many diseases, such as cancer, are caused by aberrations in
those molecules. In this course you will learn to use Galaxy for big data analysis which is an open source,
webbased platform for data intensive biomedical research. Galaxy provides access to a
powerful analysis infrastructure and allows for reproducible and
transparent data analysis. Creating pipelines and workflows in Galaxy ensure a transparent
and reproducible analysis of data. The Galaxy course offers comprehensive
knowledge about HTS data analyses. You will get an theoretical introduction into the
analysis of DNA and RNA. After the
workshop you will be able to create pipelines for your individual analyses and visualize the
results.

n the exercises, gained knowledge from the Galaxy training course will be used to solve tasks and apply
tools to real world biological and medical data.

http://galaxy.bi.uni-freiburg.de/
http://www.bioinf.uni-freiburg.de
Zu erbringende Prüfungsleistung
written composition / report
Zu erbringende Studienleistung
None

95
Literatur
https://academic.oup.com/nar/article/44/W1/W3/2499339/The-Galaxy-platform-for-accessible-reproducible
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
It is recommended to take the Bioinformatics I lecture before attending this course.
Lehrmethoden
This course will be held in English if there is at least one international participant.

96
Name des Moduls Nummer des Moduls
Artificial Intelligence Planning 11LE13MO-1102_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernhard Nebel

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
The essential concepts from complexity theory (NP completeness, polynomial reductions) should be known.
We also expect basic knowledge of the basic search algorithms covered in the lecture on Foundations of
Artificial Intelligence, such as depth-first search, breadth-first search, heuristic search with the A* algorithm,
or greedy best-first search. Basic knowledge of (propositional) logic is expected.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Artificial Intelligence Planning Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Artificial Intelligence Planning Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
Students know theoretical and algorithmic foundations of modern AI planning systems. They know formal
methods, understand the differences between heuristics and can apply them appropriatly. They are familiar
with planning in nondeterministic domains and can estimate the complexity of planning processes.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

97
Name des Moduls Nummer des Moduls
Artificial Intelligence Planning 11LE13MO-1102_PO 2020
Veranstaltung
Artificial Intelligence Planning
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1102

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 48
Selbststudium 116
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The lecture provides a detailed introduction to the theoretical and algorithmic foundations of modern AI plan-
ning systems. In detail, we will cover the following topics:
■ Formalization of planning
■ Planning as search; progression and regression
■ Satisficing heuristic-search planning using relaxation heuristics
■ Optimal heuristic-search planning using abstraction heuristics
■ Optimal heuristic-search planning using landmark heuristics
■ State-space pruning techniques for planning
■ Planning in nondeterministic domains
■ Theoretical complexity of planning
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übung | see exercises

Literatur

98
■ Hector Geffner and Blai Bonet, A Concise Introduction to Models and Methods for Automated Planning,
Morgan & Claypool Publishers, 2013
■ Russell, Norvig: Artificial Intelligence: A Modern Approach. Prentice Hall, 2003
■ Nau, Ghallab, Traverso: Automated Planning: Theory and Practice. Morgan Kaufmann, 2004
■ Rintanen: Introduction to Automated Planning. Lecture Notes for the SS 2005 course. Albert-Lud-
wigs-Universität-Freiburg, 2005
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
The essential concepts from complexity theory (NP completeness, polynomial reductions) should be known.
We also expect basic knowledge of the basic search algorithms covered in the lecture on Foundations of
Artificial Intelligence, such as depth-first search, breadth-first search, heuristic search with the A* algorithm,
or greedy best-first search. Basic knowledge of (propositional) logic is expected.

99
Name des Moduls Nummer des Moduls
Artificial Intelligence Planning 11LE13MO-1102_PO 2020
Veranstaltung
Artificial Intelligence Planning
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1102

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 16 Stunden

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Zu erbringende Studienleistung
Um die Studienleistung zu erbringen, müssen mind. 50% der erreichbaren Punkte aus den Übungen und
Projekten erreicht werden. |

To successfully complete the Studienleistung it is necessary to reach 50% of all points.

Teilnahmevoraussetzung

100
Name des Moduls Nummer des Moduls
Automated Machine Learning 11LE13MO-1415_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Frank Roman Hutter

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz in jedem Semester

Teilnahmevoraussetzung
* either lecture: "Machine Learning"
* or lecture: "Foundations of Deep Learning"
Empfohlene Voraussetzung
* Solid understanding of machine learning
* Hands-on experience with deep learning
* programming skills in Python

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Automated Machine Learning Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
Automated Machine Learning Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
Based on machine learning (ML), AI achieved major breakthroughs in the last years. However, applying
machine learning and in particular deep learning (DL) in practice is a challenging task and requires a lot
of expertise. Among other things, the success of ML/DL applications depends on many design decisions,
including an appropriate preprocessing of the data, choosing a well-performing machine learning algorithm
and tuning its hyperparameters, giving rise to a complex pipeline. Unfortunately, even experts need days,
weeks or even months to find well-performing pipelines and can still make mistakes when optimizing their
pipelines.

101
After completion of this course students will be able to discuss meta-algorithmic approaches to automa-
tically search for, and obtain well-performing machine learning systems by means of automated machine
learning (AutoML).
Such AutoML systems allow for faster development of new ML/DL applications, require far less expert
knowledge than doing everything from scratch and often even outperform human developers.
Students know how to use such AutoML systems, to develop their own systems and to understand ideas
behind state-of-the-art AutoML approaches.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering
auch / also
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

102
Name des Moduls Nummer des Moduls
Automated Machine Learning 11LE13MO-1415_PO 2020
Veranstaltung
Automated Machine Learning
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1415

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz in jedem Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30
Selbststudium 90
Workload 180 hours

Inhalt
* Design of configuration spaces for automated machine learning
* Hyperparameter Optimization with Bayesian Optimization
* Neural architecture search with Reinforcement learning, Bayesian Optimization and Evoluationary strate-
gies
* Transfer-learning, meta-learning, pre-training and fine-tuning
* Learning-to-learn
* Hyperparameter importance analysis
Zu erbringende Prüfungsleistung
oral examination (exam interview) - (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übung / see Exercises
Literatur
Selected material from the book "AutoML: Methods, Systems, Challenges" by Hutter, Kotthoff and Van-
Schoren (freely available online at www.automl.org/book), as well as other surveys and research articles.
Teilnahmevoraussetzung
* Lecture: "Machine Learning"
* Lecture: "Foundations of Deep Learning"

Empfohlene Voraussetzung

103
* Solid understanding of machine learning
* Hands-on experience with deep learning

104
Name des Moduls Nummer des Moduls
Automated Machine Learning 11LE13MO-1415_PO 2020
Veranstaltung
Automated Machine Learning
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1415

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz in jedem Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30

Inhalt
Die Übungen orientieren sich an den Vorlesungen. In den praktisch angelegten Übungen werden die Inhalte
der Vorlesung praktisch selbstständig umgesetzt.
Am Ende gibt es ein großes Projekt (80h), in dem die Studierenden die Inhalte eigenständig auf ein neues
Problem anwenden.
Dieses Projekt wird im ersten Teil der mündlichen Prüfung vorgestellt.

The exercises follow the lectures. In the practically-oriented exercises students will independently imple-
ment the lecture material.
In the end there is a large project (80h), in which the students apply the contents of the course to a new pro-
blem domain.
This project will be presented in the first part of the oral exam.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Zu erbringende Studienleistung
Doing a project (80h)
Teilnahmevoraussetzung

105
Name des Moduls Nummer des Moduls
Bioinformatics I 11LE13MO-1309_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rolf Backofen

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Von Vorteil bzw. stark empfohlen sind:
■ Grundlegende, einfache molekularbiologische Kenntnisse
■ Grundlegende Kenntnisse in Algorithmen, wie aus Informatik Grundstudium/Bachelor

Advantageous or strongly recommended prerequisites:

■ Basic, simple knowledge of molecular biology
■ Basic knowledge of algorithms, such as from computer science undergraduate / bachelor's degree

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Bioinformatics I Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
Bioinformatics I Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
The course shall give an overview of basic bioinformatics topics and understanding of some fundamental
algorithms. The special focus of the course is on sequence analysis.
In the module we fundamental principles in biology are revised and illustrate target problems and associated
applications.

106
Students will be able to explain and apply fundamental algorithms regarding sequence alignment and phylo-
genetic trees and will be capable to design and analyze algorithms that elaborate discrete sequences. Stu-
dents will understand how to solve an optimization problem using Dynamic Programming techniques and
be able to design and analyze new algorithms. By the end of the module, students will become familiar with
applications of Markov models in Bioinformatics and be able to compute phylogenetic trees.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

107
Name des Moduls Nummer des Moduls
Bioinformatics I 11LE13MO-1309_PO 2020
Veranstaltung
Bioinformatics I
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1309

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30
Selbststudium 120
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Sequence alignment
■ global and local alignment, distance and similarity
■ affine and arbitrary gap cost functions
■ multiple sequence alignment

Substitution matrices and Markov chains:

■ Markov models and their properties
■ Markov chains and substitutions matrices, e.g. PAM

Phylogenetic trees:
■ hierarchical methods and clustering
■ Markov processes and maximum likelihood
■ quadtree sampling

|
Sequenzalignment:
■ global und lokal, Distanz und Ähnlichkeit
■ affine and beliebige Gap-Kostenfunktionen

Substitutionsmatrizen und Markov-Ketten:

■ Markov-Modelle und deren Eigenschaften
■ Markov-Ketten und Substitutionsmatrizen, z.B. PAM

108
Phylogenetische Bäume:
■ hierarchische Methoden und clustering
■ Markov-Prozesse und maximum likelihood
■ quartet puzzling
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung

Empfohlene Voraussetzung
Von Vorteil bzw. vorausgesetzt sind
Grundlegende, einfache molekularbiologische Kenntnisse
Grundlegende Kenntnisse in Algorithmen, wie aus Informatik Grundstudium/Bachelor

109
Name des Moduls Nummer des Moduls
Bioinformatics I 11LE13MO-1309_PO 2020
Veranstaltung
Bioinformatics I
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1309

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 28 Stunden
Selbststudium 124 Stunden

Inhalt
Participating in the the exercise sessions and solving the sheets deepens your understanding.
You can use the exercise session for (supervised) solving the sheets or to ask questions.
You can solve them independently or as group.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see lecture
Zu erbringende Studienleistung
none

Solving exercise sheets is optional but highly recommended.

Teilnahmevoraussetzung

110
Name des Moduls Nummer des Moduls
Bioinformatics II 11LE13MO-1310_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rolf Backofen

Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
Bioinformatics I
Empfohlene Voraussetzung
The foundations laid in Bioinformatics I will be assumed to be known.

Additional prerequisites:
■ Basic, simple knowledge of molecular biology
■ Basic knowledge of algorithms, such as from computer science undergraduate / bachelor's degree

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Bioinformatics II Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
Bioinformatics II Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
This module is designed as a follow up for the course “Bioinformatics 1” or a similar one. Students will be
given an advanced overview of bioinformatics topics with a deeper understanding of many fundamental
algorithms.

They will learn well known multiple sequence alignment and analysis algorithms like BLAST and t-coffee
and be able to explain them in detail. They will understand Hidden Markov modelling and will apply them to
specific problems in Bioinformatics. Students will be able to distinguish various protein models and to com-
pile folding kinetics information based on energy landscape models. Finally, they can calculate optimal RNA
structures based on central prediction algorithms and explain the according methods.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

111
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

112
Name des Moduls Nummer des Moduls
Bioinformatics II 11LE13MO-1310_PO 2020
Veranstaltung
Bioinformatics II
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1310

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 32 Stunden
Selbststudium 116 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Multiple sequence alignment
■ Scoring schemes
■ Exact and heuristic methods (progressive approaches, t-coffee etc.)

Hidden markov models

■ Profile HMMs for multiple alignment
■ Learning profile HMMs

Protein structure
■ Simple protein models

Fast sequence search

■ BLAST
■ BLAT
■ Suffix trees

Energy Landscapes
■ Monte-Carlo sampling
■ Abstractions
■ Folding dynamics

Zu erbringende Prüfungsleistung

113
oral exam (duration within the framework of the examination regulations)

If number of participants is very high, might be exceptionally changed to written examination instead. Stu-
dents will be notified in good time.
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
■ Clote, Backofen: Computational Molecular Biologie, An Introduction. Wiley & Sons. ISBN-10:
0471872520 ISBN-13: 978-0471872528
■ Durbin et al.: Biological Sequence Analysis. Cambridge University Press. ISBN-10: 0521629713
ISBN-13: 978-0521629713
■ D.W. Mount: Bioinformatics - Sequence and Genome Analysis Cold Spring Harbor
Teilnahmevoraussetzung
Bioinformatics I
Empfohlene Voraussetzung
The foundations laid in Bioinformatics I will be assumed to be known.

Additional prerequisites:
■ Basic, simple knowledge of molecular biology
■ Basic knowledge of algorithms, such as from computer science undergraduate / bachelor's degree

114
Name des Moduls Nummer des Moduls
Bioinformatics II 11LE13MO-1310_PO 2020
Veranstaltung
Bioinformatics II
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1310

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 32 Stunden

Inhalt
Participating in the the exercise sessions and solving the sheets deepens your understanding by applying
the concepts from the lecture to real-life situations.

Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see lecture
Zu erbringende Studienleistung
none

Solving exercise sheets is optional but highly recommended.

Teilnahmevoraussetzung

115
Name des Moduls Nummer des Moduls
Blockchain and Cryptocurrencies 11LE13MO-1235_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Peter Thiemann

Veranstalter
Institut für Informatik, Programmiersprache
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0

Semesterwochenstunden (SWS) 4.0

Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
keine | none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Blockchain and Cryptocurrencies Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
Blockchain and Cryptocurrencies Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
Students know the concepts of how blockchains work. They have insight in application scenarios, especially
regarding the
monetary background,Bitcoin and other crypto currencies.
Cryptographic foundations, Transaction ability, Transaction legitimation, Consensus from Proof of Work to
Proof of
Stake are understood.
Nonmonetary applications like Smart contracts from Ethereum to Tezos are known.
Students are aware of security impliciations and risks.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

116
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

117
Name des Moduls Nummer des Moduls
Blockchain and Cryptocurrencies 11LE13MO-1235_PO 2020
Veranstaltung
Blockchain and Cryptocurrencies
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1235

Veranstalter
Institut für Informatik, Programmiersprache
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 28
Selbststudium 124
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Monetary background,Bitcoin and other crypto currencies, Cryptographic foundations,
Transaction ability, Transaction legitimation, Consensus from Proof of Work to Proof of
Stake, Nonmonetary applications, Smart contracts from Ethereum to Tezos, Security
impliciations and risks
Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche Ausarbeitung (z.B. Hausarbeit, Projektbericht, Poster...) |

Written assignment (e.g. term paper, project report, poster ...)

Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
■ Fabian Schär, Aleksander Berentsen. Bitcoin, Blockchain und Kryptoassets: Eine umfassende Einfüh-
rung. Books on Demand. 2017
■ Narayanan et al. Bitcoin and Cryptocurrency Technologies. Princeton University Press. 2016.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
keine | none

118
Name des Moduls Nummer des Moduls
Blockchain and Cryptocurrencies 11LE13MO-1235_PO 2020
Veranstaltung
Blockchain and Cryptocurrencies
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1235
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 28

Inhalt
Repetition, application, and consolidation of the lecture material with
theoretical and practical tasks
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

119
Name des Moduls Nummer des Moduls
Computer Vision 11LE13MO-1123_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Thomas Brox

Veranstalter
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Fundamental mathematical knowledge and programming skills (in C++ or Python)
Basic knowledge in image processing and/or computer graphics concepts

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Computer Vision - Vorlesung Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
Computer Vision - Übung Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
This course introduces the most important concepts in today's Computer Vision research. Students learn
about some of the typical problems and methodologies in computer vision. After the module, they are capa-
ble to read current related literature and understand standard concepts used in computer vision research.
Moreover, they can implement the techniques discussed in the lectures and to adapt them to their needs, if
necessary.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

120
Name des Moduls Nummer des Moduls
Computer Vision 11LE13MO-1123_PO 2020
Veranstaltung
Computer Vision - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1123

Veranstalter
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 32 Stunden
Selbststudium 148 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The course presents the most relevant computer vision tasks and current solutions. It covers nonlinear diffu-
sion, variational optimization, spectral clustering, image segmentation, optical flow, video segmentation, ste-
reo reconstruction, camera calibration, structure from motion, recognition, and deep learning.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Mündliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Oral examination (duration within the framework of the examination regulations)

Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
current literature, as announced directly in lecture
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Fundamental mathematical knowledge and programming skills (in C++ or Python)
Basic knowledge in image processing and/or computer graphics concepts

121
Bemerkung / Empfehlung
Usually the course is offered every winter semester; as there might be rare exceptions in some years, it's
marked as "irregularly"

122
Name des Moduls Nummer des Moduls
Computer Vision 11LE13MO-1123_PO 2020
Veranstaltung
Computer Vision - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1123

Veranstalter
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 Stunden

Inhalt
The exercises consist of programming assignments (usually in C/C++), where students learn to implement
the most important techniques presented in the lectures.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

123
Name des Moduls Nummer des Moduls
Cyber-Physical Systems – Program Verification 11LE13MO-1207_v2_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Andreas Podelski

Veranstalter
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic concepts in logic (propositional logic, first-order logic), mathematics (sets, relations, functions, linear
algebra), formal languages (regular expressions, automata).

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Cyber-Physische Systeme - Programmve- Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
rifikation / Cyber-Physical Systems – Pro- den |
gram Verification hours
Cyber-Physische Systeme - Programmve- Übung Wahlpflicht 2.00
rifikation / Cyber-Physical Systems – Pro-
gram Verification

Qualifikationsziel
Often computers are used in embedded, networked, safety-critical applications. The cost of failure is high.
The student learns the basic concepts, methods, and tools for ensuring that a system does not have bad
behaviors. The student learns how to use propositional logic and first-order logic reasoning for specifi-
cation, analysis, and verification. The student learns how to formally specify the correctness of a given
program. In particular, correctness can be specified by an annotation of the program with a special kind
of comments. The student learns how the correctness of the program can be reduced to the validity of a
first-order logical formula and how the validity can be proven automatically by a new generation of powerful
reasoning engines. The student also learns how verification can be done with static analysis methods, i.e.,
methods which have been developed originally in compiler optimization and which have been formalized by
Patrick and Radhia Cousot's framework of abstract interpretation.

124
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

125
Name des Moduls Nummer des Moduls
Cyber-Physical Systems – Program Verification 11LE13MO-1207_v2_PO 2020
Veranstaltung
Cyber-Physische Systeme - Programmverifikation / Cyber-Physical Systems – Program Verification
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1207_v2

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Programmiersprache
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
In this lecture we introduce basic concepts, methods, and tools for ensuring that a system does not have
bad behaviors. We start with an introduction to propositional logic and first-order logic reasoning. We
establish a formal setting for the specification, analysis, and verification of behaviors of programs. We
show how correctness can be specified by an annotation of the program with a special kind of comments.
We show how the correctness of a program can be reduced to the validity of a logical formula. The validity
can be proven automatically by a new generation of powerful reasoning engines. Finally, we connect verifi-
cation with static analysis methods which have been developed originally in compiler optimization and which
are formalized by Patrick and Radhia Cousot's framework of abstract interpretation. To give an example
of a verification problem, we take device driver programs for Windows and Linux operating systems; such
programs come with rules that specify the order of certain operations and file accesses. A violation of such
a rule leads to system crash or deadlock, unexpected exceptions, and the failure of runtime checks. An
example of a rule is that calls to lock and unlock must alternate (an attempt to re-acquire an acquired lock or
release a released lock will cause a deadlock). We can formalize the correctness properties expressed by
such a rulesin the form of a temporal property (safety or liveness) or a finite automaton.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.

126
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
Baier, C., Katoen, J. - Principles of Model Checking
Almeida, J.B., Frade, M.J., Pinto, J.S., Melo de Sousa, S. - Rigorous Software Development - An Introduc-
tion to Program Verification
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic concepts in logic (propositional logic, first-order logic), mathematics (sets, relations, functions, linear
algebra), formal languages (regular expressions, automata).

127
Name des Moduls Nummer des Moduls
Cyber-Physical Systems – Program Verification 11LE13MO-1207_v2_PO 2020
Veranstaltung
Cyber-Physische Systeme - Programmverifikation / Cyber-Physical Systems – Program Verification
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1207_v2

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Programmiersprache
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 Stunden

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Die Studienleistung ist bestanden, wenn mindestens 50 % der Punkte aus den Übungen erreicht wurden
und mindestens einmal in der Übungsgruppe vorgerechnet wurde. |

A sufficient criterion for an active participation in the exercises is that you achieved 50% of the points that
can be obtained for exercise sheets and presented an exercise in an interactive session.
Teilnahmevoraussetzung

128
Name des Moduls Nummer des Moduls
Dynamische Epistemische Logik / Dynamic Epistemic Logic 11LE13MO-1050_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernhard Nebel

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
previous knowledge about propositional logic (cf. course Logic for Computer Scientists) and theoretical
computer science (complexity, decidability) is recommended and expected

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Dynamische Epistemische Logik / Dynamic Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
Epistemic Logic- Veranstaltung den |
hours
Dynamische Epistemische Logik / Dynamic Übung Wahlpflicht 1.00
Epistemic Logic-Übung

Qualifikationsziel
The students are familiarized with the theory of Dynamic Epistemic Logics to such an extent that they are
capable of understanding and putting into context current research work in the area of Dynamic Epistemic
Logics and epistemic planning.

After attending the lecture, they should be able to remember the theoretical foundations of Dynamic Episte-
mic Logics, to apply Dynamic Epistemic Logics to model problems, and to participate actively in research in
the area of epistemic planning.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

129
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

130
Name des Moduls Nummer des Moduls
Dynamische Epistemische Logik / Dynamic Epistemic Logic 11LE13MO-1050_PO 2020
Veranstaltung
Dynamische Epistemische Logik / Dynamic Epistemic Logic- Veranstaltung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1050

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 48 Stunden
Selbststudium 116 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Die Vorlesung bietet eine Einführung in Dynamische Epistemische Logiken.
Es werden folgende Themen behandelt:
■ Syntax und Semantik der epistemischen Logik
■ Public announcements
■ Epistemische Aktionen und Aktionsmodelle
■ Vollständigkeit und Ausdrucksstärke
■ Epistemisches Planen

|
The course offers an introduction to Dynamic Epistemic Logics.
The following topics will be discussed:
■ Syntax and semantics of epistemic logic
■ Public announcements
■ Epistemic actions and action models
■ Completeness and expressivity
■ Epistemic planning

Zu erbringende Prüfungsleistung

131
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
■ van Ditmarsch, van der Hoek, and Kooi. Dynamic Epistemic Logic.
■ van Ditmarsch, Halpern, van der Hoek, and Kooi (eds). Handbook of Epistemic Logic.
■ Blackburn, de Rijke, and Venema. Modal Logic.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
previous knowledge about propositional logic (cf. course Logic for Computer Scientists) and theoretical
computer science (complexity, decidability) is recommended and expected

132
Name des Moduls Nummer des Moduls
Dynamische Epistemische Logik / Dynamic Epistemic Logic 11LE13MO-1050_PO 2020
Veranstaltung
Dynamische Epistemische Logik / Dynamic Epistemic Logic-Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1050

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 16 Stunden

Inhalt
Application of the methods and principles learned in the lecture

Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
For passing the coursework (Studienleistung) it is necessary to reach 50% of all points from the exercise
sheets.
Teilnahmevoraussetzung

133
Name des Moduls Nummer des Moduls
Einführung in die Multiagentensysteme / Introduction to Multiagent Systems 11LE13MO-1118_PO 2020
Verantwortliche/r
Dr. Felix Lindner
Prof. Dr. Bernhard Nebel

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge of concepts such as search methods and formal logic is useful
(as provided in the lecture Foundations of Artificial Intelligence (Grundlagen der Künstlichen Intelligenz))
Programming skills are required

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Einführung in die Multiagentensysteme / Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
Introduction to Multiagent Systems den
Einführung in die Multiagentensysteme / Übung Wahlpflicht 1.00
Introduction to Multiagent Systems

Qualifikationsziel
The participants have a basic understanding of multiagent systems and their use in modeling real world pro-
blems.
They know about theoretical and practical aspects of multiagent systems. The rationale behind modeling
problems in terms of agents in computer science and robotics can be discussed by the participants. They
know the difference between this approach in relation to other programming paradigms, and can decide
which types of problems can be solved using agent architectures.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

134
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

135
Name des Moduls Nummer des Moduls
Einführung in die Multiagentensysteme / Introduction to Multiagent Systems 11LE13MO-1118_PO 2020
Veranstaltung
Einführung in die Multiagentensysteme / Introduction to Multiagent Systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1118

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden

Inhalt
Multi-agent systems have emerged as one of the most important areas of research and development in
information technology. A multi-agent system is composed of multiple interacting software components
known as agents, which are typically capable of cooperating to solve problems that are beyond the abili-
ties of any individual member. Multi-agent systems are important primarily because they have been found
to have very wide applicability. The difference between agents and objects from OOP could be stated as:
"Objects do it for free, but agents do it for money”. This course will address theoretical and practical aspects
of multiagent systems. The rationale behind modeling problems in terms of agents in computer science and
robotics will be explained. We will see how this approach is different from and relates to other programming
paradigms, and which types problems can be solved using agent architectures.

Topics of this course are:

■ Agent architectures
■ Agent planning
■ Methods of communication
■ Game Theory
■ Common sensing and world-modeling
■ Distributed decision making
■ Cooperation and coordination

Zu erbringende Prüfungsleistung

136
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
■ [Wooldridge 2009] An Introduction to MultiAgent Systems - Second Edition
■ [Russell & Norvig 2003] Stuart Russell and Peter Norvig, Artificial Intelligence: A Modern Approach,
second edition, Prentice Hall, 2003.
■ [Jeffrey Rosenschein & Gilad Zlotkin 1998] Rules of encounter: designing conversations for automated
negotiation among computers, MIT Press
■ [Yoav Shoham & Kevin Layton-Brown 2009] Multiagent Systems: Algorithmic, Game-Theoretic, and
Logical Foundations, Cambridge University Press
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge of concepts such as search methods and formal logic is useful
(as provided in the lecture Foundations of Artificial Intelligence (Grundlagen der Künstlichen Intelligenz))
Programming skills are required

137
Name des Moduls Nummer des Moduls
Einführung in die Multiagentensysteme / Introduction to Multiagent Systems 11LE13MO-1118_PO 2020
Veranstaltung
Einführung in die Multiagentensysteme / Introduction to Multiagent Systems
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1118

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 15 Stunden

Inhalt
In the exercises, students will learn through example scenarios to apply the principles and methods from the
lectures.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Die Studienleistung ist bestanden, wenn 50% der erreichbaren Punkte aus den Übungen erreicht sind. |

For passing the coursework (Studienleistung) it is necessary to reach 50% of all points from the exercises.
Teilnahmevoraussetzung

138
Name des Moduls Nummer des Moduls
Formale Methoden für Java / Formal Methods for Java 11LE13MO-1210_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Andreas Podelski

Veranstalter
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse in Programmierung, Algorithmen und Datenstrukturen, Logik und Softwaretechnik |
Programming skills,knowledge of algorithms and data structures, logic and software engineering

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Formale Methoden für Java / Formal Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
Methods for Java - Vorlesung den
Formale Methoden für Java / Formal Übung Wahlpflicht 1.00
Methods for Java - Übung

Qualifikationsziel
The students have an overview of the different types of verification tools. They can assess what these tools
can do, and use them to verify programs. Students will be able to use interactive theorem provers.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

139
Name des Moduls Nummer des Moduls
Formale Methoden für Java / Formal Methods for Java 11LE13MO-1210_PO 2020
Veranstaltung
Formale Methoden für Java / Formal Methods for Java - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1210

Veranstalter
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 48 Stunden
Selbststudium 116 Stunden
Workload 180 Stunden

Inhalt
Recently, formal methods have been successfully used to specify and verify large software system. In this
lecture we will investigate the exising methods for the language Java. The language Java was chosen
because it is a mature language, with a semi-formal definition of its semantics (The Java Language Speci-
fication). However, to use mathematical reasoning, we need a precise definition of the semantics. There-
fore, we will sketch the definition of an operational semantics for Java. Furthermore, we will investigate dif-
ferent formal methods for Java. The starting point will be the language extension JML that allows Design by
Contract. This allows to add pre- and postconditions to methods and invariants to classes and loops. These
assertions can be checked during runtime and this is the purpose of the JML runtime assertion checker (jml-
rac). On the other hand, there are static methods, e.g., ESC/Java and Jahob, that automatically provide
mathematical proofs that the Java code ensures the post-condition for each possible pre-condition. If these
proofs cannot be find automatically, one can also use theorem provers that assists finding a proof manually.
The lecture will present the different approaches for verification of Java code, which are applied to small
practical examples in the exercise.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)

Zu erbringende Studienleistung

140
siehe Übungen | see Exercises
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse in Programmierung, Algorithmen und Datenstrukturen, Logik und Softwaretechnik

141
Name des Moduls Nummer des Moduls
Formale Methoden für Java / Formal Methods for Java 11LE13MO-1210_PO 2020
Veranstaltung
Formale Methoden für Java / Formal Methods for Java - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1210

Veranstalter
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 16 Stunden

Inhalt
In den Übungen lernen die Studierenden anhand von Beispielszenarien, die Prinzipien und Methoden aus
den Vorlesungen anzuwenden.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none

Freiwillige Teilnahme an den Übungen wird stärkstens empfohlen. |

Voluntary participation in the exercises is highly recommended.
Teilnahmevoraussetzung

142
Name des Moduls Nummer des Moduls
Funktionale Programmierung / Functional Programming 11LE13MO-1216_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Peter Thiemann

Veranstalter
Institut für Informatik, Programmiersprache
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Spaß am Programmieren und am Lernen und Anwenden neuer Programmierkonzepte und -sprachen.
Weiterhin empfehlenswert:
Einführung in die Programmierung erfolgreich absolviert
Eigener Laptop

Interest in learning and applying new programming concepts and languages.

Also beneficial:
Introduction to programming successfully completed
Own laptop

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Funktionale Programmierung / Functional Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
Programming den
Funktionale Programmierung / Functional Übung Wahlpflicht 1.00
Programming

Inhalt
This course conveys fundamental concepts of functional programming using the programming language
Haskell

143
Qualifikationsziel
Development of a non-procedural view on algorithms and data structures, confident handling of higher-order
functions and data, knowledge and ability to apply fundamental functional programming techniques, know-
ledge of advanced programming concepts, ability to develop medium-size functional programs indepen-
dently.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

144
Name des Moduls Nummer des Moduls
Funktionale Programmierung / Functional Programming 11LE13MO-1216_PO 2020
Veranstaltung
Funktionale Programmierung / Functional Programming
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1216

Veranstalter
Institut für Informatik, Programmiersprache
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden

Inhalt
In diesem Kurs werden grundlegende bis fortgeschrittene Konzepte der funktionalen Programmierung
anhand der Programmiersprache Haskell vermittelt.
Behandelte Themen:
■ Definition von Funktionen, Patternmatching und Funktionen höherer Ordnung
■ Typen und Typklassen
■ Algebraische Datentypen
■ Funktionale Datenstrukturen
■ Applicative Parser
■ Monaden und Monadentransformer
■ Arrows
■ Verifikation von funktionalen Programmen
■ Monadische Ein/Ausgabe und Stream Ein/Ausgabe

|
This course covers foundational and some advanced concepts of functional programming
using the programming language Haskell. The list of topics includes
■ Definition of functions, pattern matching, and higher-order functions
■ Types and type classes
■ Algebraic datatypes
■ Functional datastructures

145
■ I/O, monads, and monad transformers
■ Parsers and applicatives
■ Arrows
■ Verification of functional programs
■ Generic programming with algebras
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl < 20 ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden. Die Stu-
dierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is < 20, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)

Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
Grundlage für das erste Drittel der Vorlesung ist das Lehrbuch Programming in Haskell von Graham Hutton,
welches auch in der TF-Bibliothek steht.
Stephen Diehl's WHAT I WISH I KNEW WHEN LEARNING HASKELL

The book Programming in Haskell by Graham Hutton is the basis for the first 30% of the lecture. This book
is available in the TF-library.
Stephen Diehl's WHAT I WISH I KNEW WHEN LEARNING HASKELL
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Spaß am Programmieren und am Lernen und Anwenden neuer Programmierkonzepte und -sprachen.
Weiterhin empfehlenswert:
Einführung in die Programmierung erfolgreich absolviert
Eigener Laptop

Interest in learning and applying new programming concepts and languages.

Also beneficial:
Introduction to programming successfully completed
Own laptop

146
Name des Moduls Nummer des Moduls
Funktionale Programmierung / Functional Programming 11LE13MO-1216_PO 2020
Veranstaltung
Funktionale Programmierung / Functional Programming
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1216

Veranstalter
Institut für Informatik, Programmiersprache
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 13 Stunden

Inhalt
In den Übungen lernen die Studierenden anhand von Beispielszenarien, die Prinzipien und Methoden aus
den Vorlesungen anzuwenden.
|
In the exercises, students will learn through example scenarios to apply the principles and methods from the
lectures.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none

Teilnahmevoraussetzung

147
Name des Moduls Nummer des Moduls
Hardware Security and Trust 11LE13MO-1227_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernd Becker

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlagenwissen zu Kryptographie und Authentifizierung, VLSI Entwurf, Test und Verifikation |
Basic knowledge of cryptography and authentication, VLSI design, testing and verification

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Hardware Security and Trust Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Hardware Security and Trust Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
Studierende kennen die Grundlagen in Bezug auf Kryptographie, Authentifizierung, Secret Sharing, VLSI
Entwurf, Test, Zuverlässigkeit und Verifikation. Darauf aufbauend haben Sie einen Überblick über den aktu-
ellen Stand der Forschung im Bereich "Hardware Security and Trust".
Sie wissen Bescheid über verschiedene potentielle Angriffstechniken und kennen Möglichkeiten, diese
Gefahren abzuwehren oder zu minimieren.
Insbesondere:
Physical and invasive attacks, side-channel attacks, physically unclonable functions, hardware-based true
random number generators, watermarking of Intellectual Property (IP) blocks, FPGA security, passive and
active metering for prevention of piracy, access control, hardware Trojan detection and isolation in IP cores
and integrated circuits (ICs).

148
Students know the basics of cryptography, authentication, secret sharing, VLSI design, testing, reliabi-
lity and verification. Based on this, you will have an overview of the current state of research in the field of
"Hardware Security and Trust".
They know about various potential attack techniques and know how to avert or minimize these dangers.
Especially:
Physical and invasive attacks, side-channel attacks, physically unclonable functions, hardware-based true
random number generators, watermarking of Intellectual Property (IP) blocks, FPGA security, passive and
active metering for prevention of piracy, access control, hardware Trojan detection and isolation in IP cores
and integrated circuits (ICs).
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

149
Name des Moduls Nummer des Moduls
Hardware Security and Trust 11LE13MO-1227_PO 2020
Veranstaltung
Hardware Security and Trust
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1227

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 48 Stunden
Selbststudium 116 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Die Konvergenz von IT-Systemen, Datennetzwerken und allgegenwärtigen eingebetteten Geräten in soge-
nannten Cyber Physical Systems hat zum Entstehen neuer Sicherheitsbedrohungen und -anforderungen
im Zusammenhang mit der System-Hardware geführt. Die Manipulation von Hardware-Komponenten, die
Sicherheitsfunktionen implementieren, kann die Systemintegrität beeinträchtigen, unautorisierten Zugang
zu geschützten Daten ermöglichen und geistiges Eigentum (Intellectual Property) gefährden. Diese Gefähr-
dungen zu adressieren, ist wesentlich, wenn verhindert werden soll, dass Hardware zur Schwachstelle des
gesamten Systems wird. Zumindest ein Grundlagenwissen in "Hardware Security and Trust" ist wichtig für
jeden Systemingenieur.

Zu Beginn werden die (notwendigen) Grundlagen über Kryptographie, Authentifizierung, Secret Sharing,
VLSI Entwurf, Test, Zuverlässigkeit und Verifikation gelegt. Dann erfolgt eine Einführung in "Hardware Secu-
rity and Trust", bei der folgende Themen angesprochen werden: Physical and invasive attacks, side-channel
attacks, physically unclonable functions, hardware-based true random number generators, watermarking of
Intellectual Property (IP) blocks, FPGA security, passive and active metering for prevention of piracy, access
control, hardware Trojan detection and isolation in IP cores and integrated circuits (ICs).
|

The convergence of IT systems, data networks (including but not limited to the Internet) and ubiquitous
embedded devices within the cyber-physical system paradigm has led to the emergence of new security
threats associated with the system hardware. Manipulating the hardware components that implement secu-
rity functions can compromise system integrity, provide unauthorized access to protected data, and endan-
ger intellectual property. Addressing these vulnerabilities is essential in order to prevent the hardware from
becoming the weak spot of today’s systems. At least a basic knowledge of hardware security and trust
issues is of importance to all system designers.

150
Starting with (necessary) basics on cryptography, authentication, secret sharing, VLSI design, test, reliabi-
lity and verification the course will provide an introduction to hardware security and trust covering the fol-
lowing topics: physical and invasive attacks, side-channel attacks, physically unclonable functions, hard-
ware-based true random number generators, watermarking of Intellectual Property (IP) blocks, FPGA secu-
rity, passive and active metering for prevention of piracy, access control, hardware Trojan detection and iso-
lation in IP cores and integrated circuits (ICs).

Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
Introduction to Hardware Security and Trust
Editors: Tehranipoor, Mohammad, Wang, Cliff (Eds.), Springer
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlagenwissen zu Kryptographie und Authentifizierung, VLSI Entwurf, Test und Verifikation |
Basic knowledge of cryptography and authentication, VLSI design, testing and verification

151
Name des Moduls Nummer des Moduls
Hardware Security and Trust 11LE13MO-1227_PO 2020
Veranstaltung
Hardware Security and Trust
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1227

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 16 Stunden

Inhalt
Übungen vertiefen Methoden und Algorithmen, die in der Vorlesung eingeführt wurden, anhand von prakti-
schen Beispielen.
|
Exercises expand on the methods and algorithms that were introduced in the lecture using practical examp-
les.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

152
Name des Moduls Nummer des Moduls
High-Performance Computing: Fluid Mechanics with Python 11LE50MO-5285
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Lars Pastewka

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Simulation
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge of a programming language (not necessarily Python, i.e. Java, C, C++, etc.)

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
High-Performance Computing: Fluid Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
Mechanics with Python den
High-Performance Computing: Fluid Übung Wahlpflicht 2.00
Mechanics with Python

Qualifikationsziel
The student
■ can use Python for solving numerical problems using the numpy and scipy libraries and knows strategies
for writing efficient code
■ can apply the Message Passing Interface (MPI) libraries to parallelize specific numerical problems
■ can use job submission systems on parallel computers to run their Python codes.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Dieses Modul ist u.a. für Studierende des Bachelor of Science Mikrosystemtechnik (PO 2018), im Wahl-
pflichtbereich, Bereich MST verwendbar.

153
Name des Moduls Nummer des Moduls
High-Performance Computing: Fluid Mechanics with Python 11LE50MO-5285
Veranstaltung
High-Performance Computing: Fluid Mechanics with Python
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5285

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Simulation
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Präsenzstudium 52 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden

Inhalt
This class teaches parallel scientific computing with Python using the numpy library for fast array opera-
tions. Parallelization strategies that use the Message Passing Interface (MPI) will be presented. These
technical concepts will be applied to the solution of fluid mechanical problems using the lattice Boltzmann
method.

Scientific computing:
1. Efficient Python: basics, numpy arrays, numpy operations, scipy
2. Translating mathematical expressions into efficient array operations
3. The Message Passing Interface (MPI)
4. Parallelization strategies
5. Practical aspects of working with High-Performance clusters

Fluid mechanics and the Lattice Boltzmann method:

6. Phenomenology of fluid mechanics
7. Lattice gas and lattice Boltzmann
8. Boundary conditions

Zu erbringende Prüfungsleistung
Written examination. The students have to submit a written report, describing numerical results and scaling
tests obtained with their simulation code.
Zu erbringende Studienleistung
None

154
Literatur
A. Scopatz, K.D. Huff, "Effective Computation in Physics" (O'Reilly 2015)
W.A. Wolf-Gladrow, "Lattice-Gas Cellular Automata and Lattice Boltzmann Models" (Springer 2000)
T. Krüger, H. Kusumaatmaja, A. Kuzmin, O. Shardt, G. Silva, E.M. Viggen, "The Lattice Boltzmann Metho-
d" (Springer 2017)
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge of a programming language (not necessarily Python, i.e. Java, C, C++, etc.)

155
Name des Moduls Nummer des Moduls
High-Performance Computing: Fluid Mechanics with Python 11LE50MO-5285
Veranstaltung
High-Performance Computing: Fluid Mechanics with Python
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5285

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Simulation
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The students will implement their own parallel Lattice Boltzmann simulation code in the computer lab
accompanying this lecture series.
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge of a programming language (not necessarily Python, i.e. Java, C, C++, etc.)

156
Name des Moduls Nummer des Moduls
Information Retrieval 11LE13MO-1304_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Hannah Bast

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen u.Datenstrukturen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlagen zu Algorithmen und Datenstrukturen, Programmierkenntnisse (C++ / C) |

Fundamental knowledge about algorithms and data structures, programming skills (C++ / C)

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Suchmaschinen / Information Retrieval Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
Suchmaschinen / Information Retrieval Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
Students should be able to understand and apply the basics of information systems, especially search engi-
nes. This applies to both the algorithmic aspects (e.g. index data structures) and quality aspects (e.g. ran-
king of search results), as well as network communication and user interfaces (e.g. AJAX programming).
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

157
Name des Moduls Nummer des Moduls
Information Retrieval 11LE13MO-1304_PO 2020
Veranstaltung
Suchmaschinen / Information Retrieval
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1304

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen u.Datenstrukturen
Fachbereich / Fakultät
Mathematisches Institut-VB
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
In dieser Vorlesung werden alle Themen behandelt, die man zur Realisierung der typischen Funktionalität
eines Informationssystems / einer Suchmaschine nach dem Stand der Kunst braucht, und die nicht oder
nicht in der erforderlichen Tiefe in Bachelor- oder Mastervorlesungen zum Thema Algorithmen oder Netz-
werke vermittelt werden. Dazu gehören:
Algorithmen und Datenstrukturen, z.B.: invertierter Index, Präfixsuche, fehlertolerante Suche, I/O-Effizienz.
Qualitätsaspekte: Ranking von Suchergebnissen, Clustering, maschinelle Lernverfahren.
Netzwerkkommunikation und Benutzerschnittstellen: Webserver, Socket-Kommunikation, AJAX-Program-
mierung.
|
This course teaches all topics required to understand and implement a search engine with standard functio-
nality according to the state of the art. Topics include: inverted index, ranking, list intersection, compression,
fuzzy search, web applications, synonym search, clustering, text classification, and ontology search.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)

Zu erbringende Studienleistung

158
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
Wird in der Veranstaltung bekanntgegeben.

Ein Standartbuch das einen Großteil des Veranstaltungsinhalts abdeckt, ist “Manning, Raghavan, Schütze:
Introduction to Information Retrieval” (auch online verfügbar: http://nlp.stanford.edu/IR-book ).
|
All materials needed for the course are provided during the course.

A standard text book covering much of the course material is “Manning, Raghavan, Schütze: Introduction to
Information Retrieval”, which is also available online: http://nlp.stanford.edu/IR-book .
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlagen zu Algorithmen und Datenstrukturen, Programmierkenntnisse (C++ / C) |

Fundamental knowledge about algorithms and data structures, programming skills (C++ / C)

159
Name des Moduls Nummer des Moduls
Information Retrieval 11LE13MO-1304_PO 2020
Veranstaltung
Suchmaschinen / Information Retrieval
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1304

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen u.Datenstrukturen
Fachbereich / Fakultät
Mathematisches Institut-VB
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 Stunden

Inhalt
Praktische Anwendung der Methoden aus der Vorlesung |
Practical application of the methods from the lecture
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Die Studienleistung ist bestanden, wenn 50% der erreichbaren Punkte aus den Übungen erreicht sind. |

For passing the coursework (Studienleistung) it is necessary to reach 50% of all points from the exercises.
Teilnahmevoraussetzung

160
Name des Moduls Nummer des Moduls
Introduction to data driven life sciences 11LE13MO-1335_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rolf Backofen

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Introduction to data driven life sciences Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
Introduction to data driven life sciences Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
In biological and medical research big data analysis is urgently needed for understandig the information
that is encoded in the molecules of life. Many diseases, such as cancer, are caused by aberrations in those
molecules.
Students understand the theoretical biological and bioinformatics background and know about techniques
for generation and analysis of high-throughput data in life sciences.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

161
Name des Moduls Nummer des Moduls
Introduction to data driven life sciences 11LE13MO-1335_PO 2020
Veranstaltung
Introduction to data driven life sciences
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1335

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 hours
Selbststudium 120 hours
Workload 180 hours

Inhalt
In biological and medical research big data analysis is urgently needed for understandig the information
that is encoded in the molecules of life. Many diseases, such as cancer, are caused by aberrations in those
molecules. In this lecture you will learn the theoretical biological and bioinformatics background and techni-
ques for generation and analysis of high-throughput data in life sciences.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (120 minutes).
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

162
Name des Moduls Nummer des Moduls
Introduction to data driven life sciences 11LE13MO-1335_PO 2020
Veranstaltung
Introduction to data driven life sciences
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1335

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 hours

Inhalt
To apply the gained knowledge from the lecture, exercises to various topics of high-throughput data analy-
sis are offered. Moreover, we will get to know the workflowmanagement framework Galaxy which is an open
source tool for life science data analysis.
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung

163
Name des Moduls Nummer des Moduls
Introduction to Mobile Robotics 11LE13MO-1115_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Wolfram Burgard

Veranstalter
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Vorausgesetzt: Grundlegende Kenntnisse in Algorithmen, Programmierkenntnisse
Von Vorteil: Grundlagen im Bereich Künstliche Intelligenz, grundlegende, einfache molekularbiologische
Kenntnisse
|
Required: Basic knowledge of algorithms, programming skills
Advantageous: Basic knowledge about Artificial Intelligence, basic, simple knowledge of molecular biology

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Introduction to Mobile Robotics Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Introduction to Mobile Robotics Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
The goal of this course is to understand the basic principles of mobile robotics.
They include different types of drives and sensors for mobile robots including their characteristics, the recur-
sive Bayes filter, the Kalman filter, the particle filter, and the discrete filter.
In addition, successful participants will understand the principles of probabilistic localization, mapping,
simultaneous localization and mapping as well as path planning, collision avoidance, sensor interpretation,
and exploration.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

164
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

165
Name des Moduls Nummer des Moduls
Introduction to Mobile Robotics 11LE13MO-1115_PO 2020
Veranstaltung
Introduction to Mobile Robotics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1115

Veranstalter
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
This course will introduce basic concepts and techniques used within the field of mobile robotics. We ana-
lyze the fundamental challenges for autonomous intelligent systems and present the state of the art soluti-
ons. Among other topics, we will discuss:
■ Kinematics
■ Sensors
■ Vehicle localization
■ Map building
■ SLAM
■ Path planning
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden. Die
Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises

166
Literatur
■ Thrun, Burgard, Fox: “Probabilistic Robotics”, MIT Press, 2005
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Von Vorteil bzw. vorausgesetzt sind
■ Grundlegende, einfache molekularbiologische Kenntnisse
■ Grundlegende Kenntnisse in Algorithmen, wie aus Informatik Grundstudium/Bachelor

|
Advantageous or required
■ Basic, simple knowledge of molecular biology
■ Basic knowledge of algorithms, such as from computer science undergraduate / bachelor's degree

167
Name des Moduls Nummer des Moduls
Introduction to Mobile Robotics 11LE13MO-1115_PO 2020
Veranstaltung
Introduction to Mobile Robotics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1115

Veranstalter
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 13 Stunden

Inhalt
In the exercises, students will learn the practical application of principles and methods from the lectures.
Each exercise session consists of two parts: a short recap of the lecture and the discussion of the exercise
sheets.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Solving the exercise sheets is recommended but not mandatory
Teilnahmevoraussetzung

168
Name des Moduls Nummer des Moduls
Kompetitives Programmieren 11LE13MO-1154_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernhard Nebel

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlagen in Algorithmen und Datenstrukturen |
Fundamental knowledge about algorithms and data strucutres

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Kompetitives Programmieren Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
Kompetitives Programmieren - praktische Übung Wahlpflicht 2.00
Übung

Qualifikationsziel
Die Studierenden sind in der Lage, für einfache und komplexe algorithmischeAufgaben, die für Program-
mierwettbewerbe (wie den InternationalCollegiate Programming Contest der ACM) typisch sind, selbststän-
dig korrekte und laufzeiteffiziente Algorithmen zu konzipieren und in einer Implementierung umzusetzen.
Sie verfügen über die Kenntnis einer Vielzahlvon Standardalgorithmen, sowie über die Fähigkeit diese Algo-
rithmen an neueAufgabenstellungen anzupassen.
|
Students are able to reason about simple and complex algorithmic tasks which are commonly posed in pro-
gramming contest such as the International Collegiate Programming Contest (ICPC). They are able to deve-
lop correct and runtime efficient algorithms for solving these tasks and are able to implement them quickly.
They know a variety of standard algorithms and are able to adapt these algorithms to new problem settings.

169
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

170
Name des Moduls Nummer des Moduls
Kompetitives Programmieren 11LE13MO-1154_PO 2020
Veranstaltung
Kompetitives Programmieren
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1154

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 26 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Der Schwerpunkt des Moduls liegt im Lösen von komplexen algorithmischen Aufgabenstellungen.
Es wird eine Vielzahl von Algorithmen präsentiert, die für die Lösung dieser Aufgaben eingesetzt werden
können.
Das Modul fokussiert auf die praktischen Aspekte diese Algorithmen und thematisiert deren Implementie-
rung und Anpassung für eine gegebene Aufgabenstellung.
Dazu werden bekannte und neue Algorithmen abgewandelt, kombiniert oder für untypische Zwecke einge-
setzt.

Am Ende der Veranstaltung sollen die Studierenden sowohl in der Lage sein, erfolgreich unter Wettbewer-
bsbedingungen zu programmieren,als auch eine breite Erfahrung in der praktischen Anwendung von Algo-
rithmen und deren Design für zuvor unbekannte Probleme haben.
Folgende Themen werden behandelt:
* Datenstrukturen und einfache Algorithmen (z.B. Binäre und Ternäre Suche oder schnelles Potenzieren)
* Effiziente Baumstrukturen (Fenwick-Trees, Segment-Trees, Quad-Trees)
* Greedy-Algorithmen
* Einfache Graphen-Algorithmen (Kürzeste Wege, Minimale Spannbäume,Topolgoische Sortierung, Starke
Zusammenhangskomponenten,Artikulationsknoten)
* Netzwerkflüsse und Anwendungen
* Dynamische Programmierung (grundlegende Prinzipien, klassische Verfahren,nicht-klassische Beispiele,
komplexere Dynamische Programmierung in mehreren Dimensionen)
* Exponentielle Algorithmen für NP-vollständige Probleme (TSP, Longest Path)
* Mathematische Problemstellungen (Zahlentheorie: Modulo-Arithmetik,Primzahlen, Chinesischer Restsatz;
Kombinatorik: Grundkonzepte,Catalanzahlen)

171
* Geometrie (2D- und 3D-Geometrie: CCW-Test, Punkte, Liniensegmente und Polygone und deren Schnitte,
konvexe Hüllen; Geometrie ohne Gleitkommazahlen; Geometrie auf Kugeln)
* String-Verarbeitung (Suffix-Arrays)

|
The course focusses on solving complex algorithmic tasks. Thus it teaches a variety of algorithms that can
be used in solving these tasks. It focusses on practical aspects of implementing and adapting these algo-
rithms for the task at hand. For that, both algorithms that are already known to the students as well as new
algorithms are adapted, combined, or are used for non-standard purposes. After finishing the course, stu-
dent should be able to successfully compete in programming contest, but should also have gained experi-
ence in applying their algorithmic knowledge for solving practical problems.
The course discusses the following topics and algorithms
* data structures and simple algorithms (binary search, ternary search, fast exponentiation, ...)
* tree data structures (Fenwick trees, segment trees, quad trees)
* greedy algorithms
* graph algorithms (shortest path, minimal spanning tree, topological sorting, strongly connected compon-
ents, articulation vertices and bridges)
* flow and applications
* dynamic programming (principles, classical examples, non-classical examples, complex dynamic program-
ming in multiple dimensions, stochastic)
* exponential algorithms for NP-complete problems (TSP, longest path)
* mathematical algorithms (number theory, modulo arithmetic, prime numbers, Chinese remainder theorem,
combinatorics, Burnside's lemma, catalan numbers)
* geometry (2D and 3D geometry, counter-clockwise test, points, line segments and polygons, their inter-
sections, convex hull, geometry on integer coordinates, Pick's theorem, geometry on spheres)
* string algorithms (suffix arrays and suffix sorting)
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
oral exam (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
Steven Halim: Competitive Programming 3
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlagen in Algorithmen und Datenstrukturen |
Fundamental knowledge about algorithms and data strucutres

172
Name des Moduls Nummer des Moduls
Kompetitives Programmieren 11LE13MO-1154_PO 2020
Veranstaltung
Kompetitives Programmieren - praktische Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1154

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 26 Stunden

Inhalt
In der praktischen Übung werden die in der Vorlesung behandelten Algorithmen an Aufgaben, die so auch
in Programmierwettbewerben vorkommen, erprobt.
Dazu lernen die Studierenden, die wesentlichen Teile der Aufgabenstellung zu erfassen, diese als abstrakte
algorithmische Aufgabenstellung zu formulieren und anschließend zu lösen.
|
During the practical exercise student implement the algorithms and techniques taught in the lecture.
They further learn to solve tasks typically posed in programming contest.
They therefore learn to extract the relevant parts of a problem statement, to formulate a suitable abstract
version of the problem and to solve it.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Bearbeitung von Übungs- und/oder Projektaufgaben |
Working on exercises and / or project tasks
Teilnahmevoraussetzung

173
Name des Moduls Nummer des Moduls
Maschinelles Lernen in den Lebenswissenschaften / Machine Learning in 11LE13MO-1112_PO 2020
Life Science
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rolf Backofen

Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge in Machine Learning and Bioinformatics, basic knowledge in Molecular biology

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Maschinelles Lernen in den Lebenswissen- Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
schaften / Machine Learning in Life Science den |
hours
Maschinelles Lernen in den Lebenswissen- Übung Wahlpflicht 2.00
schaften / Machine Learning in Life Science

Qualifikationsziel
Students learn to consider machine learning applications in life sciences from different perspectives.
They understand the biological point of view in regards to problems in the domains of genomics, proteo-
mics, systems biology and biological literature information mining. They also have an understanding of
different questions from the machine learning point of view, such as underlying assumptions in predictive
models, the quality assessment problem, the design choices for supervised and unsupervised models.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

174
Name des Moduls Nummer des Moduls
Maschinelles Lernen in den Lebenswissenschaften / Machine Learning in 11LE13MO-1112_PO 2020
Life Science
Veranstaltung
Maschinelles Lernen in den Lebenswissenschaften / Machine Learning in Life Science
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1112

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The course will maintain a double perspective: from the biological point of view we consider problems in
the domains of genomics, proteomics, systems biology and biological literature information mining; from
the machine learning point of view, we consider questions such as the underlying assumptions in predictive
models, the quality assessment problem, the design choices for supervised and unsupervised models.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
The course material is based on influential publications both in the Machine Learning and/or Bioinformatics
literature:
■ P Baldi, S Brunak, Y Chauvin, C.A.F Andersen, H Nielsen, Assessing the accuracy of prediction algo-
rithms for classication: an overview, Bioinformatics 2000
■ T Fawcett, An introduction to ROC analysis, Pattern Recognition Letters 2006

175
■ T Dietterich, Approximate statistical tests for comparing supervised classication learning algorithms,
Neural Computation 1998
■ D Jiang, C Tang, A Zhang, Cluster analysis for gene expression data: A survey, IEEE transactions on
knowledge and data engineering 2004
■ S.C Madeira, A.L Oliveira, Biclustering algorithms for biological data analysis: a survey, IEEE Transacti-
ons on computational Biology and Bioinformatics 2004
■ A Krause, J Stoye, Large scale hierarchical clustering of protein sequences, BMC bioinformatics 2005
■ P Baldi, G Pollastri, The principled design of large-scale recursive neural network architectures-dag-rnns
and the protein structure prediction problem, The Journal of Machine Learning Research 2003
■ C Leslie, E Eskin, W Noble, The spectrum kernel: A string kernel for SVM protein classication,Pacic
Symposium on Biocomputing 2002
■ X.W. Chen, Prediction of protein-protein interactions using random decision forest framework, Bioinfor-
matics 2005
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge in Machine Learning and Bioinformatics, basic knowledge in Molecular biology

176
Name des Moduls Nummer des Moduls
Maschinelles Lernen in den Lebenswissenschaften / Machine Learning in 11LE13MO-1112_PO 2020
Life Science
Veranstaltung
Maschinelles Lernen in den Lebenswissenschaften / Machine Learning in Life Science
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1112

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 Stunden

Inhalt
In the exercises, students will learn through example scenarios to apply the principles and methods from the
lectures.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung

177
Name des Moduls Nummer des Moduls
Netzwerkalgorithmen / Network Algorithms 11LE13MO-1313_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Fabian Kuhn

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in algorithm design/analysis, mathematical maturity (in particular, we use some graph
theory and probability theory)

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Netzwerkalgorithmen / Network Algorithms Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
- Vorlesung den |
hours
Netzwerkalgorithmen / Network Algorithms Übung Wahlpflicht 1.00
- Übung

Qualifikationsziel
Networks and distributed computing are essential in modern computing and information systems. The
objective of the course is to learn fundamental principles and mathematical/algorithmic techniques underly-
ing the design of distributed algorithms for solving tasks in networks and distributed systems.

178
Name des Moduls Nummer des Moduls
Netzwerkalgorithmen / Network Algorithms 11LE13MO-1313_PO 2020
Veranstaltung
Netzwerkalgorithmen / Network Algorithms - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1313

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The topics are taught by going through many key example problems. Particular topics that are covered
include: communication, coordination, fault-tolerance, locality, parallelism, self-organization, symmetry brea-
king, synchronization, uncertainty
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in algorithm design/analysis, mathematical maturity (in particular, we use some graph
theory and probability theory)

179
Name des Moduls Nummer des Moduls
Netzwerkalgorithmen / Network Algorithms 11LE13MO-1313_PO 2020
Veranstaltung
Netzwerkalgorithmen / Network Algorithms - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1313

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 13 Stunden

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

180
Name des Moduls Nummer des Moduls
Prinzipien der Wissensrepräsentation / Knowledge Representation 11LE13MO-1104_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernhard Nebel

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse der Inhalte des Moduls Künstliche Intelligenz |
Knowledge of the content of the Artificial Intelligence module

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Prinzipien der Wissensrepräsentation / Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
Knowledge Representation den |
hours
Prinzipien der Wissensrepräsentation / Übung Wahlpflicht 1.00
Knowledge Representation

Qualifikationsziel
Students are able to apply common knowledge representation formalisms, to develop them further and to
estimate the effort for inference services. In particular, the students should be able to understand current
research literature on the topic.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

181
Name des Moduls Nummer des Moduls
Prinzipien der Wissensrepräsentation / Knowledge Representation 11LE13MO-1104_PO 2020
Veranstaltung
Prinzipien der Wissensrepräsentation / Knowledge Representation
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1104

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Die Vorlesung bietet eine detaillierte Einführung in die Techniken, die die Grundlage fortgeschrittener
Systeme zur Wissensrepräsentation und zum automatischen Schlussfolgern bilden. Im Einzelnen behan-
deln wir:
■ Klassische Logik (Wiederholung) und Modallogiken
■ zeitliches und räumliches Schließen in Allens Intervallalgebra und dem Regionzusammenhangskalkül
RCC-8
■ nicht-monotones Schließen (Default-Logik, kumulative Logik, nicht-monotone Logikprogramme) sowie
■ Beschreibungslogiken

|
This course gives an introduction to logic based knowledge representation formalisms. We cover in particu-
lar the following topics:
■ Foundations: Formal logic and complexity theory
■ Modal logic: Systems and proof techniques
■ Non-montonic logics
■ Description logic and the semantic web
■ Qualitative temporal and spatial representations and reasoning

Zu erbringende Prüfungsleistung

182
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
R. J. Brachman and Hector J. Levesque, Knowledge Representation and Reasoning, Morgan Kaufman,
2004
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse der Inhalte des Moduls Künstliche Intelligenz |
Knowledge of the content of the Artificial Intelligence module

183
Name des Moduls Nummer des Moduls
Prinzipien der Wissensrepräsentation / Knowledge Representation 11LE13MO-1104_PO 2020
Veranstaltung
Prinzipien der Wissensrepräsentation / Knowledge Representation
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1104

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 15 Stunden

Inhalt
The exercises consist of theoretical and practical assignments, to apply the methods and concepts from the
lecture.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Die Studienleistung ist bestanden, wenn 50% der erreichbaren Punkte aus den Übungen und Projekten
erreicht sind. |
For passing the coursework (Studienleistung) it is necessary to reach 50% of all points from the exercises
and projects.
Teilnahmevoraussetzung

184
Name des Moduls Nummer des Moduls
Quantitative Verifikation / Quantitative Verification 11LE13MO-1346_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernd Becker
Prof. Dr. Ralf Wimmer

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Mathematikkenntnisse im Bereich Analysis und Differentialgleichungen, formale Beweismethoden, Wahr-
scheinlichkeiten |

Knowledge of mathematics in the field of analysis and differential equations, formal proof methods, probabi-
lities

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Quantitative Verifikation / Quantitative Veri- Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
fication den |
hours
Quantitative Verifikation / Quantitative Veri- Übung Wahlpflicht 1.00
fication

Qualifikationsziel
Die Studierenden in der Veranstaltung "Quantitative Verification" sind in der Lage, Modelle und Algorithmen
zu entwickeln, die es erlauben, Sicherheitseigenschaften quantitativ zu untersuchen und Kostenmaße zu
berechnen ("Wie lange dauert es im Mittel, bis die Nachricht angekommen ist?").
Die Studierenden kennen die wichtigsten Modelle zur quantitativen Evaluation von Systemen. Sie können
effiziente Algorithmen anwenden, um Eigenschaften wie Ausfallwahrscheinlichkeiten, mittlerer Durchsatz,
erwartete Kosten bis zum Erreichen eines Ziels oder erwartete Langzeitkosten zu bestimmen. Sie sind in
der Lage, aktuelle Arbeiten aus dem Bereich "Probabilistic Model Checking" zu verstehen.

185
|
The students in "Quantitative Verification" are able to develop models and algorithms that allow to quantita-
tively investigate security properties and to calculate cost measures ("How long does it take on average for
the message to arrive?").
The students know the most important models for the quantitative evaluation of systems. You can use effi-
cient algorithms to calculate properties such as failure probability, average throughput and expected costs
Determine achievement of a goal or expected long-term costs. You will be able to understand current work
in the field of "Probabilistic Model Checking".
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

186
Name des Moduls Nummer des Moduls
Quantitative Verifikation / Quantitative Verification 11LE13MO-1346_PO 2020
Veranstaltung
Quantitative Verifikation / Quantitative Verification
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1346

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 39 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Die Studierenden lernen die wichtigsten Modellklassen zur quantitativen Evaluation von Systemen kennen:
* Markow-Ketten mit diskreter und kontinuierlicher Zeit
* Markow-Entscheidungsprozesse
* Markow-Automaten
Wir behandeln Algorithmen zur Berechnung diverser Eigenschaften wie Erreichbarkeitswahrscheinlichkei-
ten, erwartete Kosten, PCTL- und LTL-Eigenschaften sowie zur Bestimmung des Langzeitverhaltens der
Systeme (z.B. Verfügbarkeit, erwartete Kosten auf lange Sicht etc.).

|
Students get to know the most important model classes for the quantitative evaluation of systems:
* Markov chains with discrete and continuous time
* Markov decision-making processes
* Markov automatons
We deal with algorithms for calculating various properties such as availability probabilities, expected costs,
PCTL and LTL properties as well as for determining the long-term behavior of the systems (e.g. availability,
expected costs in the long term, etc.).

Zu erbringende Prüfungsleistung

187
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
Christel Baier, Joost-Pieter Katoen: "Principles of Model Checking", MIT Press 2008

Weitere Literatur wird in der Vorlesung bekanntgegeben. |

Further literature will be announced in the lecture.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Mathematikkenntnisse im Bereich Analysis und Differentialgleichungen, formale Beweismethoden,
Wahrscheinlichkeiten |

Knowledge of mathematics in the field of analysis and differential equations, formal proof methods, probabi-
lities

188
Name des Moduls Nummer des Moduls
Quantitative Verifikation / Quantitative Verification 11LE13MO-1346_PO 2020
Veranstaltung
Quantitative Verifikation / Quantitative Verification
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1346

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 13 Stunden

Inhalt
In den Übungen sollen die Vorlesungsinhalte vertieft und auf verschiedene Beispiele angewendet werden. |

In the exercises, the lecture content should be deepened and applied to various examples.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

189
Name des Moduls Nummer des Moduls
Reinforcement Learning 11LE13MO-1141_PO 2020
Verantwortliche/r
JProf. Dr. Joschka Bödecker

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Grundlagenkenntnisse in praktischer und angewandter Informatik, Algorithmen und Datenstrukturen, Pro-
grammierkenntnisse
Grundlagenwissen zu Künstlicher Intelligenz und Machine Learning
|
Basic knowledge of practical and applied computer science, algorithms and data structures, programming
skills
Basic knowledge of artificial intelligence and machine learning

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Reinforcement Learning Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Reinforcement Learning Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
■ Verständnis der grundlegenden Konzepte des optimierenden Lernes
■ Fähigkeit des Denkens auf unterschiedlichen Abstraktionsebenen
■ Kenntnis in exemplarischen Umsetzungen von Lernalgorithmen
■ Fähigkeit zum selbständigen Erkennen von Zusammenhängen der vorgestellten Konzepte
■ Kenntnisse in der praktischen Anwendung

|
■ Understanding the basic concepts of optimizing learning

190
■ Ability to think on different levels of abstraction
■ Knowledge of exemplary implementations of learning algorithms
■ Ability to independently recognize connections between the presented concepts
■ Knowledge of practical application
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

191
Name des Moduls Nummer des Moduls
Reinforcement Learning 11LE13MO-1141_PO 2020
Veranstaltung
Reinforcement Learning
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1141

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The lecture deals with methods of Reinforcement Learning that constitute an important class of machine
learning algorithms. Starting with the formalization of problems as Markov decision processes, a variety of
Reinforcement Learning methods are introduced and discussed in-depth. The connection to practice-orien-
ted problems is established by basing the lecture on many examples.
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
oral exam (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr groß ist, kann stattdessen eine schriftliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is very high, might be exceptionally changed to written examination instead. Stu-
dents will be notified in good time.)
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
Sutton, Barton: Reinforcement Learning – An Introduction.
Bertsimas: Neuron Dynamic Programming.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none

192
Empfohlene Voraussetzung
Grundlagenkenntnisse in praktischer und angewandter Informatik, Algorithmen und Datenstrukturen, Pro-
grammierkenntnisse
Grundlagenwissen zu Künstlicher Intelligenz und Machine Learning
|
Basic knowledge of practical and applied computer science, algorithms and data structures, programming
skills
Basic knowledge of artificial intelligence and machine learning

193
Name des Moduls Nummer des Moduls
Reinforcement Learning 11LE13MO-1141_PO 2020
Veranstaltung
Reinforcement Learning
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1141

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 15 Stunden

Inhalt
In the exercises, students will learn through example scenarios to apply the principles and methods from the
lectures.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

194
Name des Moduls Nummer des Moduls
RNA Bioinformatik / RNA Bioinformatics 11LE13MO-1318_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rolf Backofen

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Fundamental understanding of RNA sequence/structure analysis
Knowledge about principle methods used in Bioinformatics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
RNA Bioinformatik / RNA Bioinformatics Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
RNA Bioinformatik / RNA Bioinformatics Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
The goal of this module is to get a deeper understanding of the essential algorithms and methods for RNA
sequence/structure analysis going beyond the topics covered in Bioinformatics 1 and 2.
Students will learn about fundamental algorithms and methods for sequence and structure analysis of the
biological macromolecule RNA.
Students will be able to predict optimal RNA secondary structure and to explain the methods. At the end of
the course, they can use probabilistic analysis of structure by partition function approaches, and thus com-
pute base pair probabilities. Furthermore, participants will be able to compare and align RNAs according to
their sequence and structural information. This will be possible using techniques for the alignment of folded
RNA as well as for the simultaneous operations of alignment and folding. As special topics, students will be
able to explain fundamental concepts of and methods for RNA-RNA-interaction prediction, as well as the
algorithmic treatment of pseudoknots.

195
Name des Moduls Nummer des Moduls
RNA Bioinformatik / RNA Bioinformatics 11LE13MO-1318_PO 2020
Veranstaltung
RNA Bioinformatik / RNA Bioinformatics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1318

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Introduction
Structure prediction
■ Nussinov algorithm
■ Zuker algorithm
■ McCaskill algorithm

Comparative RNA analysis:

■ Plan A: first align, then fold
■ Plan C: first fold, then align
■ Plan B: simultaneous alignment and folding

Overview of RNA related tasks and algorithms

■ RNA-RNA interactions
■ Pseudoknot prediction - Eddy algorithm
■ Binding sites of RNA-binding proteins

Zu erbringende Prüfungsleistung

196
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)
Zu erbringende Studienleistung
keine | none

Literatur
■ Clote, Backofen: Computational Molecular Biologie, An Introduction. Wiley & Sons. ISBN-10:
0471872520 ISBN-13: 978-0471872528
■ Durbin et al. Biological Sequence Analysis. Cambridge University Press. ISBN-10: 0521629713
ISBN-13: 978-0521629713
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Fundamental understanding of RNA sequence/structure analysis
Knowledge about principle methods used in Bioinformatics

197
Name des Moduls Nummer des Moduls
RNA Bioinformatik / RNA Bioinformatics 11LE13MO-1318_PO 2020
Veranstaltung
RNA Bioinformatik / RNA Bioinformatics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1318

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 Stunden

Inhalt
In the exercises, students will learn through example scenarios to apply the principles and methods from the
lectures.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

198
Name des Moduls Nummer des Moduls
Robot Mapping 11LE13MO-1116_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Wolfram Burgard

Veranstalter
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none

Empfohlene Voraussetzung
It can advantageous to have attended “Introduction to Mobile Robotics”

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Roboter-Kartierung / Robot Mapping Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Roboter-Kartierung / Robot Mapping Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
The students should be able to understand, characterize, and implement different approaches to robot map-
ping and the simultaneous localization and mapping problem. This includes parametric and non-parametric
filters, optimization-based approaches as well as techniques for addressing data association problems. The
students will get practical experience with mapping systems and implement the basic methods.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

199
Name des Moduls Nummer des Moduls
Robot Mapping 11LE13MO-1116_PO 2020
Veranstaltung
Roboter-Kartierung / Robot Mapping
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1116

Veranstalter
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The lecture will cover different topics and techniques in the context of environment modeling with mobile
robots. This includes techniques such as the family of Kalman filters, information filters, particle filters,
graph-based approaches, least-squares error minimization, techniques for place recognition and appea-
rance-based mapping, data association as well as information-driven approaches for observation proces-
sing.
The exercises and homework assignments will also cover practical hands-on experience with mapping tech-
niques, as basic implementations will be part of the homework assignments.
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
oral exam (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr groß ist, kann stattdessen eine schriftliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is very high, might be exceptionally changed to written examination instead. Stu-
dents will be notified in good time.)
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
■ Thrun et al., Probabilistic Robotics, MIT Press, 2005
■ Springer Handbook on Robotics, Chapter on Simultaneous Localization and Mapping

200
■ Grisetti et al., A Tutorial on Graph-based SLAM, 2009
■ Cummins and Newman, Highly Scalable Appearance-Only SLAM, 2009.

Further material will be available via the course website

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
It can advantageous to have attended “Introduction to Mobile Robotics”

201
Name des Moduls Nummer des Moduls
Robot Mapping 11LE13MO-1116_PO 2020
Veranstaltung
Roboter-Kartierung / Robot Mapping
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1116

Veranstalter
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 15 Stunden

Inhalt
The exercises and homework assignments will also cover practical hands-on experience with mapping tech-
niques, as basic implementations will be part of the homework assignments.

Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

202
Name des Moduls Nummer des Moduls
Simulation in Computer Graphics 11LE13MO-1113_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Matthias Teschner

Veranstalter
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
■ Programming Skills
■ Knowledge in Algorithms and Data Structures, Linear Algebra and Analysis

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Simulation in der Computergraphik / Simu- Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
lation in Computer Graphics den |
hours
Simulation in der Computergraphik / Simu- Übung Wahlpflicht 2.00
lation in Computer Graphics

Qualifikationsziel
The module offers insights into physically-based animation techniques. Various models, numerical techni-
ques, data structures and algorithms for rigid or deformable solids and for fluids are covered. The students
learn a variety of relevant techniques. They also learn how to combine, e.g., fluids and solids in animation
frameworks.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

203
Name des Moduls Nummer des Moduls
Simulation in Computer Graphics 11LE13MO-1113_PO 2020
Veranstaltung
Simulation in der Computergraphik / Simulation in Computer Graphics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1113

Veranstalter
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The course addresses high-performance approaches for the particle-based simulation of fluids, elastic
solids, rigid bodies and their interactions. The course introduces relevant concepts with a strong focus on
high-performance implementations. The introduced concepts are used in interactive games and in the enter-
tainment industry in general, but also for large-scale simulations in engineering.

Topics:
1. Equations for the motion of particle-based fluids, elastic solids and rigid bodies.
2. Time derivatives to compute particle motion.
3. Spatial derivatives with SPH to compute particle forces.
4. Efficient matrix-free implementations of linear solvers for robust implicit formulations.
5. Spatial data structures for accelerated fluid-rigid and rigid-rigid interactions.
6. Efficient implementations of spatial data structures with hashing and sorting.

Lernziele / Lernergebnisse
Substantial understanding of concepts for the particle-based simulation of various materials. In-depth know-
ledge of high-performance implementations of all simulation components.

Zu erbringende Prüfungsleistung

204
mündliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
oral exam (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl groß ist, kann stattdessen eine schriftliche Prüfung durchgeführt werden. Die
Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is high, might be exceptionally changed to written examination instead. Students
will be notified in good time.)
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
■ Koschier et al: Smoothed Particle Hydrodynamics Techniques for the Physics Based Simulation of Fluids
and Solids.
■ Ihmsen et al: SPH Fluids in Computer Graphics.
■ Bridson: Fluid Simulation for Computer Graphics.
■ Ericson: Real-time Collision Detection.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
■ Programming Skills (C, C++, Java)
■ Knowledge in Algorithms and Data Structures, Linear Algebra and Analysis
Lehrmethoden
Lectures, discussions, theoretical and practical exercises.
Zielgruppe
M.Sc. students and advanced B.Sc. students in Computer Science and related study programmes.

205
Name des Moduls Nummer des Moduls
Simulation in Computer Graphics 11LE13MO-1113_PO 2020
Veranstaltung
Simulation in der Computergraphik / Simulation in Computer Graphics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1113

Veranstalter
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 Stunden

Inhalt
In the exercises, students will learn to apply the methods from the lectures in a practical setting.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

206
Name des Moduls Nummer des Moduls
Social Robotics 11LE13MO-1124_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernhard Nebel

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
keine | none
Basics in principles of AI can be beneficial

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Soziale Robotik / Social Robotics Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Soziale Robotik / Social Robotics Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
The lecture addresses social robotics as an interdisciplinary research area. Students are made familiar with
the major research topics and methods in social robotics to an extent that allows them to understand cur-
rent research literature in the field of social robotics, to put it into context, and to actively participate in social
robotics research.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

207
Name des Moduls Nummer des Moduls
Social Robotics 11LE13MO-1124_PO 2020
Veranstaltung
Soziale Robotik / Social Robotics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1124

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Die Vorlesung befasst sich mit der Sozialen Robotik als interdisziplinäres Forschungsgebiet.
Zentrale Themen umfassen:
- Grundlagen der deskriptiven und inferentiellen Statistik (anhand der Statistiksoftware R)
- Paradigmen des Experimentaldesigns in der Sozialen Robotik (Wizard-of-Oz etc.)
- Algorithmen und Software-Architekturen für Soziale Roboter
- Formale Modellierungen menschlicher Präferenzen und Fähigkeiten
- Multi-Modale Interfaces (Sprache, Gestik, Mimik)
- Roboterethik und Maschinelle Ethik
|
The lecture introduces Social Robotics as an interdisciplinary research area.
Major topics include:
- Introduction to descriptive and inferential statistics (using the statistics software R)
- Experimental paradigms in social robotics (Wizard-of-Oz etc.)
- Algorithms and Software Architectures for social robots
- Formal modeling of human preferences and abilities
- Multi-Modal Interfaces (Speech, Gestures, Facial Expressions)
- Robo-ethics and machine ethics

Zu erbringende Prüfungsleistung

208
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
C. Breazeal, Designing Sociable Robots, MIT Press, Cambridge, MA,
USA, 2002.
A. Field, J. Miles, Z. Field, Discovering Statistics Using R, Sage
Publications Ltd., 2002.
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
keine | none
Basics in principles of AI can be beneficial

209
Name des Moduls Nummer des Moduls
Social Robotics 11LE13MO-1124_PO 2020
Veranstaltung
Soziale Robotik / Social Robotics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1124
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 15 Stunden

Inhalt
Aufgabenstellungen in den Übungen können projektartige Programmieraufgaben, Theorieaufgaben (Rech-
nungen,
Herleitungen und Beweise), Analysen von Datensätzen mit R, sowie Aufbereitungen von Lesestoff umfas-
sen. Studierende präsentieren ihre Ergebnisse an den Übungsterminen.
|
Coursework may include programming exercises, theoretical tasks (calculations, derivations, and proofs),
data analysis using R, and literature work. Students prepare presentations of their results.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Die Studienleistung ist erbracht, wenn mind. 50% der Übungspunkte erreicht wurden. |

For passing the coursework (Studienleistung) it is necessary to reach 50% of all points from the exercises.
Teilnahmevoraussetzung

210
Name des Moduls Nummer des Moduls
Spieltheorie / Game Theory 11LE13MO-1117_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernhard Nebel

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
For this course, no particular prerequisites are required.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Spieltheorie / Game Theory Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den |
hours
Spieltheorie / Game Theory Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
After attending the module, students should be able to model simple strategic decision situations according
to the game theory and to analyze them with regard to solutions (Nash equilibria, subgame perfect equili-
bria). Moreover, the students should be able to employ simple mechanisms.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

211
Name des Moduls Nummer des Moduls
Spieltheorie / Game Theory 11LE13MO-1117_PO 2020
Veranstaltung
Spieltheorie / Game Theory
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1117

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Gegenstand der Spieltheorie ist das rationale Fällen von Entscheidungen zur Verwirklichung der eigenen
Ziele. Insbesondere geht es dabei um Wechselwirkungen und Konflikte zwischen den Zielen der verschie-
denen Spieler, also um die Frage, in welcher Weise das Wissen um die Ziele der anderen Spieler die eige-
nen Verhaltensweisen beeinflusst. In der Vorlesung werden folgende Arten von Spielen untersucht:
■ Strategische Spiele
■ Extensive Spiele

Dabei werden Formalisierungen und Lösungskonzepte sowie Algorithmen zum Berechnen von Lösungen
vorgestellt.
|
Game theory is about rational decision making to further ones own objectives. In particular, it is about inter-
actions and conflicts between the objectives of different players, i.e., about the question how the knowledge
about other players' objectives influences ones own behavior. In the lecture, we study strategic and exten-
sive games and discuss formalizations and solution concepts as well as algorithms for the computation of
such solutions.
In addition, the course is concerned with the mechanism design problem, i.e., with the question of how the
rules of a social system should be designed in order to incentivize all participants to behave in a way that
maximizes social welfare.

Zu erbringende Prüfungsleistung

212
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übungen | see Exercises
Literatur
■ Osborne, Rubinstein, A Course in Game Theory, The MIT Press, Cambridge, MA, 1994
■ Nisan, Roughgarden, Tardos, Vazirani (Hrsg.), Algorithmic Game Theory, Cambridge University Press,
2007
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
For this course, no particular prerequisites are required.

213
Name des Moduls Nummer des Moduls
Spieltheorie / Game Theory 11LE13MO-1117_PO 2020
Veranstaltung
Spieltheorie / Game Theory
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1117

Veranstalter
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 13 Stunden

Inhalt
During the semester there will be weekly theoretical exercise sheets and sporadic practical exercises and
didactic web-based experiments in game theory. To complete the practical exercise sheets, Python 3 foun-
dations are assumed
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
Die Studienleistung ist bestanden, wenn 50% der erreichbaren Punkte aus den Übungen und Projekten
erreicht sind. |

For passing the coursework (Studienleistung) it is necessary to reach 50% of all points from the exercises
and projects.
Teilnahmevoraussetzung

214
Name des Moduls Nummer des Moduls
Statistical Pattern Recognition 11LE13MO-1114_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Thomas Brox

Veranstalter
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Fundamental mathematical knowledge, particularly statistic

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Statistische Mustererkennung / Statistical Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
Pattern Recognition den |
hours
Statistische Mustererkennung / Statistical Übung Wahlpflicht 2.00
Pattern Recognition

Inhalt

Qualifikationsziel
Students know the most relevant techniques of pattern recognition. They are able to understand current
related literature and can apply appropriate techniques to solve pattern recognition problems in different
areas of application.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

215
Teil der Spezialisierung Künstliche Intelligenz im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Artificial Intelligence in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

216
Name des Moduls Nummer des Moduls
Statistical Pattern Recognition 11LE13MO-1114_PO 2020
Veranstaltung
Statistische Mustererkennung / Statistical Pattern Recognition
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1114

Veranstalter
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 28 Stunden
Selbststudium 126 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The course introduces the basic ideas of recognition and learning, and reviews the most important termi-
nology of probabilistic methods. Afterwards the most common techniques for classification, regression, and
clustering are presented, among them linear regression, Gaussian processes, logistic regression, support
vector machines, non-parametric density estimation, and expectation-maximization. Additionally, the course
includes dimensionality reduction methods and inference in graphical models. Programming assignments in
Matlab or Python help deepen the understanding of the material.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
Siehe Übung | see exercises
Literatur
"Pattern Recognition and Machine Learning" by Christopher Bishop

Teilnahmevoraussetzung
keine | none

Empfohlene Voraussetzung

217
Fundamental mathematical knowledge, particularly statistic
Bemerkung / Empfehlung
Usually the course is offered every summer semester; as there might be rare exceptions in some years, it's
marked as "irregularly"

218
Name des Moduls Nummer des Moduls
Statistical Pattern Recognition 11LE13MO-1114_PO 2020
Veranstaltung
Statistische Mustererkennung / Statistical Pattern Recognition
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1114

Veranstalter
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 Stunden

Inhalt
The exercises consist of theoretical assignments and programming assignments, to apply the methods and
concepts from the lecture.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

219
Name des Moduls Nummer des Moduls
Test und Zuverlässigkeit / Test and Reliability 11LE13MO-1202_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Bernd Becker

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse in Technische Informatik und Rechnerarchitektur / Computer Architecture |

Knowledge of technical informatics and computer architecture

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Test und Zuverlässigkeit / Test and Reliabi- Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
lity den |
hours
Test und Zuverlässigkeit / Test and Reliabi- Übung Wahlpflicht 1.00
lity

Qualifikationsziel
The students know the basic questions of testing digital circuits and, based on this, know, apply and, if
necessary, adapt important algorithmic techniques to new needs. Students are able to carry out "Design for
Testability" and assess the advantages and disadvantages of these measures. They are familiar with the
challenges of the new technologies and they can assess state-of-the-art approaches.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

220
Name des Moduls Nummer des Moduls
Test und Zuverlässigkeit / Test and Reliability 11LE13MO-1202_PO 2020
Veranstaltung
Test und Zuverlässigkeit / Test and Reliability
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1202

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The manufacturing process of integrated circuits (ICs, chips) is a yield process, i.e. some of the ICs will be
inherently prone to failures. Since shipping of defective chips implies high follow-up costs, a test phase is
necessary to detect defective chips as early as possible. Today, the so-called structural test flow is widely
accepted. Here, defects are abstracted with the help of fault models and test patterns are generated that
guarantee a high fault coverage with respect to the fault model considered. Taken together, test costs are
responsible for up to 40% of the IC’s production costs. Furthermore, it is widely accepted that already during
the design phase testability has to be taken into account (design for testability, DFT). Because of this, at
least a basic knowledge of IC test issues is of importance also for IC designers.
Consequently, the course starts with standard test topics like fault models, (stuck-at)-fault simulation and
automatic test pattern generation (ATPG). We will also provide an introduction to DFT methods, in particular
scan design and built-in self-test. Finally, current research topics such as defect based testing, non-standard
fault models, test for systems-on-a-chip (SOCs), variation aware testing, robustness analysis are addres-
sed.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Klausur / schriftliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
Written examination (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr klein ist, kann stattdessen eine mündliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is small, might be changed to oral exam instead. Students will be notified in good
time.)

221
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Literatur
■ Abramovici, Breuer, Friedman, "Digital Systems Testing & Testable Design", IEEE Press, 1994, ISBN:
0780310624 (available in our library).
■ Jha, Gupta, "Testing of Digital Systems", Cambridge University Press, 2003, ISBN 05217 73563 (availa-
ble in our library).
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse in Technische Informatik und Rechnerarchitektur / Computer Architecture |

Knowledge of technical informatics and computer architecture

222
Name des Moduls Nummer des Moduls
Test und Zuverlässigkeit / Test and Reliability 11LE13MO-1202_PO 2020
Veranstaltung
Test und Zuverlässigkeit / Test and Reliability
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1202

Veranstalter
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 15 Stunden

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
Teilnahmevoraussetzung

223
Name des Moduls Nummer des Moduls
Verteilte Systeme / Distributed Systems 11LE13MO-1312_PO 2020
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Fabian Kuhn

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in algorithm design & analysis, some mathematical maturity (in particular, we use some
graph theory and probability theory)
Knowledge about databases and information systems

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Verteilte Systeme / Distributed Systems Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den |
hours
Verteilte Systeme / Distributed Systems - Übung Wahlpflicht 2.00
Übung

Qualifikationsziel
The students know the specific problems in distributed systems that arise from the interaction of concurrent
processes. They know and apply solutions to such problems.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Teil der Spezialisierung Cyber-Physical Systems im Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering|
Part of the specialization Cyber-Physical Systems in Master of Science Informatik/Computer Science
bzw. MSc Embedded Systems Engineering

224
Name des Moduls Nummer des Moduls
Verteilte Systeme / Distributed Systems 11LE13MO-1312_PO 2020
Veranstaltung
Verteilte Systeme / Distributed Systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1312

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
The course provides an introduction to the fundamentals of distributed systems and algorithms. The course
will in particular cover the following topics:

- distributed systems models

- time and global states in distributed systems
- sychronous and asynchronous systems
- fault tolerance
- basic distributed algorithms for coordination and agreement tasks
- basic distributed network algorithms
- distributed and parallel graph algorithms
- impossibility results and lower bounds
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Abschlussprüfung (Dauer im Rahmen der Prüfungsordnungsregelung) |
oral exam (duration within the framework of the examination regulations)

(Wenn die Teilnehmerzahl sehr groß ist, kann stattdessen eine schriftliche Prüfung durchgeführt werden.
Die Studierenden werden rechtzeitig informiert. |
If number of participants is very high, might be exceptionally changed to written examination instead. Stu-
dents will be notified in good time.)

Zu erbringende Studienleistung

225
keine | none
(Please note: The exercises are an integral part of the lecture, the topics covered by the exercises will also
be part of the exam.)
Literatur
Some of the content is for example covered by the following books:

Distributed Computing: Fundamentals, Simulations and Advanced Topics

Hagit Attiya, Jennifer Welch.
McGraw-Hill Publishing, 1998, ISBN 0-07-709352 6

Distributed Computing: A Locality-Sensitive Approach

David Peleg.
Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM), 2000, ISBN 0-89871-464-8

Additional literature will be provided in the lecture.

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in algorithm design & analysis, some mathematical maturity (in particular, we use some
graph theory and probability theory)

226
Name des Moduls Nummer des Moduls
Verteilte Systeme / Distributed Systems 11LE13MO-1312_PO 2020
Veranstaltung
Verteilte Systeme / Distributed Systems - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1312

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 Stunden

Inhalt
The lecture will be complemented by theoretical exercises that allow to apply and further develop ideas and
techniques discussed in the lecture. The exercises are an integral part of the lecture, the topics covered by
the exercises will also be part of the oral exam.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung | see Lecture
Zu erbringende Studienleistung
keine | none
(Please note: The exercises are an integral part of the lecture, the topics covered by the exercises will also
be part of the exam.)
Teilnahmevoraussetzung

227
Name des Kontos Nummer des Kontos
Seminars 11LE13KT-Seminare
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

ECTS-Punkte 6,0
Benotung A- Berechnung 1 NachK

Kommentar
In the area of Elective Courses in Computer Science, instead of Specialization Courses in Computer
Science, a maximum of two seminars from the seminars offered by the Department for Computer Science
can be completed.

228
Name des Moduls Nummer des Moduls
Seminar 1 11LE13MO-Seminar 1
Verantwortliche/r

Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Workload 90 Stunden | hours
Angebotsfrequenz in jedem Semester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
allgmeine mathematische Grundkenntnisse, praktische und theoretische Grundlagen der Informatik, ggf.
themenspezifische Vorkenntnisse für den gewählten Themenbereich |
general mathematical knowledge, practical and theoretical foundations in Computer Science, possibly sub-
ject-specific knowledge for the chosen topics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
VG Seminar 1 M Veranstaltung Pflicht 2.00 90 Stun-
den |
hours

Qualifikationsziel
Die Studierenden erhalten einen vertieften Einblick in das wissenschaftliche Arbeiten auf einem speziel-
len Fachgebiet der Informatik. Anhand ausgesuchter Themen aus den unterschiedlichen Forschungs- und
Arbeitsgebiete der Professuren und Arbeitsgruppen vertiefen die Studierenden ihre Kenntnisse, wie man
wissenschaftliche Texte liest, Hintergrundrecherche durchführt, wissenschaftliche Ergebnisse präsentiert
und an wissenschaftlichen bzw. fachlichen Diskussionen teilnimmt.
Sie erweitern ihre Kenntnisse in den Regeln und Techniken des wissenschaftlichen Arbeitens (z.B. korrek-
tes Zitieren), insbesondere im Hinblick auf den redlichen Umgang in der Wissenschaft; diese Kenntnisse
werden für das Verfassen der Masterarbeit benötigt.
Das Anfertigen und Halten einer eigenen Präsentation im Rahmen des Seminars bereitet direkt auf die Prä-
sentation der Masterarbeit vor.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Die Prüfungsleistung besteht in der Erstellung und Durchführung einer wissenschaftlichen Präsentation.
Zu erbringende Studienleistung

229
Regelmäßige Teilnahme an den Veranstaltungen des Seminars ist wichtig für das Verständnis und das
Erreichen der Qualifikationsziele. Daher ist üblicherweise Anwesenheitspflicht ein Bestandteil der Studien-
leistung im Seminar. Weitere Teilleistungen können in den konkreten Beschreibungen der einzelnen seme-
sterweisen Lehrveranstaltungen geregelt werden.
Bemerkung / Empfehlung
Informationen zum Belegverfahren für Seminare: | Information about booking procedure for seminars:

https://www.tf.uni-freiburg.de/en/studies-and-teaching/a-to-z-study-faq

230
Name des Moduls Nummer des Moduls
Seminar 1 11LE13MO-Seminar 1
Veranstaltungsgruppe
VG Seminar 1 M
Veranstaltungsart Nummer
Veranstaltung 11LE13VG-Seminar
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 30
Selbststudium 60
Workload 90 Stunden | hours

Inhalt
Various topics (changing each semester) from the research and teaching areas of the work groups/chairs at
the Department of Computer Science
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral presentation (duration within the framework of the examination regulations)
Zu erbringende Studienleistung
Regular participation in the lessons of the seminar (with compulsory attendance); further course work might
be required in accordance with some of the specific semester-wise courses
Literatur
background literature provided by the lecturers
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
allgmeine mathematische Grundkenntnisse, praktische und theoretische Grundlagen der Informatik, ggf.
themenspezifische Vorkenntnisse für den gewählten Themenbereich |
general mathematical knowledge, practical and theoretical foundations in Computer Science, possibly sub-
ject-specific knowledge for the chosen topics
Lehrmethoden
Seminars can be held in a weekly fashion or as a compact course (during/at the end of lecture time)

231
Name des Kontos Nummer des Kontos
Studienprojekt / Study project
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht

ECTS-Punkte 18,0
Benotung

Kommentar
In the area of Elective Courses in Computer Science, instead of Specialization Courses in Computer
Science, students can choose to earn 18 ECTS credits by completing a Studienprojekt / Study project.

232
Name des Moduls Nummer des Moduls
Studienprojekt / Study project 11LE13MO-9140 Studienpro-
jekt Allgemein
Verantwortliche/r

Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 18,0

Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Workload 540 Stunden
Angebotsfrequenz in jedem Semester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
allgmeine mathematische Grundlagen, praktische und theoretische Grundlagen der Informatik, themenspe-
zifische Vorkenntnisse für den gewählten Themenbereich |
general fundamental mathematical knowledge, practical and theoretical foundations in Computer Science,
subject-specific knowledge for the chosen topics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Studienprojekt Allgemein Veranstaltung Pflicht 540 Stun-
den |
hours

Qualifikationsziel
In this module students get involved in the actual research process of the chosen work group/chair.
Depending on their personal field of interest and their expertise in various research and teaching areas offe-
red at the Department of Computer Science, they decide on a specific topic and deepen their knowledge
and skills in this area as well as their overall proficiency in academic work and research. They learn to work
on the different tasks required for the specific project under given technical specifications, to develop appro-
priate systems and to work constructively in projects.
Students acquire the ability to familiarize themselves with new problems and do indepent background rese-
arch. They will work with modern development environments and adhere to the generally accepted quality
standards. During the project, working in a team as well as observing the rules of good scientific work will be
expected.

Bemerkung / Empfehlung
Language is usually English, but might be negotiable (changed to German)

Please learn about the procedure of finding a topic and registering for the project in good time.

233
Name des Moduls Nummer des Moduls
Studienprojekt 11LE13MO-9140 Studienpro-
jekt Allgemein
Veranstaltungsgruppe
Studienprojekt Allgemein
Veranstaltungsart Nummer
Veranstaltung 11LE13VG-9140 Studienpro-
jekt-Allgemein
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 18,0
Semesterwochenstunden (SWS)
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium ca. 20 Stunden
Selbststudium ca. 520 Stunden
Workload 540 Stunden | hours

Inhalt
Students choose a specific topic (according to their personal interest and present field of expertise) from
one of the research and teaching areas offered at the Department of Computer Science.
They work independently under a supervisor and connected to the research team on subject specific tasks,
gaining experience with scientific work and working with state-of-the-art development enviroments or lab
equipment.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Depending on specific project: written research paper or creation of a software program or demonstrators
Zu erbringende Studienleistung
Active participation (attendance can be required) in (team) discussions or meetings with the supervisor, self-
organizing the given tasks, doing background research, presentation of results

Literatur
Depends on topic; provided by the supvervisor
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
allgmeine mathematische Grundlagen, praktische und theoretische Grundlagen der Informatik, themenspe-
zifische Vorkenntnisse für den gewählten Themenbereich |
general fundamental mathematical knowledge, practical and theoretical foundations in Computer Science,
subject-specific knowledge for the chosen topics

234
Name des Kontos Nummer des Kontos
Microsystems Engineering Concentration Areas
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

ECTS-Punkte 18 to 36 credits
Benotung

Kommentar
Students have to take at least 18 ECTS credits within one of the Microsystems Engineering Concentration
Areas:
• Circuits and Systems
• Materials and Fabrication
• Biomedical Engineering
• Photonics

Together with the chosen courses from Advanced Microsystems Engineering, the amount of ECTS credits
must not surpass 54.

Overall, the limit of ECTS credits is 90 for the areas of

• Essential Lectures in Computer Science
• Elective Courses in Computer Science
• Advanced Microsystems Engineering
• Microsystems Engineering Concentration Areas

The module descriptions are provided in the additional Module handbook

“Anhang/Appendix zu den Modulhandbüchern”

235
Name des Kontos Nummer des Kontos
Customized Course Selection
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht

ECTS-Punkte Max. 18
Benotung

Kommentar
Instead of doing courses surpassing the bare minimum of 18 ECTS credits each in the areas of
• Elective Courses in Computer Science
• Elective Courses in Computer Science
• Advanced Microsystems Engineering
• Microsystems Engineering Concentration Area
students can choose other courses of 18 ECTS credits at the most available in the Customized Course
Selection. These courses can be chosen from
• Modules/courses from MSc Computer Science or MSc Microsytsems Engineering that are
completed as pass/fail courses (“Studienleistung”) only
• Courses from other Subjects or Departments/Faculties at the University of Freiburg
• One language course
All these modules/courses are pass/fail assessments (Studienleistungen).

236
Name des Kontos Nummer des Kontos
Modules/courses from MSc Computer Science or MSc Microsytsems
Engineering (SL only)
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht

Benotung

Kommentar
Modules/courses from MSc Computer Science or MSc Microsytsems Engineering that are completed as
pass/fail courses (“Studienleistung”) only are, for instance
• Praktikum / Lab course from Computer Science

237
Name des Moduls Nummer des Moduls
Praktikum / Lab course from Computer Science 11LE13MO-7110 PO 2020
Verantwortliche/r

Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Workload 180 Stunden | hours
Angebotsfrequenz in jedem Semester

Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
allgmeine praktische und theoretische Grundlagen der Informatik, Programmierkenntnisse, themenspezifi-
sche Vorkenntnisse für den gewählten Themenbereich |
general practical and theoretical foundations in Computer Science, programming skills, subject-specific
knowledge for the chosen topics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Praktikum Veranstaltung Wahlpflicht 6,0 4.00 180 Stun-
den |
hours

Qualifikationsziel
While working with other students or members of the work groups/chairs at the Department of Computer
Science on one of many topics they can choose from following their field of interest, students learn to com-
plete given tasks taking into account the given technical conditions, conduct experiments and record and
analyze the results in appropriate scientific manner and report on their work.

Bemerkung / Empfehlung
Language is usually English, but might be negotiable (changed to German)

238
Name des Moduls Nummer des Moduls
Praktikum 11LE13MO-7110 PO 2020
Veranstaltungsgruppe
Praktikum
Veranstaltungsart Nummer
Veranstaltung 11LE13VG-7110 Praktikum
PO 2020
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS)
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 60 Stunden
Selbststudium 120 Stunden
Workload 180 Stunden | hours

Inhalt
Various topics from the research and teaching areas of the work groups/chairs at the Department of Compu-
ter Science
Zu erbringende Prüfungsleistung
keine | none
Zu erbringende Studienleistung
Active participation (attendance uually required) in (team) meetings with the supervisor, working on assi-
gned tasks and experiments, self-organizing the given tasks, doing background research, creation of a soft-
ware program or demonstrators, presentation of results

Literatur
Instructions and background literature are provided by the lecturers
Teilnahmevoraussetzung
keine | none
Empfohlene Voraussetzung
allgmeine praktische und theoretische Grundlagen der Informatik, Programmierkenntnisse, themenspezifi-
sche Vorkenntnisse für den gewählten Themenbereich |
general practical and theoretical foundations in Computer Science, programming skills, subject-specific
knowledge for the chosen topics

239
Name des Kontos Nummer des Kontos
Courses from other Subjects or Departments/Faculties at the University
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht

Benotung

Kommentar
Courses from other departments of the University can only be chosen from selected subjects. These sub-
jects are listed below.

• Economics
• Susatainable Systems Engineering

As per the examination regulations, exceptions for courses in subjects usually not available might be gran-
ted. Information about the process to apply for such exceptions can be found on the website of the Faculty
of Engineering.

240
 Technische Fakultät

Anhang/Appendix zu den
Modulhandbüchern
Concentration Areas - Vertiefungsbereiche
der Studiengänge

Master of Science im Fach Microsystems Engineering PO 2021

Master of Science im Fach Mikrosystemtechnik PO 2021
Master of Science im Fach Embedded Systems Engineering -
Bereich/Area Microsystems Engineering

Weitere Master of Science Studiengänge der Technischen Fakultät

nach Freigabe durch den jeweiligen Studiendekan

1
 Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Content
Concentration Areas ........................................................................................................................... 5
Circuits and Systems....................................................................................................................... 6
Angewandte Sensorschaltungstechnik ........................................................................................... 7
CMOS-Integrierte Mikrosysteme / CMOS MEMS ........................................................................... 9
Drahtlose Sensorsysteme / Wireless Sensor Systems ................................................................. 14
Energiegewinnung / Energy harvesting ........................................................................................ 18
Entwurf Analoger CMOS Schaltungen / Analog CMOS Circuit Design ......................................... 22
Entwurf von CMOS Mixed-Signal Schaltungen / Mixed-Signal CMOS Circuit Design ................... 28
Flugregelung Praktikum / Flight Control Laboratory ...................................................................... 32
Fortgeschrittene Aufbau- und Verbindungstechnik / Advanced Assembly and Packaging
Technology ................................................................................................................................... 35
Fortgeschrittenes Mikrocontroller-Praktikum / Advanced Microcontroller Lab ............................... 39
Leistungselektronik für die Elektromobilität/Power Electronics for E-Mobility ................................ 42
Mikroakustische Wandler / Micro Acoustical Transducers ............................................................ 46
Mikrocomputertechnik/ Microcontroller Techniques - Praktikum ................................................... 49
Model Predictive Control and Reinforcement Learning ................................................................. 51
MST Design Lab II for Microsystems Engineering ........................................................................ 56
Numerische Optimale Steuerung - Projekt / Numerical Optimal Control in Engineering - Project .. 63
Numerische Optimierung / Numerical Optimization....................................................................... 65
Numerische Optimierung Projekt / Numerical Optimization Project............................................... 69
Rennautoregelung Praktikum / Race Car Control Laboratory ....................................................... 71
RF- und Mikrowellen Bauelemente und Schaltungen / RF- and Microwave Devices and Circuits . 74
RF- und Mikrowellen Schaltungen und Systeme / RF- and Microwave Cir- cuits and Systems ..... 77
RF- und Mikrowellen Systeme - Design Kurs / RF- and Microwave Systems- Design Course ...... 80
Sensors and actuators circuit technology ..................................................................................... 83
Sensor-Aktor-Schaltungstechnik................................................................................................... 86
State Space Control Systems ....................................................................................................... 90
Thermoelektrik und thermische Messtechnik ................................................................................ 94
Windenergiesysteme / Wind Energy Systems .............................................................................. 96
Zuverlässigkeitstechnik / Reliability Engineering........................................................................... 99
Materials and Fabrication ............................................................................................................ 104
Computational physics: material science .................................................................................... 105
Disposable sensors .................................................................................................................... 109
Electrochemical energy applications: fuel cells and electrolysis .................................................. 112
Elektrochemische Methoden für Ingenieure / Electrochemical Methods for Engineers ............... 114
Energiespeicherung und Wandlung mittels Brennstoffzellen / Energy sto- rage and conversion
using fuel cells ............................................................................................................................ 117
Fortgeschrittene Siliziumtechnologie / Advanced Silicon Technology ......................................... 120
Funktionale Sicherheit - Aktive Resilienz / Functional Safety, Security and Sustainability: Active
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Resilience ................................................................................................................................... 122

Hardware-Entwicklung mit der Finite-Elemente-Methode / Hardware Design with the Finite-
Element-Method ......................................................................................................................... 127
Keramische Werkstoffe der Mikrotechnik / Ceramic Materials for microsystems......................... 129
Kontakt, Adhäsion, Reibung / Contact, Adhesion, Friction .......................................................... 132
Kontinuumsmechanik I mit Übungen / Continuum mechanics I with exercises ........................... 136
Kontinuumsmechanik II mit Übungen / Continuum mechanics II with exercises ......................... 141
Konstitutive Gleichungen und Diskretisierungsverfahren zur Versagensmodellierung / Physics of
Failure ........................................................................................................................................ 146
Lithographie / Lithography .......................................................................................................... 150
Materials for Electronic Systems................................................................................................. 153
Mechanische Eigenschaften und Degradationsmechanismen / Mechanical Properties and
Degradation Mechanisms ........................................................................................................... 158
Methoden der Materialanalyse / Methods of Material Analysis ................................................... 161
Mikrostrukturierte Kunststoffkomponenten / Microstructured Polymer Components.................... 163
Nanomaterialien / Nanomaterials................................................................................................ 167
Nanotechnologie / Nanotechnology ............................................................................................ 170
Nano - Praktikum / Nano - Laboratory ........................................................................................ 174
Oberflächenanalyse / Surface Analysis ...................................................................................... 176
Oberflächenanalyse – Praktikum / Surface Analysis Laboratory ................................................. 178
Optimierung ................................................................................................................................ 181
Optimierung von Fertigungsverfahren / Advanced engineering .................................................. 185
Polymer Processing and Microsystems Engineering .................................................................. 188
Quantenmechanik für Ingenieur*innen / Quantum Mechanics for Engineers .............................. 192
Reinraumlaborkurs für Ingenieure / Clean Room Laboratory for Engineers ................................ 197
Resilienzquantifizierung / Quantification of Resilience ................................................................ 201
Solare Energie / Solar Energy .................................................................................................... 205
Techniken zur Oberflächenmodifizierung / Surface coating Techniques ..................................... 208
Verbindungshalbleiter / Compound semiconductor devices ........................................................ 210
Von Mikrosystemen zur Nanowelt / From Microsystems to the Nanoworld ................................. 213
Werkstoffdynamik / Dynamics of Materials: Material Characterization ........................................ 216
Biomedical Engineering .............................................................................................................. 221
Analyse von Life Science Hochdurchsatzdaten mit Galaxy......................................................... 222
Ausgewählte Problemstellungen in Biosignalverarbeitung / Selected Problems in Biosignal
Processing ................................................................................................................................. 225
Biofunktionelle Materialien - für medizinische Mikrosystemtechnik und Gesundheitsvorsorge /
Biofunctional Materials - for medical microsystems and healthcare ............................................ 230
Biomedizinische Messtechnik I / Biomedical Instrumentation I ................................................... 233
Biomedizinische Messtechnik II / Biomedical Instrumentation II.................................................. 238
Biomedizinische Messtechnik - Praktikum / Biomedical Instrumentation - Laboratory................. 243
BioMEMS ................................................................................................................................... 246
Bionische Sensoren / Bionic Sensors ......................................................................................... 249
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Biophysics of cardiac function and signals.................................................................................. 251

Biophysik - Grundlagen und Konzepte........................................................................................ 254
Biotechnologie für Ingenieure I: Einführung, Molekular- und Mikrobiologie / Biotechnology for
Engineers I: Introduction, Molecular- and Microbiology............................................................... 259
Biotechnologie für Ingenieure II / Biotechnology for Engineers II ................................................ 263
Ethische Aspekte der Neurotechnologie / Ethical Aspects of Neurotechnology .......................... 267
Grundlagen der Elektrostimulation / Fundamentals of electrical stimulation ................................ 269
Introduction to data driven life sciences ...................................................................................... 272
Introduction to physiological control systems .............................................................................. 275
Machine Learning ....................................................................................................................... 279
Mikrofluidik II: Miniaturisieren, Automatisieren, und Parallelisieren biochemi- scher
Analyseverfahren: Von der Idee zum Produkt / Microfluidics II: Miniaturize, automate and
parallelize biochemical analysis: From idea to product launch .................................................... 283
Mikrosystemtechnik in der Medizin / Microsystems technology in Medicine ................................ 288
Nanobiotechnologie / Nanobiotechnology................................................................................... 290
Neurophysiologie - Praktikum / Neurophysiology - Laboratory.................................................... 293
Neuroprothetik / Neuroprosthetics .............................................................................................. 296
Neurowissenschaften für Ingenieure / Neuroscience for Engineers ............................................ 299
Signalverarbeitung und Analyse von Gehirnsignalen / Signal processing and analysis in brain
signals ........................................................................................................................................ 304
Siliziumbasierte Neurosonden / Silicon-based Neural Technology ............................................. 308
Technologien der Implantatfertigung / Implant Manufacturing Technologies ............................... 311
Technologien der Implantatfertigung - Praktikum / Implant Manufacturing Technologies -
Laboratory .................................................................................................................................. 315
Biointerfaces I - Basics for Bioanalytical Systems ....................................................................... 318
Photonics ..................................................................................................................................... 320
Gassensorik / Gas sensors_PO 2009_2 ..................................................................................... 321
Lasers ........................................................................................................................................ 324
Microscopy and Optical Image Formation................................................................................... 326
Nano-Photonik – Optische Manipulation und Partikeldynamik .................................................... 331
Optik-Praktikum Grundlagen / Basic Optics Laboratory .............................................................. 336
Optik-Praktikum Fortgeschritten / Advanced Optics Laboratory .................................................. 340
Optische Materialien / Optical Materials...................................................................................... 343
Optische MEMS / Optical MEMS ................................................................................................ 347
Optische Messverfahren: Grundlagen und Anwendungen in der Praxis / Optical measurement
techniques .................................................................................................................................. 350
Optical metrology for quality assurance in sustainable production .............................................. 353
Optoelektronik / Optoelectronics ................................................................................................. 357
Spektroskopische Methoden ...................................................................................................... 361
Wellenoptik / Wave Optics .......................................................................................................... 363
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Kontos Nummer des Kontos

Concentration Areas 11LE50KO-WP-MSc-986-2021

WP2
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

ECTS-Punkte 30,0
Benotung A- Berechnung 1 NachK

Kommentar
There are four different concentration areas: Circuits and Systems, Materials and Fabrication, Biomedical
Engineering und Photonics. Students will choose one of these four areas and complete 30 ECTS points in
the same area. Up to 9 of these 30 ECTS points may be completed in the Customized Course Selection
area.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Kontos Nummer des Kontos

Circuits and Systems 11LE50KO-WP-MSc-986-2021

WP2 CuS
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

Benotung A- Berechnung 1 NachK
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Angewandte Sensorschaltungstechnik 11LE50MO-5268 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Peter Woias

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.5
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz in jedem Semester

Teilnahmevoraussetzung
Keine
Empfohlene Voraussetzung
Keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Angewandte Sensorschaltungstechnik - Praktikum Wahlpflicht 3,0 2.50 180 Stun-
Praktische Übung den

Qualifikationsziel
Die Studierenden haben praktisches "hands-on" Wissen zum Design, zur Simulation, zur Herstellung und
zum Test einer elektronischen Sensorschaltung erworben. Sie sind in der Lage elektronische Schaltungen
zu entwickeln, diese in PSPICE zu simulieren, ein Schaltungslayout zu entwerfen und die Schaltung als Pla-
tine aufzubauen. Sie können eine Schaltung messtechnisch charakterisieren und können ihre Ergebnisse in
Form einer Kurzpräsentation vorstellen.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Unter anderem: Für Studierende im M.Sc. Mikrosystemtechnik oder M.Sc. Microsystems Engineering, PO
2021, Vertiefung Schaltungen und Systeme (Circuits and Systems).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Angewandte Sensorschaltungstechnik 11LE50MO-5268 PO 2021
Veranstaltung
Angewandte Sensorschaltungstechnik - Praktische Übung
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50prÜ-5268

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.5
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz in jedem Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 52 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden

Inhalt
Inhalte sind:
• Entwurf des Schaltungskonzeptes für ein elektronisches Sensorinterface
• PSPICE-Simulation des gefundenen Konzeptes, Optimierung der Schaltung
• Platinenlayout
• Platinenfertigung und -bestückung
• Schaltungstest
• Abschlußpräsentation
Zu erbringende Prüfungsleistung
Praktische Prüfungsleistung (Durchführung von Versuchen, Erstellung von Demonstratoren oder Software).
Zu erbringende Studienleistung
Durchführung von bzw. Teilnahme an Versuchen.
Literatur
Tietze, Schenk, Gamm, Halbleiter-Schaltungstechnik, 15. Auflage, 2016, Springer, Berlin, ISBN
978-3-662-48354-1.
Schrüfer, Reindl, Zagar, Elektrische Messtechnik, 11. Auflage, 2014, Carl-Vieweg-Verlag, München, ISBN
978-3-446-44208-5.
Teilnahmevoraussetzung
keine
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

CMOS-Integrierte Mikrosysteme / CMOS MEMS 11LE50MO-5271 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Oliver Paul

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge of sensors, MEMS technologies, semiconductor physics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
CMOS-Integrierte Mikrosysteme / CMOS Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
MEMS
CMOS-Integrierte Mikrosysteme / CMOS Übung Wahlpflicht 2.00
MEMS

Qualifikationsziel
The commercially most successful microsystems to date have been based on silicon. Companies such as
Bosch, Analog Devices, Texas Instruments, Sensirion, and other small and medium enterprises have built
their success on this wise technological choice which allows to co-integrate microsystems compatible with
silicon foundry services and commercial silicon technologies, in particular CMOS technologies. It will offer
a healthy mix of technology, physical sensor principles and operating techniques, and will be enriched with
examples that made it into the market and others that have remained scientific visions. In tune with the pro-
gress of the lecture material, home-work will be assigned, with the presentation and discussion of solutions
by students during the course hours. In summary, the attendees will acquire a broad range of skills towards
becoming productive engineers in the field of smart MEMS.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Circuits and Systems (=Schal-
tungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

CMOS-Integrierte Mikrosysteme / CMOS MEMS 11LE50MO-5271 PO 2021
Veranstaltung
CMOS-Integrierte Mikrosysteme / CMOS MEMS
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5271

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60 hours
Selbststudium 120 hours
Workload 180 hours

Inhalt
1. Introduction
2. Basic technologies
3. Magnetic sensors
4. Stress sensors
5. Inertial sensors
6. Thermal sensors
7. Radiation sensors
8. Calibration
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination if there are 20 or fewer than 20 registered participants; written examination if there are
more than 20 registered participants (minimum 60 and maximum 240 minutes). Details will be announced
by the examiner in due time.
Zu erbringende Studienleistung
See exercise
Literatur
A script will be handed out during the course.
Teilnahmevoraussetzung
none
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
Knowledge of sensors, MEMS technologies, semiconductor physics
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

CMOS-Integrierte Mikrosysteme / CMOS MEMS 11LE50MO-5271 PO 2021
Veranstaltung
CMOS-Integrierte Mikrosysteme / CMOS MEMS
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5271

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The exercises will deepen the topics treated during the lecture. They will allow the students to rethink and
rework the more theoretical aspects and apply them to realistic examples inspired from commercial pro-
ducts and more academic ideas. Thereby they will see their vision sharpened for the challenges awaiting
them in their future professional work in the area of smart MEMS. Solution approaches to the homework
problems will be presented weekly by the participants and discussed and elaborated upon with the group of
colleagues under the guidance of the professor. This discursive, participative approach allows to learn more
than by being presented with up-front oral or written solutions.
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
The "Studienleistung" consists of
(1) the documented, successful attempt to solve more than 60% of the homework problems (as checked
weekly); "60% of the homework problems" means the fraction of the overall number of homework problems
proposed during the course, not of each homework problem separately; "successful" means that the solu-
tion could be presented by the student in front of the class;
(2) the presentation of a representative number of solutions of homework problems in front of the class.
Teilnahmevoraussetzung

none
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Drahtlose Sensorsysteme / Wireless Sensor Systems 11LE50MO-5230 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Leonhard Reindl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Elektrische Mess- und Prüfverfahren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge of metrology fundamentals, sensor principles, electronic circuit design, and wave physics.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Drahtlose Sensorsysteme / Wireless Sen- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
sor Systems
Drahtlose Sensorsysteme / Wireless Sen- Übung Wahlpflicht 1.00
sor Systems

Qualifikationsziel
Graduates of the course have knowledge of typical assemblies, methods and application areas of wireless
sensor systems (DSS). They can make appropriate design decisions for different scenarios independently
and know common terminologies to communicate them. Using current examples, such as inductive inter-
faces to implants and ultrasound localization systems, they will learn about the current state of research
and technology and be able to reflect this together with the problems. They are able to transfer specialized
knowledge from other engineering-typical courses to DSS.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Circuits and Systems (=Schal-
tungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Drahtlose Sensorsysteme / Wireless Sensor Systems 11LE50MO-5230 PO 2021
Veranstaltung
Drahtlose Sensorsysteme / Wireless Sensor Systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5230

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Elektrische Mess- und Prüfverfahren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 hours
Selbststudium 51 hours
Workload 90 hours

Inhalt
At the beginning, wireless sensor systems, their design and application fields are discussed in more general
terms, to be considered in detail in later lectures. This includes circuit design, power sources and manage-
ment, sensors and transducers, communication methods and hardware related network layers.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written examination.
Zu erbringende Studienleistung
See exercise.
Literatur
■ R. Selmic, V. Phoha and A. Serwadda, „Wireless Sensor Networks : Security, Coverage, and Localiza-
tion”, Springer, 2016.
■ W. Dargie and C. Poellabauer, „Fundamentals of Wireless Sensor Networks: Theory and Practice”, Wiley
Series on Wireless Communications and Mobile Computing, 2010.
■ N. Bulusu and S. Jha, “Wireless Sensor Networks A Systems Perspective”, Artech Print on Demand,
2005.

// more recommendations will be given in the lecture.

Teilnahmevoraussetzung
None
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
Knowledge of metrology fundamentals, sensor principles, electronic circuit design, and wave physics.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Drahtlose Sensorsysteme / Wireless Sensor Systems 11LE50MO-5230 PO 2021
Veranstaltung
Drahtlose Sensorsysteme / Wireless Sensor Systems
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5230

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Elektrische Mess- und Prüfverfahren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
In der Übung werden kompetenzorientierte Fragen zur Vorlesung der letzten Woche besprochen, die vor-
her über ILIAS an die Studierenden kommuniziert wurden. Die Teilnahme ist nicht verpflichtend, jedoch sehr
empfohlen um frühzeitig Fragen zu klären und das tiefere Verständnis zu fördern.
Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung
keine
Teilnahmevoraussetzung
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Energiegewinnung / Energy harvesting 11LE50MO-5703 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Peter Woias

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Energiegewinnung / Energy harvesting Vorlesung Wahlpflicht 2.00 180 hours
Energiegewinnung / Energy harvesting Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
The students know the basic principles of (micro) energy harvesting. They know several energy conversion
techniques, energy storage concepts and power management strategies in detail. The students are able to
estimate the energy generation of different harvesting techniques and to work on the design of energy auto-
nomous embedded systems. The importance of the system-level design in these systems is, in general, a
central objective in this class.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Circuits and Systems (=Schal-
tungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Energiegewinnung / Energy harvesting 11LE50MO-5703 PO 2021
Veranstaltung
Energiegewinnung / Energy harvesting
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5703

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 52 hours
Selbststudium 128 hours
Workload 180 hours

Inhalt
■ Harmonical Oscillator (with bending beams)
■ Piezoelectric Energy Harvesters
■ Electrodynamic Energy Harvesters
■ Electrostatic Energy Harvesters
■ Non-Resonant Generators
■ Thermoelectric Generators & Processes
■ Thermomechanic Generators
■ Capacitive Storages and Accumulators
■ Step-up Converters and Advanced Step-up Converter Design
■ Energy Harvesting Applications
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written or oral exam.
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
■ S. Roundy et al, "Energy Scavenging for Wireless Sensor Networks: with Special Focus on Vibrations",
2004, Kluver Academic Publishers Group, The Netherlands
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ D. Priya, S. Shank, "Energy Harvesting Technologies", 2009, Springer Science+Business Media LLC,
New York
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Energiegewinnung / Energy harvesting 11LE50MO-5703 PO 2021
Veranstaltung
Energiegewinnung / Energy harvesting
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5703

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture.
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Entwurf Analoger CMOS Schaltungen / Analog CMOS Circuit 11LE50MO-5202 PO 2021

Design
Verantwortliche/r
Dr.-Ing. Matthias Keller

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
A good understanding of the knowledge imparted in the Micro-electronics module (5070) is crucial for a suc-
cessful completion of this module. In addition, the MST PC lab only has got 20 seats. A mandatory require-
ment for participation in this module is therefore the successful completion of the Micro-electronics modu-
le with a minimum mark of 2.7. The limited number of 20 seats will be distributed among applying students
based on the ranking of achieved marks in Micro-electronics.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Entwurf Analoger CMOS Schaltungen / Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
Analog CMOS Circuit Design
Entwurf Analoger CMOS Schaltungen - Praktikum Wahlpflicht 2.00
Praktikum / Analog CMOS Circuit Design -
Laboratory
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021
Qualifikationsziel
The module is divided in a lecture and a practical course.

Lecture
Illustrated by the examples of simple analog circuits, e.g., amplifiers or reference circuits, this lecture puts
its focus on a systematic approach to the analysis of analog circuits. After a successful participation in this
course, the student will thus be able to analyze even complex systems.

Another focus is put on two of the most demanding building blocks for mixed-signal circuit design: the ana-
log-to-digital and the digital-to-analog converter. With steadily advancing digitalization, these components
have to satisfy the demands for ever increasing bandwidth, resolution and optimum power efficiency. The
student will be in the position to choose the right principle for an application based on the different state-of-
the-art architectures as well as the major non-idealities which limit their performance.

Finally, sensor readout circuits will be considered as examples of complex electromechanical systems in
which the concepts and components considered thus far are put into application. Therewith, the student will
be able to break down complex systems to simpler sub-systems and thus reduce the analysis of complex
systems to the analysis and interaction of their simpler sub-systems.

Practical exercise

Based on the example of a two-stage amplifier with RC compensation, this practical exercise illustrates the
typical design flow of an analog integrated circuit. According to the specifications of the amplifier, all tran-
sistors will be dimensioned based on hand calculations at first. Thus, a deeper understanding of this ana-
log circuit will be developed. Next, the circuit will be implemented and simulated on transistor level using
the software Cadence Spectre whereby its functionality will be verified. This approach represents an itera-
tive task since the transistor parameters must be varied until all specifications are met. The student will thus
learn that hand calculations are an absolute must in order to gain a first insight into the circuit while they
also result in a first cut of the circuit for simulations. However, the results of the hand calculations do not
present the final cut of the transistor sizes; on the contrary, they may considerably deviate from them.

The last task consists in finalizing the circuit while taking real-life conditions and nonidealities into account,
e.g., temperature-, process and parameter variations. The student will thus learn that a successful imple-
mentation of an integrated circuit is only possible with a deeper understanding of the circuit’s parameters
and their interaction.

At the end of the term, a presentation is to be given which covers the design on transistor level. Therein,
the most critical design issues for meeting the specifications are to be explained. Thus, the student will also
learn to present his/her results.
Lernziele / Lernergebnisse

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Circuits and Systems (=Schal-
tungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Entwurf Analoger CMOS Schaltungen / Analog CMOS Circuit Design 11LE50MO-5202 PO 2021
Veranstaltung
Entwurf Analoger CMOS Schaltungen / Analog CMOS Circuit Design
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5202

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 52 hours
Selbststudium 128 hours
Workload 180 hours

Inhalt
Illustrated by the examples of simple analog circuits, e.g., amplifiers or reference circuits, this lecture puts its
focus on a systematic approach to the analysis of analog circuits. After a successful participation in this
course, the student will thus be able to analyze even complex systems.

Another focus is put on two of the most demanding building blocks for mixed-signal circuit design: the ana-
log-to-digital and the digital-to-analog converter. With steadily advancing digitalization, these components
have to satisfy the demands for ever increasing bandwidth, resolution and optimum power efficiency. The
student will be in the position to choose the right principle for an application based on the different state-of-
the-art architectures as well as the major non-idealities which limit their performance.

Finally, sensor readout circuits will be considered as examples of complex electromechanical systems in which
the concepts and components considered thus far are put into application. Therewith, the student will be able
to break down complex systems to simpler sub-systems and thus reduce the analysis of complex systems to
the analysis and interaction of their simpler sub-systems.
Zu erbringende Prüfungsleistung
written or oral exam on the content of the module
Zu erbringende Studienleistung
See lab course.
Literatur
■ Script
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ P. E. Allen and D. R. Holberg, CMOS Analog Circuit Design, Oxford Press, 2002
■ B. Rhazavi, Design of Analog CMOS Integrated Circuits, McGraw-Hill, 2001
Teilnahmevoraussetzung
A good understanding of the knowledge imparted in the Micro-electronics module (5070) is crucial for a suc-
cessful completion of this module. In addition, the MST PC lab only has got 20 seats. A mandatory require-
ment for participation in this module is therefore the successful completion of the Micro-electronics modu-
le with a minimum mark of 2.7. The limited number of 20 seats will be distributed among applying students
based on the ranking of achieved marks in Micro-electronics.
.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Entwurf Analoger CMOS Schaltungen / Analog CMOS Circuit Design 11LE50MO-5202 PO 2021
Veranstaltung
Entwurf Analoger CMOS Schaltungen - Praktikum / Analog CMOS Circuit Design - Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50Ü-5202

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
Based on the example of a two-stage amplifier with RC compensation, this practical exercise illustrates the
typical design flow of an analog integrated circuit. According to the specifications of the amplifier, all transistors
will be dimensioned based on hand calculations at first. Thus, a deeper understanding of this analog circuit
will be developed. Next, the circuit will be implemented and simulated on transistor level using the software
Cadence Spectre whereby its functionality will be verified. This approach represents an iterative task since
the transistor parameters must be varied until all specifications are met. The student will thus learn that hand
calculations are an absolute must in order to gain a first insight into the circuit while they also result in a first
cut of the circuit for simulations. However, the results of the hand calculations do not present the final cut of
the transistor sizes; on the contrary, they may considerably deviate from them.

The last task consists in finalizing the circuit while taking real-life conditions and nonidealities into account, e.g.,
temperature-, process and parameter variations. The student will thus learn that a successful implementation of
an integrated circuit is only possible with a deeper understanding of the circuit’s parameters and their
interaction.

At the end of the term, a presentation is to be given which covers the design on transistor level. Therein, the
most critical design issues for meeting the specifications are to be explained. Thus, the student will also learn
to present his/her results.
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
■ five graded reports, presentation (at the end of the term)
■ The course is successfully passed if the final presentation is passed and an average grade of 70% is
achieved in the five written reports.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
A good understanding of the knowledge imparted in the Micro-electronics module (5070) is crucial for a suc-
cessful completion of this module. In addition, the MST PC lab only has got 20 seats. A mandatory require-
ment for participation in this module is therefore the successful completion of the Micro-electronics modu-
le with a minimum mark of 2.7. The limited number of 20 seats will be distributed among applying students
based on the ranking of achieved marks in Micro-electronics.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Entwurf von CMOS Mixed-Signal Schaltungen / Mixed-Signal 11LE50MO-5208 PO 2021

CMOS Circuit Design
Verantwortliche/r
Dr.-Ing. Matthias Keller

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
This course is a continuation of module 5202 Analog CMOS Circuit Design, since the layout for the micro-
electronic circuit designed at transistor level in module 5202 is to be designed in module 5208. Therefore,
successful completion of the module Analog CMOS Circuit Design (offered in the summer term) is manda-
tory for participation in this module.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Entwurf von CMOS Mixed-Signal Schaltun- Praktikum Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
gen / Mixed-Signal CMOS Circuit Design -
Praktikum

Qualifikationsziel
This practical exercise deals with the layout of the two-stage amplifier with RC compensation which was
designed on transistor level in the practical exercise Analog CMOS Circuit Design. It thus represents the
second major task in the chain of the design flow of an integrated circuit consisting of “Design on transistor
level”, “Layout” and “Fabrication and Verification”.
Students are able to apply basic layout techniques for transistors, resistors, capacitors, and metal layers
using industry standard layout und simulation software. They can employ techniques for the reduction of
mismatch such as unit elements, multi-finger transistors, interdigitation, common centroid, or guard rings.
At the end of the course, the students are able to compare the results of simulations on transistor and layout
level so that they can extract the influence of parasitic resistors and capacitors on the overall performance
of the amplifier. At the same time, they learn to optimize the layout with respect to these non-idealities.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Circuits and Systems (=Schal-
tungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Entwurf von CMOS Mixed-Signal Schaltungen / Mixed-Signal CMOS Circuit 11LE50MO-5208 PO 2021
Design
Veranstaltung
Entwurf von CMOS Mixed-Signal Schaltungen / Mixed-Signal CMOS Circuit Design - Praktikum
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5208

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 hours
Selbststudium 60 hours
Workload 90 hours

Inhalt
■ Layout of analog CMOS integrated circuits (basics)
■ Introduction of the layout tool Cadence VirtuosoXL (industry standard)
Zu erbringende Prüfungsleistung
Graded reports, presentation (at the end of the term).
Zu erbringende Studienleistung

Literatur
■ Script
■ R. J. Baker, CMOS Circuit Design, Layout, and Simulation, IEEE Press Series, 2008
■ A. Hastings, The Art of Analog Layout, Pearson Education 2005
Teilnahmevoraussetzung
This course is a continuation of module 5202 Analog CMOS Circuit Design, since the layout for the micro-
electronic circuit designed at transistor level in module 5202 is to be designed in module 5208. Therefore,
successful completion of the module Analog CMOS Circuit Design (offered in the summer term) is manda-
tory for participation in this module.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Bemerkung / Empfehlung
In case of comments and/or questions regarding the practical exercise "Mixed Signal CMOS Circuit
Design", please contact Dr.-Ing. M. Keller ([email protected]).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Flugregelung Praktikum / Flight Control Laboratory 11LE50MO-5222 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
The lab course includes topics as part of the HIGHWIND project (Simulation, Optimimization and Control
of High-Altitude Wind Power Generators). As the HIGHWIND project offers a large variety of project topics,
students may be assigned topics meeting best their interests and academic background. Prior studies of
“Modelling and System Identification” and/or “Optimal Control and Estimation” are recommended.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Flugregelung Praktikum / Flight Control Praktikum Wahlpflicht 6,0 4.00 180 hours
Laboratory

Qualifikationsziel
The students will be able to use a theoretical background for real applications in a scientific project. They
will be able to find creative solutions to problems and to perform hands-on testing/verification of soft- and
hardware. Furthermore, they will have gained experience of working in an international team.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Circuits and Systems (=Schal-
tungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Flugregelung Praktikum / Flight Control Laboratory 11LE50MO-5222 PO 2021
Veranstaltung
Flugregelung Praktikum / Flight Control Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5222

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 84 hours
Selbststudium 96 hours
Workload 180 hours

Inhalt
In order to register to this course please write a mail to us ([email protected], tommaso.s-
[email protected]) including:

- Short motivation statements,

- A brief summary of your relevant achievements in the field of engineering, exams, university projects, per-
sonal projects.
- If you already have an idea for a project on which you are interested to work on feel free to add that.

Focus of the lab course is making a real flight control system work for small aerial vehicles equipped with
a variety of sensing and actuation equipment. These vehicles, airplanes, quadrotors or helicopters, might
be remote controlled or autonomous. They might flight freely or be connected to the ground via a tether.
The course will be accompanied by weekly meetings with one or more team members working on com-
plementary projects addressing the same real world control problem. In the last two to three weeks of the
lab course, when the main project aims are achieved, the participants will start to work on a short report for
documentation and give a final oral presentation to share their findings with all team members.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Project work:
A working project result
project documentation and oral presentation
Zu erbringende Studienleistung
None
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
The lab course includes topics as part of the HIGHWIND project (Simulation, Optimimization and Control
of High-Altitude Wind Power Generators). As the HIGHWIND project offers a large variety of project topics,
students may be assigned topics meeting best their interests and academic background. Prior studies of
“Modelling and System Identification” and/or “Optimal Control and Estimation” are recommended.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Fortgeschrittene Aufbau- und Verbindungstechnik / Advanced 11LE50MO-5601 PO 2021

Assembly and Packaging Technology
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Wilde

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Good knowledge of the contents of the module "Aufbau- und Verbindungstechnik / Assembly and packaging
technologies"

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Fortgeschrittene Aufbau- und Verbindungs- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
technik / Advanced Assembly and Packa-
ging Technology - Vorlesung

Qualifikationsziel
It is the aim, that after this module the students will be able to understand advanced problems in the field of
assembly and packaging. Furthermore, it is intended that the students will have capabilities to resolve A&P-
related research tasks for micro-systems. The employed methods will start with system concepts and com-
prise thermal, electrical and mechanical modelling and optimisation. As a basis the student will know the
fundamental elements of A&P as well as the specific technologies for interconnection, assembly and protec-
tion. Also, the students will become familiar with the materials, their processing and properties. In this way
they have the abilities for own research on micro-systems.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Circuits and Systems (=Schal-
tungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Fortgeschrittene Aufbau- und Verbindungstechnik / Advanced Assembly 11LE50MO-5601 PO 2021
and Packaging Technology
Veranstaltung
Fortgeschrittene Aufbau- und Verbindungstechnik / Advanced Assembly and Packaging Technology - Vorle-
sung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5601

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The contents of teaching are mainly based on actual research projects in the chair Aufbau- und Verbin-
dungstechnik.
Organization of the lecture:
1. Introduction
2. Thermal management using novel materials
3. Packaging of MEMS pressure sensors
4. Fatigue analysis of soldered joints
5. Adhesive bonding of power electronics
6. Computation of packaging stress in Hall sensors
7. Concepts for sensors for mechanical properties
8. High-temperature packaging
9. Materials modelling in A&P
10.Reliability modelling in A&P
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written or oral exam.
Zu erbringende Studienleistung
None
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Good knowledge of the contents of the module "Aufbau- und Verbindungstechnik / Assembly and packaging
technologies"
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Fortgeschrittenes Mikrocontroller-Praktikum / Advanced 11LE50MO-5235 PO 2021

Microcontroller Lab
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Stefan Rupitsch

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik-VB
Institut für Mikrosystemtechnik, Professur für Elektrische Messtechnik und Eingebettete Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
Successful participation in the laboratory course Mikrocomputertechnik / Microcontroller Techniques.
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Fortgeschrittenes Mikrocontroller-Praktikum Praktikum Wahlpflicht 6,0 3.00 180 hours

Qualifikationsziel
The students:
• have got advanced knowledge in the field of microcontroller architectures and peripheral hardware.
• are familiar with the workflow of creating hardware-oriented and complex microcontroller applications.
• know solution strategies to perform own embedded hard- and software projects.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Circuits and Systems (=Schal-
tungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Fortgeschrittenes Mikrocontroller-Praktikum / Advanced Microcontroller Lab 11LE50MO-5235 PO 2021
Veranstaltung
Fortgeschrittenes Mikrocontroller-Praktikum
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5235

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Professur für Elektrische Messtechnik und Eingebettete Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 hours
Selbststudium 141 hours
Workload 180 hours

Inhalt
Using a MSP430 development board with advanced peripherals add-ons, the students will practically learn
the relevant steps in the creation of a microcontroller application. This involves:
• creating microcontroller applications of extended size and complexity
• implementing hardware drivers and custom libraries
• understanding hardware documentation and circuit schematics
• utilizing advanced debugging tools (e.g. logic analyzers)
• understanding and implementing bus systems like SPI, I2C and UART
• interfacing complex peripheral units (sensors, ADCs, DACs, FLASH memories etc.)
• interfacing I/O devices (LCD displays, joysticks etc.)
The practical exercise will be performed autonomously at home using dedicated hardware boxes; support is
provided by the online forums and in form of an optional weekly course session.
Zu erbringende Prüfungsleistung
The exam consists in the submission of four exercise sheets, one project and a final project presentation.
The module grade is calculated from the results of the four exercise sheets (1/6 each) and the result of the
final project (2/6).

Explanation: This lab course is a hands-on course with an emphasis on the continuous development of
microprocessor programming. Since these development processes represent the essential course work,
their results will be collected and evaluated throughout the semester. In case of failure to hand in one of
these deliverables due to illness, an extention of the deadline will be granted.
Zu erbringende Studienleistung
None
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Literatur
■ John H. Davies: MSP430 Microcontroller Basics.
■ Tietze, Schenk, Gamm: Electronic Circuits - Handbook for Design and Application.
Teilnahmevoraussetzung
Successful participation in the laboratory course Mikrocomputertechnik / Microcontroller Techniques.
Empfohlene Voraussetzung
None
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Leistungselektronik für die Elektromobilität/Power Electronics 11LE68MO-4106 PO 2021

for E-Mobility
Verantwortliche/r
Stefan Reichert

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Präsenzstudium 30 Stunden
Selbststudium 60 Stunden
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
Power Electronic Circuits and Devices (elective module)

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Leistungselektronik für die Elektromobili- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
tät/Power Electronics for E-Mobility-Vorle-
sung

Qualifikationsziel

Lernziele / Lernergebnisse
It is the aim of this module to get a fundamental understanding of power electronic circuits used in E-Mobi-
lity applications like traction inverters, bidirectional chargers and onboard energy management.
The students will learn different circuit topologies and basic control structures for power electronic circuits.
The interaction between the power grid and electric vehicles will be discussed.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination (Prüfungsgespräch), approx. 30 min. The examination takes place at the end of the winter
semester.
Benotung
The module grade is calculated 100% from the final oral exam.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zusammensetzung der Modulnote

■ Master of Science im Fach Sustainable Systems Engineering, Prüfungsordnungsversion 2016: Die
Modulnote wird nach ECTS-Punkten einfach gewichtet in die Gesamtnote eingerechnet.
Zielgruppe
M.Sc. SSE, MSE und MST Studierende
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Wahlmodul für Studierende des Studiengangs
■ Master of Science in Sustainable Systems Engineering
- Energiesysteme / Energy Systems
■ Master of Science Mikrosystemtechnik, PO 2018, concentration areas Circuits & Systems, Sensors &
Actuators, Personal Profile
■ Master of Science Microsystems Engineering, PO 2018, concentration areas Circuits & Systems, Sen-
sors & Actuators, Personal Profile
■ Master of Science Mikrosystemtechnik, PO 2021, Vertiefungsrichtung Circuits & Systems
■ Master of Science Microsystems Engineering, PO 2021, concentration area Circuits & Systems
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Leistungselektronik für die Elektromobilität/Power Electronics for E-Mobility 11LE68MO-4106 PO 2021
Veranstaltung
Leistungselektronik für die Elektromobilität/Power Electronics for E-Mobility-Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-4106

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 hours
Selbststudium 60 hours
Workload 90 hours

Inhalt
Power Electronics for E-Mobility applications:
■ Conductive and inductive chargers for electric vehicles
■ Traction inverters and electric motors
■ DC/DC converters for onboard energy management
■ Control of grid connected inverters
■ E-Mobility as an instrument for a better grid integration of renewable energies

Exercises/Tutorials are included in the lecture (WS 2020: 3 exercises x 2hrs, conducted by Benjamin
Stickan).

Qualifikationsziel
Power electronics circuits convert the DC power of PV modules to grid compatible AC power. Wind turbi-
nes produce AC power with variable frequency, which has to be converted to AC with grid frequency. The
commonly used hardware topologies of power electronic converters for renewable energies are shown and
explained in detail. Additional aspects like MPP-tracking, supply of reactive power, low voltage ride through
(LVRT) etc. are discussed.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination (Prüfungsgespräch), approx. 30 min. The examination takes place at the end of the winter
semester.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
■ Teodorescu R., Liserre M., Rodriguez P.; Grid Converters for Photovoltaic and Wind Power Systems,
Wiley-IEEE, 2011
Teilnahmevoraussetzung
Power Electronic Circuits and Devices (elective module)
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge in Electrical Components (Semiconductors, Inductors, Capacitors)
Zielgruppe
SSE Master Studierende
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikroakustische Wandler / Micro Acoustical Transducers 11LE50MO-5257 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Alfons Dehe

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Professur für Smart Systems Integration
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz in jedem Semester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Mikroakustische Wandler / Micro Acoustical Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Transducers

Qualifikationsziel
This lecture introduces into the fundamentals of air born sound propagation and effects in conjunction with
the interaction of MEMS systems. You familiarize with the principles of sound transducers such as micro-
phones and microspeakers as well as their design, key performance parameters and fabrication. Silicon
microphones are the most widely spread MEMS systems worldwide and keep growing in volume as well as
applications. As a role model for an integrated system, the Si microphone development will open insight into
the needs and constraints of consumer product development.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikroakustische Wandler / Micro Acoustical Transducers 11LE50MO-5257 PO 2021
Veranstaltung
Mikroakustische Wandler / Micro Acoustical Transducers
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5257

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Professur für Smart Systems Integration
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz in jedem Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 28 hours
Selbststudium 62 hours
Workload 90 hours

Inhalt
Lectures on:
1. Acoustic field and effects
2. General acoustical transducer principles
3. Modeling in acoustical, mechanical and electrical domain
4. Example of capacitive transducer and identification of key performance parameters
5. Different MEMS microphone concepts and their pros and cons
6. MEMS fabrication
7. Aspects of assembly and packaging
8. Acoustical measurement techniques
9. From microphone to microspeaker
10. Future trends
11. Applications of MEMS acoustical transducers
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination (20 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
None
Lehrmethoden
Will be taught in English if there is at least one international participant.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikrocomputertechnik/ Microcontroller Techniques - Praktikum 11LE50MO-760MScPr PO

2021
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Stefan Rupitsch

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Professur für Elektrische Messtechnik und Eingebettete Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge of electronics, binary arithmetics, C programming and the structure of microcontrollers.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload

Qualifikationsziel
Students have obtained practical knowledge in using microcontrollers. By means of Texas Instrument’s
MSP430 microcontroller as an example, the students have learned the basics of low-level C programming
and the usage of the most important peripheral modules such as I/Os, analog-to-digital converters, timers,
etc. Finally, the students will be able to use microcontroller hard- and software concepts in their own pro-
jects.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the PO 2021 of the M.Sc. Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik can select
this module in the concentration area Circuits and Systems.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikrocomputertechnik/ Microcontroller Techniques - Praktikum 11LE50MO-760MScPr PO
2021

Mikrocomputertechnik / Microcontroller Techniques - Praktikum

Veranstaltungsart Nummer

Fachbereich / Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP)

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung

Teilnahmevoraussetzung
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Model Predictive Control and Reinforcement Learning 11LE50MO-5720 PO 2021

Verantwortliche/r
JProf. Dr. Joschka Bödecker
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90h
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Prior Knowledge in Systems and Control, State Space Control Systems, Numerical Optimization, Numerical
Optimal Control, Reinforcement Learning and Machine Learning is an advantage.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Model Predictive Control and Reinforce- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 1.00 90 h
ment Learning
Model Predictive Control and Reinforce- Übung Wahlpflicht 1.00
ment Learning

Qualifikationsziel
Participants understand the concepts of model predictive control (MPC) and reinforcement learning (RL)
as well the similarities and differences between the two approaches. They are able to apply the methods to
practical optimal control problems from science and engineering.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Concentration course for MSc. Embedded Systems Engineering students in the concentration areas Robo-
tic and Computer Vision, Zuverlässige Eingebettete Systeme, Circuits and Systems, Design and Simulation.
Concentration course for MSc. Microsystems Engineering (PO 2018) in the concentration areas Circuits and
Systems, Design and Simulation.
Concentration course for MSc. Mikrosystemtechnik (PO 2018) students in the concentration areas Circuits
and Systems, Design and Simulation.
Concentration course for MSc. Microsystems Engineering (PO 2021) in the concentration areas Circuits and
Systems.
Concentration course for MSc. Mikrosystemtechnik (PO 2021) students in the concentration areas Circuits
and Systems.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Model Predictive Control and Reinforcement Learning 11LE50MO-5720 PO 2021
Veranstaltung
Model Predictive Control and Reinforcement Learning
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5720_PO20091

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 h

Inhalt
Lectures cover: optimal control problem formulations (constrained, infinite horizon, discrete time, stochastic,
robust), dynamic programming, model predictive control formulations and stability, reinforcement learning
formulations, MPC algorithms, RL algorithms, similarities and differences between MPC and RL

Towards the end of the course, participants will work on application projects which apply at least one of the
MPC and RL methods to self-chosen application problems from any area of science or engineering. The
results of the projects, that can be performed in teams, will be presented in a public presentation on the last
day of the course and a short report to be submitted two weeks after the course. The report will determine
the final grade of the course.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Towards the end of the course, participants will work on application projects which apply at least one of the
MPC and RL methods to self-chosen application problems from any area of science or engineering. The
results of the projects, that can be performed in teams, will be presented in a public presentation on the last
day of the course and a short report to be submitted two weeks after the course. The final course grade
(Prüfungsleistung) is based on the final project report.
Zu erbringende Studienleistung
See exercise.
Literatur
“Reinforcement Learning: An Introduction” by Richard S. Sutton and Andrew G. Barto
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

“Model Predictive Control: Theory, Computation, and Design” by James B. Rawlings, David Q. Mayne, and
Moritz M. Diehl
“Optimal Control and Reinforcement Learning" by Dimitri Bertsekas
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Prior Knowledge in Systems and Control, State Space Control Systems, Numerical Optimization, Numerical
Optimal Control, Reinforcement Learning and Machine Learning is an advantage.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Model Predictive Control and Reinforcement Learning 11LE50MO-5720 PO 2021
Veranstaltung
Model Predictive Control and Reinforcement Learning
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5720_PO20091

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
Computer exercises based on MATLAB, Octave or Python will accompany the lectures in order to gain
hands-on-knowledge on method of MPC and RL
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
A mandatory requirement for passing (Studienleistung) is based on the written microexam at the end of the
course.
Teilnahmevoraussetzung
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

MST Design Lab II for Microsystems Engineering 11LE50MO-7005 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Peter Woias

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 term
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
Succesful completion of either the module "MST Design Lab I" (M.Sc. Microsystems Engineering) or "Kon-
struktionsmethodik" (B.Sc. Mikrosystemtechnik).
Empfohlene Voraussetzung
none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
MST Design Lab II for Microsystems Engi- Praktikum Wahlpflicht 3,0 4.00 180 hours
neering - Praktische Übung
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021
Qualifikationsziel
The MST Design Lab II is an add-on to the lectures "MST Design Lab I" in the International Master course
"Microsystems Engineering" or the lecture "Konstruktionsmethodik" in the German Bachelor course "Mikro-
systemtechnik". It is not part of the mandatory curriculum, but can be taken by students as elective course
only. The aim of this lab course is to build the product ideas designed in the above-mentioned courses in
hardware, to achieve a working device. They may also, as a newly formed team, bring in their own idea for
a product development. During this course, students will develop skills in project management, task distri-
bution, time scheduling, project execution, report writing and presenting their results in an oral presenta-
tion. They also learn to work with appropriate hardware and software tools (e.g. 3D printing, laser machi-
ning, μC programming, soldering, PCB board design software...). To start in this module, students have to
re-form groups by themselves or start as the project team formed before in the above-mentioned courses.
This design lab is organized by one microsystems laboratory of the faculty, however tutoring is happening
per group by all microsystems labs on a freelance basis, i.e. every lab and professor decides per semester,
whether a tutoring will be offered or not. It is then an essential part of the teaching goals that the students
convince a lab to act as a host for their project. If successful, the project teams receive a limited financial
fund for their project and will use capabilities available in the respective host laboratories. Usually, a tutor is
assigned to every group to guide the teams throughout the semester.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engineering (PO 2021) can select this module in the con-
centration area Circuits and Systems (Schaltungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

MST Design Lab II for Microsystems Engineering 11LE50MO-7005 PO 2021
Veranstaltung
MST Design Lab II for Microsystems Engineering - Praktische Übung
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50prÜ-7005_PO 20091

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 52 hours
Selbststudium 128 hours
Workload 180 hours

Inhalt
The aim of this lab course is to build the product ideas designed in the lectures "MST Design Lab I" in the
International Master course "Microsystems Engineering" or the lecture "Konstruktionsmethodik" in the Ger-
man Bachelor course "Mikrosystemtechnik", to achieve a working device.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Students have to submit a written report covering the project goals, the execution of the project and a docu-
mentation of the results.
Zu erbringende Studienleistung
Oral presentation and presentation of realized hardware at the end of the semester thus demonstrating the
achieved results.
Teilnahmevoraussetzung
Succesful completion of either the module "MST Design Lab I" (M.Sc. Microsystems Engineering) or "Kon-
struktionsmethodik" (B.Sc. Mikrosystemtechnik).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerical Optimal Control in Science and Engineering 11LE50MO-5249 PO 2021
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 6.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Mathematics 1 and 2 for Engineers or basic Linear Algebra and Calculus courses. Numerical Optimization
(NUMOPT), Modelling and System Identification (MSI), Systems and Control Bachelor or Master lectures.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Numerical Optimal Control in Science and Vorlesung Wahlpflicht 6,0 4.00 180 hours
Engineering
Numerical Optimal Control in Science and Übung Wahlpflicht 2.00
Engineering

Qualifikationsziel
The students can formulate optimal control problems and implement and analyze several numerical
methods for solving them.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engineering and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can
select this module in the concentration area Circuits and Systems.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerical Optimal Control in Science and Engineering 11LE50MO-5249 PO 2021
Veranstaltung
Numerical Optimal Control in Science and Engineering
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5249

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 78 hours
Selbststudium 102 hours
Workload 180 hours

Inhalt
■ Introduction: Dynamic Systems and Optimization
■ Rehearsal of Numerical Optimization
■ Rehearsal of Parameter Estimation
■ Discrete Time Optimal Control
■ Dynamic Programming
■ Continuous Time Optimal Control
■ Numerical Simulation Methods
■ Hamilton-Jacobi-Bellmann Equation
■ Pontryagin and the Indirect Approach
■ Direct Optimal Control
■ Differential lgebraic Equations
■ Periodic Optimal Control
■ Real-Time Optimization for Model Predictive Control
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (180 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
see exercise
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Literatur
1. Manuscript "Numerical Optimal Control" by M. Diehl and S. Gros
2. Biegler, L.T., Nonlinear Programming, SIAM, 2010
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Mathematics 1 and 2 for Engineers or basic Linear Algebra and Calculus courses. Numerical Optimization
(NUMOPT), Modelling and System Identification (MSI), Systems and Control Bachelor or Master lectures.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerical Optimal Control in Science and Engineering 11LE50MO-5249 PO 2021
Veranstaltung
Numerical Optimal Control in Science and Engineering
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5249

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
In the tutorial, the contents of the lecture will be deepened by means of theoretical examples and computer
exercises.
Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung
The course work is completed if students pass the mid-term online quiz.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Mathematics 1 and 2 for Engineers or basic Linear Algebra and Calculus courses. Numerical Optimization
(NUMOPT), Modelling and System Identification (MSI), Systems and Control Bachelor or Master lectures.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerische Optimale Steuerung - Projekt / Numerical Optimal 11LE50MO-5250 PO 2021

Control in Engineering - Project
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Numerical Optimal Control - Project Projekt Wahlpflicht 3,0 1.00 90 hours

Qualifikationsziel
Students will be able to independently program, analyze, and apply numerical methods of optimal control.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik programmes (PO 2021) can select
this module in the concentration area Circuits and Systems (Schaltungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerische Optimale Steuerung - Projekt / Numerical Optimal Control in 11LE50MO-5250 PO 2021
Engineering - Project
Veranstaltung
Numerical Optimal Control - Project
Veranstaltungsart Nummer
Projekt 11LE50Pro-5250

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 14 hours
Selbststudium 76 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The project consists of implementing one or more self-selected optimal control methods on the computer
and applying them to one or more self-selected application problems. The focus may be more on algorithms
and performance comparisons or on modeling a specific problem. The result of the project is a documented
computer code, a report, and a public presentation.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Submission of a report incl. a documented computer code.
Zu erbringende Studienleistung
Oral presentation
Literatur
http://syscop.de/teaching/
Teilnahmevoraussetzung
None
Bemerkung / Empfehlung
It is strongly recommended to attend the Numerical Optimal Control lecture offered in the same semester.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerische Optimierung / Numerical Optimization 11LE50MO-5243 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 6.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Mathematics 1 and 2 for Engineers or basic Linear Algebra and Calculus courses

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Numerische Optimierung / Numerical Opti- Vorlesung Wahlpflicht 6,0 4.00 180 hours
mization
Numerische Optimierung / Numerical Opti- Übung Wahlpflicht 2.00
mization

Qualifikationsziel
The students know different types of optimization problems and can discuss their theoretical background
and implement and analyze numerical methods for solving them.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik can select this module in
the concentration area Circuits and Systems (Schaltungen und Systeme).
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerische Optimierung / Numerical Optimization 11LE50MO-5243 PO 2021
Veranstaltung
Numerische Optimierung / Numerical Optimization
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5243

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 90 hours
Selbststudium 90 hours
Workload 180 hours

Inhalt
The course is divided into four major parts:
1. Fundamental Concepts of Optimization: Definitions, Types, Convexity, Duality
2. Unconstrained Optimization and Newton Type Algorithms: Stability of Solutions, Gradient and Conjugate
Gradient, Exact Newton, Quasi-Newton, BFGS and Limi- ted Memory BFGS, and Gauss-Newton, Line
Search and Trust Region Methods, Algorithmic Differentiation
3. Equality Constrained Optimization Algorithms: Newton Lagrange and Generalized Gauss-Newton,
Range and Null Space Methods, Quasi-Newton and Adjoint Based Inexact Newton Methods
4. Inequality Constrained Optimization Algorithms: Karush-Kuhn-Tucker Conditions, Linear and Quadratic
Programming, Active Set Methods, Interior Point Methods, Se- quential Quadratic and Convex Program-
ming, Quadratic and Nonlinear Parametric Optimization
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (180 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
see exercise
Literatur
1. Jorge Nocedal and Stephen J. Wright, Numerical Optimization, Springer, 2006
2. Amir Beck, Introduction to Nonlinear Optimization, MOS-SIAM Optimization, 2014
3. Stephen Boyd and Lieven Vandenberghe, Convex Optimization, Cambridge Univ. Press, 2004
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Mathematics 1 and 2 for Engineers or basic Linear Algebra and Calculus courses
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerische Optimierung / Numerical Optimization 11LE50MO-5243 PO 2021
Veranstaltung
Numerische Optimierung / Numerical Optimization
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5243

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
In der Übung werden die Inhalte der Vorlesung anhand theoretischer Beispielaufgaben sowie mit Rechner-
übungen vertieft.
Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung
Successful participation/solution of at least 50% of the weekly exercise sheets.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Mathematics 1 and 2 for Engineers or basic Linear Algebra and Calculus courses
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerische Optimierung Projekt / Numerical Optimization 11LE50MO-5244 PO 2021

Project
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Numerische Optimierung / Numerical Opti- Projekt Wahlpflicht 3,0 1.00 90 hours
mization - Projekt

Qualifikationsziel
Students will be able to independently program, analyze, and apply continuous optimization methods.
The project consists of implementing one or more self-selected optimization methods on the computer and
applying them to one or more self-selected application problems. The focus may be more on algorithms
and performance comparisons or on modeling a specific problem. The result of the project is a documented
computer code, a report, and a public presentation.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Numerische Optimierung Projekt / Numerical Optimization Project 11LE50MO-5244 PO 2021
Veranstaltung
Numerische Optimierung / Numerical Optimization - Projekt
Veranstaltungsart Nummer
Projekt 11LE50Pr-5244

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 15 hours
Selbststudium 75 hours
Workload 90 hours

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
Submission of a report incl. a documented computer code.
Zu erbringende Studienleistung
A short oral presentation at the end of the semester.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None
Bemerkung / Empfehlung
It is strongly recommended to attend the Numerical Optimization lecture offered in the same semester.
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Rennautoregelung Praktikum / Race Car Control Laboratory 11LE50MO-5224 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
The lab course includes topics as part of the Race Car project (Simulation, Optimization and Control of
small race cars). The project offers a large variety of project topics, students may be assigned topics mee-
ting their interests and academic background.
Prior studies of “Modelling and System Identification” and/or “Optimal Control and Estimation” are recom-
mended.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Rennautoregelung Praktikum / Race Car Praktikum Wahlpflicht 6,0 4.00 180 Stun-
Control Laboratory den

Qualifikationsziel
Aim of this lab course is to use the theoretical background for real applications in a scientific project. Finding
creative solutions to problems as well as hands-on testing/verification of soft- and hardware will be part of
the projects. The lab course will also offer experience of working in an international team.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Circuits and Systems (Schaltungen und Systeme).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Rennautoregelung Praktikum / Race Car Control Laboratory 11LE50MO-5224 PO 2021
Veranstaltung
Rennautoregelung Praktikum / Race Car Control Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5224

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 56 hours
Selbststudium 126 hours
Workload 180 Stunden

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Inhalt
Focus of the lab course is setting up a race track and control system for autonomous driving cars. The set
up consists of a track, cars, a color camera, which is tracking the cars and a computer, controling the cars.
The communication between the race cars and the computer will be carried out by hacking the remote con-
trol. The color camera can be seen as the sensor of the car, communicating its actual position to the compu-
ter.
The course will be accompanied by weekly meetings with one or more team members working on com-
plementary projects addressing the same real world control problem. In the last two to three weeks of the
lab course, when the main project aims are achieved, the participants will start to work on a short report for
documentation and give a final oral presentation to share their findings with all team members.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written composition and oral presentation of the project results.
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
The lab course includes topics as part of the Race Car project (Simulation, Optimization and Control of
small race cars). The project offers a large variety of project topics, students may be assigned topics mee-
ting their interests and academic background.
Prior studies of “Modelling and System Identification” and/or “Optimal Control and Estimation” are recom-
mended.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

RF- und Mikrowellen Bauelemente und Schaltungen / RF- and 11LE50MO-5215 PO 2021
Microwave Devices and Circuits
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rüdiger Quay

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
RF- und Mikrowellen Bauelemente und Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Schaltungen / RF- and Microwave Devices
and Circuits - Vorlesung

Qualifikationsziel
The students will be able to understand concepts, devices, design, and functioning of modern RF- and
microwave transceiver subsystems. This includes the understanding of basic RF-concepts, passive and
active devices, circuits, functionalities, their critical figures-of-merrit, and the inclusion into modules. The
students will be competent to analyse passive and active RF-structures and circuits, which are relevant for
any system with an RF-functionality. The competence includes the full understanding of a transmit/receive
module needed for today’s communcation and sensing.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Circuits and Systems (Schaltungen und Systeme).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

RF- und Mikrowellen Bauelemente und Schaltungen / RF- and Microwave 11LE50MO-5215 PO 2021
Devices and Circuits
Veranstaltung
RF- und Mikrowellen Bauelemente und Schaltungen / RF- and Microwave Devices and Circuits - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-5215

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The lecture RF- and Microwave Devices and Circuits deals with the fundamentals of RF-devices and cir-
cuits. It comprises three parts: high-frequency/RF concepts and passive structures, active electronic RF-
devices, and RF-circuits and modules. At the interface of modern electronics, dielectric wave propagation,
circuit design, and advanced communication and sensing, advanced analysis and characterisation techni-
ques are introduced in order to bridge the gap from modern electronics and modern passive RF-technology
to the understanding of RF-communication and sensing systems. The methodologies of RF-analysis, design
of devices and circuits, and their basic figures-of-merit, their modelling and characterisation are introduced
along with the demonstration of their relevance to modern RF- components and microsystems. This also
includes a discussion of the underlying technology and many examples supported by RF-design tools from
the microwave oven to today’s RF-applications in mobile communication in the iPod.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination (30 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
RF- and Microwave passives
■ Zinke/Brunswig, Hochfrequenztechnik, Band 1, Springer, 1999

RF-Devices
■ U.K. Mishra, J. Singh, Semiconductor Device Physics And Design, Springer, 2007

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None
Lehrmethoden
Electronic handout will be provided during the lecture.
Visit to the Fraunhofer IAF.
Bemerkung / Empfehlung
Electronic handout will be provided during the lecture.
Visit to the Fraunhofer IAF.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

RF- und Mikrowellen Schaltungen und Systeme / RF- and 11LE50MO-5232 PO 2021
Microwave Cir- cuits and Systems
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rüdiger Quay
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
RF- und Mikrowellen Schaltungen und Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Systeme / RF- and Microwave Circuits and
Systems - Vorlesung

Qualifikationsziel
The students will be able to understand, design and layout modern RF- and microwave components and
systems by means of the electronic design environment Agilent Advanced Design System including the
two- and three dimensional electromagnetic simulators Momentum and EMPro 3D. The detailed use of a
complex RF-software environment is a dedicated target of this course. This includes the numerical analy-
sis of complex passive and active devices, the design and layout of hybrid and integrated circuits, and their
packaging and signal flow. The students are competent to design and layout passive and active RF-struc-
tures including packages and interconnects and circuits of relevance to everydays communication and sen-
sing. The competence includes in-depth understanding and treatment of complex microwave systems and
of general system design including the treatment of complex modulated signal flows.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Circuits and Systems (Schaltungen und Systeme).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

RF- und Mikrowellen Schaltungen und Systeme / RF- and Microwave Cir- 11LE50MO-5232 PO 2021
cuits and Systems
Veranstaltung
RF- und Mikrowellen Schaltungen und Systeme / RF- and Microwave Circuits and Systems - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-5232

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 hours
Selbststudium 60 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The lecture RF- and Microwave circuits and systems deals with the fundamentals and concepts of RF-cir-
cuits and systems. It comprises three parts: fundamental RF-concepts with focus on communications and
sensing, more complex RF-circuits, and actual RFsystems. At the interface of modern electronics, wave
propagation, circuit design, and advanced communication and sensing, advanced analysis and characte-
risation techniques are introduced in order to bridge the gap from modern integrated circuits to the under-
standing of RF-communication and sensing systems with all aspects of frequency conversion, amplification,
noise, distortion, and detection. The methodologies of RF-analysis, design of circuits, complex signal flows,
their modelling and their characterisation are introduced along with the demonstration of their relevance to
real RF-components and (micro)-systems. Typical applications include a mobile handset such as the Smart
Phone, automotive radar, and wireless data communication links for high-data-rate transmission.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination (30 minutes)

Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
RF- and Microwave passives
■ Zinke/Brunswig, Hochfrequenztechnik, Band 1, Springer, 1999

Further literature for systems are presented during the lecture

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None
Lehrmethoden
Electronic handout will be provided during the lecture.
Visit to the Fraunhofer IAF.
Bemerkung / Empfehlung
No prior knowledge of the software is required.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

RF- und Mikrowellen Systeme - Design Kurs / RF- and 11LE50MO-5344 PO 2021
Microwave Systems- Design Course
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rüdiger Quay

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
The prior or parallel participation in either module "RF- and microwave devices and circuits" or "RF- and
microwave circuits and systems" is required. No prior knowledge of the software is required.
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
RF- und Mikrowellen Systeme - Design Praktikum Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Kurs / RF- and Microwave Systems -
Design Course

Qualifikationsziel
The students will be enabled to understand, design and layout modern RF- and microwave components
and systems by means of the electronic design environment Agilent Advanced Design System including
the two- and three dimensional electromagnetic simulators Momentum and EMPro 3D. The detailed use of
a complex RF-software environment is a dedicated target of this course. This includes the numerical ana-
lysis of complex passive and active devices, the design and layout of hybrid and integrated circuits, and
their packaging and signal flow. The students will be competent to design and layout passive and active RF-
structures including packages and interconnects and circuits of relevance to everydays communication and
sensing. The competence includes in-depth understanding and treatment of complex microwave systems
and of general system design including the treatment of complex modulated signal flows.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Circuits and Systems (Schaltungen und Systeme).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

RF- und Mikrowellen Systeme - Design Kurs / RF- and Microwave Systems 11LE50MO-5344 PO 2021
- Design Course
Veranstaltung
RF- und Mikrowellen Systeme - Design Kurs / RF- and Microwave Systems - Design Course
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE68P-5344

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 hours
Workload 90 hours

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021
Inhalt
The Design Course: RF- and Microwave Systems deals with the analysis and creation of RF-devices, cir-
cuits and systems. It comprises three aspects: the detailed electromagnetic design of high-frequency/RF
passive and active structures, the modelling and layout and verification of active electronic RF-devices in
circuit environments based on various semiconductor technologies, and the high-level combination of more
complex microwave systems. This includes the simulation of printed circuit boards, of integrated circuits and
of devices in package including RF-interconnects, and of behavioural system simulation. Advanced analysis
of RF-problems, characterisation, modelling and linear and nonlinear simulation techniques are introduced
in order to combine knowledge from modern electronics (from various technologies such as silicon comple-
mentary MOS and GaAs), from component analysis, RF-circuit design principles, and system engineering.
The examples include simple printed circuits boards, integrated circuits, advanced communication transcei-
vers in mobile communication based on UMTS and LTE and modern radar.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Students have to submit 5 out of 6 exercise sheets. The module grade results from the average of the grade
of these exercise sheets. In case of failure to hand in more than one exercise sheet due to illness, a substi-
tute performance will be offered.
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
ADS Agilent Design System User Manual 2013 www.agilent.com search: ADS
Skript: Design Course: RF- and Microwave Systems, R. Quay, 2014 (will be provided at the beginning of the
lecture)
Teilnahmevoraussetzung
The prior or parallel participation in either module "RF- and microwave devices and circuits" or "RF- and
microwave circuits and systems" is required. No prior knowledge of the software is required.
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Sensors and actuators circuit technology 11LE50MO-5282 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Peter Woias

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Undergraduate knowledge in electrical engineering and measurement technology.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Sensors and actuators circuit technology Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
Sensors and actuators circuit technology Übung Wahlpflicht 2.00
Veranstaltung

Qualifikationsziel
■ Students are able to identify and describe the parts of an embedded electronic circuit
■ Students have an overview of sensor and actuator technology and the corresponding circuits for their
signal acquisition and signal processing.
■ Students are able to distinguish among circuit designs in accordance to specifications and required per-
formances.
■ Students know the critical aspects to take into consideration during the circuit design for a specific sen-
sor or actuator
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programme Microsystems Engg. (PO 2021) can select this module in the concentra-
tion area Circuits and Systems (Schaltungen und Systeme).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Sensors and actuators circuit technology 11LE50MO-5282 PO 2021
Veranstaltung
Sensors and actuators circuit technology
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5277

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 52 hours
Selbststudium 128 hours
Workload 180 hours

Inhalt
■ Introduction to electronic components and function blocks
■ Sensors generating output currents (photodiode, amperometric electrode)
■ Sensors geniting output voltages (ISFET)
■ Resistive sensors based on the Wheatstone bridge principle (pressure, acceleration)
■ Capacitive sensors (pressure, acceleration, humidity)
■ Capacitive actuators (electrostatic, piezoelectric)
Zu erbringende Prüfungsleistung
oral examination (30 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
Sedra, Smith, Microelectronic Circuits, New York: Oxford University Press, ISBN0199339147
Hayes, Horowitz, the Art of Electronics, Cambridge University Press, ISBN0521177235
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Sensors and actuators circuit technology 11LE50MO-5282 PO 2021
Veranstaltung
Sensors and actuators circuit technology Veranstaltung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5277

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz in jedem Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The exercises deepen the subject through the analysis and design of electronic circuits for sensors and
actuators.
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Sensor-Aktor-Schaltungstechnik 11LE50MO-5725 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Peter Woias

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Wissen und Kenntnisse der vermittelten Lehrmodule "Einführung in die Elektrotechnik" und "Messtechnik"
des Bachelor-Studiengangs Mikrosystemtechnik, alternativ aus vergleichbaren Lehrveranstaltungen anderer
Hochschulen.
Vertiefte Grundkenntnisse zu elektronischen Bauelementen.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Sensor-Aktor-Schaltungstechnik Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den
Sensor-Aktor-Schaltungstechnik Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
Das Modul vermittelt grundlegendes Wissen zur elektronischen Schaltungstechnik der signalverarbeitenden
Elektronik für verschiedene Mikrosensoren und Mikroaktuatoren. Es werden in einer Abfolge von Kapiteln
zunächst die Grundlagen einiger wesentlicher elektronischer Bauelemente und Funktionsgruppen vermittelt.
Anschließend werden kapitelweise verschiedene Sensor- und Aktormechanismen kurz vorgestellt, gefolgt
von einer Erläuterung der wichtigsten Schaltungskonzepte für ihren Betrieb. Die Übung vertieft den Lehr-
stoff anhand der Präsentation und Diskussion exemplarischer Designbeispiele von elektronischen Schaltun-
gen.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Studierende der Masterstudiengänge Microsystems Engineering und Mikrosystemtechnik (PO 2021) kön-
nen dieses Modul im Vertiefungsbereich Schaltungen und Systeme wählen.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Sensor-Aktor-Schaltungstechnik 11LE50MO-5725 PO 2021
Veranstaltung
Sensor-Aktor-Schaltungstechnik
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5725

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 52 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 Stunden

Inhalt
Inhalte sind:
• Einführung in elektronische Bauelemente und Funktionsblöcke (Diode, Bipolartransistor, Stromquellen,
Stromspiegel, Bandgap-Referenz, Operationsverstärker)
• Stromliefernde Sensoren (Photodiode, amperometrische Elektrode)
• Spannungsliefernde Sensoren (Ionensensitiver Feldeffekttransistor)
• Resistive Sensoren nach dem Wheatstone-Brückenprinzip (Druck, Beschleunigung)
• Kapazitive Sensoren (Druck, Beschleunigung, Feuchte)
• Kapazitive Aktoren (elektrostatisch, piezo)
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Prüfung
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
Tietze, Schenk, Gamm, Halbleiter-Schaltungstechnik, 15. Auflage, 2016, Springer, Berlin, ISBN
978-3-662-48354-1.
Schrüfer, Reindl, Zagar, Elektrische Messtechnik, 11. Auflage, 2014, Carl-Vieweg-Verlag, München, ISBN
978-3-446-44208-5.
Teilnahmevoraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
Wissen und Kenntnisse der vermittelten Lehrmodule "Einführung in die Elektrotechnik" und "Messtechnik"
des Bachelor-Studiengangs Mikrosystemtechnik, alternativ aus vergleichbaren Lehrveranstaltungen anderer
Hochschulen.
Vertiefte Grundkenntnisse zu elektronischen Bauelementen.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Sensor-Aktor-Schaltungstechnik 11LE50MO-5725 PO 2021
Veranstaltung
Sensor-Aktor-Schaltungstechnik
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5725

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Konstruktion von Mikrosystemen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch

Inhalt
Die Übung vertieft den Lehrstoff anhand der Präsentation und Diskussion von exemplarischen Problemstel-
lungen und Designbeispielen elektronischer Schaltungen.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung
Zu erbringende Studienleistung
keine
Teilnahmevoraussetzung

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

State Space Control Systems 11LE50MO-5267 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
Keine
Empfohlene Voraussetzung
Students are expected to have an undergraduate knowledge in mathematics. It is furthermore recommen-
ded to have a good knowledge of differential equations, system theory and control.
Kenntnisse/Kompetenzen aus Mathematik I und II werden VORAUSGESETZT.
Kenntnisse aus Differentialgleichungen, Systemtheorie und Regelungstechnik werden EMPFOHLEN.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
State Space Control Systems Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 hours
State Space Control Systems Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
The students understand the mathematical foundations of state space control systems and are able to
design and use state space control systems in engineering applications.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Dieses Modul ist auch für Studierende des Bachelor of Science Mikrosystemtechnik (PO 2018), im Wahl-
pflichtbereich, Bereich MST verwendbar.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

State Space Control Systems 11LE50MO-5267 PO 2021
Veranstaltung
State Space Control Systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5267-

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 52 Stunden
Selbststudium 128 Stunden
Workload 180 hours

Inhalt
Review of linear system theory in continuous time and ordinary differential equations; nonlinear and linear
systems; discrete time and continuous time systems; eigenvalues and stability; Lyapunov functions; control-
lability, stabilizability, observability and detectability; control and observer normal form, Kalman normal form;
pole placement, linear quadratic regulator (LQR); Luenberger observer, Kalman filter (KF); linear quadratic
Gaussian (LQG) control and separation principle; disturbance modelling and offset free control; model pre-
dictive control (MPC); robustness; Extended and Unscented Kalman Filter (EKF/UKF); moving horizon esti-
mation (MHE)
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (120 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
see exercise
Literatur
■ Karl J. Åström and Richard M. Murray, Feedback Systems, Princeton University Press, 2011
■ Stengel, R. Optimal Control and Estimation, Dover Publications, 1994
■ S. Skogestad, I. Postlethwaite: Multivariable Feedback Control. Analysis and Design. Chichester/ New
York, 2006.
■ G.F. Franklin, J.D. Powell, A. Emami-Naeini: Feedback Control of Dyna- mic Systems, Pearson
(ISBN-13: 978-0-13-601969-5) Rawlings, J. B., Mayne, D. Q., and Diehl, M. M. Model Predictive Control:
Theory, Computation, and Design, 2nd edition ed. Nob Hill, 2017.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Students are expected to have an undergraduate knowledge in mathematics. It is furthermore recommen-
ded to have a good knowledge of differential equations, system theory and control.
Kenntnisse/Kompetenzen aus Mathematik I und II werden VORAUSGESETZT.
Kenntnisse aus Differentialgleichungen, Systemtheorie und Regelungstechnik werden EMPFOHLEN.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

State Space Control Systems 11LE50MO-5267 PO 2021
Veranstaltung
State Space Control Systems
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5267

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The weekly exercise sheets allows students to apply their acquired knowledge. During the voluntary wee-
kly exercise sessions the content of both the lecture and the exercise sheets will be discussed in-depth and
consolidated.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Zu erbringende Studienleistung
Work on the weekly exercise sheets and participation in the exercises is voluntary.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Students are expected to have an undergraduate knowledge in mathematics. It is furthermore recommen-
ded to have a good knowledge of differential equations, system theory and control.
Kenntnisse/Kompetenzen aus Mathematik I und II werden VORAUSGESETZT.
Kenntnisse aus Differentialgleichungen, Systemtheorie und Regelungstechnik werden EMPFOHLEN.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Thermoelektrik und thermische Messtechnik 11LE50MO-5262 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Wöllenstein

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Dünnschicht-Gassensorik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Thermoelektrik und thermische Messtech- Vorlesung Wahlpflicht 2.00 90 Stun-
nik den

Qualifikationsziel
Nach Absolvieren dieses Moduls "Thermoelektrik und thermische Messtechnik":
■ kennen die Studierenden die physikalischen, chemischen, elektrischen Grundlagen thermoelektrischer
Bauelemente und Systeme
■ kennen die Studierenden die typische Materialsysteme, Modultechnologien und Anwendungen thermo-
elektrischer Bauelemente und Systeme
■ kennen die Studierenden die physikalischen und elektrischen Grundlagen thermischer Sensoren und
Messysteme und ihre Anwendungen
■ können die Studierenden einfache Schaltungen für thermoelektrische Systeme und thermische Senso-
ren entwerfen
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Studierende der Masterstudiengänge Microsystems Engineering und Mikrosystemtechnik (PO 2021) kön-
nen dieses Modul im Vertiefungsbereich Schaltungen und Systeme wählen.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Thermoelektrik und thermische Messtechnik 11LE50MO-5262 PO 2021
Veranstaltung
Thermoelektrik und thermische Messtechnik
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5262

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Dünnschicht-Gassensorik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 30 Stunden
Selbststudium 60 Stunden
Workload 90 Stunden

Inhalt
Thermoelektrische Anwendungen finden sich in der Temperaturmesstechnik, der Kalorimetrie, der Detek-
tion von Strahlung, der Kühl- und Heiztechnik und der direkten Konversion von Wärmeenergie in elektri-
scher Energie, den Thermogeneratoren. In der Vorlesung wird ein grundlegendes Verständnis thermoelek-
trischer Effekte vermittelt und deren Abhängigkeit von verschiedenen Materialeigenschaften wie zum Bei-
spiel Seebeck- und Peltier-Koeffizient, elektrische Leitfähigkeit und Wärmeleitfähigkeit abgeleitet. Es wer-
den verschiedene Materialsysteme, die sich für die Thermoelektrik besonders eignen, vorgestellt und im
Hinblick auf typische Anwendungen bewertet. Der Stand der Technik in der Umsetzung dieser verschie-
denen thermoelektrischen Materialien in Module und Systeme wird vorgestellt. Anhand typischer Anwen-
dungsbeispiele werden Modellierung und Entwurf thermoelektrischer Module erörtert.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Mündliche Prüfung (30 Minuten)
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
Begleitend zur Vorlesung werden die verwendeten Folien zur Verfügung gestellt.
Teilnahmevoraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Windenergiesysteme / Wind Energy Systems 11LE50MO-5256 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Moritz Diehl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Undergraduate knowledge in physics, mathematics as well as in systems and control.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Windenergiesysteme / Wind Energy Sy- Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 hours
stems
Windenergiesysteme / Wind Energy Sy- Übung Wahlpflicht 1.00 -
stems

Qualifikationsziel
Students understand the physical principles of wind energy and the technology of modern wind energy
systems.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Circuits and Systems (Schaltungen und Systeme).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Windenergiesysteme / Wind Energy Systems 11LE50MO-5256 PO 2021
Veranstaltung
Windenergiesysteme / Wind Energy Systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5256

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 52 hours
Selbststudium 128 hours
Workload 180 hours

Inhalt
Global wind energy resource - aerodynamic principles of wind turbines - design of modern wind turbines
- control of modern wind turbines - the electrical system of wind turbines - alternative concepts and high-
altitude wind energy.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (180 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
"Wind Energy Handbook" by T. Burton, N. Jenkins, D. Sharpe, E. Bossanyi, 2nd edition, Wiley, 2011
Teilnahmevoraussetzung

Empfohlene Voraussetzung
Undergraduate knowledge in physics, mathematics as well as in systems and control.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Windenergiesysteme / Wind Energy Systems 11LE50MO-5256 PO 2021
Veranstaltung
Windenergiesysteme / Wind Energy Systems
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5256

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Systemtheorie, Regelungstechnik und Optimierung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium -
Selbststudium -
Workload -

Inhalt
The tutorials deepen the understanding of the material of the lecture.
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Zuverlässigkeitstechnik / Reliability Engineering 11LE50MO-5214 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Wilde

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Basic understanding in mathematics (statistics) as well as materials sciences.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Zuverlässigkeitstechnik / Reliability Engi- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 1.00 90 hours
neering - Vorlesung
Zuverlässigkeitstechnik / Reliability Engi- Übung Wahlpflicht 1.00
neering - Übung

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Qualifikationsziel
The first qualification target is an understanding of terminology for dependability, reliability and safety in an
engineering context.
To that purpose quantitative definitions are given, and a mathematical understanding of the statistical basics
of reliability engineering are acquired.
A next step is the comprehension of the reliability of single mechanical and electronic components. To that
purpose the fundamentals of fatigue and fracture mechanics will first be learned, followed by the testing and
failure modelling of electronic devices. This allows to understand device degradation by environmental fai-
lure causes and to model stress-induced failures and reliability.
By the combination of several elements systems are generated. In order to predict the reliability and to vali-
date the safety of systems, risk analyses are treated. These comprise reliability block-diagrams, failure-rate
analyses, fault-tree-analyses, the state-space-method, failure-mode-and-effects-analysis, and Markoff ana-
lysis. The student will also gain specific knowledge in fields like software dependability, dependability of
repairable systems, and functional safety.
The understanding of the respective techniques, also based on industrial standards gives the basic capa-
bilities in order to develop safe systems. Application fields like automotive engineering, medical implants, or
aerospace technology are of high relevance. In this way the lecture provides the basis for the understanding
of state-of-the-art techniques and concepts of reliability engineering.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Zuverlässigkeitstechnik / Reliability Engineering 11LE50MO-5214 PO 2021
Veranstaltung
Zuverlässigkeitstechnik / Reliability Engineering - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5214

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 hours
Selbststudium 60 hours
Workload 90 hours

Inhalt
■ 1. Definitions
■ 1.1 Quality, dependability, reliability and safety
■ 1.2 Benchmarks for dependability, availability und lifetime
■ 1.3 Statistical description of reliability
■ 2. Dependability of mechanical systems
■ 2.1 Example 1: The ICE-crash at Eschede
■ 2.2 Loads on mechanical components
■ 2.3 Risk factors: notches and cracks
■ 2.4 Fatigue - Woehler’s S-N-curve concept
■ 2.5 Computation of operational strength
■ 3. Reliability of electronic hardware
■ 3.1 Automotive electronics: architecture, requirements and quality level
■ 3.2 Reliability of electronic devices, data
■ 4. Reliability data-bases
■ 5. Reliability of systems
■ 5.1 Reliability block-diagram (failure-rate analysis)
■ 5.2 Overview of failure mode analyses
■ 5.3 Fault tree analysis (FTA)
■ 5.4 State-Space: A general method to compute Rs(t) and Fs(t)

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ 6. Reliability of repairable systems

■ 6.1 Definitions
■ 6.2 Repair rate
■ 6.3 Availability
■ 6.4 Markov-Chains and Markov-Processes
■ 7. Software reliability
■ 7.1 Examples of software-induced accidents
■ 7.2 Probability of software faults
■ 7.3 Reliability models for software
■ 7.4 Misjudgements concerning software use
■ 8. Human factors
■ 9. Pre-requisites for development processes
■ 10. Standards and legislation for medical devices
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral exam (30 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
Short lecture notes and data files with existing ANSYS macros.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Basic understanding in mathematics (statistics) as well as materials sciences.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Zuverlässigkeitstechnik / Reliability Engineering 11LE50MO-5214 PO 2021
Veranstaltung
Zuverlässigkeitstechnik / Reliability Engineering - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5214

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
See lecture

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Kontos Nummer des Kontos

Materials and Fabrication 11LE50KO-WP-MSc-986-2021

WP2 MaF
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

Benotung A- Berechnung 1 NachK

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Computational physics: material science 11LE50MO-5270 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Joachim Dzubiella
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 9,0
Empfohlenes Fachsemester
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 270 hours

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in programming (Python, C/C++) as well as statistical mechanics.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Computational Physics: Materials Science Vorlesung Wahlpflicht 9,0 4.00 270

Qualifikationsziel
Application of computational simulation methods can help to discover or design new materials and inve-
stigate (microscopic) structure- (macroscopic) property relationships of a wide range of materials classes,
such as metals, composites, nanostructures, ice/water, as well as polymers, surfactants, or colloidal disper-
sions. This course will introduce basic statistical concepts as well as programming and simulations techni-
ques with particular focus on methods based on classical Hamiltonians spanning orders of length and time
scales, such as Molecular Dynamics and coarse-grained Langevin Dynamics simulations. The students will
become familiar with some examples for the different types of interatomic and coarse-grained potentials:
e.g., Lennard-Jones, Born-Mayer, Embedded-Atom, (screened) Coulomb, Hamaker, etc. as well as bonded
potentials for molecules and polymers. The course will consist of lectures and hands-on programming exer-
cises and small projects, simulating mostly complex (interacting) fluids and molecules, using own written
code.
Zu erbringende Prüfungsleistung
The Prüfungsleistung consists of a written exam, and only the result of the written exam contributes to the
Prüfungsleistung.
Zu erbringende Studienleistung
Criteria for passing: For successfully completing the Studienleistung (SL), students must (i) obtain, at least,
an average of 50% over all the tutorial sheets , (ii) not miss more than two tutorials (either digital or in pre-
sence), and (iii) present their results at least twice during the semester.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Computational physics: material science 11LE50MO-5270 PO 2021
Veranstaltung
Computational Physics: Materials Science
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 07LE33V-ADV_THEO_COMP-
MAT
Fachbereich / Fakultät
Physikalisches Institut-VB

ECTS-Punkte 9,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 90
Selbststudium 180
Workload 270

Inhalt
This lecture provides an introduction into basic concepts of atomistic computational materials science. The
computational tools for different time and length scales will be introduced and it will be discussed how these
tools can be combined in order to solve physical problems extending over too many scales for one sin-
gle method alone. We will start with a brief introduction to density functional theory and more approximate
methods such as tight binding. Quantum derived forces can be extracted from these methods and the short
term dynamics of small nanosystems can be studied. For the simulation of larger systems and longer time
scales, classical interatomic potentials are required. The students will become familiar with some examples
for the different types of interatomic potentials: e.g. Lennard-Jones, Born-Mayer, Embedded-Atom, Bond-
Order-potentials as well as bead-spring potentials for polymers. A brief introduction into the basic methodo-
logy of micro-canonical and thermostated molecular dynamics simulations will be given.
The lecture is accompanied by a hands-on programming course. Classical molecular dynamics simulations
will be used to study metallic and covalently bonded materials.
Lernziele / Lernergebnisse
■ Students have understood the basic Hamiltonian of CMS
■ Students are familiar with the various approximations that lead to different methods in CMS: Born-
Oppenheimer approximation, classical approximation for the nuclei, local density approximation, tight-
binding, semi-empirical interatomic potentials, coarse grained models, hydrodynamic limit
■ Students have a basic knowledge of density functional theory.
■ Students can set up simple molecular dynamics calculations.
■ Students are familiar with the different types of Born-Oppenheimer surfaces for the different types of inte-
ratomic binding.
■ Students are familiar with extended molecular dynamics methods.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
The Prüfungsleistung consists of a written exam, and only the result of the written exam contributes to the
Prüfungsleistung.
Zu erbringende Studienleistung

Literatur
lecture script: A brief Introduction into Computational Materials Science
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Disposable sensors 11LE50MO-5259 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Gerald Urban

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Disposable sensors Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
den

Qualifikationsziel
You understand the basics of different signal detection and amplification strategies.
- You know the materials and the fabrication techniques used for disposable sensors.
- You learn various biorecognition elements and their working mechanisms.
- You overview the recent advances in disposable sensors from different application fields.
- You can apply these knowlodge to develop new bioanalytical devices in future.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Disposable sensors 11LE50MO-5259 PO 2021
Veranstaltung
Disposable sensors
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5259

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 Stunden
Selbststudium 64 Stunden
Workload 90 Stunden

Inhalt
Disposable sensors are low-cost, single-use and easy-to-handle sensing devices. In recent years, they have
become increasingly important for various applications. These include from environmental, forensic, phar-
maceutical, agricultural, and food monitoring to wearables and clinical diagnostics, especially the point-of-
care testing. This lecture deals with the materials, methods and applications of disposable sensors.

1. Introduction
2. Materials for disposable sensors
3. Biorecognition elements
4. Signal detection techniques
5. Signal amplification strategies
6. Lab-on-a-chip: integration into microfluidic systems
7. Application fields
a. Diagnostics
b. Food analysis
c. Environmental monitoring
8. Future perspectives
9. Summary

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Lernziele / Lernergebnisse
■ You understand the basics of different signal detection and amplification strategies.
■ You know the materials and the fabrication techniques used for disposable sensors.
■ You learn various biorecognition elements and their working mechanisms.
■ You overview the recent advances in disposable sensors from different application fields.
■ You can apply these knowledge to develop new bioanalytical devices in future.
Zu erbringende Prüfungsleistung
written exam with a duration of 90 minutes
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Electrochemical energy applications: fuel cells and electrolysis 11LE50MO-5278 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Roland Zengerle

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge in material science

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Electrochemical energy applications: fuel Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
cells and electrolysis den

Qualifikationsziel
understanding/knowledge
- basic electrochemistry
- hydrogen fuel cell working principle, materials, systems
- electrolysis working principle, materials, systems
- redox flow batteries
- electrochemical and ex-situ characterization methods
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Electrochemical energy applications: fuel cells and electrolysis 11LE50MO-5278 PO 2021
Veranstaltung
Electrochemical energy applications: fuel cells and electrolysis
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5278

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 Stunden

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
schriftliche Ausarbeitung (z.B. Hausarbeit, Projektbericht, Poster)
Zu erbringende Studienleistung
keine
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge in material science

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Elektrochemische Methoden für Ingenieure / Electrochemical 11LE50MO-5719 PO 2021

Methods for Engineers
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Gerald Urban

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
■ Introductory lecture to chemistry or similar knowledge
■ Introductory lecture to electronics or similar knowledge

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Elektrochemische Methoden für Inge- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
nieure / Electrochemical Methods for Engi-
neers - Vorlesung

Qualifikationsziel
The students know the essential concepts and fundamental equations of electrochemical theory. The par-
ticipants from different subjects link together the knowledge from physical chemistry and several enginee-
ring disciplines to get a sound understanding of the classical electrochemical methods and electrochemical
impedance spectroscopy. The students can apply their knowledge and understanding of the electrochemical
methods to tasks in the field of material science, microtechnology, microsystems and energy application.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Elektrochemische Methoden für Ingenieure / Electrochemical Methods for 11LE50MO-5719 PO 2021
Engineers
Veranstaltung
Elektrochemische Methoden für Ingenieure / Electrochemical Methods for Engineers - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5719

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30
Selbststudium 60
Workload 90 hours

Inhalt
■ Electrochemical theory (cells, electrodes, fundamental equation and concepts)
■ Instrumentation (focus on the interplay between electrochemistry and electronics/data acquisition),
equipment (electrodes, cells), and electrolytes
■ Classical methods (potentiometry, amperometry, CV, DPV, SWV, HDME, RDE, RRDE)
■ Electrochemical impedance spectroscopy (EIS)
■ Selected aspects: Material science (corrosion, hierarchical micro-/nanostructures)
■ Selected aspects: Microtechnology (electrodeposition, failure mechanism)
■ Selected aspects: Microsystems (electrochemical sensors and actuators)
■ Selected aspects: Energy application (fuel cells, batteries, super caps)
Zu erbringende Prüfungsleistung
written examination (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
■ Bard, Faulkner: Electrochemical Methods – Fundamentals and Applications, 2nd ed., 2001, Wiley,
library: SB/I.1/1
■ Hamann, Hamnett, Vielstich: Electrochemistry, 2nd ed., Wiley-VCH 2007, library: SB/H.2/13

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ Zoski: Handbook of electrochemistry, 1st ed., Elsevier, 2007, available as ebook (campus license)
Teilnahmevoraussetzung
none

Empfohlene Voraussetzung
Introductory lecture to chemistry or similar knowledge
Introductory lecture to electronics or similar knowledge

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Energiespeicherung und Wandlung mittels Brennstoffzellen / 11LE50MO-5203 PO 2021

Energy sto- rage and conversion using fuel cells
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Claas Müller

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Energiespeicherung und Wandlung mittels Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
Brennstoffzellen / Energy storage and con- den
version using fuel cells - Vorlesung

Qualifikationsziel
Ziel des Moduls ist die Vermittlung der vertieften theoretischen Grundlagen und der spezifischen Kennt-
nisse zur Speicherung und Wandlung von Energie mittels Brennstoffzellen in mikrotechnischen Systemen.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Energiespeicherung und Wandlung mittels Brennstoffzellen / Energy sto- 11LE50MO-5203 PO 2021
rage and conversion using fuel cells
Veranstaltung
Energiespeicherung und Wandlung mittels Brennstoffzellen / Energy storage and conversion using fuel cells
- Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5203

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 Stunden

Inhalt
■ Physikalisch chemische Grundlagen Brennstoffzellen
■ Aufbau und Funktion von Brennstoffzellen
■ Vorstellung unterschiedlicher Brennstoffzellentypen
■ Physikalisch chemische Grundlagen der Wasserstoffspeicherung
■ Vorstellung von Wasserstoffspeichertypen und -mechanismen
■ Diskussion von Vor- und Nachteilen der Wasserstoffspeicher
■ Brennstoffzellensysteme im Automobil
■ PEM
■ DMFC
■ Miniaturisierung von Brennstoffzellen
■ Mikrobrennstoffzelle
■ Chipintegrierte Brennstoffzelle (I²Brenn)
■ Brennstoffzellenakkumulator
■ Miniaturisierung der Wasserstofferzeugung
■ Einsatz von Brennstoffzellensystemen in der MST
Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche Abschlussprüfung (90 Minuten)

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
Zur Vorlesung wird ein Skriptum zur Verfügung gestellt und regelmäßig aktualisiert.
Teilnahmevoraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Fortgeschrittene Siliziumtechnologie / Advanced Silicon 11LE50MO-5112 PO 2021

Technology
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Oliver Paul

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in microsystems technology and semiconductor physics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Fortgeschrittene Siliziumtechnologie / Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Advanced Silicon Technology - Vorlesung

Qualifikationsziel
This module provides a more detailed description of silicon technologies exceeding the modules in Microsy-
stemtechnology I and II. The basics in silicon technologies will be accomplished by the most recent results
found in literature.
Whenever possible, we will organize a visit of the Micronas GmbH in Freiburg and their CMOS Fab.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Fortgeschrittene Siliziumtechnologie / Advanced Silicon Technology 11LE50MO-5112 PO 2021
Veranstaltung
Fortgeschrittene Siliziumtechnologie / Advanced Silicon Technology - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5112

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 hours

Inhalt
Substrate materials, oxidation, diffusion, implantation, polysilicon and epitaxy, silisides, metallisation, diel-
ectric layers, SiGe, strained silicon, low- und high-k-dielectrics, photo lithography (immersion lithogra-
phy, phase shift mask, EUV, chemical-mechanical polishing, process integration, CMOS-compatible micro
mechanics
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination if there are 20 or fewer than 20 registered participants; written examination if there are
more than 20 registered participants (minimum 60 and maximum 240 minutes). Details will be announced
by the examiner in due time.
Zu erbringende Studienleistung

Literatur
■ Chang/Sze: ULSI Technology, Wiley
■ Semiconductor International: monatliche Technologie-Zeitschrift
Teilnahmevoraussetzung
none

Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in microsystems technology and semiconductor physics

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Funktionale Sicherheit - Aktive Resilienz / Functional Safety, 11LE68MO-5120 PO 2021

Security and Sustainability: Active Resilience
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Stefan Hiermaier

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Nachhaltige Ingenieursysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 h
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Any basics in any of the following areas would be helpful but are not mandatory:

■ system description and modelling

■ graphical/ semiformal modelling
■ product and development life cycles
■ classical system analysis
■ reliability analysis for any engineering discipline, e.g. electronics, computer science, mechanical, civil
and aerospace engineering

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Functional Safety: Active Resilience Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 h

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Qualifikationsziel
Main goals include:
1. Know main (emerging) application domains, e.g. digitalized production, transport, aerospace, AI safety,
and renewable energy
2. Knowledge how to achieve acceptable overall safety (risk control), security, sustainability, and resilience
of socio-technical (safety relevant and critical) systems through reliable functions
3. Knowledge and tailoring of definitions, types and effects of reliability functions
4. Relation of functional safety to related concepts for security and sustainability generation
5. Knowledge and tailoring of safety life cycle, development processes and process steps to plan, develop,
verify and validate reliability or safety functions
6. Knowledge, tailoring, process-driven application, quantification and evaluation, executive conclusions
development, and litigable documentation of mainly quantitative system analysis methods
7. Know how to efficiently combine and tailor modern system analysis methods
8. Know failure types and how to avoid and control them with techniques and measures for hardware and
software
9. Knowledge and application of assessment quantities for reliable functions, e.g. safety integrity level (on
demand or continuous), hardware failure tolerance, diagnostic coverage, safe failure fraction, complexity
level
10. Knowledge of reliability prediction methods and related standards
11. Applicable knowledge of related standardization landscape
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Elective Module for students of the study program

■ Master of Science in Sustainable Systems Engineering (2021 version of the exam regulations):
■ Resilience Engineering
■ Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrica-
tion (=Materialien und Herstellungsprozesse).
■ Master of Embedded Systems Engineering
■ Zuverlässige eingebettete Systeme
■ Design and Simulation

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Funktionale Sicherheit - Aktive Resilienz / Functional Safety, Security and 11LE68MO-5120 PO 2021
Sustainabilty: Active Resilience
Veranstaltung
Functional Safety, Security and Sustainability: Active Resilience
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-5120

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 h
Selbststudium 64 h
Workload 90 h

Inhalt
Main contents:
1. Definition of functional safety, safety functions, safety integrity level (SIL), safety related systems
2. Relation of functional safety to reliability, availability, resilience, safety and security
3. Safety and resilience life cycle models (development process for safety and resilience): general and
phase-specific requirements
4. System definition and graphical/semi-formal modelling for system analysis, e.g. with UML and SysML
5. Overview on methods for SIL determination: graphical, numerical, analytical, statistical
6. Basic (inductive) analytical tabular system analysis methods: e.g. preliminary hazard list (PHL),
hazard analyses (PHA, SSH, O&SHA, HAZOP), hazard log, failure mode and effects analysis (FMEA,
FMEDCA), Double failure matrix
7. Basic (deductive) graphical system analysis methods: Reliability block diagram (RBDs), Fault tree analy-
sis (FTA, TDFTA), Markov models, Petri nets, event tree analysis, Fishbone diagram
8. Application process of system analysis methods: qualitative and quantitative implementation, evalua-
tion, e.g. risk priority numbers, parts count and parts stress using reliability prediction for FMEA, Boolean
algebra and importance measures for FTA, quantitative measures for graph-based methods, computa-
tion approaches for Markov and Petri-Models
9. Key functional safety quantities, e.g. SIL, hardware failure tolerance, complexity, diagnostic coverage,
safe failure fraction
10. Functional safety and resilience architecture allocation, e.g. MooN, MooND
11. Overview on techniques and measures for hardware and software to avoid and control systematic errors
and to avoid and control statistic errors of hardware

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

12. Combination and tailoring of processes and methods

13. Application domains and examples: e.g. automation, production, automotive, transport, energy supply
14.Standardization landscape, e.g. functional safety standards IEC 61508, ISO 26262 and safety of inten-
ded function ISO 21448
15.Emerging standards, future risk control and resilience generation challenges, e.g. AI and superintelli-
gence control
Qualifikationsziel

Zu erbringende Prüfungsleistung
Written examination
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
Example literature/ Sample literature:
1. Satisfying safety goals by probabilistic risk analysis, Hiromitsu Kumamoto, Springer 2007
2. Modern statistical and mathematical methods in reliability, Alyson Wilson et. al. (eds.), World Scientific,
2005
3. Mathematical and statistical methods in reliability, Bo H Lindqvist and Kyell A Doksum, World Scientific,
2003
4. FRAM: the functional resonance analysis method, Erik Holnagel, Ashgate, 2012
5. Control systems safety evaluation and reliability, William M. Gobe, 2010
6. System reliability theory: models, statistical methods and applications, Marvin Rausand, Arnljot Hoyland,
Wiley-Interscience, 2004
7. Risk assessment: theory, methods, and application, Marvin Rausand, Wiley, 2011
8. Reliability of safety-critical systems: theory and applications, Marvin Rausand, Wiley, 2014
9. Risk and resilience: methods and application in environment, cyber and social domains, Eds.: Igor Lin-
kov, Jose Manuel Palma-Oliviera, Springer, 2017
10. Functional safety for road vehicles: new challenges and solutions for e-mobility and automated driving,
Hans-Leo Ross, Springer, 2016
11. Functional safety in practice, Harvey T Dearden, CreateSpace Independent Publishing Platform, 2018
12.Modeling for reliability analysis: Markov modeling for reliability, maintainability, safety, and supportability
analyses of complex systems, Jan van Pukite, Paul Pukite, Wiley-IEEE Press, 1998
13. Applied reliability engineering and risk analysis: probabilistic models and statistical inference, Editor(s):
Ilia B. Frenkel, Alex Karagrigoriou, Anatoly Lisnianski, Andre Kleyner, John Wiley & Sons, 2013
14. Reliability engineering: theory and practice, Alessandro Birolini, Springer, 2013
15. Electronic safety systems: hardware concepts, models, calculations, Josef Börcsök, Hüthig, 2004.
16.Elektronische Sicherheitssysteme, Josef Börcsök, Hüthig, 2004
17.Funktionale Sicherheit: Grundzüge sicherheitstechnischer Systeme, Hüthig, 2014
18.Zuverlässigkeitstechnik, Arno Meyna and Bernhard Pauli, Hanser, 2010
19. The safety critical systems handbook, David J. Smith, Butterworth-Heinemann, 2010
20. Reliability and availability engineering: modeling, analysis, and applications, Kishor S. Trivedi, Andrea
Bobbio, Cambridge University Press, 2017

Further information:
Sample related standards for information
https://www.iec.ch/functionalsafety/
https://www.iso.org/standard/68383.html
https://www.iso.org/standard/70939.html

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Any basics in any of the following areas would be helpful but are not mandatory:
■ system description and modelling
■ graphical/ semiformal modelling
■ product and development life cycles
■ classical system analysis
■ reliability analysis for any engineering discipline, e.g. electronics, computer science, mechanical, civil
and aerospace engineering.
Lehrmethoden
Lecture with integrated exercises

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Hardware-Entwicklung mit der Finite-Elemente-Methode / 11LE50MO-5503 PO 2021

Hardware Design with the Finite-Element-Method
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Wilde

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse in Assembly and Packaging Technology oder Aufbau- und Verbindungstechnik

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Hardware-Entwicklung mit der Finite-Ele- Praktikum Wahlpflicht 6,0 4.00 180 Stun-
mente-Methode / Hardware Design with the den
Finite-Element-Method - Praktische Übung

Qualifikationsziel
It is the aim, that after this module, the student will know the fundamental physical problems in electro-
nic hardware based on own numerical investigations. The student will have elementary capabilities to
solve praxis-relevant design problems in assembly and packaging of MEMS using a professional finite-ele-
ment-system. He/she will know how experiments can be replaced by simulation and what the necessary
input data are. He/she will be able to work with the Finite-Element-Code and to modify complex existing
models. Furthermore it is expected that the student will have improved capabilities in the analysis of indu-
strial problems and on reporting of the corresponding results.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Hardware-Entwicklung mit der Finite-Elemente-Methode / Hardware Design 11LE50MO-5503 PO 2021
with the Finite-Element-Method
Veranstaltung
Hardware-Entwicklung mit der Finite-Elemente-Methode / Hardware Design with the Finite-Element-Method
- Praktische Übung
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5503
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 Stunden

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
Benotete Protokolle und eine schriftliche oder mündliche Prüfung angelehnt an die Protokolle
Zu erbringende Studienleistung
keine
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge in Assembly and Packaging Technology or Aufbau- und Verbindungstechnik

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Keramische Werkstoffe der Mikrotechnik / Ceramic Materials 11LE50MO-5102 PO 2021

for microsystems
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Thomas Hanemann

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Werkstoffprozesstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse der Werkstoffwissenschaft, z.B. Zustandsdiagramme, physikalische Eigenschaften verschiede-
ner Materialklassen, Kristallsysteme, thermodynamische Eigenschaften und Kinetik kristalliner und nichtkri-
stalliner Festkörper

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Keramische Werkstoffe der Mikrotechnik / Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
Ceramic Materials for microsystems - Vorle- den
sung

Qualifikationsziel
Ziel des Moduls ist es, die technologischen und physikalischen Grundlagen der keramischen Werkstoffe
und die zugehörigen Prozessierungsmethoden zu vermitteln. Mikrosystemtechnisch relevante Aspekte der
keramischen Werkstoffe und ihrer Prozessierungsmethoden sollen aufgezeigt werden.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Keramische Werkstoffe der Mikrotechnik / Ceramic Materials for microsy- 11LE50MO-5102 PO 2021
stems
Veranstaltung
Keramische Werkstoffe der Mikrotechnik / Ceramic Materials for microsystems - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5102

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Werkstoffprozesstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 Stunden

Inhalt
Im ersten Teil werden die allgemeinen Aspekte keramischer Werkstoffe mit den Schwerpunkten Oxid- und
Nichtoxidkeramiken sowie Magnetkeramiken behandelt. Weitere Kapitel betreffen die Herstellung kerami-
scher Pulver, die Charakterisierung von Pulvern und Keramiken und die Herstellung und Beschreibung von
Pulversuspensionen. Anschließend wird die Herstellung keramischer Komponenten für die Mikrotechnik
nach unterschiedlichen Verfahren (Trockenpressen, Schlickergießen, elektrophoretische Abscheidung, Foli-
engießen, pulverkeramisches Spritzgießen) vorgestellt. Die Vorlesung schließt mit einer Einführung in Sin-
terprozesse. Es besteht die Möglichkeit, im Anschluss an die Vorlesung ein ca. 2-wöchiges Blockpraktikum
zu absolvieren. Dieses dient dazu die in der Vorlesung theoretisch behandelten Themen praktisch umzuset-
zen.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche Prüfungsleistung von 90 Minuten Dauer oder
mündliche Prüfungsleistung von 30 Minuten Dauer
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
Begleitend zur Vorlesung wird ein Skriptum und werden Handzettel der Vorlesungsfolien zur Verfügung
gestellt.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse der Werkstoffwissenschaft, z.B. Zustandsdiagramme, physikalische Eigenschaften verschiede-
ner Materialklassen, Kristallsysteme, thermodynamische Eigenschaften und Kinetik kristalliner und nichtkri-
stalliner Festkörper

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Kontakt, Adhäsion, Reibung / Contact, Adhesion, Friction 11LE50MO-5252 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Lars Pastewka

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Simulation
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of the module Micromechanics
Empfohlene Voraussetzung
For successful completion of this module, knowledge
of a programming language (e.g. Python, C, C++,
Fort-ran, MATLAB) is strongly recommended

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Kontakt, Adhäsion, Reibung / Contact, Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
Adhesion, Friction den
Kontakt, Adhäsion, Reibung / Contact, Übung Wahlpflicht 2.00
Adhesion, Friction

Qualifikationsziel
The student
- can explain the physical origins of surface forces and the role of elastic deformation in contact
- knows models for contact and sliding of smooth and rough interfaces in non-adhesive and adhesive limits
and can explain their respective range of applicability
- can explain the mathematical origin of the boundary element method and apply it to solve contact pro-
blems in engineering
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Kontakt, Adhäsion, Reibung / Contact, Adhesion, Friction 11LE50MO-5252 PO 2021
Veranstaltung
Kontakt, Adhäsion, Reibung / Contact, Adhesion, Friction
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5252

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Simulation
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 Stunden

Inhalt
■ This lecture introduces models for the mechanics of smooth and rough contacts for non-adhesive and
adhesive interfaces. Contact mechanical models are applied in many technological areas, from interpre-
ting atomic-force microscopy data to designing biomimetic adhesives. Examples of these applications
will be given throughout the lecture.
1. Introduction: Contact area and contact stiffness
2. Theory of the elastic half-space
3. Contact of nonadhesive spheres: Hertz's theory
4. Physical origins of surface forces
5. Contact of adhesive spheres: Johnson-Kendall-Roberts, Derjaguin-Muller-Toporov, Maugis-Dugdale
6. Surface roughness: Power spectral density, random process model
7. Contact of nonadhesive rough interfaces: Greenwood-Williamson, Persson, modern numerical results
8. Contact of adhesive rough interfaces: Fuller-Tabor, Persson, modern numerical results
9. Tangential and sliding contact: Interfacial shear strength, Cattaneo-Mindlin, Savkoor
10. Contact and sliding of viscoelastic bodies: Persson's model
11. Applications of contact models: Atomic-force microscopy, biological adhesive systems and biomime-
tic adhesives, failure of MEMS, leakage of seals
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Abschlussprüfung
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übung

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Literatur
K. L. Johnson, Contact Mechanics (Cambridge University Press, 1985)
D. Maugis, Contact, Adhesion and Rupture of Elastic Solids (Springer-Verlag, 2000)
J. Israelachvili, Intermolecular and Surface Forces (Academic Press, 1985)
Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of the module Micromechanics
Empfohlene Voraussetzung
For successful completin of this module, knowledge of a programming language (e.g. Python, C, C++, Fort-
ran, MATLAB) is strongly recommended.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Kontakt, Adhäsion, Reibung / Contact, Adhesion, Friction 11LE50MO-5252 PO 2021
Veranstaltung
Kontakt, Adhäsion, Reibung / Contact, Adhesion, Friction
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5252

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Simulation
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The lecture is accompanied by a computer lab, where the students implement a boundary element method
for the solution of contact problems. The computer lab will use the programming language Python. A short
introduction into Python is part of the lab sessions.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Zu erbringende Studienleistung
Review/demonstration of boundary element code from exercise sessions.
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Kontinuumsmechanik I mit Übungen / Continuum mechanics I 11LE68MO-4302 PO 2021

with exercises
Verantwortliche/r
Dirk Helm

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Nachhaltige Ingenieursysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 h
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Advanced mathematics; engineering mechanics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Kontinuumsmechanik I / Continuum mecha- Vorlesung Wahlpflicht 6,0 4.00 180 h
nics I - Vorlesung
Kontinuumsmechanik I / Continuum mecha- Übung Wahlpflicht
nics I - Übung

Qualifikationsziel
The objective of the module is to master the mathematical foundations of continuum mechanics in form of
tensor algebra and tensor analysis as well as the knowledge of the basic structure of continuum mechanics.
The content of the topics of the lecture will be further studied by exercises in order to train the mathematical
foundations and the first applications in the field of continuum mechanics.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Elective Module for students of the study program

■ Master of Science in Sustainable Systems Engineering (2021 version of the exam regulations):
■ Resilience Engineering
■ Sustainable Materials Engineering
■ Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrica-
tion (=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Kontinuumsmechanik I mit Übungen / Continuum mechanics I with exerci- 11LE68MO-4302 PO 2021
ses
Veranstaltung
Kontinuumsmechanik I / Continuum mechanics I - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-4301

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 52 h
Selbststudium 128 h
Workload 180 h

Inhalt
■ Mathematical foundations of continuum mechanics (specialized to orthonormal base systems) consisting
of tensor algebra and tensor analysis
■ Introduction to the basic structure of continuum mechanics (kinematics, balance equations, constitutive
relations).
■ The focus lies on the treatment of small deformations and simplified examples with reference to enginee-
ring mechanics.
Zu erbringende Prüfungsleistung

Oral examination (one-on-one, Prüfungsgespräch) with a max. duration of 45 min.

Zu erbringende Studienleistung
none

Literatur
■ M. Itskov, Tensor Algebra and Tensor Analysis for Engineers, Springer, 2013
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Advanced mathematics; engineering mechanics

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Lehrmethoden
Lecture + exercise

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Kontinuumsmechanik I mit Übungen / Continuum mechanics I with exerci- 11LE68MO-4302 PO 2021
ses
Veranstaltung
Kontinuumsmechanik I / Continuum mechanics I - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE68Ü-4302

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The content of the lecture will be further studied by exercises in order to train the mathematical foundations
and the first applications in the field of continuum mechanics.
Zu erbringende Prüfungsleistung

Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Kontinuumsmechanik II mit Übungen / Continuum mechanics II 11LE68MO-4304 PO 2021

with exercises
Verantwortliche/r
Dirk Helm

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Nachhaltige Ingenieursysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 h
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
■ Module Continuum Mechanics I with Exercises

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Kontinuumsmechanik II / Continuum Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 h
mechanics II - Vorlesung
Kontinuumsmechanik II / Continuum Übung Wahlpflicht 2.00
mechanics II - Übung

Qualifikationsziel
The objective of the course is the knowledge of nonlinear continuum mechanics and its applications in solid
state and fluid mechanics. The content of the topics of the lecture will be further studied by exercises in
order to train the mathematical foundations and the first applications in the field of continuum mechanics.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Elective Module for students of the study program

■ Master of Science in Sustainable Systems Engineering (2021 version of the exam regulations):
■ Resilience Engineering
■ Sustainable Materials Engineering
■ Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrica-
tion (=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Kontinuumsmechanik II mit Übungen / Continuum mechanics II with exerci- 11LE68MO-4304 PO 2021
ses
Veranstaltung
Kontinuumsmechanik II / Continuum mechanics II - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-4303

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60 h
Selbststudium 120 h
Workload 180 h

Inhalt
■ Kinematics for finite deformations: representation of motion, strain tensors etc. at large deformations,
geometric linearization
■ Balance relations of mechanics and thermomechanics
■ Principles of mechanics: principle of D'Alembert, principle of virtual displacements
■ Constitutive relations for fluids and solids (e.g. linear-elastic fluid, finite elasticity, viscoelasticity, plasti-
city, viscoplasticity, heat conduction, ...)
■ Extension of the mathematical foundations of tensor algebra and tensor analysis to general base
systems and curved coordinates
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination (one-on-one, Prüfungsgespräch) with a max. duration of 45 min.
Zu erbringende Studienleistung
see exercise
Literatur
■ P. Haupt, Continuum Mechanics and Theory of Materials, Springer Verlag, 2002
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
Module Continuum Mechanics I with Exercises
Lehrmethoden
Lecture + exercise

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Kontinuumsmechanik II mit Übungen / Continuum mechanics II with exerci- 11LE68MO-4304 PO 2021
ses
Veranstaltung
Kontinuumsmechanik II / Continuum mechanics II - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE68Ü-4304

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch

Inhalt
The content of the lecture will be further studied by exercises in order to train the mathematical foundations
and the first applications in the field of continuum mechanics.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture

Zu erbringende Studienleistung

Teilnahmevoraussetzung
none

Zielgruppe
M.Sc. SSE Studierende

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Konstitutive Gleichungen und Diskretisierungsverfahren zur 11LE68MO-5121 PO 2021

Versagensmodellierung / Physics of Failure
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Stefan Hiermaier

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Nachhaltige Ingenieursysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 h
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Konstitutive Gleichungen und Diskretisie- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 h
rungsverfahren zur Versagensmodellie-
rung / Physics of Failure - Vorlesung

Qualifikationsziel
With this module students are able to distinguish between damage and failure as two distinct process types
in materials as other thermo-mechanic behaviors. Basic differences between phenomenological and physics
based modeling approaches become evident. Specifically, the multi-scale character of the process is reco-
gnized. The resulting dimension of related resources for computations as well as the necessity for scale-
bridging methodologies is learnt. Furthermore, a variety of experimental and numerical methods for charac-
terizing and modeling the processes is investigated.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Elective Module for students of the study program

■ Master of Science in Sustainable Systems Engineering (2021 version of the exam regulations):
■ Resilience Engineering
■ Sustainable Materials Engineering
■ Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrica-
tion (=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Konstitutive Gleichungen und Diskretisierungsverfahren zur Versagensmo- 11LE68MO-5121 PO 2021
dellierung / Physics of Failure
Veranstaltung
Konstitutive Gleichungen und Diskretisierungsverfahren zur Versagensmodellierung / Physics of Failure -
Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-5121

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Nachhaltige Ingenieursysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 h
Selbststudium 60 h
Workload 90 h

Inhalt
Fracture mechanics
■ crack propagation and opening modes
■ energy release rate
■ crack tip stress state (stress intensity factors, J integral)
■ cohesive zone model

Failure of materials
■ failure criteria models (Tresca, Hill…)
■ failure surfaces
■ stress triaxiality (e.g. Johnson-Cook)

Damage mechanics
■ strength degredation
■ damage accumulation models

The theoretical, experimental, numerical and empirical approaches to the topics are accompanied with
many examples from science and industry.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination (20 minutes)

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
Information will be given during the lecture.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None
Lehrmethoden
Lecture

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Lithographie / Lithography 11LE50MO-5603 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Claas Müller

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Lithographie / Lithography - Vorlesung Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
den

Qualifikationsziel
Ziel des Moduls ist die Vermittlung der Kenntnisse, die für ein ganzheitliches Verständnis der lithographi-
schen Verfahren, die in der Mikrosystemtechnik eingesetzt werden.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Lithographie / Lithography 11LE50MO-5603 PO 2021
Veranstaltung
Lithographie / Lithography - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5603

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 Stunden

Inhalt
■ Optische Mikroskopie
■ Hellfeld Beleuchtung
■ Dunkelfeld Beleuchtung
■ Aperturblende
■ Geschichtsfeldblende
■ Aufbau und Funktion von Photoresisten
■ Positiv und negativ Resiste
■ Chemischer Aufbau der Resiste
■ Lithographische Masken
■ Herstellung
■ Materialien
■ Aufbau
■ Grenzen
■ Aufbau und Funktion von Maskaligner
■ Justage Vorderseite und Rückseite
■ Belichtungsmodi
■ Prozessablauf und Prozessketten
■ Charakterisierung von lithographisch hergestellten Strukturen
■ Weiterführende Prozessvarianten

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Abschlussprüfung (20-30 Minuten)
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
Begleitend zur Vorlesung wird ein Skriptum zur Verfügung gestellt und regelmäßig aktualisiert.
Teilnahmevoraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Materials for Electronic Systems 11LE50MO-5274 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Wilde

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge in experimental physics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Materials for Electronic Systems Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den
Materials for Electronic Systems Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
The main target of this lecture is the understanding of the basic concepts of materials that are applied for
the realization of electronic systems. These materials are used for assembly, interconnection and housing of
microelectronics and mechatronic systems.
The used material classes comprise metals, ceramics, glass, and polymers as well as composites. Their
two basic purposes are use as functional materials and use as structural materials. Semiconductors are not
part of this module.
So the first learning target is to know the types of materials that are used in specific applications as well as
their constitution.
The second target is to know the properties that are relevant for the respective use cases. Among the pro-
perties to be understood will be mechanical, electrical and magnetic ones. The mechanical strength is a
basic property that affects robustness, durability and tolerated use conditions. Therefore, the fundamen-
tals of mechanical failure in electronic systems must be understood in order to achieve a proper mechanical
design. So the concepts of stresses, strains and failure will be taught. This will also promote the comprehen-
sion of mechanical sensors.
In the field of electrical properties both electrical conduction and insulation must be understood. Therefore
the mechanisms of electrical conduction and the metallurgical and physical influences on technical conduc-

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

tors will be treated for the different materials. Dielectrics are used both as insulators and as functional mate-
rials in sensors. Here, the most relevant properties like permittivity, dissipation factor, dielectric breakdown
strength and the effects here-on will be learned. For magnetic materials, it will be important to understand
soft and hard magnets with respect to their hysteresis curve as well as the metallurgical influences.
The students shall be enabled to evaluate materials for their suitability to build electronic devices and
systems and to select the ones that are optimum for the target application.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Materials for Electronic Systems 11LE50MO-5274 PO 2021
Veranstaltung
Materials for Electronic Systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5274_PO 20091

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 Stunden

Inhalt
The lecture with exercise is structured bottom-up in order to introduce the basic principles of materials
science briefly and then to transit to the different types of materials as well as their applications and proper-
ties.

1. Introduction
2. Atomic and molecular structure of materials
Chemical bonds, crystal lattice & defects, atomic mixtures and structure analysis (diffraction, spectroscopy)
3. Thermodynamics and kinetics of materials
Transformations and stability, Gibbs‘ principle, phase diagrams, diffusion, nucleation and phase transforma-
tions
4. Polymers
Polymerization, polymer materials, processing, applications and relevant properties
5. Inorganic materials
Ceramics, glasses, dielectrics, properties, applications and fabrication
6. Metals
Non-ferrous metals, steel, electrical conduction, magnetism, size effects
7. Composites
Material systems, theory of composites, rules of mixture
8. Mechanics of materials and materials testing
Elasticity, deformation and plasticity, creep, strength and mechanical failure, distribution functions, multiaxial
and non-uniform loads

The content will be based mainly on the material-related research that has been performed in the Labora-
tory for Assembly and Packaging Technology.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
Depending on the number of participants: written or oral examination
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
Tba.
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge in experimental physics

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Materials for Electronic Systems 11LE50MO-5274 PO 2021
Veranstaltung
Materials for Electronic Systems
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5274_PO 20091

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Aufbau- u. Verbindungstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
With exercises the actual content of the lecture will be accompanied.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mechanische Eigenschaften und Degradationsmechanismen / 11LE50MO-5115 PO 2021

Mechanical Properties and Degradation Mechanisms
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Christoph Eberl

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikro- und Werkstoffmechanik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Mechanische Eigenschaften und Degrada- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
tionsmechanismen / Mechanical Properties
and Degradation Mechanisms- Vorlesung

Qualifikationsziel
Die Studierenden haben ein Verständnis für die mechanischen Eigenschaften und deren Auswirkung auf
die Funktionsweise und Leistung von Mikrosystemen erworben. Sie verstehen die zugrundeliegenden
physikalischen Mechanismen von Funktionsmaterialien sowie die Schädigungsentwicklung während der
Anwendung. Anhand des Verständnisses der physikalischen Mechanismen können die Studierenden das
Design von Mikrosystemen bewerten, Ausfälle vermeiden und näher an die Leistungsgrenzen der Materia-
lien bzw. der Systeme gehen.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mechanische Eigenschaften und Degradationsmechanismen / Mechanical 11LE50MO-5115 PO 2021
Properties and Degradation Mechanisms
Veranstaltung
Mechanische Eigenschaften und Degradationsmechanismen / Mechanical Properties and Degradation
Mechanisms- Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5115

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikro- und Werkstoffmechanik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 hours

Inhalt
Introduction: Physical Mechanisms
Basics: Stress and strain, anisotropy
Basics: Mechanics of beams and membranes in examples
Micro- and nanostructured materials in microsystems
Characterization of mechanical properties of materials in microsystems:

Residual stresses
Elastic and plastic behavior
Adhesive strength

Physical principles and stresses in the application of functional materials in actuators and sensors

Translated with www.DeepL.com/Translator (free version)

Zu erbringende Prüfungsleistung
written or oral examination
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
■ M. Ohring: „The Materials Science of Thin Films“, Academic Press, 1992

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ L.B. Freund and S. Suresh: „Thin Film Materials“

■ T.H. Courtney: „Mechanical Behaviour of Materials“, Mc-Graw-Hill, 1990
■ M. Madou: Fundamentals of Microfabrication“, CRC Press 1997
■ W. Menz und P. Bley: „Mikrosystemtechnik für Ingenieure“, VCH Publishers, 1993
■ Chang Liu: Foundations of MEMS, Illinois ECE Series, 2006
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Methoden der Materialanalyse / Methods of Material Analysis 11LE50MO-5126 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Margit Zacharias

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Methoden der Materialanalyse / Methods of Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Material Analysis

Qualifikationsziel
The module gives an overview of all state of the art measurement and analysis methods for thin films and
nanoscopic structures. Special emphasis will be placed on the prospects and drawbacks of each method as
well as on typical limits and potential measurement artifacts. Educational objective is to enable students to
find a
suitable and appropriate method to measure or detect a certain material property of interest.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Methoden der Materialanalyse / Methods of Material Analysis 11LE50MO-5126 PO 2021
Veranstaltung
Methoden der Materialanalyse / Methods of Material Analysis
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5126

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 26 SS; 30 WS
Selbststudium 64 SS; 60 WS
Workload 90 hours

Inhalt
The treated measurement and analysis techniques include optical, electrical, chemical and structural
methods which
detect and probe material properties like morphology/shape, film thickness, crystallinity, chemical composi-
tion, trace impurities, bonding configurations, bandgap, etc. Namely methods like AFM, SEM / TEM, APT,
SIMS, XPS, SE, PL, FTIR, Raman, XRD, C-V / I-V, RBS and many more will be dealt with.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche oder mündliche Abschlussprüfung
Zu erbringende Studienleistung
keine
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikrostrukturierte Kunststoffkomponenten / Microstructured 11LE50MO-5604 PO 2021

Polymer Components
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Thomas Hanemann

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Werkstoffprozesstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Mikrostrukturierte Kunststoffkomponen- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
ten / Microstructured Polymer Components den
- Vorlesung

Qualifikationsziel
Besides silicon and the established MEMS/MOEMS technology polymer materials and the related microre-
plication technologies are becoming more and more important for the realization and commercial success
of new microcomponents and microsystems. New nanostructuring methods like 2-photon-stereolithography
and others are at the threshold of leaving the laboratory status and entering market. The course will cover
the large variety of polymer materials, their fundamental chemical and physical properties and the derived
microstructuring and replication possibilities. Direct and indirect micro- and nanostructuring methods like
deep X-ray lithography, stereolithography, laser machining, nanoimprinting and others as well as the large
family of replication methods like hot embossing and injection molding will be described in detail. Master
and tooling fabrication methods like electroplating, electro discharge machining as well as mechanical and
laser micromachining will be presented and discussed intensely. A large number of application examples
and case studies dealing with the accessible geometries, feasibility, and process characteristics will be used
for the presentation of the polymer microfabrication importance.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikrostrukturierte Kunststoffkomponenten / Microstructured Polymer Com- 11LE50MO-5604 PO 2021
ponents
Veranstaltung
Mikrostrukturierte Kunststoffkomponenten / Microstructured Polymer Components - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5604

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Werkstoffprozesstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30
Selbststudium 60
Workload 90 Stunden

Inhalt
Contents:
■ Polymers: Fundamental chemical and physical properties
■ Fabrication of molding tools: Fabrication principles and characteristics
■ Rapid Prototyping in microsystem technology
■ Polymer replication techniques: Reaction Molding, UV-Embossing, Hot Embossing and Injection Mol-
ding: Principles, equipment, applications and case studies
■ From micro to nano: Nanoimprinting, soft lithography, nanostereolithography and other new develop-
ments
Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche Abschlussprüfung von 90 Minuten Dauer
oder mündliche Abschlussprüfung von 30 Minuten Dauer
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
■ W. Ehrfeld, Handbuch Mikrotechnik, Hanser-Verlag, München, 2002, ISBN: 3-446-21506-9
■ W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Microsystem Technology, Wiley-VCH, Weinheim, 2001, ISBN:
3-527-29634-4

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nanomaterialien / Nanomaterials 11LE50MO-5104 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Margit Zacharias

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
knowledge in material science, basic chemistry, some semiconductor physics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Nanomaterialien / Nanomaterials - Vorle- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
sung

Qualifikationsziel
Deep knowledge based on up-to-date research in nanomaterials: understanding of size effects including
quantum effects on physical and chemical properties, concepts of nanodiagnostics, introduction into high
resolution methods for materials characterization, understanding liquid methods of preparation of nanopar-
ticles, basic guiding principles for nanomaterial growth (Ostwald ripening, thermo-dynamic principles) and
surface functionalization, application and deeper knowledge of nanoparticles in bio- and medical systems,
discussion of nano-biomarker systems for medical treatment, extended discussion about nanotoxicity, nano-
wire preparations and applications, some basics for nanofluidic systems
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nanomaterialien / Nanomaterials 11LE50MO-5104 PO 2021
Veranstaltung
Nanomaterialien / Nanomaterials - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5104

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz in jedem Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 hours

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Inhalt
Size effects, quantum effects, physical and chemical properties of nanomaterials, concepts of nanodiagno-
stics, introduction into high resolution methods for materials characterization, understanding liquid methods
of preparation of nanoparticles, basic guiding principles for nanomaterial growth (Ostwald ripening, thermo-
dynamic principles), surface functionalization using chemical methods, nanoparticles in bio- and medi-
cal systems, nano-biomarker systems for medical treatment, nanotoxicity, nanowire growth using liquid
methods, basics for nanofluidic systems
Zu erbringende Prüfungsleistung
oral examination
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
knowledge in material science, basic chemistry, some semiconductor physics
Lehrmethoden
Language of instruction: In the winter semester in German, summer semester English.

Bemerkung / Empfehlung
Language of instruction: WS German, SS English.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nanotechnologie / Nanotechnology 11LE50MO-5106 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Margit Zacharias

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz in jedem Semester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Understanding of basics in material science (Werkstofftechnologie), and the basics in semiconductor phy-
sics (like band gap, crystal structure, devices) as well as clean room techniques are of advantage.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Nanotechnologie / Nanotechnology - Vorle- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
sung

Qualifikationsziel
deep understanding of different size effects from point of physics as well as applications, learning the
methods and equipment used for defined growth of nanostructures based on physical methods with examp-
les from actual research of the nanotechnology group as well as from literature, advantages and disadvan-
tages of the various methods will be demonstrated on selected examples, learning about quantum structu-
res based on III-V semiconductors representing the status of optoelectronic LED and laser devices, deeper
knowledge of silicon based nanostructures, actual research in nanotubes and 2D nanomaterials and their
properties, demonstration of photonics crystals as example for applications of sub-micrometer structure in
optics and electronics, discussion of methods for nano-lithographic structuring and applications in growth of
spatially arranged nanowires, developing a deeper understanding of nanodevices (memories, nanosensors,
nanolaser), understanding the advantages and limitations in fabrication, doping of nanostructures and their
respective device properties based on examples of actual research
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Abschlussprüfung

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nanotechnologie / Nanotechnology 11LE50MO-5106 PO 2021
Veranstaltung
Nanotechnologie / Nanotechnology - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5106

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz in jedem Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 26 SS; 30 WS
Selbststudium 64 SS; 60 WS
Workload 90 hours

Inhalt
The lecture will concentrate on physical methods preparing nanomaterials, nanofilms and devices. Hence,
vacuum based methodes like PECVD, MOCVD, ALD, Epitaxy will be discussed with respective advanta-
ges and disadvantages for nano-device fabrications. The lecture will also give an overview about quantum
structures based on III-V semiconductors, the todays status of optoelectronic LED and laser devices. Silicon
based quantum dots will be presented and used as the example to understand quantum confined proper-
ties and nanodoping. We will also look into 2D nanomaterials (Nanotubes, Nanowires) and their properties.
Photonics crystals will be presented as example of sub-micrometer structure with interesting properties for
guiding the light. Methods for nano-lithographic structuring will be discussed in relation of mass fabrication.
Nano-device properties will be pesented on selected examples from research and literature.
Zu erbringende Prüfungsleistung
oral examination of 30 min / mündliche Prüfung (30 min)
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
Will be given in the respective lectures.
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
Understanding of basics in material science (Werkstofftechnologie), and the basics in semiconductor phy-
sics (like band gap, crystal structure, devices) as well as clean room techniques are of advantage.
Lehrmethoden
Language of instruction: in the winter semester in English, in the summer semester in German.

The lecture presents basic understanding of the principles for nanomaterial and nano-device preparations
based on clean room technologies (physical methods) and high resolution characterisation and is of lecture
type. pdf- files of the lectures are provided.
Bemerkung / Empfehlung
Language of instruction: WS English, SS German

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nano - Praktikum / Nano - Laboratory 11LE50MO-5105 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Margit Zacharias

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of the module Nanomaterials or Nanotechnology (both from the Nanotechnology
group Prof. Zacharias) including the respective examination

limited number of attendance (6 students), selected after application

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Nano - Praktikum / Nano - Laboratory Praktikum Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
den

Qualifikationsziel
Learning and hands-on experiments using the equipment available in the Nanotechnology group for growth,
structural, optical and electronic investigations.
Examples will be:
• the deposition (PECVD) of size controlled Si nanocrystals, investigation of optical properties by photolumi-
nescence, evaluation of quantum confinment by optical properties,
• deposition of ultra thin films (ZnO) by atomic layer deposition, analizing the properties by four point probe
methods, photoluminescence and SEM
• growth of metal oxide nanowires and detailed investigation by phtoluminescence and SEM
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nano - Praktikum / Nano - Laboratory 11LE50MO-5105 PO 2021
Veranstaltung
Nano - Praktikum / Nano - Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5105

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 5
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 Stunden

Inhalt
■ Deposition (PECVD) of size controlled Si nanocrystals, investigation of optical properties by photolumi-
nescence, evaluation of quantum confinment by optical properties
■ deposition of ultra thin films (ZnO) by atomic layer deposition, analizing the properties by four point probe
methods, photoluminescence and SEM
■ growth of metal oxide nanowires and detailed investigation by phtoluminescence and SEM
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Präsentation
Zu erbringende Studienleistung
keine
Teilnahmevoraussetzung
Kenntnisse der Inhalte der Module Nanomaterialien / Nanomaterials (inklusive Prüfungsleistung) oder
Nanotechnologie / Nanotechnology (inklusive Prüfungsleistung)
Empfohlene Voraussetzung
Mikrosystemtechnik
Halbleiterphysik

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Oberflächenanalyse / Surface Analysis 11LE50MO-5606-1 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Rühe

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Oberflächenanalyse / Surface Analysis - Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
Vorlesung den

Qualifikationsziel
XPS, TEM, FTIR, UPS, SEM, AFM, SPR, GIR, ATR, STM?? Got it?
The performance of microsystems is often dominated by the nature of the surfaces involved. This course
honours the great importance of surfaces and interfaces in microsystems engineering by introducing the
most common techniques for surface analysis. Examples will be presented which are typical to various
fields of microsystems engineering.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Oberflächenanalyse / Surface Analysis 11LE50MO-5606-1 PO 2021
Veranstaltung
Oberflächenanalyse / Surface Analysis - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5606-1

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 Stunden

Inhalt
The techniques presented are grouped into three general topics which are imaging of surfaces (electron
microscopy, scanning probe techniques), chemical analysis (XPS, SIMS, FTIR) of the composition of surfa-
ces and methods for the determination of thicknesses (Ellipsometry, XRR, Surface Plasmon Spectroscopy)
of layers. General topics from the surface sciences such as adhesion, wetting, and adsorption processes
are also presented together with the techniques.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche Abschlussprüfung mit einer Dauer von 90 Minuten
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
Various materials are available on the website.
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Oberflächenanalyse – Praktikum / Surface Analysis Laboratory 11LE50MO-5311 PO 2021

Verantwortliche/r
Dr. Oswald Prucker
Prof. Dr. Jürgen Rühe
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Oberflächenanalyse – Praktikum / Surface Praktikum Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Analysis Laboratory

Qualifikationsziel
Bei Mikrosystemen, speziell bei solchen für die Mikrofluidik, können aufgrund des geringen Volumens Ober-
flächeneffekte nicht mehr vernachlässigt werden. In vielen Fällen dominieren die Eigenschaften der Ober-
fläche gar das Verhalten des Gesamtsystems. Ähnliches lässt sich für Bauteile sagen, die z.B. als Sensor
mit biologischen Flüssigkeiten in Kontakt gebracht werden. Deshalb kommt der Oberflächenanalytik bei vie-
len in der Mikrosystemtechnik relevanten Fragestellungen eine zentrale Bedeutung zu. Im Praktikum sollen
ausgewählte oberflächenanalytische Techniken vorgestellt und deren jeweilige Stärken und Limitierungen
anhand von Beispielen aufgezeigt werden. Als Beispiele werden Fragestellungen gewählt, wie sie in den
"Life Sciences" häufig auftreten.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Oberflächenanalyse – Praktikum / Surface Analysis Laboratory 11LE50MO-5311 PO 2021
Veranstaltung
Oberflächenanalyse – Praktikum / Surface Analysis Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5311
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 hours

Inhalt
Topic 1: Determination of the layer thickness and roughness of biocompatible coatings
Experiment 1: Using ellipsometry and x-ray reflectometry to determine the thickness of hydrogel coatings

Topic 2: Wetting of surfaces – Surface free energies

Experiment 2: Measurement of the contact angles of test liquids in various surfaces; Determination of the
surface free energy using the Zisman method
Experiment 3: Generation and characterization of microarrays on various surfaces

Topic 3: Proteins / peptides on surfaces

Experiment 4: Measurement of the adsorption of blood proteins on surfaces using Surface Plasmon Reso-
nance
Experiment 5: Characterization of the structure of protein layers using Fourier Transform Infrared Spectros-
copy

Topic 4: DNA at surfaces

Experiment 6: Visualisation of DNA on mica using the Atomic Force Microscope
Zu erbringende Prüfungsleistung
Grading will be based on the protocols submitted for each experiment.
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
see script

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
none
Bemerkung / Empfehlung
Findet am Lehrstuhl statt

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optimierung 11LE13MO-720 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rolf Backofen
Prof. Dr. Thomas Brox

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen u.Datenstrukturen
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Institut für Informatik, Rechnerarchitektur
Institut für Informatik, Programmiersprache
Institut für Informatik, Softwaretechnik
Institut für Informatik, Informatik, Grundlagen der künstlichen Intelligenz
Institut für Informatik, Autonome intelligente Systeme
Institut für Informatik, Graphische Datenverarbeitung
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Institut für Informatik, Rechnernetze u.Telematik
Institut für Informatik, Datenbanken u. Informationssysteme
Institut für Informatik, Betriebssysteme
Institut für Informatik, Bioinformatik
Institut für Informatik, Professur für Kommunikationssysteme
Institut für Informatik, Professur für Eingebettete Systeme
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Mathematisches Institut-VB
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Empfohlenes Fachsemester 4
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse aus den Modulen
■ Einführung in die Programmierung
■ Informatik II – Algorithmen und Datenstrukturen

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Optimierung Vorlesung Pflicht 3,0 2.00 90 Stun-
den
Optimierung Übung Pflicht 1.00

Qualifikationsziel
Die Studierenden lernen, welche Optimierungsprobleme es gibt und wie sie gelöst werden können. Sie sol-
len die Schwierigkeit von Optimierungsproblemen analysieren und einschätzen lernen und in die Lage ver-
setzt werden, die besprochenen Optimierungsverfahren in Anwendungsfällen einzusetzen.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optimierung 11LE13MO-720 PO 2021
Veranstaltung
Optimierung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-720

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen u.Datenstrukturen
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Mathematisches Institut-VB
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 30
Selbststudium 60
Workload 90 Stunden

Inhalt
Die Vorlesung gibt eine Einführung in die allgemeine Problematik und erklärt, wie sich viele Aufgaben der
Informatik als Optimierungsprobleme formulieren lassen. Anschließend wer-den Konvexität, lineare und
quadratische Programme, Gradientenverfahren, Max-Flow/Min-Cut, sowie einige approximative Verfahren
behandelt. Durch theoretische und praktische Übungen wird der Stoff anschaulich vertieft.
Zu erbringende Prüfungsleistung
schriftliche Abschlussprüfung mit einer Dauer von 90 Minuten
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übung
Literatur
Nocedal-Wright: Numerical Optimization (Englisch)
Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Kenntnisse aus den Modulen Einführung in die Programmierung, Informatik II-Algorithmen und Datenstrukturen

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optimierung 11LE13MO-720 PO 2021
Veranstaltung
Optimierung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-720

Veranstalter
Institut für Informatik, Algorithmen u.Datenstrukturen
Institut für Informatik, Algorithmen und Komplexität
Institut für Informatik, Mustererkennung u. Bildverarbeitung
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Mathematisches Institut-VB
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache deutsch

Inhalt
In den Übungen werden einzelne Verfahren eigenständig in der Sprache Python implementiert, andere Ver-
fahren werden anhand vorhandener Bibliotheken (z.B. SciPy) ausprobiert um praktische Erfahrungen in
der Anwendung dieser Verfahren zu sammeln. Für einige der Übungen sind theoretische Vorleistungen zu
erbringen, um das Verfahren umsetzen zu können. Das Überprüfen fremder Lösungen ist ebenfalls Teil der
Übungen.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung
Zu erbringende Studienleistung
Die erfolgreiche Bearbeitung der Übungsaufgaben ist mit dem Erreichen von 50% der insgesamt zu errei-
chenden Punkte nachgewiesen.
Teilnahmevoraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optimierung von Fertigungsverfahren / Advanced engineering 11LE50MO-5607 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Claas Müller

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
■ Statistical Basics
■ Fundamentals of Manufacturing Technology
■ Processes of microsystem technology (clean room fabrication and conventional environment)

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Optimierung von Fertigungsverfahren / Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
Advanced engineering - Vorlesung den

Qualifikationsziel
Statistische Grundlagen zur Regelung komplexer technischer Prozesse
Optimierung von Fertigungsverfahren nach unterschiedlichen Zielgrößen
Erweiterung statistischer Methoden auf Führungs-und Organisationsstrukturen
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optimierung von Fertigungsverfahren / Advanced engineering 11LE50MO-5607 PO 2021
Veranstaltung
Optimierung von Fertigungsverfahren / Advanced engineering - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5607

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 Stunden

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Inhalt
■ Statistische Versuchsplanung
■ Toleranzen und Toleranzketten
■ FMEA
■ Prozess und Maschinenfähigkeit
■ Six Sigma
■ Kaizen_PDCA
■ One Piece Flow
Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche oder mündliche Prüfungsleistung
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
■ George E. P. Box, Statistics for Experimenters: An Introduction to Design, Data Analysis, and Model Buil-
ding (Wiley Series in Probability and Statistics)
■ Manufacturing Processes & Materials Hardcover – July, 2000 by George F. Schrade
■ Effective FMEAs: Achieving Safe, Reliable, and Economical Products and Processes using Failure Mode
and Effects Analysis Hardcover – May 15, 2012 by Carl Carlson
■ The Practical Application of the Process Capability Study: Evolving From Product Control to Process
Control [Kindle Edition] Douglas B. Relyea
■ The Process Improvement Handbook: A Blueprint for Managing Change and Increasing Organizational
Performance Hardcover – October 15, 2013 by Tristan Boutros
Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Statistical Basics
Fundamentals of Manufacturing Technology
Processes of microsystem technology (clean room fabrication and conventional environment)

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Polymer Processing and Microsystems Engineering 11LE50MO-5124 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Bastian Rapp

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen
Institut für Mikrosystemtechnik, Werkstoffprozesstechnik
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Polymer Processing and Microsystems Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Engineering - Vorlesung

Qualifikationsziel

Lernziele / Lernergebnisse
This lecture provides an introduction to selected aspects of advanced polymer processing technologies with
a special focus on methods for the generation of microsized objects. The students will learn how the des-
cribed techniques and principles can be used to for the generation of polymeric devices. They will gain a
basic understanding on similarities and differences that arise when macroscopic methods are applied for the
manufacture of small scale items and devices. The theoretical considerations and simulation techniques to
accompany these techniques will enable the students to understand and forecast the possibilities and limita-
tions of polymer processing in microsystems engineering.
Zusammensetzung der Modulnote
■ Master of Science in Sustainable Systems Engineering, Academic regulations of 2016: The grade of the
module is single-weighted according to the number of its ECTS-points in the calculation of the overall
grade.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Wahlpflichtmodul für Studierende des Studiengangs

■ Master of Science in Sustainable Systems Engineering
- Nachhaltige Materialien / Sustainable Materials

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Polymer Processing and Microsystems Engineering 11LE50MO-5124 PO 2021
Veranstaltung
Polymer Processing and Microsystems Engineering - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5124

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen
Institut für Mikrosystemtechnik, Werkstoffprozesstechnik
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 hours

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Inhalt
Polymers are ubiquitous in the 21st century. As a material class, polymers have seen an astonishing gain
in academic and industrial significance since their first introduction into the market more than 140 years
ago. One of the most striking advantages of polymers is their ease of processing in which they outperform
almost any other material known to humankind. This lecture introduces the fundamentals of polymer pro-
cessing focusing on techniques such as injection molding, hot embossing, thermoforming and nanoimprin-
ting. These techniques represent the most important reforming processes. We will also explore additive
manufacturing and 3D Printing including stereo lithography, powder-based as well as inkjet printing and
fused deposition modeling. The didactical concept underlying the lecture is built on a combination of mate-
rial science and instrumentation development and thus represents a holistic view onto the broad field of
technical polymer processing.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral exam with aduration of 30 minutes
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
Various materials will be provided through the ILIAS online learning tool.

Teilnahmevoraussetzung

none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Quantenmechanik für Ingenieur*innen / Quantum Mechanics 11LE50MO-5273 PO 2021

for Engineers
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Oliver Paul

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Präsenzstudium 56 Stunden
Selbststudium 124 Stunden
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Physik I + II / physics I + II
Mathematik I + II / mathematics I + II
Festkörperphysik / solid state physics
Halbleiter / semiconductors
Elektronik / electronics
Differentialgleichungen / differential equations

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Quantenmechanik für Ingenieur*innen / Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
Quantum Mechanics for Engineers
Quantenmechanik für Ingenieur*innen / Übung Wahlpflicht 2.00
Quantum Mechanics for Engineers

Qualifikationsziel
The goal is to introduce the students to the main effects of quantum mechanics relevant in technical micro
and nano devices. Current semiconductor components in which quantum mechanics plays a role are dis-
cussed. The course successively develops the basic mathematical methods required to solve problems in
one, two, and three dimensions. The understanding is deepened by exercises.
Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät
EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Quantenmechanik für Ingenieur*innen / Quantum Mechanics for Engineers 11LE50MO-5273 PO 2021
Veranstaltung
Quantenmechanik für Ingenieur*innen / Quantum Mechanics for Engineers
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5273_PO 20091

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 56 Stunden
Selbststudium 124 Stunden
Workload 180 hours

Inhalt
1. Introduction: historical overview, probability amplitudes, uncertainty relation
2. Wave mechanics: Schrödinger equation, separation of variables, free particle, reflection at wall, potential
step, transfer matrix method, wave packets
3. Tunneling: principle, semiconductor tunneling devices, potential barriers, WKB approximation, triangular
potential wall
4. Bound states, resonances, and band structure: potential well, tunneling between wells, infinite series of
potential wells, 1D harmonic oscillator nanoparticles, impurity levels in semiconductors
5. Operators and state spaces, commensurate operators and quantum numbers, perturbation theory,
energy matrix diagonalization
6. 3D problems, angular momentum, hydrogen atom and 3D harmonic oscillator
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination if there are 20 or fewer than 20 registered participants; written examination if there are
more than 20 registered participants (minimum 60 and maximum 240 minutes). Details will be announced
by the examiner in due time.
Zu erbringende Studienleistung
See exercise
Literatur
A script will be handed out during the course.
Material for further reading will be indicated therein.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Undergraduate knowledge in the field of physics, mathematics, solid state physics, semiconductors, electro-
nics and differential equations.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Quantenmechanik für Ingenieur*innen / Quantum Mechanics for Engineers 11LE50MO-5273 PO 2021
Veranstaltung
Quantenmechanik für Ingenieur*innen / Quantum Mechanics for Engineers
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5273_PO 20091

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The exercises will deepen the topics treated during the lecture. They will allow the students to rethink and
rework the more theoretical aspects and apply them to realistic examples inspired from real devices or use
them to expand the theoretical framework of the lecture. Solution approaches to the homework problems
will be presented weekly by the participants and discussed and elaborated upon with the group of collea-
gues under the guidance of the professor. This discursive, participative approach allows to learn more than
by being presented with up-front oral or written solutions.
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
The course work ("Studienleistung") consists of
(1) the documented, successful attempt to solve more than 60% of the homework problems (as checked
weekly); "60% of the homework problems" means the fraction of the overall number of homework problems
proposed during the course, not of each homework problem separately; "successful" means that the solu-
tion could be presented by the student in front of the class;
(2) the presentation of a representative number of solutions of homework problems in front of the class.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Undergraduate knowledge in the field of physics, mathematics, solid state physics, semiconductors, electro-
nics and differential equations.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Reinraumlaborkurs für Ingenieure / Clean Room Laboratory for 11LE50MO-5804 PO 2021

Engineers
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Claas Müller
Prof. Dr.-Ing. Bastian Rapp

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Präsenzstudium 39 Stunden
Selbststudium 51Stunden
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Reinraumlaborkurs für Ingenieure / Clean Praktikum Wahlpflicht 3,0 3.00
Room Laboratory for Engineers

Qualifikationsziel
The Goal of the Cleanroom Lab Course is to learn Cleanroom behaviour and processing and the
creation of a high quality lab report.
Lernziele / Lernergebnisse

Zu erbringende Prüfungsleistung
6 modules with short tests and colloquium and a lab report
Benotung
The grade of the lab course is derived from the average of 6 short tests with evaluation of the practical skill
of the student by the supervisor (50%) and a lab report (50%)

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zusammensetzung der Modulnote

■ Master of Science im Fach Embedded Systems Engineering Prüfungsordnungsversion 2012: Die Modul-
note wird nach ECTS-Punkten einfach gewichtet in die Gesamtnote eingerechnet.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Wahlmodul für Studierende des Studiengangs
 Master of Science im Fach Embedded Systems Engineering: Personal Profile
 Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering (2021 version of the exam
regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Reinraumlaborkurs für Ingenieure / Clean Room Laboratory for Engineers 11LE50MO-5804 PO 2021
Veranstaltung
Reinraumlaborkurs für Ingenieure / Clean Room Laboratory for Engineers
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5804
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Prozesstechnologie

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 Stunden

Inhalt
Cleanroom behavior and processing:
1. Wafer handling
2. Lithography sequence
3. Cleaning
4. Metal deposition (physical vapour deposition)
5. Profilometry
6. Lift-Off
7. Wafer backside processing
8. Electroplating
9. Characterization
10. Acquisition of relevant processing data and recording
Zu erbringende Prüfungsleistung
6 modules with short tests and colloquium and a lab report
Zu erbringende Studienleistung

Literatur
A script is provided and kept up-to-date.
■ C. Müller, MST Technologies and Processes, lecture
■ W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Microsystems Technology, Wiley VCH
■ M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press
■ S. M. SZE, Physics of Semiconductor Devices, Wiley VCH
■ J. W. Dini, Electrodeposition, Noyes Publications

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung

none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Resilienzquantifizierung / Quantification of Resilience 11LE68MO-4110 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Stefan Hiermaier

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 h
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in any single or more of the following domains would be helpful, without being mandatory:
■ system theory, modeling, analysis and simulation
■ finite state machine modelling, discrete system models
■ graphical/ semi-formal system modelling languages
■ failure, damage and physics of failure modelling
■ statistics, probability theory, stochastic processes
■ engineering models for adverse, damaging, disruptive or extreme loads or events
■ network and graph modeling, graph theory
■ physical-engineering modelling of critical infrastructure structures, components and systems, e.g. of elec-
tricity, water, wastewater, and green gas grids
■ coupled physical models
■ modeling and simulation of cyber-physical socio-technical systems, world models

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Resilienzquantifizierung Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 h

Qualifikationsziel
Main goals include:
1. Know objectives, options and opportunities of resilience quantification for (socio) technical systems
2. Gain overview on currently used methods for informed selection and combination
3. Know methods and their main (traditional) application areas

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

4. Be capable to apply and tailor methods for resilience quantification

Verwendbarkeit der Veranstaltung
Elective Module for students of the study program

■ Master of Science in Sustainable Systems Engineering (2021 version of the exam regulations):
■ Resilience Engineering
■ Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrica-
tion (=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Resilienzquantifizierung / Quantification of Resilience 11LE68MO-4110 PO 2021
Veranstaltung
Resilienzquantifizierung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-4110

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 h
Selbststudium 60 h
Workload 90 h

Inhalt
Main contents comprise:
1. Context, basic definitions, objectives and options of resilience quantification: resilience management pro-
cess, resilience quantification and development process
2. Overview of methods for resilience quantification of socio technical cyber physical systems: resilience
dimensions, resilience method taxonomy
3. Qualitative and semi-quantitative resilience assessments: ontologies, schemes and evaluation
4. Graphical and semi-formal approaches: heuristics vs. models
5. Resilience dimensional order expansions and resulting quantification bounds
6. Application of classical system analysis approaches, e.g. deterministic flux-based approaches, Markov
models, stochastic processes
7. Graph-based and topological approaches: system definition, identification of disruption vector, response
and recovery determination and response strategy optimization
8. Resilience quantification based on event propagation through resilience analysis layers using resilience
transition matrix elements and related statistical-empirical, probabilistic, engineering and physical-simulative
methods: inductive and deductive propagation
9. Input-output models, operability models: discrete and continuous
10. Coupled agent-supported engineering grid-model approaches for overall system modelling, simulation
and resilience determination, in particular also for modeling of operators, citizens as well as organizational,
policy and framing influences
11. Combinations of resilience quantification approaches and optimization problems in resilience enginee-
ring
12. For all resilience quantification approaches: model assumptions, application domains and examples,
typical input and output data
13. Standards, emerging standards and ongoing standardization efforts

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
Presentation and critical review of a selected publication or of a chapter of the lecture manuscript (approx. 20 min incl. questions and
answers).
Literatur
Literaturbeispiele / Sample literature:
■ Vulnerable systems, Wolfgang Kröger and Enrico Zio, Springer, 2011
■ Catalogue of risks: natural, technical, social and health risks, Dirk Proske, Springer, 2008
■ Resilience engineering: models and analysis, Nii O. Attoh-Okine, Cambridge University Press, 2016
■ Urban resilience for emergency response and recovery: fundamental concepts and applications, Gian
Paolo Cimellaro, Springer, 2016
■ Risk assessment and decision analysis with Bayesian networks, Norman Fenton and Martin Neil, CRC
Press, 2013
■ Risk analysis and management: engineering resilience, Ivo Häring, Springer 2015
■ Principles of cyber-physical systems, Rajeev Alur, MIT Press, 2015
■ Cyber-physical systems: from theory to practice, Danda B. Rawat, Joel J.P.C. Rodrigues, and Ivan Stoj-
menovic (eds.), CRC Press, 2016
■ Cyber-physical systems: integrated computing and engineering design, Fei Hu, CRC Press, 2013
■ Agent-based modelling of socio-technical systems, Koen H. van Dam, Igor Nikolic and Zoifia Lukszo
(eds.), 2012, Springer
■ Introduction to agent-based modeling, Uri Wilenski, Springer, 2015

Zusätzliche Information / Additional information:

■ http://www.leistungszentrum-nachhaltigkeit.de/themen/resilience-engineering/
■ http://www.academy.fraunhofer.de/de/weiterbildung/energie-nachhaltigkeit/resilience-engineering.html
■ http://www.lrfoundation.org.uk/publications/resilience-engineering.aspx
■ http://www.lr.org/en/news-and-insight/news/lrf-res-eng.aspx
■ http://frs.ethz.ch/
■ https://www.irgc.org/irgc-resource-guide-on-resilience/
■ http://link.springer.com/article/10.1007/s41125-015-0001-x
■ http://www.din.de/de/; http://www.iso.org/iso/home.html; http://www.iec.ch/; https://ansi.org/ --> Suche
nach / searched for "resilience"
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
■ Basic Knowledge in any of the following domains would be of avail without being mandatory: system
modeling and simulation, failure modelling, statistics, probability theory, stochastic processes, enginee-
ring models for the determination of system behavior in case of adverse, damage or disruptive loads
or events, supply network modeling, critical infrastructure models, graph and network models, dis-
crete models, coupled physical models, modeling and simulation of cyber-physical and socio-technical
systems.
Lehrmethoden
Lecture with embedded exercise

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Solare Energie / Solar Energy 11LE68MO-8060 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Stefan Glunz

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Photovoltaische Energiekonversion
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 h
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Basic understanding of physics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Solare Energie / Solar Energy - Vorlesung Vorlesung Pflicht 6,0 4.00 180 h

Qualifikationsziel
Students will be able to understand the fundamentals and different technology variants of solar energy con-
version such as photovoltaics and solar thermal. They will know the relevant physical background, techni-
cal characteristics, materials and designs used. The lecture will cover the component, product and system
level. Furthermore, students will understand trends of further development as well as limitations and possibi-
lities in application of solar energy.
Verwendbarkeit der Veranstaltung

■ Mandatory Elective Module for students enrolled in the Master of Science in Sustainable Systems Engi-
neering (2021 version of the exam regulations):
■ Energy Systems Engineering
■ Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrica-
tion (=Materialien und Herstellungsprozesse)

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Solare Energie / Solar Energy 11LE68MO-8060 PO 2021
Veranstaltung
Solare Energie / Solar Energy - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-8060

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Photovoltaische Energiekonversion
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Geplante Gruppengröße 50
Präsenzstudium 60 h
Selbststudium 120 h
Workload 180 h

Inhalt
■ Solar Energy - Theoretical and Technical Energy Potential (black body radiation, Carnot cycle, maximum
efficiencies,
■ Solar Energy Technologies - Tapping the sun’s energy (overview of conversion technologies, system
boundaries,seasonal fluctuation, ...)
■ Photovoltaics - Physics of Solar Cells (introduction to semiconductors,Fermi levels, IV curves, conver-
sion efficiency, quantum efficiency …)
■ Photovoltaics - Technology Review (short introduction to the structure and technology of crystalline sili-
con solar cells)
■ Solar Thermal - Physics of Solar Collectors (basics of thermo dynamics, fluid dynamics, absorption,
emission, power output and other performance criteria)
■ Solar Thermal - Technology Review (from low temperature applications up to power plants - examples)
■ Heat pumps - Thermodynamics, electrical and thermal driven heat pumps and chillers, main components
(compressor, evaporator, condensor etc.), system configurations (layout, sources, storages, control stra-
tegies etc )
■ Heat pumps: field tests and best case examples - Heat pumps and smart grid interaction, Heat pumps
and PV, Heat pumps + solar thermal, storage integration)

The lecture will be accompanied by a weekly exercise to deepen the understanding of the lecture's content
and to discuss further details.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
written examination (120 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
80% of exercise sheets successfully passed.
Literatur
■ Duffie-Beckman: Solar Engineering of Thermal Processes,
■ V. Quaschning: Understanding Renewable Energy,
■ Peuser FA, Remmers K, et.al.:Solar thermal systems
■ P. Würfel, Physik der Solarzelle, Spektrum - Akademischer Verlag 2000
■ A. Goetzberger, B. Voß und J. Knobloch, Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner 1997
■ M.A. Green, Solar Cells, University of New South Wales 1982
■ K. Mertens, Photovoltaik, Hanser 2011
■ J. Nelson, The physics of solar cells, Imperial College Press 2008
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Basic understanding of physics
Lehrmethoden
Lecture with accompanied, weekly exercise
Zielgruppe
M.Sc. SSE students

The lecture "Solar Energy" is open for:

■ students of M.Sc. SSE
■ students of M.Sc. MST
■ students of M.Sc. MSE
■ students of the UCF

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Techniken zur Oberflächenmodifizierung / Surface coating 11LE50MO-5109 PO 2021

Techniques
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Rühe

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht

Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Techniken zur Oberflächenmodifizierung / Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
Surface coating Techniques den

Qualifikationsziel
This module describes all aspects of surface modification as often used in microsystems engineering. It
tackles questions on the chemistry of the various approaches and discusses the advantages and shortco-
mings of a number of methods. Among the techniques presented are high energy surface oxidation tech-
niques ( chemical modification, flame treatment, corona discharge or plasma) as well as more elaborate
approaches such as sef-assembled monolayers. Special emphasis is given to the use of polymers for coar-
tings.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication
(=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Techniken zur Oberflächenmodifizierung / Surface coating Techniques 11LE50MO-5109 PO 2021
Veranstaltung
Techniken zur Oberflächenmodifizierung / Surface coating Techniques
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5109

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30
Selbststudium 60
Workload 90 Stunden

Inhalt
Among the techniques presented are high energy surface oxidation techniques (chemical modification,
flame treatment, corona discharge or plasma) as well as more elaborate approaches such as self-assemb-
led monolayers. Special emphasis is given to the use of polymers for coatings and techniques will be des-
cribed that yield surface attached polymer monolayers and multilayer assemblies. Examples from current
research topics will be discussed.
Zu erbringende Prüfungsleistung
written examination (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
keine
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Verbindungshalbleiter / Compound semiconductor devices 11LE50MO-5111_PO 20091

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Oliver Ambacher
Björn Christian

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Verbindungshalbleiter, Mikrosysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht

Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Verbindungshalbleiter / Compound semi- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
conductor devices den

Qualifikationsziel
Das Ziel der Vorlesung Verbindungshalbleiter ist es, ein bildhaftes Verständnis der physikalischen Zusam-
menhänge in Halbleitermaterialien zu fördern, das es den Studenten ermöglicht sich in unbekannte Materia-
lien anhand deren Gitterstruktur und Elektronenkonfiguration schnell einzuarbeiten. Im Anschluss kennen
die Prüflinge die Unterschiede von Verbindungshalbleitern und klassischen Halbleitermaterialien wie zum
Beispiel Silizium und können diese miteinander vergleichen. Besondere Materialeigenschaften der Verbin-
dungshalbleiter wie Pyroelektrizität und Piezoelektrizität wurden verstanden und deren Relevanz für Bau-
elemente ist nun bekannt. Zudem kennen Studenten nach Besuch der Vorlesung die Grundlagen verbin-
dungshalbleiterbasierter Bauelemente wie High-Electron-Mobiliy-Transistoren (kurz HEMTs), Light Emitting
Diodes (LEDs), Quantum Cascade Lasers (QCLs) und verschiedener Detektoren für Infrarot- und UV-Licht
und können eingrenzen welche Verbindungshalbleiter für welche Anwendungen in Frage kommen und kön-
nen dies auch begründen.

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication(=Ma-
terialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Verbindungshalbleiter / Compound semiconductor devices 11LE50MO-5111_PO 20091
Veranstaltung
Verbindungshalbleiter / Compound semiconductor devices
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5111

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Verbindungshalbleiter, Mikrosysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Präsenzstudium 30
Selbststudium 60
Workload 90 Stunden

Inhalt
Spannende und neue physikalische Eigenschaften ergeben sich aus den immer kleiner werdenden Abmes-
sungen von mechanischen, elektrischen und optischen Bauelementen aus Verbindungshalbleitern (GaN,
GaAs, InP). In einer Einführung in die Welt der Verbindungshalbleiter-Mikrosysteme wird die Physik sowie
die Technologie zur Herstellung von kleinsten Leuchtdioden und Lasern, mikromechanischen Filtern und
Resonatoren sowie kleinsten Sensoren zur Analyse biologischer Prozesse vorgestellt. Neuartige Bauele-
mente aus Verbindungshalbleitern werden in ihrer Funktionsweise erläutert und ihre Relevanz für unser täg-
liches Leben dargestellt.
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Abschlussprüfung mit 30 Minuten Dauer
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
Nanoelectronics and Information Technology
Rainer Waser (Ed.)
2003 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co
ISBN 3-527-40363-9

Nanophysik und Nanotechnologie

Horst-Günter Rubahn
2002 Teubner GmbH
ISBN 3-519-00331-7

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
Grundkenntnisse in Halbleiter- und Festkörperphysik
Empfohlene Voraussetzung
Bachelor-Abschluss (Ingenieur- oder Naturwissenschaften)

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Von Mikrosystemen zur Nanowelt / From Microsystems to the 11LE50MO-5101 PO 2021

Nanoworld
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Rühe

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Werkstoffprozesstechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Von Mikrosystemen zur Nanowelt / From Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
Microsystems to the Nanoworld - Vorlesung den

Qualifikationsziel

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 version
of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrication(=Ma-
terialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Von Mikrosystemen zur Nanowelt / From Microsystems to the Nanoworld 11LE50MO-5101 PO 2021
Veranstaltung
Von Mikrosystemen zur Nanowelt / From Microsystems to the Nanoworld - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5101

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 Stunden

Inhalt
1. INTRODUCTION
What is nanotechnology? The long way of science to nanotechnology and nanoengineering: a survey. The
current aspects of nanoengineering: beyond terabyte hard drives. Future aspects: Molecular motors and
engines. Nano robots and nano machinery.

2. FOUNDATIONS
The physics governing properties of objects on the micro- and nano-scale. Principles of manufacturing
nanometer scale devices: Nature’s strategy: biomotors based on proteins - something the human body
already does, top-down approach: miniaturization of macro-world principles to ever smaller scales, bot-
tom-up strategy: from synthesizing simple compounds consisting of a few atoms to nanoengines. Examples
of man-made nanostructures. Properties of novel materials, Strategies for visualization and object handling
in the nano world.

3. PROBLEMS
From Micro to Nano: what’s different. Physical and societal limits of nano engineering.
Zu erbringende Prüfungsleistung
written examination (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Werkstoffdynamik / Dynamics of Materials: Material 11LE68MO-5118 PO 2021

Characterization
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Stefan Hiermaier

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Nachhaltige Ingenieursysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 h
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Werkstoffdynamik / Dynamics of Materials: Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 h
Material Characterization - Vorlesung
Werkstoffdynamik / Dynamics of Materials: Übung Wahlpflicht 2.00
Material Characterization - Übung

Qualifikationsziel
Aim of the course is the knowledge of experimental and numerical basics on the mechanical behaviour of
materials under dynamic loading conditions. It enables the students in deriving strain-rate dependent stress-
strain relations and in implementing the resulting constitutive models into numerical codes. General aim is
the basic ability for experimental characterization and numerical modelling of dynamic material behaviour.
Verwendbarkeit der Veranstaltung

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021
■ Mandatory Elective Module for student enrollen in the Master of Science in Sustainable Systems Engi-
neering (2021 version of the exam regulations):
■ Resilience Engineering
■ Students enrolled in the M.Sc. programme Microsystems Engineering or Mikrosystemtechnik (2021 ver-
sion of the exam regulations) can complete this module in the concentration area Materials and Fabrica-
tion (=Materialien und Herstellungsprozesse).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Werkstoffdynamik / Dynamics of Materials: Material Characterization 11LE68MO-5118 PO 2021
Veranstaltung
Werkstoffdynamik / Dynamics of Materials: Material Characterization - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-5118

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Nachhaltige Ingenieursysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 52 h
Selbststudium 128 h
Workload 180 h

Inhalt
Materials Characterisation:
■ Static and dynamic testing of materials
■ Strain rate as a measure for dynamic material behaviour
■ Use of elastic waves for materials testing
■ Strain-rate dependent elasticity, plasticity, and failure
■ Mathematical modelling of material failure
■ Shock waves in solids
■ Equations of state and the total stress tensor
■ Nonlinear Equations of state

Numerical modelling of dynamic deformation

■ Spatial and Time Discretization of dynamic deformation of solids
■ Finite differences for space and time
■ Basics of the Finite Element method
■ Implicit and explicit time integration
■ Basics of meshfree discretization methods
Zu erbringende Prüfungsleistung
written examination (90 minutes)

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
■ S. Hiermaier, "Structures under Crash and Impact", Springer, 2008.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None
Lehrmethoden
Lecture + exercise

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Werkstoffdynamik / Dynamics of Materials: Material characterization 11LE68MO-5118 PO 2021
Veranstaltung
Werkstoffdynamik / Dynamics of Materials: Material characterization - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE68Ü-5118

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme, Professur für Nachhaltige Ingenieursysteme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
Exercises will utilize freely available Finite-Element codes (currently: Ansys Student) to study specific applications of
the theoretical knowledge established in the lectures. We will work through a series of applied examples demonstrating
different material behaviour, e.g. reversible elastic or permanent plastic deformation. Different solution methods for
quasi-static and time-dependent phenomena will be explored. The need for simulation as a tool to interpret
experimental data will be demonstrated in case of elastic wave propagation for the Split-Hopkinon Bar Method.
Students are expected to present solutions to exercises in front of the class.

Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture

Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none
Zielgruppe
M.Sc. SSE Studierende

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Kontos Nummer des Kontos

Biomedical Engineering 11LE50KO-WP-MSc-986-2021

WP2 BE
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

Benotung A- Berechnung 1 NachK

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Analyse von Life Science Hochdurchsatzdaten mit Galaxy 11LE13MO-1340 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rolf Backofen

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
It is recommended to take the Bioinformatics I lecture before attending this course.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Analyse von Life Science Hochdurchsatz- Lehrveranstaltung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
daten mit Galaxy - Praktische Übung

Qualifikationsziel
■ Students have a basic understanding of the origin and content of high-throughput data from the biologi-
cal and medical fields
■ They know methods for the analysis of such data, for comparison with other data and for visualization
■ They are able to analyze small data sets and apply their knowledge to them

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik). Please note:
Students of M.Sc. Embedded Sytems Enginnering cannot chose this course in the concentration but only
as part of the area Elective Courses in Computer Science.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Analyse von Life Science Hochdurchsatzdaten mit Galaxy 11LE13MO-1340 PO 2021
Veranstaltung
Analyse von Life Science Hochdurchsatzdaten mit Galaxy - Praktische Übung
Veranstaltungsart Nummer
Lehrveranstaltung 11LE13PÜ-1340

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 154 hours
Workload 180 hours

Inhalt
In biological and medical research big data analysis is urgently needed for understandig the information
which is encoded in the molecules of life. Many diseases, such as cancer, are caused by aberrations in
those molecules. In this course you will learn to use Galaxy for big data analysis which is an open source,
webbased platform for data intensive biomedical research. Galaxy provides access to a
powerful analysis infrastructure and allows for reproducible and
transparent data analysis. Creating pipelines and workflows in Galaxy ensure a transparent
and reproducible analysis of data. The Galaxy course offers comprehensive
knowledge about HTS data analyses. You will get an theoretical introduction into the
analysis of DNA and RNA. After the
workshop you will be able to create pipelines for your individual analyses and visualize the
results.

n the exercises, gained knowledge from the Galaxy training course will be used to solve tasks and apply
tools to real world biological and medical data.

http://galaxy.bi.uni-freiburg.de/
http://www.bioinf.uni-freiburg.de
Zu erbringende Prüfungsleistung
written composition / report
Zu erbringende Studienleistung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Literatur
https://academic.oup.com/nar/article/44/W1/W3/2499339/The-Galaxy-platform-for-accessible-reproducible
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
It is recommended to take the Bioinformatics I lecture before attending this course.
Lehrmethoden
This course will be held in English if there is at least one international participant.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Ausgewählte Problemstellungen in Biosignalverarbeitung / 11LE50MO-5303 PO 2021

Selected Problems in Biosignal Processing
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Ulrich Hofmann

Veranstalter
Medizinische Fakultät
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Prerequisite to be able to follow this module is a thorough understanding of classical signal processing.
Strongly recommended is the knowledge of one „programming“ language like Python (preferably), Matlab
(or Octave) or even IDL (not supported). It is strongly recommended to complete the module "Neuroproste-
tics" prior to taking this course.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Ausgewählte Problemstellungen in Biosi- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
gnalverarbeitung / Selected Problems in
Biosignal Processing - Vorlesung
Ausgewählte Problemstellungen in Biosi- Übung Pflicht 1.00
gnalverarbeitung / Selected Problems in
Biosignal Processing - Übung

Qualifikationsziel
Participants will learn to interpret and analyze biological signals of high bandwidth.
They will
■ gain a deep knowledge of feature extraction methods,
■ utilize selected classification methods and
■ decision making methods.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Ausgewählte Problemstellungen in Biosignalverarbeitung / Selected Pro- 11LE50MO-5303 PO 2021
blems in Biosignal Processing
Veranstaltung
Ausgewählte Problemstellungen in Biosignalverarbeitung / Selected Problems in Biosignal Processing -
Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5303
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 hours
Selbststudium 45 hours
Workload 90 hours

Inhalt
Selected sources of biosignals:
■ ECG
■ EMG
■ EOG
■ EEG
■ LFP
■ Multi- and Single Unit Neuronal Records

Selected feature extraction methods:

■ Nyquist Sampling and standard conditioning
■ (adaptive) Filtering
■ Fouriertransform and related methods:
■ Fourier Coefficients,
■ Short Term Fourier Transform
■ Gabor Functions
■ Discrete Cosinus Transform
■ Short Term Fourier Transform
■ Coarse Graining Signal Analysis
■ Bispectrum and Bi-Coherence
■ Empirical Mode Decomposition (Hilbert-Huang Transformation)
■ Undecimated Wavelet Transform and Polyphase Matrices

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ The Teager Operator

■ Compressed Sensing
■ Kernel Methods and Spike Detections

Selected Classification and Decision Methods

■ Principal Components
■ Independent Component Analysis
■ LDA, QDA, RFD
■ Gaussian Mixture Models
■ SVM, soft margin SVM
■ Hidden Markov Modells
■ Maximum Relevance Minimum Redundancy
■ Ensemble Methods
■ Bagging
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written documentation and oral presentation about the software developped. The module grade is based on
the written documentation (50%) and the oral presentation (50%).
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Prerequisite to be able to follow this module is a thorough understanding of classical signal processing.
Strongly recommended is the knowledge of one „programming“ language like Python (preferably), Matlab
(or Octave) or even IDL (not supported). It is strongly recommended to complete the module "Neuroprosthe-
tics" prior to taking this course.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Ausgewählte Problemstellungen in Biosignalverarbeitung / Selected Pro- 11LE50MO-5303 PO 2021
blems in Biosignal Processing
Veranstaltung
Ausgewählte Problemstellungen in Biosignalverarbeitung / Selected Problems in Biosignal Processing -
Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5303
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
tba
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biofunktionelle Materialien - für medizinische 11LE50MO-5336 PO 2021

Mikrosystemtechnik und Gesundheitsvorsorge / Biofunctional
Materials - for medical microsystems and healthcare
Verantwortliche/r

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Biofunktionelle Materialien - für medizini- Seminar Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
sche Mikrosystemtechnik und Gesund-
heitsvorsorge / Biofunctional Materials -
for medical microsystems and healthcare -
Seminar

Qualifikationsziel
Participants will gain deeper insight into the fundamental biofunctionalization techniques used for medical
implants at present as well as insight into where the research frontier stands within a range of application
fields.
Participants will be able to examine the potential of new technologies in this field and critically discuss which
challenges that have to be met before technologies are transferred from basic research into clinical applica-
tion.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biofunktionelle Materialien - für medizinische Mikrosystemtechnik und 11LE50MO-5336 PO 2021
Gesundheitsvorsorge / Biofunctional Materials - for medical microsystems
and healthcare
Veranstaltung
Biofunktionelle Materialien - für medizinische Mikrosystemtechnik und Gesundheitsvorsorge / Biofunctional
Materials - for medical microsystems and healthcare - Seminar
Veranstaltungsart Nummer
Seminar 11LE50S-5323

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 hours
Selbststudium 60 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The topics are presented in seminar form and oriented around examples of existing biomedical applications
where tailored materials functionality is essential e.g. cardiovascular devices, dental implants, catheters,
tissue engineering scaffolds and neural interfaces. Fundamental knowledge in terminology, as well as the
basics of the biological interaction with implanted surfaces (foreign body response) will be given in the initial
seminars.
The seminars are a combination of traditional lectures (80%) and discussions (20%). The students are
expected to take active part in the discussions which will be based on homework assignments to be prepa-
red before the seminar. The preparations will be evaluated in a combination of oral and written assignments.
For each example application the following questions will be in focus:
■ The purpose(s) of functionalization for this application.
■ The most common methods used to accomplish such functionalization.
■ Where the field stands in terms of commercialization of such techniques in relation to where the actual
research frontier stands.
■ Which process considerations that are the most important within the given field.
■ Which methods that should be used to evaluate the functionality.

Furthermore the course addresses suitable techniques for microfabrication and sterilization related to bio-
functional surfaces and materials.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
The course has mandatory presence in 5 seminar sessions (the lectures are voluntary). The students have
to hand in homework before the seminar, and they have to attend these 5 seminar sessions to pass the Stu-
dienleistung.
Literatur
Scientific papers and review papers to be distributed by the course leader.
Selected parts from the following books:
■ Biofunctional Surface Engineering, Edited by Martin Scholz February 21, 2014 by Pan Stanford ISBN
9789814411608 - CAT# N10827
■ Handbook of Biofunctional Surfaces, Edited by Wolfgang, Dipeng Knoll, 2013 Pan Stanford ISBN-10:
9814316636 / ISBN-13: 978-9814316637
■ New Functional Biomaterials for Medicine and Healthcare, Edited by Ivanova , Bazaka, Crawford, 2013
Woodhead publishing, ISBN: 9781782422655
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biomedizinische Messtechnik I / Biomedical Instrumentation I 11LE50MO-5301 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Thomas Stieglitz

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Biomedizinische Messtechnik I / Biomedical Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Instrumentation I - Vorlesung
Biomedizinische Messtechnik I / Biomedical Übung Wahlpflicht 1.00
Instrumentation I - Übung

Qualifikationsziel
The objective of the module is to teach students the fundamental knowledge of biological and medical as
well as physical and engineering processes to be able to acquire bioelectrical signals from the human body.
Scientific and engineering knowledge from the whole signal chain between the biological source over the
recording system is introduced including aspects of interferences and patient safety. Applications from car-
diology (ECG) and neurology (EEG) as most prominent applications in clinical medicine are used as examp-
les. The module teaches the students of microsystems engineering the fundamental anatomical, physiolo-
gical and technical terms of biomedical terms with respect to bioelectrical signals. The students will get an
overview of the application areas of the different methods and the technical background of the underlying
measurement principles and measurement systems. The accompanying exercises consolidate the theoreti-
cal background and guide the students to independent handling of topics in the field of biomedical enginee-
ring.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biomedizinische Messtechnik I / Biomedical Instrumentation I 11LE50MO-5301 PO 2021
Veranstaltung
Biomedizinische Messtechnik I / Biomedical Instrumentation I - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5301

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 hours
Selbststudium 51 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The course introduces different aspects of the recording of bioelectrical signals starting with the nerve and
including amplifier design. It presents the most important medical diagnosis methods in the field of bioelec-
trical signals. In detail, the following topics will be covered:
■ Origin of bioelectrical signals
■ Electrochemistry of electrodes
■ Acute and chronic applications of electrodes
■ Recording and amplification of bioelectrical signals
■ Interference and artefacts
■ Bioelectrical signals of peripheral nerves and the muscle
■ Electrical signals of the heart (ECG)
■ Cardiac pacemakers and implantable defibrillators
■ Technical safety of medical devices

Finally, the content of the course and the learning targets will be summarized together with the students to
facilitate the preparation of the examination.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination (30 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
See exercise

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Literatur
Actual copies of the slides will be delivered accompanying to the lectures.
Literature:
German
1. Schmidt, Robert F., Lang, Florian, Thews, Gerhard (Hrsg.): Physiologie des Menschen, 29. Auflage. Hei-
delberg: Springer Medizin Verlag, 2005

English
1. Bronzino, Joseph D. (Hrsg.): The Biomedical Engineering Handbook, Volume 1 (and 2), Second Edition.
Boca Raton: CRC Press 2000 / Heidelberg: Springer-Verlag, 2000
2. Enderle, John, Blanchard, Susan, Bronzino, Joseph (Hrsg.): Introduction to Biomedical Engineering,
Second Edition. Burlington, San Diego, London, Elsevier, 2005
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biomedizinische Messtechnik I / Biomedical Instrumentation I 11LE50MO-5301 PO 2021
Veranstaltung
Biomedizinische Messtechnik I / Biomedical Instrumentation I - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5301

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
The exercises are considered passed if 50% of maximum points will be achieved in each of the three tests
that are written in the exercises with prior notice.
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biomedizinische Messtechnik II / Biomedical Instrumentation II 11LE50MO-5302 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Thomas Stieglitz

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Biomedizinische Messtechnik II / Biomedi- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
cal Instrumentation II - Vorlesung
Biomedizinische Messtechnik II / Biomedi- Übung Wahlpflicht 1.00
cal Instrumentation II - Übung

Qualifikationsziel
The objective of the module is to teach students the fundamental knowledge of biological and medical as
well as physical and engineering processes to be able to acquire non-electrical measurement categories
out of the human body and to impart knowledge about the technical and medical background of the most
important imaging methods in medicine.
The module teaches the students of microsystems engineering the fundamental anatomical, physiological
and technical terms of biomedical terms with respect to cardiovascular diagnosis and imaging techniques.
The students will get an overview of the application areas of the different methods and the technical back-
ground of the underlying measurement principles and measurement systems. The accompanying exercises
consolidate the theoretical background and guide the students to independent handling of topics in the field
of biomedical engineering

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biomedizinische Messtechnik II / Biomedical Instrumentation II 11LE50MO-5302 PO 2021
Veranstaltung
Biomedizinische Messtechnik II / Biomedical Instrumentation II - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5302

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 hours
Selbststudium 45 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The course introduces methods to acquire non electrical cardiovasular parameters as well as the most
important medical imaging techniques.
■ Measurement of cardiovascular parameters: blood pressure, physiology, pressure, measurement accor-
ding to Riva Rocci & oscillometric
■ Measurement of cardiovascular parameters: blood flow, electromagnetic measurement principle
■ Measurement of cardiovascular parameters: blood flow, ultrasound measurement principle
■ Imaging techniques: x-ray
■ Imaging techniques: systems theory of imaging systems, digital signal processing
■ Imaging techniques: computer tomography
■ Biological effect of ionizing radiation / dosimetry
■ Imaging techniques in nuclear medicinal diagnosis
■ Imaging techniques: ultrasound
■ Imaging techniques: thermography and impedance tomography
■ Imaging techniques: electrical sources, optical tomography, endoscopy
■ Imaging techniques: MR tomography
■ Imaging techniques: molecular imaging

Finally, the content of the course and the learning targets will be summarized together with the students to
facilitate the preparation of the examination.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination (30 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
See exercise
Literatur
Actual copies of the slides will be delivered accompanying to the lectures.
Literature:
German
1. Dössel, Olaf: Bildgebende Verfahren in der Medizin. Berlin, Heidelberg: Springer-Verlag, 2000
2. Schmidt, Robert F., Lang, Florian, Thews, Gerhard (Hrsg.): Physiologie des Menschen, 29. Auflage. Hei-
delberg: Springer Medizin Verlag, 2005

English
1. Bronzino, Joseph D. (Hrsg.): The Biomedical Engineering Handbook, Volume 1 (and 2), Second Edition.
Boca Raton: CRC Press 2000 / Heidelberg: Springer-Verlag, 2000
2. Enderle, John, Blanchard, Susan, Bronzino, Joseph (Hrsg.): Introduction to Biomedical Engineering,
Second Edition. Burlington, San Diego, London, Elsevier, 2005
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biomedizinische Messtechnik II / Biomedical Instrumentation II 11LE50MO-5302 PO 2021
Veranstaltung
Biomedizinische Messtechnik II / Biomedical Instrumentation II - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5302

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
The exercises are considered passed if 50% of maximum points will be achieved in each of the four tests
that are written in the exercises with prior notice.
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biomedizinische Messtechnik - Praktikum / Biomedical 11LE50MO-5304 PO 2021

Instrumentation - Laboratory
Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Thomas Stieglitz

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of "Biomedical Instrumentation I" is a prerequisite for attending this module.
Empfohlene Voraussetzung
Grundkenntnisse in Mathematik und Naturwissenschaften

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Biomedizinische Messtechnik - Praktikum / Praktikum Wahlpflicht 3,0 4.00 90 hours
Biomedical Instrumentation - Laboratory

Qualifikationsziel
The aim of the module is to perform the recording of bioelectrical signals by oneself, applying the theoretical
knowledge of recording signals and suppressing disturbances and artifacts and supplementing it with practi-
cal skills.
The module teaches microsystems engineering students how to handle surface electrodes, develop sim-
ple electronic circuits and the basics of digital signal processing of bioelectric signals, as well as how to use
software to create automatic signal recording routines.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biomedizinische Messtechnik - Praktikum / Biomedical Instrumentation - 11LE50MO-5304 PO 2021
Laboratory
Veranstaltung
Biomedizinische Messtechnik - Praktikum / Biomedical Instrumentation - Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5304

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Geplante Gruppengröße 15
Präsenzstudium 60 hours
Selbststudium 30 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The practical exercises are performed in small groups of maximum three persons. In the first part, diagno-
stic procedures (e.g. blood pressure measurement, electrocardiogram, determination of motor nerve con-
duction velocity, electro-myogram) are learned and characteristic quantities are extracted from the signals.
In the second part, students independently design and develop an electronic amplifier circuit to record
muscle signals and a user interface to graphically display the signals and control a screen pointer using the
recorded muscle signals. This development of a simple human-computer interface is finally tested under
real-time conditions.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written documentation

Zu erbringende Studienleistung
The "Studienleistung" is considered passed if 50% of maximum points will be achieved in each of the four
tests that are written with prior notice. For the lab sessions, attendance is mandatory. In case of illness
an additional lab session is offered. It is also possible to ask for auxiliary dates and to have access to the
chair’s labs outside the lab sessions.
Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of "Biomedical Instrumentation I" is a prerequisite for attending this module.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in mathematics and sciences.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

BioMEMS 11LE50MO-5403 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Gerald Urban

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge from the module "Sensors" or "Sensorik/Aktorik"

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
BioMEMS - Vorlesung Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours

Qualifikationsziel
After this lecture, the students will overview the application of MEMS in biology and medicine. They will
know the recent microfabrication technologies for biomedical applications as well as the basics of cell bio-
logy and biochemistry. The attendees of this lecture will think about the social impact of engineering. Most
importantly, they will understand the connections between biology, medicine, and engineering. Finally, the
students can apply this understanding to future topics in this field.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

BioMEMS 11LE50MO-5403 PO 2021
Veranstaltung
BioMEMS - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5403

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 hours

Inhalt
Content
1. Introduction
2. Biochemistry and cells
3. Cell culture monitoring, organ-on-chip
4. Tissue engineering and cell handling
5. Cell mechanics
6. Single cell analysis
7. Microorganism in MEMS
8. DNA, RNA and protein analytics on chip
9. Implantable devices, in vivo sensors
10.Wearables
11. Summary
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written examination (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
Knowledge from the module "Sensors" or "Sensors/Acuators"

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Bionische Sensoren / Bionic Sensors 11LE50MO-5701 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Gerald Urban

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Bionische Sensoren / Bionic Sensors - Vor- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
lesung

Qualifikationsziel
The aim of this module is a basic understanding of electrical, electrochemical and optical chemo- and bio-
sensor principles as well as the basic knowledge of biological sensors. Principles of bioinspired system and
the background of bionic learning from nature to realize microtechnological systems will be discussed.
Basics of electrical charge transfer and information processes in biological systems will be presented.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Bionische Sensoren / Bionic Sensors 11LE50MO-5701 PO 2021
Veranstaltung
Bionische Sensoren / Bionic Sensors - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5701

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Sensoren
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 hours

Inhalt
The lecture bionic sensors deal with learning from nature to realize technical chemo- and biosensors. Topics
are:
■ Biological sensors/receptors
■ Charge transfer and information processes in biology
■ Chemosensor, introduction
■ Basics of electrochemistry
■ Electrochemical potentiometric sensors
■ Electrochemical amperometric sensors
■ Gas sensors
■ Biosensors
Zu erbringende Prüfungsleistung
written examination (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biophysics of cardiac function and signals 11LE50MO-5324 PO 2021

Verantwortliche/r
Dr. Gunnar Seemann
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Basic interest in biology and computational modeling
Knowledge in Python (or equivalent) is beneficial

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Biophysics of cardiac function and signals Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
Biophysics of cardiac function and signals - Übung Wahlpflicht 2.00
praktische Übung

Qualifikationsziel
The basic concept of this lecture is to examine a biological system, analyze it and define mathematical
equations in order to describe the system. In this lecture, the heart is used as this system. The students
learn the electrical and mechanical function of the heart and its modeling. Additionally, the bioelectrical
signals that are generated in the human body are described and how these signals can be measured, inter-
preted and processed. The content is explained both on the biological level and based on mathematical
modelling. Aligned to the lecture is the exercise in which students learn to implement and use these models,
get a practical introduction to medical image processing and perform signal processing using python.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biophysics of cardiac function and signals 11LE50MO-5324 PO 2021
Veranstaltung
Biophysics of cardiac function and signals
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5324
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 hours

Inhalt
• Cell membrane and ion channels
• Cellular electrophysiology
• Conduction of action potentials
• Cardiac contraction and electromechanical interactions
• Optogenetics in cardiac cells
• Image processing and numerical field calculation in the body
• Measurement of bioelectrical signals
• Electrocardiography
• Imaging of bioelectrical sources (ECG imaging)
• Biosignal processing
Zu erbringende Prüfungsleistung
oral exam (30 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
see excercise
Literatur
Lecture slides (further literature is included in the slides)
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Knowledge in Python (or equivalent) is beneficial
Basic interest in biology and computational modeling

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biophysics of cardiac function and signals 11LE50MO-5324 PO 2021
Veranstaltung
Biophysics of cardiac function and signals - praktische Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50prÜ-5324
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung

see lecture
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
Python implementation of
• Hodgkin-Huxley model
• Ion channel model adjustment to measurement data
• Simulation of cardiac electrophysiology using openCARP
• Image processing
• ECG signal processing
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biophysik - Grundlagen und Konzepte 11LE50MO-5380 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Alexander Rohrbach

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Biophysik - Grundlagen und Konzepte Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 Stun-
den
Biophysik - Grundlagen und Konzepte Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
Das Modul stellt einen Streifzug durch die moderne Zellbiophysik dar, adressiert Fragen der aktuellen For-
schung und stellt moderne Untersuchungsmethoden vor. Dies beinhaltet klassische, aber auch neueste
physikalische Modelle und Theorien, welche in Kombination mit raffinierten Messmethoden einen erhebli-
chen Fortschritt in der Biophysik, ermöglicht haben. Die angewandten physikalischen Methoden beflügeln
nicht nur die Biologie und Medizin, sondern auch die Physik komplexer Systeme, welche mit der lebenden
Zelle ein unvergleichliches Niveau an Selbstorganisation und Komplexität erreicht.
Das Modul richtet sich an Physiker und Ingenieure aus höheren Semestern. Sie bietet eine bunte Mischung
aus Physik, Biologie und Chemie, Mathematik und Ingenieurswissenschaft, welche mit zahlreichen Bildern
und Animationen veranschaulicht werden.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biophysik - Grundlagen und Konzepte 11LE50MO-5380 PO 2021
Veranstaltung
Biophysik - Grundlagen und Konzepte
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5380_PO 20091

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Physikalisches Institut-VB
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 Stunden

Inhalt
1. Aufbau der Zelle oder Das Rezept für biophysikalische Forschung
1. Eine Einführung
2. Die Bausteine des Lebens
3. Modellerstellung in der Biologie durch Schematisierung
4. Bewegung in einer überdämpften Welt
5. Kurztrip durch die Zellbiologie
2. Diffusion und Fluktuationen
1. Brownsche Bewegung
2. Diffusion im externen Potential
3. Mess- und Manipulationstechniken
1. Optische Abbildung und Konfokale Mikroskopie
2. Fluoreszenzmikroskopie
3. Fluorescence Resonance Energy Transfer (FRET)
4. Particle Tracking
5. Optische Pinzetten
6. Rasterkraftmikroskopie
7. Röntgenbeugung und NMR-Spektroskopie

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

4. Biologisch relevante Kräfte

1. Einführung und Übersicht
2. Van der Waals Kräfte
3. Elektrostatische Wechselwirkung
4. Entropische Wechselwirkungen
5. Biophysik der Proteine
1. Einleitung und Motivation
2. Die Struktur der Proteine
3. Proteinfaltung
6. Polymerphysik einzelner Filamente
1. Einleitung und Motivation
2. Die Balkentheorie
3. Polymere als biegsame Federn
7. Visko-Elastizität und Mikro-Rheologie
1. Motivation und Hintergrund
2. Elastizität und Viskosität
3. Retardierte Partikelbewegung und Antwortfunktion
4. Mikro-Rheologie
8. Die Dynamik des Zytoskeletts
1. Einleitung und Motivation
2. Struktur der Zytoskelett-Filamente
3. Mathematische Modelle der Zytoskelett-Polymerisation
4. Kraftentfaltung durch Polymerisation
9. Molekulare Motoren
1. Rotations- und Translationsmotoren
2. Struktur der Translations-Motoren
3. Motorgeschwindigkeiten und Schrittweiten
4. Myosin-Motoren in einem zellulären Teilsystem
5. Motorenorganisation mit dem Zytoskelett
10.Membran-Biophysik
1. Aufbau und Struktur der Membrane
2. Elastische Eigenschaften der Membrane
11. Anhang
1. Anhang: Wichtige Zellorganellen
2. Anhang: Ausgewählte Probleme
Qualifikationsziel
• Die Studierenden sind in der Lage rechnerische oder phänomenologische Lösungen von physikali-
schen/mathematischen Problemstellungen aus dem Bereich der Spezialvorlesung eigenständig zu erarbei-
ten.
• Die Studierenden können eigene Lösungen vor der Gruppe vorrechnen und die Lösungswege diskutie-
ren.

Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche oder mündliche Abschlussprüfung
Zu erbringende Studienleistung
siehe Übung

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Literatur
■ Joe Howard: Mechanics of Motor Proteins and the Cytoskeleton.
■ Gary Boal: Mechanics of the Cell.
■ Rob Phillips: Physical Biology of the Cell.

Begleitend zur Vorlesung wird ein Skriptum mit definierten Lücken (weiße Boxen) zur Verfügung gestellt.
Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biophysik - Grundlagen und Konzepte 11LE50MO-5380 PO 2021
Veranstaltung
Biophysik - Grundlagen und Konzepte
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5380_PO 20091

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Physikalisches Institut-VB
Fakultät für Chemie und Pharmazie
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch

Inhalt
In den Übungen werden die Inhalte der Vorlesung sowohl vertieft als auch gefestigt. Insbesondere wird das
Transferdenken geschult. Hierzu werden die wöchentlich ausgeteilten Aufgaben innerhalb einer Woche
bearbeitet und dann i.d.R. von den Studenten oder bei schwereren Aufgaben vom Tutor an der Tafel vorge-
rechnet.
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung
Zu erbringende Studienleistung
Die Studienleistung ist erfüllt, wenn mindestens 60% der Übungsaufgaben bearbeitet sowie mindestens
zwei Aufgaben in der Übung zur Vorlesung vorgerechnet werden.
Teilnahmevoraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biotechnologie für Ingenieure I: Einführung, Molekular- und 11LE50MO-5371 PO 2021

Mikrobiologie / Biotechnology for Engineers I: Introduction,
Molecular- and Microbiology
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Felix von Stetten

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Biotechnologie für Ingenieure I: Einführung, Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 180 Stun-
Molekular- und Mikrobiologie / Biotechno- den
logy for Engineers I: Introduction, Molecu-
lar- and Microbiology
Biotechnologie für Ingenieure I / Biotechno- Praktikum Wahlpflicht 3,0 2.00
logy for Engineers I:Einführung, Molekular-
und Mikrobiologie / Biotechnology for Engi-
neers I: Introduction, Molecular- and Micro-
biology - Praktikum

Qualifikationsziel
Die Studierenden kennen das Spektrum der Biotechnologie und haben Verständnis für mikro- und moleku-
larbiologische Grundlagen und Methoden. Sie sind in der Lage eigenständig grundlegende Labormethoden
anzuwenden und die experimentellen Befunde zu analysieren. Die Studierenden können beurteilen in wel-
chen Bereichen der Mikro- und Molekularbiologie die Mikrosystemtechnik vorteilhaft Einsatz finden kann.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biotechnologie für Ingenieure I: Einführung, Molekular- und Mikrobiologie / 11LE50MO-5371 PO 2021
Biotechnology for Engineers I: Introduction, Molecular- and Microbiology
Veranstaltung
Biotechnologie für Ingenieure I: Einführung, Molekular- und Mikrobiologie / Biotechnology for Engineers I:
Introduction, Molecular- and Microbiology
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5371

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 52
Selbststudium 128
Workload 180 Stunden

Inhalt
- Spektrum der Biotechnologie
- Mikro- und molekularbiologische Grundlagen
- Laborgeräte & -automatisierung
- Mikrobiologische Methoden
- Molekularbiologische Methoden
- Methoden der Genomsequenzierung
Zu erbringende Prüfungsleistung
Mündliche Abschlussprüfung
Die Modulnote errechnet sich zu 2/3 aus der Abschlussprüfung und 1/3 aus der benoteten Übungsleistung.

Zu erbringende Studienleistung
siehe Praktikum
Literatur
- Skript zur Vorlesung und Skript zum Praktikum

Ergänzend:
- Biotechnologie für Einsteiger, R. Renneberg, u.a., Spektrum Akademischer Verlag
- Taschenatlas der Biotechnologie und Gentechnik, R. D. Schmid, Wiley-VCH
- Taschenatlas der Biochemie, Jan Koolmann, u.a., Thieme

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
keine
Lehrmethoden
This course will be taught in English if there is at least one international participant.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biotechnologie für Ingenieure I: Einführung, Molekular- und Mikrobiologie / 11LE50MO-5371 PO 2021
Biotechnology for Engineers I: Introduction, Molecular- and Microbiology
Veranstaltung
Biotechnologie für Ingenieure I / Biotechnology for Engineers I:Einführung, Molekular- und Mikrobiologie /
Biotechnology for Engineers I: Introduction, Molecular- and Microbiology - Praktikum
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5371

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz in jedem Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch

Inhalt
Laborpraktikum
- Zubereitung von Nährmedien
- Kultivierung von Bakterien
- Keimzahlbestimmung
- DNA-Extraktion aus Bakterien
- DNA Quantifizierung mittels real-time PCR
- Bakteriennachweis mittels Immunoassay
- Test-Automatisierung durch Lab-on-a-Chip Technologie
Zu erbringende Prüfungsleistung
siehe Vorlesung
Zu erbringende Studienleistung
Erfolgreiche Teilnahme am Praktikum (Referat, Protokoll)
Teilnahmevoraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biotechnologie für Ingenieure II / Biotechnology for Engineers II 11LE50MO-5381 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Felix von Stetten

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Fakultät für Chemie und Pharmazie
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Biotechnologie für Ingenieure II / Biotechno- Vorlesung Pflicht 3,0 2.00 180 Stun-
logy for Engineers II - Vorlesung den
Exkursionen zur Vorlesung Biotechnologie Exkursion Wahlpflicht 3,0 2.00
für Ingenieure II / Excursions accompanying
the lecture Biotechnology for Engineers II

Qualifikationsziel

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biotechnologie für Ingenieure II / Biotechnology for Engineers II 11LE50MO-5381 PO 2021
Veranstaltung
Biotechnologie für Ingenieure II / Biotechnology for Engineers II - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5381

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprachen deutsch, englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 Stunden

Inhalt
Bioverfahrenstechnik
- Aufbau und Funktion von Bioreaktoren
- Messtechnik an Bioreaktoren
- Up-Stream Prozesse
- Stoffumwandlung
- Down-Stream Prozesse
Lebensmittelanalytik und in-vitro Diagnostik
- Marktanalyse
- Pathogene Mikroorganismen
- Mikrobiologische Diagnostik
- Immun- und Nukleinsäureiagnostik
- Potential der Mikrosystemtechnik´
Zu erbringende Prüfungsleistung
Mündliche Abschlussprüfung
Zu erbringende Studienleistung
siehe Exkursion
Literatur
- Skript zur Vorlesung mit Literaturverzeichnis
- Biotechnologie für Einsteiger, R. Renneberg, u.a., Spektrum Akademischer Verlag
- Taschenatlas der Biotechnologie und Gentechnik, Rolf D. Schmid, Wiley-VCH

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Modul Biotechnologie für Ingenieure I
Lehrmethoden
This course will be taught in English if there is at least one international participant.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biotechnologie für Ingenieure II / Biotechnology for Engineers II 11LE50MO-5381 PO 2021
Veranstaltung
Exkursionen zur Vorlesung Biotechnologie für Ingenieure II / Excursions accompanying the lecture Biotech-
nology for Engineers II
Veranstaltungsart Nummer
Exkursion 11LE50Ü-5381

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch

Inhalt
Exkursion zu
- Pharmaunternehmen
- Hersteller von in-vitro Diagnostika
- Medizinischem Laborzentrum
- Lebensmittelbiotechnologischem Unternehmen
Zu erbringende Prüfungsleistung
erfolgreiche Teilnahme an der Exkursion (Kurzreferat)
Zu erbringende Studienleistung

Teilnahmevoraussetzung

keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Ethische Aspekte der Neurotechnologie / Ethical Aspects of 11LE50MO-5320 PO 2021

Neurotechnology
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Ulrich Egert

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Interesse an interdisziplinärer Aufbereitung aktueller Fragestellungen

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Ethische Aspekte der Neurotechnologie / Seminar Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
Ethical Aspects of Neurotechnology - Semi- den
nar

Qualifikationsziel
Studierende der Philosophie und Studierende der Neurobiologie und der Ingenieurwissenschaften erar-
beiten in diesem Seminar gemeinsam ethische und philosophische Perspektiven der aktuellen Eingriffs-
möglichkeiten in das Gehirn und der derzeit entwickelten und in naher Zukunft entwickelbaren Men-
sch-Maschine-Komplexe, um auf dieser Grundlage die Herausforderungen für unser personales Selbstver-
ständnis und unsere ethischen Kriterien für die Grenzen solcher Eingriffe zu diskutieren. Dabei soll versucht
werden, philosophische Ansätze zum Verhältnis von Person sein und neurobiologischer „Determinierung“
als zentrale Aspekte in der ethischen Theoriebildung mit den empirischen und interagierenden Zugängen
der Neurowissenschaften in einen konstruktiven und kontroversen Dialog gebracht werden.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Studierende der Masterstudiengänge Microsystems Engineering und Mikrosystemtechnik (PO 2021) kön-
nen dieses Modul im Vertiefungsbereich Biomedizinische Technik wählen.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Ethische Aspekte der Neurotechnologie / Ethical Aspects of Neurotechno- 11LE50MO-5320 PO 2021
logy
Veranstaltung
Ethische Aspekte der Neurotechnologie / Ethical Aspects of Neurotechnology - Seminar
Veranstaltungsart Nummer
Seminar 11LE50S-5320

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Workload 90 Stunden

Inhalt
Interdisziplinäres Seminar zu ethischen und philosophischen Aspekten der Neurotechnologie.

Folgende Themenbereiche werden jeweils unter ethischen, neurowissenschaftlichen bzw. ingenieurwissen-

schaftlichen Gesichtspunkten bearbeitet:
1. Ethik der Neurowissenschaften als aktuelles Gebiet der Philosophie
2. Identität, Person und Persönlichkeit als Grundbegriffe der Ethik der Neurowissenschaften
3. Spezifische philosophische und ethische Aspekte folgender Anwendungsfelder:
- Invasive und nicht-invasive Gehirn-Maschine-Schnittstellen
- Neuroimaging- Emotionale Integration neuronaler Prothesen
- Tiefe Hirnstimulation
- Optogenetische Interaktion
- Neuro-Enhancement
- Zukunftstechnologien und deren Einsatz
Zu erbringende Prüfungsleistung
Mündliche Abschlussprüfung (30 Minuten)
Zu erbringende Studienleistung
keine
Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Interesse an interdisziplinärer Aufbereitung aktueller Fragestellungen

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Grundlagen der Elektrostimulation / Fundamentals of electrical 11LE50MO-5306 PO 2021

stimulation
Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Thomas Stieglitz
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Grundlagen der Elektrostimulation / Funda- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
mentals of electrical stimulation - Vorlesung

Qualifikationsziel
The aim of the module is to teach the biological-medical and physicochemical-technical fundamentals in the
electrostimulation of nerves and muscles, which are necessary for an engineer to understand the biological
processes and to design aids and procedures in applications in the field of neuroprosthetics and neuromo-
dulation.
The module teaches students the theoretical background of mechanisms of action and damage of electrical
stimulation in the peripheral and central nervous systems, as well as the electrochemical processes to be
considered at neuro-engineering interfaces.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Grundlagen der Elektrostimulation / Fundamentals of electrical stimulation 11LE50MO-5306 PO 2021
Veranstaltung
Grundlagen der Elektrostimulation / Fundamentals of electrical stimulation - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5306
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 hours
Selbststudium 60 hours
Workload 90 hours

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Inhalt
The course introduces the medical and biological as well as the physicochemical and technical aspects of
electrical stimulation. In detail, students get familiar with the following topics:
Overview of the history of electrical stimulation
Anatomy and physiology of nerve and muscle
Description of nerve excitation
Electrical fields and electrochemical processes at electrodes
Electrode designs and applications
Charakteristic parameters during technical excitation of nerves
Methods for selective stimulation
Effects of chronic electrical stimulation
Limits of safe electrical stimulation
Systems theory aspects of control of neural prostheses
Simulation of nerve excitation
Stimulator design
Overview of stimulation parameters in clinical applications
Finally, the content of the course and the learning targets will be summarized together with the students to
facilitate the preparation of the examination.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral exam (30 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
A script will be provided to accompany the lecture and will be updated regularly.
Further reading material:
■ Horch, K.W., Dhillon, G.S. (Hrsg.): Neuroprosthetics – Theory and Practice. (Series on Bioengineering &
Biomedical Engineering – Vol. 2)
■ River Edge: World Scientific Computing, 2004
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Introduction to data driven life sciences 11LE13MO-1335 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Rolf Backofen

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Introduction to data driven life sciences Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
Introduction to data driven life sciences Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
- The students have a basic knowledge and understanding about origin and content of life science high-
throughput data
- They know methods and tools for the analysis of such data, can compare it to different data, and have
knowledge about visualization
- They are able to analyse small data sets and apply their gained knowledge

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik). Please note:
Students of M.Sc. Embedded Sytems Enginnering cannot chose this course in the concentration but only
as part of the area Elective Courses in Computer Science.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Introduction to data driven life sciences 11LE13MO-1335 PO 2021
Veranstaltung
Introduction to data driven life sciences
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1335

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60 hours
Selbststudium 120 hours
Workload 180 hours

Inhalt
In biological and medical research big data analysis is urgently needed for understandig the information
that is encoded in the molecules of life. Many diseases, such as cancer, are caused by aberrations in those
molecules. In this lecture you will learn the theoretical biological and bioinformatics background and techni-
ques for generation and analysis of high-throughput data in life sciences.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (120 minutes).
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Introduction to data driven life sciences 11LE13MO-1335 PO 2021
Veranstaltung
Introduction to data driven life sciences
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1335

Veranstalter
Institut für Informatik, Bioinformatik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
To apply the gained knowledge from the lecture, exercises to various topics of high-throughput data analy-
sis are offered. Moreover, we will get to know the workflowmanagement framework Galaxy which is an open
source tool for life science data analysis.
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Introduction to physiological control systems 11LE50MO-5258 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Thomas Stieglitz

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Introduction to physiological control Vorlesung Wahlpflicht 3,0 1.00 90 hours
systems
Introduction to physiological control Übung Wahlpflicht 1.00
systems

Qualifikationsziel
This course will introduce students in engineering and non-engineering fields to the modeling and control of
physiological processes. A brief introduction to signals, systems and control theory is provided at the begin-
ning. Several physiological process are then addressed from a control system perspective, discussing state-
of-the-art literature. The main goal of this course is to provide a general overview of how control system
theory can be applied to understand, modeling and control physiological processes.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Introduction to physiological control systems 11LE50MO-5258 PO 2021
Veranstaltung
Introduction to physiological control systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5258

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 hours
Workload 90 hours

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021
Inhalt
1. Introduction and course overview.
2. Review of signals, systems, and control theory.
3. Positive and negative feedback in physiology.
4. Blood pressure control.
5. Balance control during quiet standing.
6. Complex dynamics of heart rate variability.
7. Feedback and feedforward limb control during reach-to-pinch task.
8. Summary.

Zu erbringende Prüfungsleistung
Written examination (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
M. Khoo. Physiological control systems: analysis, simulation, and estimation. IEEE Series in Biomedical
Engineering, 1999, NY.
A. Guyton and J. Hall, Textbook of Medical Physiology, Elsevier, 2006.
Current scientific literature.

Teilnahmevoraussetzung
None

Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Introduction to physiological control systems 11LE50MO-5258 PO 2021
Veranstaltung
Introduction to physiological control systems
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5258

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Machine Learning 11LE13MO-1153 PO 2021

Verantwortliche/r
Jun.Prof. Dr. Josif Grabocka

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Neurorobotik
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 1
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Machine Learning Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 Stun-
den
Machine Learning Übung Wahlpflicht 1.00

Qualifikationsziel
This course provides you with a good theoretical understanding and practical experience about the basic
concepts of machine learning. You shall be enabled to implement a number of basic algorithms, understand
advantages and drawbacks of single methods and know typical application domains thereof. Furthermore,
you should be able to use (Python) software libraries in order to work on novel data analysis problems.

The course will prepare you to dive deeper into advanced methods of ML, e.g. deep learning, recurrent net-
works, reinforcement learning, hyperparameter optimization, and into specific application domains such as
image analysis, brain signal analysis, robot learning, bioinformatics etc., for which specialized courses are
available.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik). Please note:
Students of M.Sc. Embedded Sytems Enginnering cannot chose this course in the concentration but only
as part of the area Essential Lectures in Computer Science.
Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät
EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Machine Learning 11LE13MO-1153 PO 2021
Veranstaltung
Machine Learning
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE13V-1153

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 Stunden

Inhalt
■ Applications / typical problems dealt with by machine learning
■ basic data analysis pipeline (from data recording to output shaping)
■ software libraries
■ linear methods (e.g. LDA, logistic regression, ICA, PCA, OLSR) for dimensionality reduction, classifica-
tion, regression and blind source separation
■ non-linear methods (e.g. support vector machines, kernel PCA, decision trees / random forests, neural
networks) for classification and regression
■ unsupervised clustering (e.g. k-means, DBSCAN)
■ algorithm independent principles in machine learning (z.b. bias-variance trade-off, model complexity,
regularization, validation strategies, interpretation of trained machine learning models, basic optimization
approaches, feature selection, data visualization)
Lernziele / Lernergebnisse
This course provides you with a good theoretical understanding and practical experience about the basic
concepts of machine learning. You shall be enabled to implement a number of basic algorithms, understand
advantages and drawbacks of single methods and know typical application domains thereof. Furthermore,
you should be able to use (Python) software libraries in order to work on novel data analysis problems.

The course will prepare you to dive deeper into advanced methods of ML, e.g. deep learning, recurrent net-
works, reinforcement learning, hyperparameter optimization, and into specific application domains such as
image analysis, brain signal analysis, robot learning, bioinformatics etc., for which specialized courses are
available.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination with a duration of 35 minutes
Zu erbringende Studienleistung
see excersise
Literatur
Duda, Hart and Stork: Pattern Classification
Christopher Bishop: Pattern Recognition and Machine Learning
Hastie, Tibshirani and Friedman: The Elements of Statistical Learning
Mitchell: Machine Learning
Murphy: Machine Learning – a Probabilistic Perspective
Criminisi et. al: Decision Forests for Computer Vision and Medical Image Analysis
Schölkopf & Smola: Learning with Kernels
Goodfellow, Bengio and Courville: Deep Learning
Michael Nielsen: Neural Networks and Deep Learning

In addition, literature for every section of the course is announced during these sections.
Teilnahmevoraussetzung
We have to rely on a solid background in basic math, specifically linear algebra (an eigenvalue decomposi-
tion, matrix operations, covariance matrices etc. should be very familiar concepts), calculus and probability
theory.

We use the Python programming language for most of our assigments. If you do not yet have Python expe-
rience, you must ramp up at least basic knowledge thereof.
Empfohlene Voraussetzung
We recommend basic knowledge of optimization and of the scikit-learn Python library.
Lehrmethoden
For in-class lectures:

Despite the large lecture rooms, a teacher-centered style shall be enriched as much as possible by measu-
res like:

■ interactive question and answer rounds

■ discussions in sub-groups, reporting to the large group
■ cross-teaching
■ problem-oriented teaching e.g. via data analysis competition
■ repetition of important concepts in slightly altered contexts.

For virtual lectures:

■ flipped classroom teaching with videos provided
■ Q&A sessions to discuss the videos' content
■ Cross-teaching via Ilias forum
■ problem-oriented teaching e.g. via data analysis competition
■ repetition of important concepts in slightly altered contexts.
Zielgruppe
Advanced BSc., MSc. students and PhD students

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Machine Learning 11LE13MO-1153 PO 2021
Veranstaltung
Machine Learning
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE13Ü-1153

Veranstalter
Institut für Informatik, Professur für Maschinelles Lernen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture

Zu erbringende Studienleistung
Passing an oral or written examination.
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikrofluidik II: Miniaturisieren, Automatisieren, und 11LE50MO-5263 PO 2021

Parallelisieren biochemi- scher Analyseverfahren: Von der Idee
zum Produkt / Microfluidics II: Miniaturize, automate and
parallelize biochemical analysis: From idea to product launch
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Roland Zengerle

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Basics in microfluidics, e.g. "Microfluidics I"

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Mikrofluidik II: Miniaturisieren, Automatisie- Vorlesung Wahlpflicht 6,0 2.00 180 hours
ren, und Parallelisieren biochemischer Ana-
lyseverfahren: Von der Idee zum Produkt /
Microfluidics II: Miniaturize, automate and
parallelize biochemical analysis: From idea
to product launch
Mikrofluidik II: Miniaturisieren, Automatisie- Übung Wahlpflicht 2.00
ren, und Parallelisieren biochemischer Ana-
lyseverfahren: Von der Idee zum Produkt /
Microfluidics II: Miniaturize, automate and
parallelize biochemical analysis: From idea
to product launch

Qualifikationsziel
Qualified microfluidic engineer with sound knowledge on microfluidic Design, manufacturing of microfluidic
cartridges, and the use of microfluidic technologies in clinical settings.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikrofluidik II: Miniaturisieren, Automatisieren, und Parallelisieren biochemi- 11LE50MO-5263 PO 2021
scher Analyseverfahren: Von der Idee zum Produkt / Microfluidics II: Minia-
turize, automate and parallelize biochemical analysis: From idea to product
launch
Veranstaltung
Mikrofluidik II: Miniaturisieren, Automatisieren, und Parallelisieren biochemischer Analyseverfahren: Von der
Idee zum Produkt / Microfluidics II: Miniaturize, automate and parallelize biochemical analysis: From idea to
product launch
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5263

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60
Selbststudium 120
Workload 180 hours

Inhalt
Content:
This lecture teaches the use of microfluidic technologies for automation of biochemical analyses. Fields of
application are the detection of pathogens, the diagnosis and therapy accompanied monitoring of tumor
diseases as well as water analysis. In a first section, the complete design process from initial requirements
and project specifications to simulation-based design, manufacturing of functional models and testing will be
addressed. The creation of flow drafts, the simulation of microfluidic networks and CAD design will be taught
in an accompanying tutorial.
In following lectures, product development will be examined. This includes the scalable manufacturing of
disposable test cartridges, the determination of usability as well as questions of licensing. In summary, the
lecture covers the development process from initial idea to product. In the second part of the tutorial, the
students will work on an exemplary project.
Zu erbringende Prüfungsleistung
written or oral exam
Zu erbringende Studienleistung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Basics of microfluidics, e.g. Microfluidics I lecture

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikrofluidik II: Miniaturisieren, Automatisieren, und Parallelisieren biochemi- 11LE50MO-5263 PO 2021
scher Analyseverfahren: Von der Idee zum Produkt / Microfluidics II: Minia-
turize, automate and parallelize biochemical analysis: From idea to product
launch
Veranstaltung
Mikrofluidik II: Miniaturisieren, Automatisieren, und Parallelisieren biochemischer Analyseverfahren: Von der
Idee zum Produkt / Microfluidics II: Miniaturize, automate and parallelize biochemical analysis: From idea to
product launch
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5263

Veranstalter
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Anwendungsentwicklung
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Zu erbringende Studienleistung
none
Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikrosystemtechnik in der Medizin / Microsystems technology 11LE50MO-5307 PO 2021

in Medicine
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Martin Boeker
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Grundlegende physikalische Kenntnisse

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Mikrosystemtechnik in der Medizin / Micro- Seminar Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
systems technology in Medicine - Seminar den

Qualifikationsziel
Wichtige Anwendungen der Mikrosystemtechnik in der Medizin beschreiben können:
■ Computergestützte Bildanalyse
■ Patch-Clamp Verfahren
■ Klinische Anwendung beim Mammakarzinom
■ Cochlea-Implantat
■ Sehprothesen
■ Diagnostik und Therapie von Herzrhythmusstörungen
■ Volumetrische Bildgebung in der Radiologie
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Mikrosystemtechnik in der Medizin / Microsystems technology in Medicine 11LE50MO-5307 PO 2021
Veranstaltung
Mikrosystemtechnik in der Medizin / Microsystems technology in Medicine - Seminar
Veranstaltungsart Nummer
Seminar 11LE50V-5307
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 26
Selbststudium 64
Workload 90 Stunden

Inhalt
Dozenten aus verschiedenen Fachbereichen der Medizin stellen wichtige und aktuelle Themen der Mikro-
systemtechnik in der Medizin vor: Sehprothesen, Cochlea-Implantate, minimal invasive Gefäßtherapien,
computergestützte Tumordiagnostik, klinische Anwendungen beim Brustkrebs, Diagnostik und Therapie
von Herzrhythmusstörungen und Verfahren der Bildanalyse in der bildgebenden Diagnostik. Dabei stellen
die Dozenten insbesondere eine Verbindung zwischen den medizinisch-biologischen Gegebenheiten im
menschlichen Organismus und der technischen Herangehensweise an ein spezifisches medizinisches Pro-
blem her, ohne dass besondere medizinische Kenntnisse vorausgesetzt werden.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche Abschlussprüfung (90 Minuten)
Zu erbringende Studienleistung
keine
Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
Grundlegende physikalische Kenntnisse

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nanobiotechnologie / Nanobiotechnology 11LE50MO-5308 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Oliver Ambacher

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Verbindungshalbleiter, Mikrosysteme
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Nanobiotechnologie / Nanobiotechnology Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
den

Qualifikationsziel
Die Studierenden werden in die Lage versetzt, die Funktionsweise von organischen Mikro- und Nanosyste-
men zu verstehen. Hierzu gehören z.B. Haarzellen, Motorproteine, organische Nanomotoren und Ionen-
kanäle. Die Studierenden besitzen Fachkompetenz in der Beschreibung und Analyse von organischen
Nanostrukturen, die für die Funktion kleinster biologischer Organismen von entscheidender Bedeutung sind.
Ihre Fachkompetenz erstreckt sich bis zur Kombination von organischen und anorganischen Mikro- und
Nanosystemen z.B. zur Realisierung kleinster Antriebssysteme.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nanobiotechnologie / Nanobiotechnology 11LE50MO-5308 PO 2021
Veranstaltung
Nanobiotechnologie / Nanobiotechnology
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5308

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Verbindungshalbleiter, Mikrosysteme
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 26 Stunden
Selbststudium 64 Stunden
Workload 90 Stunden

Inhalt
Zu den Themen der Nanobiotechnologie gehört die Diskussion von organischen Nanosystemen in der
menschlichen Wahrnehmung, die Erklärung des Handlings und Charakterisierens von Proteinen und
Viren, die Untersuchung elektronischer und optischer Eigenschaften von einzelnen Molekülen genauso wie
die Technologie zur Herstellung von Sensoren für kleinste Flüssigkeitsmengen. An der Schnittstelle zwi-
schen der Mikro- und Nanowelt, der Schnittstelle auch zwischen belebter und unbelebter Materie, werden
moderne Charakterisierungsverfahren (z.B. Elektronenmikroskopie, Kraftmikroskopie) nötig, um von phy-
sikalischen oder chemischen Eigenschaften der organischen Moleküle eine Brücke zum Verständnis der
Funktion von Aminosäuren, Proteinen und Zellen zu schlagen. Diese Methoden und ihre Anwendung auf
biologisch relevante Systeme werden ebenso erklärt wie die Technologie zur Herstellung von künstlichen
Mikro- und Nanostrukturen zur sensorischen Kopplung an biologische Organismen.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Mündliche Abschlussprüfung mit einer Dauer von 30 Minuten
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
■ Biochemie, J.M. Berg, J.L. Tymoczko, L. Stryer, Spektrum Akademischer Verlag, Heidelberg 2003
■ Physiologie des Menschen, R.F. Schmidt, F. Lang, G. Thews, Springer Medizin Verlag Heidelberg 2005
Teilnahmevoraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Neurophysiologie - Praktikum / Neurophysiology - Laboratory 11LE50MO-5316 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Ulrich Hofmann
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Prerequisite to become eligible for this course is the participation in the exercises in "Implant manufacturing
technologies“ or participation in the seminar „Neuroprosthetics“ in the previous winter semester.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Neurophysiologie - Praktikum / Neurophy- Praktikum Wahlpflicht 3,0 4.00 90 hours
siology - Laboratory

Qualifikationsziel
Participants will gain first hand experiences into neuroscientific and electrophysiologically verifiable para-
digms to natural signal processing in the rat brain in vivo.
Participants will get in depth insight into the current knowledge of the somatosensory system, the visual
system and the motor system. In addition, the rat’s learning and orientation system will be introduced in
depth as well.
Signal processing methods will be presented and for later use in exercises substantiated.
Participants will learn a respectful and honorable handling of living beings, even if they are „only“ lab rats.
Students will gain first hand experience with multisite electrophysiological recordings from anesthetized and
freely moving animals. Signals acquired during these day long experiments will be analyzed according to
state of the art and results will be presented as reports and talks.
Bemerkung / Empfehlung
The experiments fall under the Animal Welfare Act - so all participants must be known by name before the
first day of the experiment.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Neurophysiologie - Praktikum / Neurophysiology - Laboratory 11LE50MO-5316 PO 2021
Veranstaltung
Neurophysiologie - Praktikum / Neurophysiology - Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5316
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours

Inhalt
Students will in three neurophysiological paradigms (two acute, one freely behaving) under experienced
supervision participate.
Students will get in depth and first hand insight into the current knowledge of the somatosensory system,
the visual system and the motor system. In addition, the rat’s learning and orientation system will be introdu-
ced as well.
Signal processing methods will be presented and for later use in exercises substantiated.
They will gain hands on experience with in vivo animal electrophysiology with micro devices and collect data
for subsequent home based analysis.
Their analysis results will be presented as final teaching experience.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Students have to submit 4 reports. The module grade is calculated taking the average of the grades obtai-
ned for each report. If a student misses one session due to illness, an amended date for the missed lab ses-
sion will be offered.
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
■ Windhorst, U. and H. Johansson (1999). Modern Techniques in Neuroscience Research. Berlin, Sprin-
ger.
■ Kandel, E. R., J. H. Schwartz and T. M. Jessel (1991). Principles of neural science. London, Pren-
tice-Hall.
■ D Nicolelis, M. A. L., Ed. (1999). Methods for Neural Ensemble Recordings. CRC Methods in Neuros-
cience. Boca Raton, FL, CRC Press.
■ diverse journal papers like:
■ Wilson, M. A. and B. L. McNaughton (1994). "Reactivation of Hippocampal ensemble memories
during sleep." Science 265: 676-682.
■ Wilson, M. A. and B. L. McNaughton (1993). "Dynamics of the hippocampal ensemble code for
space." Science 261: 1055-1058.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Prerequisite to become eligible for this course is the participation in the exercises in "Implant manufacturing
technologies“ or participation in the seminar „Neuroprosthetics“ in the last winter semester.
Bemerkung / Empfehlung
The experiments fall under the Animal Welfare Act - so all participants must be known by name before the
first day of the experiment.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Neuroprothetik / Neuroprosthetics 11LE50MO-5318 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Ulrich Hofmann
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
High school level knowledge in mathematics and natural sciences

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Neuroprothetik / Neuroprosthetics - Semi- Seminar Wahlpflicht 3,0 3.00 90 hours
nar

Qualifikationsziel
Neuroprosthetics is an emergent field of biomedical engineering aiming at developing devices to replace or
augment non functional sensory or motor pathes of humans resulting from disease or trauma.
The participating student will be instructed on the basic neuromedical concepts, and the targeted medical
deficits, both needed to evaluate current clinical neuroprostheses and critically assess devices under deve-
lopment.
The student will gain well funded knowledge on clinical applications and technologies and will have to face
the more biological and ethical aspects of these devices and treatment options as well.
The module aims at active involvement by independent webbased information acquisition, oral presentation
of findings and internet based reporting.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Neuroprothetik / Neuroprosthetics 11LE50MO-5318 PO 2021
Veranstaltung
Neuroprothetik / Neuroprosthetics - Seminar
Veranstaltungsart Nummer
Seminar 04LE50V-5318
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 hours
Selbststudium 51 hours
Workload 90 hours

Inhalt
Introductory lessons contain:
■ Basic concepts of neuroscience
■ Interfacing the nervous system
■ Modelling approaches for CNS applications
■ Neuroethical aspects

Student covered topics will contain:

■ Cochlea Implant - Deafness
■ Retina Implant - Blindness
■ Deep Brain Stimulation - Parkinson‘s Disease
■ Spinal Cord Stimulation - Chronic Pain Syndrome
■ Vagal Nerve Stimulation - Epilepsy
■ Functional Electrical Stimulation - Drop Foot Syndrome
■ Human Machine Interfacing - BCI and BMI
■ Foreign Body Reaction
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written documentation and oral presentation. The module grade is based on the written documentation
(50%) and the oral presentation (50%).
Zu erbringende Studienleistung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Literatur
■ Farina, D., Jensen, W., Akay, M., Eds. (2013). INTRODUCTION TO NEURAL ENGINEERING FOR
MOTOR REHABILITATION, IEEE
■ Dagnelie, G., Ed. (2011). Visual Prosthetics: Physiology, Bioengineering, Rehabilitation: Physiology,
Bioengineering and Rehabilitation, Springer
■ DiLorenzo, D. J. and J. D. Bronzino, Eds. (2008). Neuroengineering Boca Raton, CRC Press
■ Akay, M. (2007). Handbook of Neural Engineering, IEEE Press, Wiley
■ Dornhege, G., et al., Eds. (2007). Toward Brain-Computer Interfacing. Neural Information Processing
Series. Cambridge, MA, MIT Press
■ Horch, K. W. and G. S. Dhillon (2004). Neuroprosthetics - Theory and Practice. Singapore-London,
World Scientific Publishing
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
High level knowledge in mathematics and natural sciences

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Neurowissenschaften für Ingenieure / Neuroscience for 11LE50MO-5319 PO 2021

Engineers
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Ulrich Egert

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Neurowissenschaften für Ingenieure / Neu- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
roscience for Engineers - Vorlesung
Neurowissenschaften für Ingenieure / Neu- Übung Wahlpflicht 1.00
roscience for Engineers - Übung

Qualifikationsziel
After completing this module, students will understand the fundamental neuroscientific concepts, methods,
processes and structures that define or influence the function of technical components in biomedical appli-
cations.
Bemerkung / Empfehlung
The lecture is interdisciplinary and is offered for students of MSc Microsystems Engineering, Embedded
Systems Engineering and Computer Science. If necessary the lecture will be taught in English. All slides
and texts used are in English.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

This module is (among others) for:
■ Bachelor of Science Mikrosystemtechnik (PO 2018) students, in the elective area MST
■ Master of Science Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) students in the concentration
area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Neurowissenschaften für Ingenieure / Neuroscience for Engineers 11LE50MO-5319 PO 2021
Veranstaltung
Neurowissenschaften für Ingenieure / Neuroscience for Engineers - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5319

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 39 hours
Selbststudium 51 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The lecture series conveys the foundations of various neuroscientific processes, structures and measuring
techniques.

We emphasize processes that

■ influence the generation and properties of signals measurable with neuronal systems,
■ influence the usability of MST components, such as sensors and implants,
■ are relevant for typical fields of application of MST components, e.g. implantable sensors, prostheses,
neurotechnology, etc..

In the course of the lectures we will present and overview of central neuroscientific concepts, tools and app-
lications

Main topics are:

■ Structure of the nervous systems
■ Biophysics of electrical potentials
■ Neuronal networks and their signals
■ Sensory systems
■ Foundations of learning and memory
■ Interaction with neuronal networks

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (90 min.)
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
Literature will be presented during the lecture
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Neurowissenschaften für Ingenieure / Neuroscience for Engineers 11LE50MO-5319 PO 2021
Veranstaltung
Neurowissenschaften für Ingenieure / Neuroscience for Engineers - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5319

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Signalverarbeitung und Analyse von Gehirnsignalen / Signal 11LE50MO-5312 PO 2021

processing and analysis in brain signals
Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Thomas Stieglitz

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Signalverarbeitung und Analyse von Vorlesung Pflicht 3,0 2.00 90 hours
Gehirnsignalen / Signal processing and
analysis in brain signals - Vorlesung

Qualifikationsziel
The objective of the module is to show, how signal processing and analysis methods can add additional
information to the classical ways of interpreting brain signals measured by electroencephalography (EEG)
or magnetoencephalography (MEG).
This goes beyond the basic signal processing methods to separate the signal from background noise.
General techniques for pattern recognition will be presented and how they are tailored for the daily use in
clinical practice or neuroscience research. As a result students will have knowledge of general tools in pat-
tern recognition in recordings of brain signals and how to adapt them to the requirements of the specifics
needs in clinical use or for research projects.
The second part of the module will add modelling to the signal analysis to perform the localization of gene-
rators of brain activity. Different approaches of modelling of the head and the generators of the brain activity
will be introduced. The objective is to provide the students with knowledge about different modelling levels
and strategies about the selection of generator models, which are appropriate for a given source localization
task.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Signalverarbeitung und Analyse von Gehirnsignalen / Signal processing 11LE50MO-5312 PO 2021
and analysis in brain signals
Veranstaltung
Signalverarbeitung und Analyse von Gehirnsignalen / Signal processing and analysis in brain signals - Vor-
lesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5312

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 hours
Workload 90 hours

Inhalt
The course starts with an introduction to the basic principles of the measurement of neurophysiological
signals mainly EEG and MEG. Despite a basic technical introduction of the measurement systems an over-
view about physiological and pathological patterns and rhythms in brain signal is given. Pattern recognition
in the diagnostics of patients suffering from epilepsy is one core topic of the module. Long term recordings
of EEG in epilepsy diagnostic create a high demand for automatic EEG analysis procedures.
Three different types of events are at the moment in the focus for automatic detection strategies.
a) Epileptic seizures, which are the core syndrome of the disease. Automatic detection may facilitate the
review of long term recordings tremendously.
b) Short high amplitude peaks in EEG and MEG called spikes contribute to the diagnoses of epilepsy and
give information related to the localization of the seizure onset region in focal epilepsy.
c) Oscillatory activity in the frequency range between 80 Hz and 600 Hz gives according to recent result
probably more specific information about the seizure origin area than spikes.
Signal processing and pattern recognition strategies are presented and how they can be applied to the pat-
terns of interest in epilepsy diagnostic.
In detail following strategies will be presented:
a) Heuristics
b) Template matching
c) Wavelet transformation
d) Hilbert transformation
e) Background and target modelling
f) Artificial neural networks

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

A second focus of the module is related to the localization of generators of neuronal activity based on EEG
and MEG measurements.
The introduction starts with the presentation of the Maxwell equations and the common simplifications as
they are applied in EEG and MEG source localization. Localization includes two basic components, the for-
ward simulation and an inverse parameter estimation procedure. Concepts of the following forward models
representing the physical properties of the head are presented:
a) Spherical model
b) Boundary element model
c) Finite element model

Main types of focal and distributed inverse models will form the contents of the inverse part of the source
localization procedure.
Exemplary application examples will show the complete processing chain from measurements and image
acquisition to localization results.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral exam (30 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Siliziumbasierte Neurosonden / Silicon-based Neural 11LE50MO-5116 PO 2021

Technology
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Oliver Paul

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
Advanced Silicon Technologies for MEMS and IC

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Siliziumbasierte Neurosonden / Sili- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
con-based Neural Technology

Qualifikationsziel
Students will gain a detailed overview of silicon-based probes used in basic neuroscience research and
their combination with alternative materials to provide the desired functionalities. Students will learn the
basic requirements regarding system design and function, as well as the system-specific manufacturing
technologies.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Siliziumbasierte Neurosonden / Silicon-based Neural Technology 11LE50MO-5116 PO 2021
Veranstaltung
Siliziumbasierte Neurosonden / Silicon-based Neural Technology
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5116

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Materialien der Mikrosystemtechnik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30
Selbststudium 60
Workload 90 hours

Inhalt
■ Introduction - Basic requirements in neuroscience
■ Electrical probes
■ Fluidic probes
■ Optical probes
■ Chemotrodes
■ IC Technologies for Signal Amplification and Processing
■ Packaging and interconnection technologies
Zu erbringende Prüfungsleistung
Oral examination if there are 20 or fewer than 20 registered participants; written examination if there are
more than 20 registered participants (minimum 60 and maximum 240 minutes). Details will be announced
by the examiner in due time.
Zu erbringende Studienleistung
Regular attendance (2/3 of the sessions)
Literatur
current conference and journal articles
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Empfohlene Voraussetzung
Advanced Silicon Technologies for MEMS and IC

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Technologien der Implantatfertigung / Implant Manufacturing 11LE50MO-5313 PO 2021

Technologies
Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Thomas Stieglitz

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Technologien der Implantatfertigung / Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Implant Manufacturing Technologies - Vor-
lesung
Technologien der Implantatfertigung / Übung Wahlpflicht 1.00
Implant Manufacturing Technologies -
Übung

Qualifikationsziel
The aim of the module is to teach the physical and technological fundamentals for manufacturing electrically
active implants, to become familiar with basic structures and elements as well as methods and processes
for their manufacture. The theoretical engineering basis for understanding the function and failure modes of
this type of implants is provided.
The module teaches students of microsystems engineering the various, basic processes on the basis of
which complex implants can be realized. The exercise supplements the theoretical knowledge with practical
aspects and guides the independent application of the knowledge gained.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).
Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät
EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Technologien der Implantatfertigung / Implant Manufacturing Technologies 11LE50MO-5313 PO 2021
Veranstaltung
Technologien der Implantatfertigung / Implant Manufacturing Technologies - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5313

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 45 hours
Selbststudium 45 hours
Workload 90 hours

Inhalt
In the lecture Implant Manufacturing Technologies, knowledge and methods for the development of electri-
cally active implants such as pacemakers or hearing prostheses (cochlear implants) are taught. Materials,
components, systems and legal frameworks are presented. Clinically established (neuro-) implants as well
as novel developments, which are still in the research phase, will be presented and critically discussed. The
following topics will be covered during the lecture:
■ Overview of active implants & neuroprostheses in clinical and research settings.
■ Definitions and classification of electrically active implants
■ Biocompatibility testing and biostability (corrosion and degradation)
■ Electrodes
■ Design of electrically active implants (components, interfaces)
■ Silicone as material for encapsulation
■ Materials for hermetically sealed housings
■ Connections and joining techniques
■ Requirements for implant development and production (risk management, FMEA, production rooms,
documentation)
■ Thin-film technology in implant development
■ Manufacturing of microimplants using the example of a BION

Finally, the learning content will be repeated together with the students in order to facilitate the preparation
for the examination.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
Written examination (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Technologien der Implantatfertigung / Implant Manufacturing Technologies 11LE50MO-5313 PO 2021
Veranstaltung
Technologien der Implantatfertigung / Implant Manufacturing Technologies - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5313

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 1.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Technologien der Implantatfertigung - Praktikum / Implant 11LE50MO-5314 PO 2021

Manufacturing Technologies - Laboratory
Verantwortliche/r
Prof. Dr.-Ing. Thomas Stieglitz

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of the module "Technologien der Implantfertigung / Implant manufacturing technolo-
gies".
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in mathematics and sciences.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Technologien der Implantatfertigung - Prak- Praktikum Wahlpflicht 3,0 4.00 90 hours
tikum / Implant Manufacturing Laboratory

Qualifikationsziel
The aim of the module is to train the skills for manufacturing electrically active implants, to become familiar
with basic structures and elements as well as methods and processes for their manufacture. The theoretical
engineering basis for understanding the function and failure modes of this type of implants is complemented
by practical skills and experience during own manufacturing of a demonstrator of an active implant.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Technologien der Implantatfertigung - Praktikum / Implant Manufacturing 11LE50MO-5314 PO 2021
Technologies - Laboratory
Veranstaltung
Technologien der Implantatfertigung - Praktikum / Implant Manufacturing Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5314

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Biomedizinische Mikrotechnik
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 52 hours
Selbststudium 38 hours
Workload 90 hours

Inhalt
In the course of the practical exercises, the students re-build the first generation of a neuroptosthetic device,
a cochlear implant. Groups with a maximum of three persons manufacture the implant in structured learning
units on their own under supervision at different manufacturing setups. The learning units include:
■ Laser marking and cutting
■ Screen printing
■ Hybrid implant assembly
■ Design of pronted circuit boards
■ Development and etching of printed circuit boards
■ Cleansing and cleaning of substrates
■ Silicone encapsulation or electronic circuits
■ Packaging and sterilization
■ Technical implant function test
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written test prior to each of the seven experiments. The module grade is the average of the marks obtained
in the seven tests.
Zu erbringende Studienleistung
Mandatory attendance in the 12 sessions is required. In case of illness, an additional session is offered.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of the module "Technologien der Implantfertigung / Implant manufacturing technolo-
gies".
Empfohlene Voraussetzung
Basic knowledge in mathematics and sciences.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biointerfaces I - Basics for Bioanalytical Systems 11LE50MO-5406_1 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Rühe

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen
Fachbereich / Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Biointerfaces I - Basics for Bioanalytical Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Systems
Biointerfaces I - Basics for Bioanalytical Prüfung Wahlpflicht 3,0
Systems

Qualifikationsziel
The learning objective is the understanding of the basic methods for the analysis of biomolecules and their
technical requirements. The participant will acquire an understanding of methods of DNA analysis (e.g.
PCR) and protein analysis (e.g. ELISA) and will be able to plan such analyses (equipment / execution).
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Biomedical Engineering (Biomedizinische Technik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Biointerfaces I - Basics for Bioanalytical Systems 11LE50MO-5406_1 PO 2021
Veranstaltung
Biointerfaces I - Basics for Bioanalytical Systems
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5406_1

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Chemie und Physik von Grenzflächen
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Präsenzstudium 30 hours
Selbststudium 60 hours
Workload 90 hours

Inhalt
■ DNA analytics (enzymes / methods / devices)
■ Various PCR methods
■ DNA Fingerprinting
■ Protein analysis (enzymes / methods / devices)
■ Antibody based detection systems (ELISA)
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
Materials are provided via the ILIAS system. An ILIAS page will be created and made available to students
before the start of lectures.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Kontos Nummer des Kontos

Photonics 11LE50KO-WP-MSc-986-2021
WP2 P
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht

Benotung A- Berechnung 1 NachK

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Gassensorik / Gas sensors_PO 2009_2 11LE50MO-5704 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Wöllenstein

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Dünnschicht-Gassensorik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
Keine
Empfohlene Voraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Gassensorik / Gas sensors Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
den

Qualifikationsziel
Das Ziel dieses Moduls ist die Vermittlung der physikalischen, chemischen, elektrischen Funktionsweise
von Gassensoren. Dabei werden aufbauend auf den vermittelten Grundlagen typische Sensoranordnun-
gen, Herstellungs-verfahren mit Fokus auf die Mikrosystemtechnik sowie Anwendungen der Sensoren in
der Praxis vorgestellt. Die Studierenden sollen den Zusammen-hang zwischen den Messprinzip, Design,
Fertigungsprozessen und dem Einsatz der Sensoren erlernen.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Studierende der Masterstudiengänge Microsystems Engineering und Mikrosystemtechnik (PO 2021) kön-
nen dieses Modul im Vertiefungsbereich Photonik wählen.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Gassensorik / Gas sensors_PO 2009_2 11LE50MO-5704 PO 2021
Veranstaltung
Gassensorik / Gas sensors
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5704

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Dünnschicht-Gassensorik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 30 Stunden
Selbststudium 60 Stunden
Workload 90 Stunden

Inhalt
In der Vorlesung werden Gassensoren, die auf unterschiedlichsten, chemischen und physikalischen Prinzi-
pien basieren, vorgestellt und deren Funktionsweise, Herstellung und Anwendung vermittelt. Gassensoren
decken Massenmärkte mit sehr großen Stückzahlen ebenso ab, wie applikationsspezifische Sonderlösun-
gen. Folgende wichtige Grundlagen für die Gassensorik werden diskutiert:
■ Wechselwirkung Gas-Halbleiter, Adsorption, Elektrische Auswirkungen von adsorbierten Gasen
■ Wärmeleitung u. –kapazität, Paramagnetismus von Gasen
■ Schwingungs- und Rotationsspektren im IR, Druck- und Dopplerverbreiterung, Linienformen
■ Interferometer, Schwarzkörperstrahlung, Elektrochemie

Folgende Bauelemente und Messsysteme werden vorgestellt:

■ Metalloxidgassensoren, Lambdasonde, Gassensitive Feldeffekttransistoren
■ Wärmeleitfähigkeitssensoren, Pelistoren
■ Paramagnetischer Sauerstoffsensor
■ Optische Systeme (Laserspektrometer, Filterphotometer, Photoakustik, Wellenleiter), Fourier Transfor-
mations Infrarot Spektrometer
■ Elektrochemische Sensoren, Elektronische Nasen
Zu erbringende Prüfungsleistung
mündliche Abschlussprüfung (30 Minuten)

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
Begleitend zur Vorlesung wird ein Folien-Skriptum zur Verfügung gestellt.
Teilnahmevoraussetzung
Keine
Empfohlene Voraussetzung
Keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Lasers 11LE50MO-5266 PO 2021

Verantwortliche/r
PD Dr. Ingo Breunig

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Optische Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
It is recommended to have attended the "Micro-optics" lecture before atteding this course.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Lasers Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours

Qualifikationsziel
Lasers are versatile tools with a high relevance for microsystems engineering. In this course, the students
gain knowledge about different types of lasers and their respective applications. They achieve a deeper
understanding on the fundamentals of laser operation. Consequently, the participants will be able to

- Select an appropriate laser for a given task

- Better design microsystems including lasers
- Easier understand already existing systems
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Lasers 11LE50MO-5266 PO 2021
Veranstaltung
Lasers
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5266

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Optische Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 hours
Workload 90 hours

Inhalt
- Fundamentals of laser operation and basic setup
- Resonator concepts and miniaturization concepts
- Properties of different laser types (gas lasers, solid state lasers, semiconductor lasers)
- Important operation modes (single frequency, short laser pulses)
- Changing the color of laser light
- Applications (analytics, 3d shape determination,...)
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written examination (90 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
A. E. Siegman, "Lasers"
D. Meschede, "Optics, Light and Lasers"
A. Yariv, "Photonics: Optical Electronics in Modern Communications"
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
It is recommended to have attended the "Micro-optics" lecture before atteding this course.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Microscopy and Optical Image Formation 11LE50MO-5901 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Alexander Rohrbach

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 5.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Microscopy and Optical Image Formation Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 hours
Microscopy and Optical Image Formation Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
The students shall understand how light can be guided through optical systems, how optical information can
be described effectively by three-dimensional transfer functions in Fourier space, how the phase information
of a wave can be transferred into amplitude information to produce image contrast. Furthermore, the stu-
dents will learn to distinguish coherent and incoherent imaging techniques and learn about state-of-the-art
techniques with self-reconstructing beams, two photon excitation, fluorophore depletion by stimulated emis-
sion (STED) or multi-wavelength mixing as in coherent anti-Stokes Raman scattering (CARS).
This module is a application-oriented mixture of fundamental physics, conceivable mathematical theories
and numerous examples and images and tries to convey the latest state of this particular scientific disci-
pline, which will massively influence the areas of nanotechnology, biology and medicine in the next years.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Microscopy and Optical Image Formation 11LE50MO-5901 PO 2021
Veranstaltung
Microscopy and Optical Image Formation
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5901 ab 2020

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Physikalisches Institut-VB
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 75 hours
Selbststudium 105 hours
Workload 180 hours

Inhalt
1. Microscopy: History, Presence and Future
1.1 History
1.2 Present and Future Tasks
1.3 Literature

2. Wave- and Fourier-Optics

2.1 What is Light?
2.2 The change of Light in Matter
2.3 Helmholtz equation and plane waves
2.4 Wave functions in space and frequency domain
2.5 Superposition of waves: Interference and Coherence
2.6 Fourier-Optics
2.7 Wave propagation and diffraction

3. Three-dimensional optical imaging and information transfer

3.1 Imaging through lenses
3.2 Optical image formation – a spatial low-pass filtering
3.3 Optical resolution and optical transfer function
3.4 Coherent and incoherent imaging
3.5 Vectorial light focusing
3.6 Aberrations of the Point-Spread Function

4. Contrast enhancement by Fourier-filtering

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät
EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

4.1 Image formation with phase objects

4.2 Phase contrast according to Zernike
4.3 Dark field microscopy and amplitude spatial filters
4.4 Generating contrast by polarization
4.5 Holographic microscopy

5. Fluorescence – Basics and Techniques

5.1 Definitions and principles of light scattering
5.2 Fluorescence excitation und emission
5.3 Decay rates and fluorescence lifetime
5.4 Fluorescence Polarisation and Anisotropy

6. Point scanning and confocal microscopy

6.1 Image formation with point- and area-detectors
6.2 Confocal microscopy
6.3 4pi Microscopy

7. Microscopy in thick media

7.1 Photon diffusion in strongly scattering media
7.2 Light Sheet Microscopy
7.3 Microscopy with holographic scan beams
7.4 Lattice light-sheet microscopy

8. Nearfield and Evanescent Field Microscopy

8.1 The spectrum of near fields and far fields
8.2 Nearfield Scanning Optical Microscopy (NSOM)
8.3 Evanescent illumination and TIR- Microscopy

9. Super-resolution by structured illumination

9.1 Modulated illumination to increase resolution
9.2 Structured illumination for axial sectioning

10. Multi-Photon-Microscopy
10.1 Basics of nonlinear optics
10.2 Two-photon fluorescence microscopy
10.3 Second Harmonic Generation-Microscopy
10.4 CARS microscopy

11. Super-resolution imaging by switching single molecules

11.1 Position tracking
11.2 STED-Microscopy
11.3 PALM and STORM
11.4 Super-resolution optical fluctuation imaging (SOFI)

12. Appendix
12.1 Signal and Noise
12.2 Survey about super resolution microscopy
Zu erbringende Prüfungsleistung
Up to 6 students: oral exam (40 minutes)
7 or more students: written exam (120 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
see tutorials
Literatur
An additional scriptum with defined blank areas (white boxes), accompanying the lecture contents, will be
provided.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
none
Empfohlene Voraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Microscopy and Optical Image Formation 11LE50MO-5901 PO 2021
Veranstaltung
Microscopy and Optical Image Formation
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5901 ab 2020

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Physikalisches Institut-VB
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The tutorials help the student to get a more in depth and thorough understanding of the lecture. Here, a spe-
cial focus is put on the transfer of knowledge obtained in the lecture. To achieve this the students should
prepare weekly exercises and present them during the tutorial. Only difficult exercises may be presented by
the tutors.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written or oral exam, depending on the number of participants.
Zu erbringende Studienleistung
In order to meet the requirements of the "Studienleistung", the students have to treat a minimum of 60% of
the tutorial exercises, and additionally present minimum two exercises in the tutorials.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nano-Photonik – Optische Manipulation und Partikeldynamik 11LE50MO-5281 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Alexander Rohrbach

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 5.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 h
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Basic courses in mathematics and physics, foundations of optics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Nano-Photonik – Optische Manipulation Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 h
und Partikeldynamik
Nano-Photonik – Optische Manipulation Übung Wahlpflicht 2.00
und Partikeldynamik

Qualifikationsziel
You think basic research and applied research cannot be well combined? You think that directing a laser
pointer beam into a droplet of coffee results in infinitely complex physics, but explaining the physics therein
is not good for anything? You want to learn complex physics of technologies that is of social benefit? If yes,
this lecture can be interesting to you!

In this lecture you will learn

- the direct relation from the Maxwell equations and the electromagnetic force density to optical forces and
optical tweezers, which allowed to control molecular processes mainly in cellular biology and medicine
- how photons transfer momentum to microscopic objects and how scattered photons transfer information
about the state of the objects. In particular coherent light can encode extremely much information about the
state of small objects, which, driven by thermal forces, continuously change their position and orientation
relative to their environment. All this can be directly measured through µs-nm particle tracking.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

- how smallest probes can interact on a molecular scale with their environment, which can be analyzed by
correlations of changes in the probe’s states. In this way, the interaction of probes with living cells gives new
insights into cellular diseases. This includes not only bacterial and viral infections, but also exposure of par-
ticulate matter to lung cells.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nano-Photonik – Optische Manipulation und Partikeldynamik 11LE50MO-5281 PO 2021
Veranstaltung
Nano-Photonik – Optische Manipulation und Partikeldynamik
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5281

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 65 h
Selbststudium 115 h
Workload 180 h

Inhalt
1 Introduction
2 Light – Carrier of Information and Actor
3 Microscopy und Light Focussing
4 Light Scattering
5 Manipulation by Optical Forces
6 Particle Tracking beyond the Uncertainty Regime
7 Thermal Motion and Calibration
8 Photonic Force Microscopy
9 Applications in Biophysics and Medicine
10 Time-Multiplexing and holographic optical traps
11 Applications in Micro- and Nano-Technology
12 Appendix
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (120 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
see exercise
Literatur
Accompanying to the lecture printed lecture notes with defined gaps (white boxes) are distributed.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Basic courses in mathematics and physics, foundations of optics

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Nano-Photonik – Optische Manipulation und Partikeldynamik 11LE50MO-5281 PO 2021
Veranstaltung
Nano-Photonik – Optische Manipulation und Partikeldynamik
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5281

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
The tutorials help the students to get a more in depth and thorough understanding of the lecture. Here, a
special focus is put on the transfer of knowledge obtained in the lecture. To achieve this the students should
prepare weekly exercise and present them during the tutorial. Only difficult exercises are presented by the
tutors.
Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
The course work is considered succesfully passed when the student has submitted 60% of the exercises
and demonstrated the solution of two assignments during the exercise sessions.

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Basic courses in mathematics and physics, foundations of optics

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optik-Praktikum Grundlagen / Basic Optics Laboratory 11LE50MO-5213 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Hans Zappe

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
BSc. level in physics and mathematics; MSc. course Micro-optics.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Optik-Praktikum Grundlagen / Basic Optics Praktikum Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Laboratory

Qualifikationsziel
The Basic Optics Laboratory provides an opportunity for hands-on experimentation on the topics introduced
in the Micro-optics course. As a result, the students will develop expertise in the design, assembly and cha-
racterization of optical systems and become experienced in making optical measurements.
At the completion of the course, the successful student should possess:
■ the ability to analyze measurement data and estimate errors;
■ the ability to apply error propagation methods;
■ the ability to assemble and align optical systems;
■ a basic understanding of optical design methods;
■ the ability to apply optical measurement techniques;
■ the ability to apply analytical and graphical techniques for analyzing optical images.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Verwendbarkeit der Veranstaltung

Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optik-Praktikum Grundlagen / Basic Optics Laboratory 11LE50MO-5213 PO 2021
Veranstaltung
Optik-Praktikum Grundlagen / Basic Optics Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5213-2

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 hours
Workload 90 hours

Inhalt
One laboratory experiment has been conceived for each of the important topics addressed in the Micro-
optics course; a different experiment is performed each week of the laboratory course. The topics addres-
sed include geometric, reflective, diffractive and fiber optics as well as Fourier optics, interference, diffrac-
tion and polarization. To allow adequate representation and analysis of the measured experimental data, the
course begins with a compact mini-lecture on data analysis.
Table of contents:
1. Statistics and data analysis
2. Error propagation
3. Focal length of lenses
4. Focal length of lens systems
5. Construction of a microscope
6. Diffraction from gratings
7. Newton’s rings
8. Fiber optics
9. Construction of an interferometer
10.Polarization
Zu erbringende Prüfungsleistung
A laboratory report is required for each of the 8 experiments. The overall grade will be the average of the
grades of the individual laboratory reports. All experiments must be performed and a lab report written. In
case of illness an amended date for the missed experiment will be offered.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
In German:
■ E. Hecht: Optik
■ Walcher: Praktikum der Physik
■ Westphal: Physikalisches Praktikum
■ Geschke: Physikalisches Praktikum

In English:
■ H. Zappe: Fundamentals of Micro-optics
■ E. Hecht: Optics
■ B. Saleh & M. Teich: Fundamentals of Photonics
■ S. Sinziger & J. Jahns: Microoptics
■ W. Smith: Modern Optical Engineering
■ P. Hariharan: Basics of interferometry
■ R.R. Shannon: The art and science of optical design
■ D. Malacara: Optical shop testing
■ W.J. Smith: Practical optical system layout
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
BSc. level in physics and mathematics; MSc. course Micro-optics.
Bemerkung / Empfehlung
Participants in this laboratory course will work in groups on the ten experimental modules. Individual gui-
dance will be in English and German according to preference. Instruction manuals in English and German
will be made available.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optik-Praktikum Fortgeschritten / Advanced Optics Laboratory 11LE50MO-5280 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Hans Zappe

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 30 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
Successful participation in the 'Basic Optics Laboratory' is a prerequisite.
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Optik-Praktikum Fortgeschritten / Advanced Praktikum Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Optics Laboratory

Qualifikationsziel
The students will develop advanced expertise in the design, assembly and characterization of optical
systems and become experienced in understanding physics in optical systems.

At the completion of the course, the students will possess:

■ the ability to design optical systems
■ the ability to assemble and align complex optical systems
■ the ability to analyze the properties of optical systems
■ an insight into modern optical experiments
■ advanced knowledge in analyzing experimental results
■ an understanding of physics in optical setups
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optik-Praktikum Fortgeschritten / Advanced Optics Laboratory 11LE50MO-5280 PO 2021
Veranstaltung
Optik-Praktikum Fortgeschritten / Advanced Optics Laboratory
Veranstaltungsart Nummer
Praktikum 11LE50P-5217-2

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 30 hours
Selbststudium 60 hours
Workload 90 hours

Inhalt
This advanced Optics Lab Course provides an opportunity for hands-on experimentation on topics introdu-
ced in the different optics courses at IMTEK. The course is based on the knowledge acquired in the ‘Basic
Optics Laboratory’ which is a prerequisite.

Table of contents:
■ Anamorphic imaging
■ Dynamically addressable gratings
■ Whispering gallery resonators
■ Michelson interferometer and coherence
■ Three dimensional light distribution in a 6f system
■ Diode pumped solid state laser
Zu erbringende Prüfungsleistung
A laboratory report is required for each of the 6 experiments. The overall grade will be the average of the
grades of the individual laboratory reports. All experiments must be performed and a lab report written. In
case of illness an amended date for the missed experiment will be offered.
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
In German:

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ Naumann/Schröder: Bauelemente der Optik

■ E. Hecht: Optik
■ Walcher: Praktikum der Physik
■ Westphal: Physikalisches Praktikum
■ Geschke: Physikalisches Praktikum

In English:
■ H. Zappe: Fundamentals of Micro-optics
■ Goodman: Introduction to Fourier Optics
■ E. Hecht: Optics
■ B. Saleh & M. Teich: Fundamentals of Photonics
■ W. Smith: Modern Optical Engineering
■ P. Hariharan: Basics of interferometry
■ R.R. Shannon: The art and science of optical design
■ W.J. Smith: Practical optical system layout
Teilnahmevoraussetzung
Successful participation in the 'Basic Optics Laboratory' is a prerequisite
Empfohlene Voraussetzung
None
Bemerkung / Empfehlung
Participants in this laboratory course will work in groups on the ten experimental modules. Individual gui-
dance will be in English and German according to preference. Instruction manuals in English and German
will be made available.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optische Materialien / Optical Materials 11LE50MO-5113-2 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Karsten Buse

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Optische Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 4.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
It is strongly recommended to attend the Micro-optics lecture before attending this course.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Optische Materialien / Optical Materials - Vorlesung Pflicht 2.00 180 hours
Vorlesung
Optische Materialien / Optical Materials - Übung Wahlpflicht 2.00
Übung

Qualifikationsziel
Optical devices rely on optical materials that control the propagation (lenses, fibers), the polarization (half-
wave plates, Faraday rotators), or the frequency (nonlinear-optical materials) of light. In this course, we
will classify optical materials and cover the fundamentals of light-matter interaction as well as effects that
are widely used in many applications. Our goal is to enable the participants to understand important optical
devices from the material point-of-view and to qualify the attendees to select the right material for a particu-
lar application.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optische Materialien / Optical Materials 11LE50MO-5113-2 PO 2021
Veranstaltung
Optische Materialien / Optical Materials - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5113

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Optische Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 6
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Pflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 60 hours
Selbststudium 120 hours
Workload 180 hours

Inhalt
1. Classification of optical materials
2. Fabrication
3. Interaction of light and matter
4. Pulse propagation in dispersive materials
5. Birefringence
6. Faraday effect
7. Nonlinear-optical effects
8. Pockels effect
9. Kerr effect
10.Photorefractivity
11. Frequency conversion
12.Optical parametric oscillators
13.Optical whispering galleries
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (150 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Literatur
■ B. E. A. Saleh, M. C. Teich, „Grundlagen der Photonik“
■ A. Yariv, "Photonics: Optical Electronics in Modern Communications"
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
It is strongly recommended to attend the Micro-optics lecture before attending this course.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optische Materialien / Optical Materials 11LE50MO-5113-2 PO 2021
Veranstaltung
Optische Materialien / Optical Materials - Übung
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5113

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Optische Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz nur im Wintersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt

Zu erbringende Prüfungsleistung
See lecture
Zu erbringende Studienleistung
None
Teilnahmevoraussetzung
none

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optische MEMS / Optical MEMS 11LE50MO-5240 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Hans Zappe
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
It is strongly recommended to successfully complete the Micro-optics module before taking this course.

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Optische MEMS / Optical MEMS - Vorle- Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
sung

Qualifikationsziel
■ Theoretical understanding of fundamental optical phenomena exploited by the MOEMS technology
■ Acquisition of the essential skills necessary for the design, microfabrication, modeling, and characteriza-
tion of MEMS/MOEMS components
■ A comprehensive knowledge of MOEMS based commercial systems and a basic understanding of the
particular applications enabled by MOEMS
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optische MEMS / Optical MEMS 11LE50MO-5240 PO 2021
Veranstaltung
Optische MEMS / Optical MEMS - Vorlesung
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5240
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 hours
Workload 90 hours

Inhalt
Module1: MOEMS Fundamentals
• Optics Review
• MEMS Manufacturing Techniques
• Actuators and Position Sensing
• Design and Modeling
• Test and Characterization

Module 2: MOEMS Devices

• Micromirrors
• Tunable Gratings
• Active Microlenses
• Tunable Optical Resonators

Module 3: MOEMS Systems

• Display and Imaging Systems
• MOEMS in Telecommunication Networks
• Scientific Instrumentation
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written exam (100 minutes)
Zu erbringende Studienleistung
none
Literatur
MEMS and MOEMS Related Books

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering by N. Maluf

■ Microsystem Design by Stephen Senturia
■ Micromachined Transducers Sourcebook by G. Kovacs
■ Fundamentals of Microfabrication by Marc Madou
■ Micro Electro Mechanical System Design by J. Allen
■ Analysis and Design Principles of MEMS Devices by Minhang Bao
■ The MEMS Handbook by Mohamed Gad-el-Hak
■ MOEMS: Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems by Manouchehr E. Motamedi
■ Foundations of MEMS by Chang Liu
■ MEMS & Microsystems by Tai-Ran Hsu

Scientific Journals
■ Journal of Microelectromechanical Systems / IEEE
■ Journal of Micromechanics and Microengineering / IOP
■ Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS / SPIE
■ Microsystem Technologies / SPRINGER
■ Sensors and Actuators A-Physical / ELSEVIER
■ Applied Optics / OSA
■ Optics Letters / OSA
■ Optics Express / OSA
■ Applied Physics Letters / AIP
■ Journal of Biomedical Optics / SPIE
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
It is strongly recommended to successfully complete the Micro-optics module before taking this course.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optische Messverfahren: Grundlagen und Anwendungen in der 11LE50MO-5710 PO 2021

Praxis / Optical measurement techniques
Verantwortliche/r
Prof. Dr. Karsten Buse

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Optische Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Optische Messverfahren: Grundlagen und Seminar Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours
Anwendungen in der Praxis / Optical mea-
surement techniques - Seminar

Qualifikationsziel
The students gain knowledge about different optical measurement techniques for shape determination of
objects or for material characterization. They achieve a deeper understanding of the physical background.
Consequently, the participants are able to estimate the fundamental and technological limitations of the
methods presented. This enables the students to select an appropriate optical measurement technique for a
given task. Furthermore, the participants get trained in preparing and presenting excellent talks.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optische Messverfahren: Grundlagen und Anwendungen in der Praxis / 11LE50MO-5710 PO 2021
Optical measurement techniques
Veranstaltung
Optische Messverfahren: Grundlagen und Anwendungen in der Praxis / Optical measurement techniques -
Seminar
Veranstaltungsart Nummer
Seminar 11LE50V-5710

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Optische Systeme
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 hours
Workload 90 hours

Inhalt
During the first meeting the organizers will present a list of topics from which each active participant of the
seminar can select one. For each topic literature will be provided. Starting with this material the active parti-
cipants of the seminar will familiarize themselves with the content. This will be done by discussions as well
as by further literature search. Based on the accumulated knowledge, an outline for talks will be made and
finally the viewgraphs will be prepared. Then the talk will be presented in the seminar. Typical duration of
the talk is 30 minutes. After the talk there will be a discussion about the content. And as a second part of the
discussion technical issues of the talk will be analyzed. Finally, a short written summary of the talk will be
prepared. Talks can be given in German or English.

This semester, the following topics are available:

■ 3d-shape determination
■ Optical microresonators for sensing
■ Terahertz waves for material characterization
■ Photoacoustic spectroscopy
■ Laser spectroscopy
■ Fluorescence spectroscopy
■ and more

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Prüfungsleistung
Written composition and oral presentation
Zu erbringende Studienleistung
None
Literatur
The advisor will provide literature as a starting package.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optical metrology for quality assurance in sustainable 11LE68MO-4305 PO 2021

production
Verantwortliche/r
Dr. Daniel Carl

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz unregelmäßig

Teilnahmevoraussetzung
Keine
Empfohlene Voraussetzung
Fundamental knowledge about photonics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Optical metrology for quality assurance in Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90h
sustainable production

Qualifikationsziel
Metrology plays for the majority of manufacturers one of the most important roles in quality control, being
essential to avoid production of “non-good” parts and hence to stop wasting of energy, materials, and pro-
ductivity. Here optics helps to make efficient use of resources and to produce high-quality parts and goods
that finally really work for a long period of use. This are immediate benefits for a more sustainable world.
Since here economic and environmental aspects are in line, penetration of this technology is happening.
The key is to identify the chances and to develop the tailored, reliable optical metrology to do this job.

Within this context, the lecture gives insights into the fundamental principles and methods of optical metro-
logy for production control.

In detail, the students will learn

■ Basic principles of geometrical optical measurements,
■ Fundamentals of wave optics,
■ Operation of optical sensors,
■ Principles of digital data/image processing,
Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät
EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ Different optical measurement methods and their applications.

■ Schematics to identify opportunities to improve the efficiency of production processes by optical metro-
logy
Lernziele / Lernergebnisse

Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche Abschlussprüfung / written supervised exam.
Zu erbringende Studienleistung
Keine / none.
Benotung
Die Modulnote errechnet sich zu 100% aus der schriftlichen Abschlussprüfung.
Zusammensetzung der Modulnote
■ Master of Science im Fach Sustainable Systems Engineering, Prüfungsordnungsversion 2016: Die
Modulnote wird nach ECTS-Punkten einfach gewichtet in die Gesamtnote eingerechnet.
Literatur
- LEACH, Richard (Hg.). Optical measurement of surface topography. Berlin: Springer, 2011.
- Saleh, Bahaa EA, and Malvin Carl Teich. Fundamentals of photonics. John Wiley & Sons, 2019.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Wahlmodul für Studierende des Studiengangs / Elective module for students in the programme
■ Master of Science in Sustainable Systems Engineering
-Reslilienz / Resilience Engineering
■ Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and
Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this module in the concentration area
Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optical metrology for quality assurance in sustainable production 11LE68MO-4305 PO 2021
Veranstaltung
Optical metrology for quality assurance in sustainable production
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE68V-4305

Veranstalter
Institut für Nachhaltige Technische Systeme-VB
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 3
Angebotsfrequenz unregelmäßig
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 Stunden
Selbststudium 64 Stunden
Workload 90h

Inhalt
- Basic principles of geometrical optical measurements
- Fundamentals of wave optics
- Optical Sensors
- Overview of optical measurement principles and their applications
- Incoherent methods (Triangulation, Fringe projection, …)
- Coherent methods (Interferometry, Speckle, Holography, …)
- Confocal methods
- Examples for successful implementation of optical metrology in industry, with economical and sustainabi-
lity win-win situations

The lecture includes an excursion to production control laboratories at Fraunhofer IPM.

Qualifikationsziel
Metrology plays for the majority of manufacturers one of the most important roles in quality control, being
essential to avoid production of “non-good” parts and hence to stop wasting of energy, materials, and pro-
ductivity. Here optics helps to make efficient use of resources and to produce high-quality parts and goods
that finally really work for a long period of use. This are immediate benefits for a more sustainable world.
Since here economic and environmental aspects are in line, penetration of this technology is happening.
The key is to identify the chances and to develop the tailored, reliable optical metrology to do this job.
Within this context, the lecture gives insights into the fundamental principles and methods of optical metro-
logy for production control.

In detail, the students will learn

- Basic principles of geometrical optical measurements,

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

- Fundamentals of wave optics,

- Operation of optical sensors,
- Principles of digital data/image processing,
- Different optical measurement methods and their applications.
- Schematics to identify opportunities to improve the efficiency of production processes by optical metrology
Lernziele / Lernergebnisse
Metrology plays for the majority of manufacturers one of the most important roles in quality control, being
essential to avoid production of “non-good” parts and hence to stop wasting of energy, materials, and pro-
ductivity. Here optics helps to make efficient use of resources and to produce high-quality parts and goods
that finally really work for a long period of use. This are immediate benefits for a more sustainable world.
Since here economic and environmental aspects are in line, penetration of this technology is happening.
The key is to identify the chances and to develop the tailored, reliable optical metrology to do this job.
Within this context, the lecture gives insights into the fundamental principles and methods of optical metro-
logy for production control.
In detail, the students will learn
- Basic principles of geometrical optical measurements,
- Fundamentals of wave optics,
- Operation of optical sensors,
- Principles of digital data/image processing,
- Different optical measurement methods and their applications.
- Schematics to identify opportunities to improve the efficiency of production processes by optical metrology
Zu erbringende Prüfungsleistung
Written supervised exam.
Zu erbringende Studienleistung
Keine / None.
Literatur
- LEACH, Richard (Hg.). Optical measurement of surface topography. Berlin: Springer, 2011.
- Saleh, Bahaa EA, and Malvin Carl Teich. Fundamentals of photonics. John Wiley & Sons, 2019.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
Fundamental knowledge about photonics
Zielgruppe
M.Sc. SSE Students

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optoelektronik / Optoelectronics 11LE50MO-5229 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Hans Zappe

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of the module "Micro-optics"/"Mikrooptik".
Empfohlene Voraussetzung
BSc. level physics and mathematics;
MSc course Micro-optics

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Optoelektronik / Optoelectronic Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 hours

Qualifikationsziel
Optoelectronics is situated at the overlap between optics and electronics and forms the core of the field of
photonics. Lasers and LEDs are essential optical semiconductor devices which form the basis for techno-
logies ranging from world-wide high-speed optical data networks to advanced medical instrumentation to
high-efficiency indoor lighting.

This course covers the optoelectronics field and introduces the student to the physical principles underly-
ing lasers and quantum light emission; the III-V materials on which almost all optoelectronic components
are based; the structure and functionality of laser diodes, LEDs, photodetectors and modulators; and a wide
variety of applications for optoelectronic components.

At the completion of the course, the successful student should possess:

■ the ability to understand and analyze the essential properties of lasers;
■ the ability to understand and analyze the essential properties of photodetectors and modulators;
■ an understanding of the basics of III-V materials and their fabrication;

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

■ an awareness of the important physical phenomena on which optoelectronics relies;

■ a basic understanding of the physical processes underlying quantum electronics;
■ the ability to understand and apply optoelectronic components to microsystems applications;
■ the ability to research, plan, and write a technical paper of a standard required for a scientific publication.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Optoelektronik / Optoelectronics 11LE50MO-5229 PO 2021
Veranstaltung
Optoelektronik / Optoelectronic
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5229

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Mikrooptik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 26 hours
Selbststudium 64 Stunden
Workload 90 hours

Inhalt
The course considers optoelectronics from the basic photonic and electronic processes, through the materi-
als required, to the individual structures and functionality of the most essential optoelectronic components.

1. Light – wave properties

2. Light – quantum properties
3. Laser resonators
4. Materials and fabrication
5. Macroscopic lasers
6. Light-emitting diodes
7. Semiconductor lasers
8. Laser diode characterization
9. Photodetectors and solar cells
10. Optical modulators
11. Photonic integrated circuits
12. Magneto-, acousto- and non-linear optics
13. Applications in data communications, medicine, lighting and data storage
Zu erbringende Prüfungsleistung
To receive credit for the course, the student will be required to research, write and submit a three-page writ-
ten paper, using the style of international scientific journals, on a topic related to optoelectronics.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Zu erbringende Studienleistung
To receive credit for the course, the student must earn at least 25 points on the lecture quizzes (10 quizzes,
maximum 3 points each)
Literatur
■ A. Yariv: Optical Electronics
■ A. Siegmann: Lasers
■ H. Zappe: Laser Diode Microsystems
■ M. Fukuda: Optical Semiconductor Devices W.T. Silfvast: Laser Fundamentals
Teilnahmevoraussetzung
Successful completion of the module "Micro-optics"/"Mikrooptik".
Empfohlene Voraussetzung
BSc. level physics and mathematics;
MSc course Micro-optics

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Spektroskopische Methoden 11LE50MO-5717 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Jürgen Wöllenstein

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Dünnschicht-Gassensorik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 90 Stunden
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
keine

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Spektroskopische Methoden Vorlesung Wahlpflicht 3,0 2.00 90 Stun-
den

Qualifikationsziel
Das Ziel des Moduls ist die Vermittlung der physikalischen Grundlagen und Bauteile moderner spektrosko-
pischer Systeme. Dabei werden aufbauend auf den vermittelten Grundlagen typische Systeme, Modultech-
nologien und Anwendungen vorgestellt. Die Studierenden sollen die Funktionsweise und den Aufbau spek-
troskopischer Geräte verstehen und deren Anwendungsgebiete und Anforderungen erlernen.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Studierende der Masterstudiengänge Microsystems Engineering und Mikrosystemtechnik (PO 2021) kön-
nen dieses Modul im Vertiefungsbereich Photonik wählen.

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Spektroskopische Methoden 11LE50MO-5717 PO 2021
Veranstaltung
Spektroskopische Methoden
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5717

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Dünnschicht-Gassensorik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 3,0
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache deutsch
Präsenzstudium 26 Stunden
Selbststudium 64 Stunden
Workload 90 Stunden

Inhalt
Spektroskopische Anwendungen finden sich einer Vielzahl von Industrien, der Anwendungsorientierten- und
Grundlagenforschung. In der Vorlesung wird ein Verständnis der physikalischen Grundlagen der verschie-
denen Spektroskopietechniken und häufig verwendeten Komponenten vermittelt. Der Stand der Technik
der verschiedenen Systeme wird vorgestellt.
Zu erbringende Prüfungsleistung
Schriftliche oder mündliche Abschlussprüfung
Zu erbringende Studienleistung
keine
Literatur
Begleitend zur Vorlesung werden die verwendeten Folien zur Verfügung gestellt.
Teilnahmevoraussetzung
keine
Empfohlene Voraussetzung
keine

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Wellenoptik / Wave Optics 11LE50MO-5221 PO 2021

Verantwortliche/r
Prof. Dr. Alexander Rohrbach

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 5.0
Empfohlenes Fachsemester 2
Moduldauer 1 Semester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Workload 180 hours
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester

Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Zugehörige Veranstaltungen
Name Art P/WP ECTS SWS Workload
Wellenoptik / Wave Optics Vorlesung Wahlpflicht 6,0 3.00 180 hours
Wellenoptik / Wave Optics Übung Wahlpflicht 2.00

Qualifikationsziel
The students understand how light interacts with small structures and how optical systems guide light. They
know Maxwell's equations and the description of light as photon or wave, depending on the given problem.
Furthermore, they understand the close connection between spatial and temporal coherence, interference
and holography. The students also know the concepts of linear and non-linear light scattering, as well as
the most important plasmonic effects. In total, the students know how to shape light in three dimensions and
how optical problems that arise in research and development are solved.
Verwendbarkeit der Veranstaltung
Dieses Modul ist u.a. für Studierende des Bachelor of Science Mikrosystemtechnik (PO 2018), im Wahl-
pflichtbereich, Bereich MST verwendbar.
Students of the M.Sc. programmes Microsystems Engg. and Mikrosystemtechnik (PO 2021) can select this
module in the concentration area Photonics (Photonik).

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Wellenoptik / Wave Optics 11LE50MO-5221 PO 2021
Veranstaltung
Wellenoptik / Wave Optics
Veranstaltungsart Nummer
Vorlesung 11LE50V-5221

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Physikalisches Institut-VB
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte 6,0
Semesterwochenstunden (SWS) 3.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch
Präsenzstudium 65 hours
Selbststudium 115 hours
Workload 180 hours

Inhalt
--- in English ---

We do not really know what light is, although the concepts to describe light as waves or as particles usually
work well. It is a nontrivial task to explain the colorful intensity distributions we see every day, i.e. the inter-
actions of light with matter. Controlling light on the macroscale and the nanoscale is the key for generating
impact in research, development and industry. However, this requires a thorough understanding of wave
optics and its powerful theoretical instrument, the description by Fourier transforms.
This english lecture is accompanied by many live experiments and by weekly tutorials, where exercises are
discussed that students have to calculate from one week to the next.
The new lecture is a fusion of the two former lectures “Moderne Optik I & II“ and is now organized in 6 chap-
ters.

1. Introduction
Some motivation, literature and a bit of history

2. From Electromagnetic Theory to Optics

What is light ? Which illustrative pictures do the Maxwell equations provide? If matter, dielectric and metal-
lic, consists of coupled, damped springs (harmonic oscillators), how does matter depend on the frequency
of light ? What do the wave equation and the Helmholtz equation express and how can one handle waves in
position space and frequency space.

3. Fourier-Optics

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

How does a wave transforms position information into directional information ? Why can this be well des-
cribed by Fourier transformations in 1D, 2D and 3D ? What has this to do with linear optical system theory
including spatial frequency filters and the sampling theorem?

4. Wave-optical Light Propagation and Diffraction

Different methods are introduced of how to describe the propagation of ways in position space and fre-
quency space. We do the direct transfer from propagation to diffraction of light and momentum space. We
treat evanescent waves, thin diffracted objects, the propagation of light in inhomogeneous media and the
diffraction at gratings. This allows to discuss important active elements such as acousto-optic and spatial
light modulators. We end with adaptive optics and phase conjugation.

5. Interference, Coherence and Holography

We learn how a composition of k-vectors define the phases of interfering waves and the resulting stripe pat-
terns. The relative phases of each partial wave in space and time change the interference significantly and
define the coherence of light - these concepts will be discussed in detail. We learn how to write and read
phase information in holography.

6. Light Scattering and Plasmonics

The interaction of light with matter is based on particle scattering: we discuss the theoretical concepts of
light scattering on the background of Fourier theory. We expend these approaches to photon diffusion, nonli-
near optics, fluorescence and Raman scattering or scattering at semiconductor quantum dots - which are all
hot topics in modern Photonics. A big emphasis is put on the description of surface plasmons and particle
plasmons, where light can be extremely confined.

1. Introduction
1.1. Motivation
1.2. Literatur
1.3. A bit of history
2. From Electromagnetic Theory to Optics
2.1. What is Light?
2.2. The Maxwell-equations
2.3. The change of Light in Matter
2.4. Wave equation and Helmholtz equation
2.5. Waves in position space and frequency space
3. Fourier-Optics
3.1. Introduction
3.2. The Fourier-Transformation
3.3. Linear Optical Systems
3.4. Spatial frequency filters
3.5. The Sampling Theorem
4. Wave-optical Light Propagation and Diffraction
4.1. Paraxial light propagation by Gaussian beams
4.2. Wave Propagation and Diffraction
4.3. Evanescent waves
4.4. Diffraction at thin Phase and Amplitude Objects
4.5. Light Propagation in inhomogeneous Media
4.6. Diffraction at gratings
4.7. Acousto Optics
4.8. Spatial Light Modulators
4.9. Adaptive Optics and Phase Conjugation
5. Interference, coherence and holography
5.1. Some Basics
5.2. Interferometry
5.3. Foundations of Coherence Theory
5.4. Principles of Holography
6. Light Scattering and Plasmonics
5.5. Scattering of light at particles
5.6. Photon Diffusion
5.7. Basics of Nonlinear Optics

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

5.8. Fluorescence und Raman-scattering

--- in Deutsch ---

Wir wissen nicht wirklich was Licht ist, obwohl die physkalischen Konzepte um Licht als Welle oder als Par-
tikel zu beschreiben, sehr effizient funktionieren. Oft sind jedoch die quantitativen Beschreibungen von far-
benvollen Intensitätsverteilungen, die wir alltäglich sehen können, recht kompliziert zu erfassen. Hierbei ist
die Kontrolle von Licht, auf makroskopischer und nanoskaliger Ebene der Schlüssel zu eindrucksvollen
Ergebnissen und Entdeckungen, die sowohl in der Wissenschaft als auch in der Industrie erzielt werden.
In der Vorlesung „Wellenoptik“ werden wir theoretische Werkzeuge, wie beispielsweise die Fourier-Trans-
formation, detailliert besprechen und auf diese Weise Schritt für Schritt ein tiefgründiges Verständnis der
Wellenoptik erarbeiten. Die Vorlesung wird begleitet von vielen Experimenten und Übungen welche den
Vorlesungsstoff vertiefen und in wöchentlichen Tutoraten besprochen werden.

1. Einleitung
Motivation, weiterführende Literatur und eine kleine Historie.

2. Von der elektromagnetischen Theorie zur Optik

Was ist Licht? Welches illustrative Bild zeichnen die Maxwell Gleichungen? Wenn dielektrische und metalli-
sche Materie als gedämpfte Federn beschrieben werden kann, wie ist der Zusammenhang zwischen Mate-
rial und der Wellenlänge des einfallenden Lichts? Was sagen die Wellengleichung und die Helmholtz Glei-
chung aus? Wie können Wellen im Orts- und im Frequenzraum beschrieben werden?

3. Fourier-Optik
Wie verändert eine Welle eine Positionsinformation in eine Richtungsinformation? Was ist die Beziehung
zur Fourier-Transformationen in 1D, 2D und 3D? Wie steht dies im Zusammenhang mit linearer optischer
Systemtheorie, Raumfiltern und dem Abtasttheorem?

4. Wellenoptik, Lichtausbreitung und Beugung

Verschiedene Methoden werden vorgestellt wie die Lichtausbreitung im Orts- und im Frequenzraum
beschrieben werden können. Wir stellen den direkten Transfer zwischen Lichtausbreitung und Beugung von
Licht her. Wir behandeln evaneszente Wellen, dünne beugende Objekte, die Lichtausbreitung in inhomoge-
nen Medien als auch die Impulserhaltung an optischen Gittern. Dies ermöglicht uns wichtige aktive optische
Elemente wie zum Beispiel akusto-optische Modulatoren und SLMs zu diskutieren. Dieses Kapitel endet mit
den Themen, adaptive Optik und Phasenkonjugation.

5. Interferenz, Kohärent und Holographie

Wir lernen wie die Komposition von k-Vektoren die Phase interferierender Wellen und die daraus resultie-
renden Streifenmuster definieren. Die relative Phase einer jeden Teilwelle in Raum und Zeit verändern hier-
bei die Interferenz signifikant und definieren die Kohärenz des Lichts; Diese Konzepte werden detailliert dis-
kutiert. Wir lernen wie Phaseninformation mittels Holographie gelesen und geschrieben werden kann.

6. Lichtstreuung und Plasmonik

Die Interaktion von Licht mit Materie basiert auf der Partikel-Streuung: Wie diskutieren die theoretischen
Konzepte der Lichtstreuung im Bezug auf die Fourier-Theorie. Wir erweitern diese Herangehensweise zur
Photonendiffusion, nichtlinearer Optik, Fluoreszenz und Raman Streuung als auch Streuung an Halblei-
tern – alles brandaktuelle Themen in der modernen Photonik. Ein großer Schwerpunkt wird hierbei auf die
Beschreibung von Oberflächenplasmonen und Partikelplasmonen gelegt. Hier kann Licht räumlich, extrem
beschränkt werden.

1. Einleitung
1.1. Motivation
1.2. Literatur
1.3. Etwas Historie
2. Von der elektromagnetischen Theorie zur Optik
2.1. Was ist Licht?
2.2. Die Maxwell-Gleichungen
2.3. Die Veränderung von Licht in Materie
2.4. Wellengleichung & Helmholtzgleichung
2.5. Wellen im Orts- und Frequenzraum

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

3. Fourier-Optik
3.1. Einleitung
3.2. Die Fourier-Transformation
3.3. Linear-optische Systeme
3.4. Raumfilter
3.5. Das Sampling Theorem
4. Wellenoptische Lichtausbreitung und Beugung
4.1. Paraxiale Lichtausbreitung und Gauss-Strahlen
4.2. Wellenausbreitung und Beugung
4.3. Evaneszente Wellen
4.4. Beugung an dünnen Phasen- und Amplitudenobjekten
4.5. Lichtausbreitung in inhomogenen Medien
4.6. Beugung an gittern
4.7. Acousto-Optik
4.8. Spatiale Lichtmodulatoren
4.9. Adaptive Optik und Phasenkonjugation
5. Interferenz, Kohärenz und Holographie
5.1. Grundlagen
5.2. Interferometrie
5.3. Grundlagen der Kohärenz-Theorie
5.4. Prinzipien der Holographie
6. Lichtstreuung und Plasmonik
5.5. Streuung von Licht an Partikeln
5.6. Photonen Diffusion
5.7. Grundlagen nichtlinearer Optik
5.8. Fluoreszenz und Raman-Streuung
5.9. Fluoreszierende Quantum-Dots
5.10. Oberflächenplasmone and Partikelplasmone

Zu erbringende Prüfungsleistung
For 6 or less students oral exam (40 min.), for 7 or more students written exam (120 min.)
Zu erbringende Studienleistung
see exercise
Literatur
Lecture notes with defined voids (white boxes) will be provided.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH
Master of Science in Microsystems Engineering PO 2021

Name des Moduls Nummer des Moduls

Wellenoptik / Wave Optics 11LE50MO-5221 PO 2021
Veranstaltung
Wellenoptik / Wave Optics
Veranstaltungsart Nummer
Übung 11LE50Ü-5221

Veranstalter
Institut für Mikrosystemtechnik, Bio- und Nano-Photonik
Fachbereich / Fakultät
Physikalisches Institut-VB
Technische Fakultät
Institut für Mikrosystemtechnik

ECTS-Punkte
Semesterwochenstunden (SWS) 2.0
Empfohlenes Fachsemester 4
Angebotsfrequenz nur im Sommersemester
Pflicht/Wahlpflicht (P/WP) Wahlpflicht
Lehrsprache englisch

Inhalt
During the exercise sessions the content of the lecture will be discussed in-depth and consolidated. In par-
ticular, students will be taught to transfer the acquired knowledge. The weekly exercise sheets have to be
solved within a week and during the exercise sessions students will take turns in demonstrating their solu-
tions on the blackboard, or - in the case of difficult assignments - the solution will be demonstrated by the
tutor.
Zu erbringende Prüfungsleistung
see lecture
Zu erbringende Studienleistung
The course work is considered succesfully passed when the student has submitted 60% of the exercises
and demonstrated the solution of two assignments during the exercise sessions.
Teilnahmevoraussetzung
None
Empfohlene Voraussetzung
None

Stand: 26. April 2021 Technische Fakultät

EXA 830 (08/2018) MODULHANDBUCH