ﺑﺴﻤﻪ ﺗﻌﺎﻟﯽ
ﻃﺮاﺣﯽ ﻟﻨﺰ Tessar
ﺑﺎ اﺳﺘﻔﺎده از ﻧﺮم اﻓﺰار Zemax
ﺣﺴﯿﻦ ﺧﺎدم
90415017
1
ﻣﻘﺪﻣﻪ
Tessarﯾﮏ ﻟﻨﺰ ﻋﮑﺎﺳﯽ ﺧﯿﻠﯽ ﻣﻌﺮوف اﺳﺖ ﮐﻪ آن را Paul Rudolphدر ﺳﺎل 1902ﺳﺎﺧﺘﻪ اﺳﺖ .ﭼﻮن Rudolphاﯾﻦ
ﻟﻨﺰ را در ﺷﺮﮐﺖ Zeissﺳﺎﺧﺖ و اﯾﻦ ﻟﻨﺰ ﺑﻪ ﻧﺎم اﯾﻦ ﺷﺮﮐﺖ ﺛﺒﺖ اﺧﺘﺮاع ﮔﺮﻓﺖ ،اﯾﻦ ﻟﻨﺰ را ﻣﻌﻤﻮﻻ ﺑﺎ ﻧﺎم Zeiss Tessarﻣﯽ
ﺷﻨﺎﺳﻨﺪ.
ﻟﻨﺰ Tessarاز ﭼﻬﺎر اﻟﻤﺎن اﭘﺘﯿﮑﯽ ﮐﻪ در ﺳﻪ ﮔﺮوه ﺗﺮﺗﯿﺐ ﯾﺎﻓﺘﻪ اﻧﺪ ﺳﺎﺧﺘﻪ ﺷﺪه اﺳﺖ.
واژه ي Tessarاز ﮐﻠﻤﻪ ي ﯾﻮﻧﺎﻧﯽ τέσσεραﮔﺮﻓﺘﻪ ﺷﺪه ﮐﻪ ﺑﻪ ﻣﻌﻨﺎي "ﭼﻬﺎر" اﺳﺖ.
f f
و ( .ﺑﻌﺪﻫﺎ ﻟﻨﺰ Tessarﺑﺎ اوﻟﯿﻦ ﻟﻨﺰ Tessarﮐﻪ ﺑﻪ وﺳﯿﻠﻪ ي Rudolphﺳﺎﺧﺘﻪ ﺷﺪ ،ﺣﺪاﮐﺜﺮ ﻗﻄﺮ روزﻧﻪ را داﺷﺖ)
4. 5 6.3
f
ﻧﯿﺰ ﺳﺎﺧﺘﻪ ﺷﺪ.
2. 8
ﻟﻨﺰ Tessarﻣﻌﻤﻮﻻ در دورﺑﯿﻦ ﻫﺎي ﻋﮑﺎﺳﯽ ﺑﺎ ﮐﯿﻔﯿﺖ ﻫﺎي ﻣﺘﻮﺳﻂ ﺑﻪ ﮐﺎر ﮔﺮﻓﺘﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد .اﯾﻦ ﻟﻨﺰ ﻣﯽ ﺗﻮاﻧﺪ ﮐﺎرﺑﺮد اﭘﺘﯿﮑﯽ
ﺑﺴﯿﺎر ﻣﻨﺎﺳﺒﯽ ﺑﺎ ﻗﯿﻤﺖ ﻣﻨﺎﺳﺐ داﺷﺘﻪ ﺑﺎﺷﺪ.
ﺑﺴﯿﺎري از ﻟﻨﺰﻫﺎ از ﺟﻤﻠﻪ ﻟﻨﺰ Tessarاﯾﻦ ﻗﺎﺑﻠﯿﺖ را دارﻧﺪ ﮐﻪ ﺑﺎ ﺣﺮﮐﺖ دادن اﻟﻤﺎن ﻫﺎي اﭘﺘﯿﮑﯽ ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﻫﻢ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺷﻮﻧﺪ .از
آﻧﺠﺎﯾﯽ ﮐﻪ اﻟﻤﺎن ﺟﻠﻮﯾﯽ ﻟﻨﺰ Tessarﺗﻮاﻧﯽ ﻣﻌﺎدل ﺳﻪ ﺑﺮاﺑﺮ ﺗﻮان ﮐﻞ ﺳﯿﺴﺘﻢ دارد ،ﺑﺮاي ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺷﺪن روي ﯾﮏ ﻧﻔﻄﻪ ي ﺧﺎص،
اﻟﻤﺎن ﺟﻠﻮ ﺑﺎﯾﺪ ﯾﮏ ﺳﻮم دﯾﮕﺮ اﻟﻤﺎن ﻫﺎ ﺟﺎﺑﺠﺎ ﺷﻮد .ﻓﻀﺎي ﺧﺎﻟﯽ ﺑﯿﻦ اﻟﻤﺎن ﻫﺎي اول و دوم اﯾﻦ اﺟﺎزه را ﻣﯽ دﻫﺪ ﮐﻪ ﺳﯿﺴﺘﻢ
ﻓﻘﻂ ﺑﺎ ﺣﺮﮐﺖ دادن اﻟﻤﺎن ﺟﻠﻮﯾﯽ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺷﻮد.
رﺳﻢ ﻫﻨﺪﺳﯽ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺑﻮﺳﯿﻠﻪ Zemax
اﺑﺘﺪا ﻣﺸﺨﺼﺎت ﻇﺎﻫﺮي ﺳﯿﺴﺘﻢ و ﺣﺪود ﺗﻘﺮﯾﺒﯽ ﭘﺎراﻣﺘﺮﻫﺎ را از ﺷﺮﮐﺖ ﺳﺎزﻧﺪه و ﺣﻞ ﺗﻘﺮﯾﺒﯽ ﺑﺮاي ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺷﺪن ﯾﮏ object
ﺑﻮﺳﯿﻠﻪ ي ﺳﯿﺴﺘﻢ را ﺑﺎ اﺳﺘﻔﺎده از ﯾﮏ ﺣﻞ اﭘﺘﯿﮑﯽ ﺳﺎده ﺑﺪﺳﺖ ﻣﯽ آورﯾﻢ.
اﯾﻦ ﻣﺸﺨﺼﺎت ﻇﺎﻫﺮي و ﭘﺎراﻣﺘﺮﻫﺎي ﺗﻘﺮﯾﺒﯽ را ﺑﻪ ﺻﻮرت زﯾﺮ در Data Tableوارد ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ:
2
ﻻزم ﺑﻪ ذﮐﺮ اﺳﺖ ﮐﻪ ﻣﻘﺎدﯾﺮ ﻓﻮق ﺑﺴﯿﺎر ﺗﻘﺮﯾﺒﯽ ﻫﺴﺘﻨﺪ .ﺣﺘﯽ در ﺑﺴﯿﺎري از ﻣﺴﺎﻟﻪ ﻫﺎ ﻧﺒﺎﯾﺪ اﻧﺘﻈﺎر داﺷﺖ ﺣﻞ اوﻟﯿﻪ ،ﺟﻮاب
ﻣﻄﻠﻮﺑﯽ را ﺑﺪﺳﺖ دﻫﺪ .ﺣﻞ دﻗﯿﻖ از ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺑﺮ اﺳﺎس ﺗﻮاﺑﻊ ﻣﻮردﻧﻈﺮ ﺑﺪﺳﺖ ﻣﯽ آﯾﺪ ﮐﻪ در اداﻣﻪ ﺑﺤﺚ ﻣﯽ ﺷﻮد.
ﺣﺎل ﺑﺎ اﻧﺘﺨﺎب ﮔﺰﯾﻨﻪ ي 3D Layoutاز ﭘﻨﺠﺮه ي Analysisو ﺷﺎﺧﻪ ي Layoutﺷﮑﻞ اوﻟﯿﻪ ي ﺳﯿﺴﺘﻢ را رﺳﻢ ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ:
3
ﻣﻼﺣﻈﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺑﺎ ﭘﺎراﻣﺘﺮﻫﺎي داده ﺷﺪه ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﻧﯿﺴﺖ.
ﺑﺮاي ﻣﺸﺎﻫﺪه ي ﺑﻬﺘﺮ traceﭘﺮﺗﻮﻫﺎ از ﭘﻨﺠﺮه ي systemو ﮔﺰﯾﻨﻪ ي fieldﭼﻨﺪ ﭘﺮﺗﻮي ﻣﺠﺰا را رﺳﻢ ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ:
ﺣﺎل ﻣﺴﯿﺮ ﭘﺮﺗﻮﻫﺎ را ﺑﺎ updateﮐﺮدن ﭘﻨﺠﺮه ي ﮔﺮاف رﺳﻢ ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ:
4
ﻣﻼﺣﻈﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺑﺮاي ﻓﺎﺻﻠﻪ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﻣﻮﺛﺮ ) (EFFLﺑﻪ ﻫﯿﭻ وﺟﻪ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﻧﯿﺴﺖ.
ﻧﮑﺘﻪ ي ﻣﻬﻢ در ﻃﺮاﺣﯽ ﻫﺮ ﺳﯿﺴﺘﻢ اﭘﺘﯿﮑﯽ اﻧﺘﺨﺎب ﺳﻄﺢ STOPاﺳﺖ .ﺳﻄﺢ STOPﺳﻄﺤﯽ اﺳﺖ ﮐﻪ ﻣﺮدﻣﮏ
ورودي) (Entrance Pupilﺑﺎ دﻫﻨﻪ اي ﻣﺸﺨﺺ) (Aperture Diameterروي آن ﻗﺮار ﻣﯽ ﮔﯿﺮد .ﺑﺴﺘﻪ ﺑﻪ اﯾﻨﮑﻪ ﮐﺪام
ﺳﻄﺢ STOPاﻧﺘﺨﺎب ﺷﻮد و ﺑﺴﺘﻪ ﺑﻪ اﯾﻨﮑﻪ ﻗﻄﺮ دﻫﻨﻪ ﭼﻘﺪر ﺑﺎﺷﺪ ،ﻣﯿﺰان ﻧﻮر ﮔﯿﺮي ﺳﯿﺴﺘﻢ و در ﻧﺘﯿﺠﻪ ﺗﻮزﯾﻊ ﺷﺪت ﺗﺼﻮﯾﺮ
ﺗﻐﯿﯿﺮ ﻣﯽ ﮐﻨﺪ.
در ﻃﺮاﺣﯽ اﯾﻦ ﻟﻨﺰ ﭼﻮن ﻣﯽ ﺧﻮاﻫﯿﻢ ﻓﻘﻂ ﭘﺮﺗﻮﻫﺎﯾﯽ را ﻣﺪﻧﻈﺮ ﻗﺮار دﻫﯿﻢ ﮐﻪ از doubletاول وارد doubletدوم وارد ﻣﯽ
ﺷﻮﻧﺪ ،آﺧﺮﯾﻦ ﺳﻄﺢ doubletاول را ﺑﻪ ﻋﻨﻮان STOPدر ﻧﻈﺮ ﻣﯽ ﮔﯿﺮﯾﻢ.روي ﺳﻄﺢ ﻣﻮرد ﻧﻈﺮ داﺑﻞ ﮐﻠﯿﮏ ﮐﺮده و ﺑﺎ اﻧﺘﺨﺎب
ﮔﺰﯾﻨﻪ ي Typeﮔﺰﯾﻨﻪ ي Make Surface Stopرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
از ﻃﺮﻓﯽ ﺑﺎﯾﺪ ﺗﻮﺟﻪ داﺷﺖ ﮐﻪ ﭼﻮن ﻣﯽ ﺧﻮاﻫﯿﻢ ﭘﺮﺗﻮﻫﺎﯾﯽ را ﺗﻌﻘﯿﺐ ﮐﻨﯿﻢ ﮐﻪ از doubletاول وارد doubletدوم ﻣﯽ
ﺷﻮﻧﺪ ،ﻗﻄﺮ ﻣﺮدﻣﮏ ورودي را ﺗﻘﺮﯾﺒﺎ ﺑﺮاﺑﺮ ﺑﺎ ﻗﻄﺮ اﻟﻤﺎن ﺑﻌﺪي درﻧﻈﺮ ﻣﯽ ﮔﯿﺮﯾﻢ .ﺑﺮاي اﯾﻦ ﻣﻨﻈﻮر از ﭘﻨﺠﺮه ي Systemﮔﺰﯾﻨﻪ
ي Generalرا اﻧﺘﺨﺎب ﮐﺮده و ﺑﺎ اﻧﺘﺨﺎب Apertureﻣﯿﺰان Aperture Valueﯾﻌﻨﯽ ﺷﻌﺎع دﻫﻨﻪ را ﺗﻌﯿﯿﻦ ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
5
در ﻗﺴﻤﺖ Aperture Valueﮔﺰﯾﻨﻪ ي Image Space F/#را اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .در ﺣﺎﻟﺖ ﭘﯿﺶ ﻓﺮض ﮔﺰﯾﻨﻪ ي
entrance pupil diameterﻓﻌﺎل اﺳﺖ .ﺗﻔﺎوت اﯾﻦ دو ﮔﺰﯾﻨﻪ در اﯾﻦ اﺳﺖ ﮐﻪ ﺣﺎﻟﺖ F/#از ﺗﻤﺎم ﻣﺮدﻣﮏ ورودي ﺑﺮاي
ﻧﻮردﻫﯽ اﺳﺘﻔﺎده ﻣﯽ ﮐﻨﺪ اﻣﺎ pupil diameterﻧﻪ.
The image part with relationship ID rId19 was not found in the file.
ﺑﺮاي ﻣﺸﺎﻫﺪه ي ﺑﻬﺘﺮ از ﺷﺎﺧﻪ ي Layoutﮔﺰﯾﻨﻪ ي Shaded Modelرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ
6
آﺧﺮﯾﻦ ﺳﻄﺢ doubletاول ﺑﻪ وﺿﻮح ﻣﺸﺨﺺ اﺳﺖ .داﯾﺮه ي ﻗﺮﻣﺰ رﻧﮓ ﻫﻤﺎن ﻣﺮدﻣﮏ ورودي اﺳﺖ.
ﻗﺒﻞ از اﯾﻨﮑﻪ وارد ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي) (optimizationﺷﻮﯾﻢ ،اﺑﺘﺪا ﭼﻨﺪ آﻧﺎﻟﯿﺰ از ﺳﯿﺴﺘﻢ ﻃﺮاﺣﯽ ﺷﺪه را در ﻧﻈﺮ ﻣﯽ ﮔﯿﺮﯾﻢ .در اﻧﺘﻬﺎ
اﯾﻦ آﻧﺎﻟﯿﺰﻫﺎ را ﺑﺎ ﺣﺎﻟﺖ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﺷﺪه ﻣﻘﺎﯾﺴﻪ ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
آﻧﺎﻟﯿﺰ اوﻟﯿﻪ ي ﺳﯿﺴﺘﻢ
) Aberration -1اﺑﯿﺮاﻫﯽ(
ﺑﺮاي ﻣﺸﺎﻫﺪه ي ﺗﺤﻠﯿﻠﯽ از اﺑﯿﺮاﻫﯽ ﻫﺎي ﻣﺨﺘﻠﻒ ﺳﯿﺴﺘﻢ از ﭘﻨﺠﺮه Analysisﮔﺰﯾﻨﻪ ي Fansرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .از اﯾﻦ ﺟﺎ
ﻣﯽ ﺗﻮاﻧﯿﻢ اﺑﯿﺮاﻫﯽ ﻣﺪ ﻧﻈﺮﻣﺎن را ﻣﺸﺎﻫﺪه ﮐﻨﯿﻢ.
7
اﺑﺘﺪا از Systemﮔﺰﯾﻨﻪ ي Wavelengthرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ ﺗﺎ ﻃﻮل ﻣﻮج ﻫﺎي ﺑﮑﺎر رﻓﺘﻪ در ﺳﯿﺴﺘﻢ را ﺗﻌﯿﯿﻦ ﮐﻨﯿﻢ .از
ﭘﻨﺠﺮه اي ﮐﻪ ﺑﺎز ﻣﯽ ﺷﻮد ﮔﺰﯾﻨﻪ ي visibleاﻧﺘﻬﺎي ﭘﻨﺠﺮه را اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺳﻪ ﻃﻮل ﻣﻮج RGBرا ﻟﺤﺎظ ﻣﯽ ﮐﻨﺪ.
:Ray Aberrationﺑﺮاي ﻣﺸﺎﻫﺪه ي اﺑﯿﺮاﻫﯽ ﭘﺮﺗﻮ اﯾﻦ ﮔﺰﯾﻨﻪ را اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .ﺑﻪ ﺗﻌﺪاد fieldﻫﺎﯾﯽ ﮐﻪ ﺑﺮاي ﺳﯿﺴﺘﻢ
ﺗﻌﺮﯾﻒ ﮐﺮده اﯾﻢ ،ﻧﻤﻮدار ﻫﺎﯾﯽ ﻇﺎﻫﺮ ﻣﯽ ﺷﻮد.
8
ﻫﺮﭼﻪ اﯾﻦ ﻧﻤﻮدارﻫﺎ ﺧﻄﯽ ﺗﺮ ﺑﺎﺷﻨﺪ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﮐﯿﻔﯿﺖ ﺗﺼﻮﯾﺮ ﺑﻬﺘﺮي دارد و ﻫﺮﭼﻪ ﻣﻨﺤﻨﯽ ﻫﺎ ﻫﻢ ﭘﻮﺷﺎﻧﯽ ﺑﯿﺸﺘﺮي داﺷﺘﻪ ﺑﺎﺷﻨﺪ)ﺑﺮ
ﻫﻢ ﻣﻨﻄﺒﻖ ﺗﺮ ﺑﺎﺷﻨﺪ( اﺑﯿﺮاﻫﯽ رﻧﮕﯽ ﮐﻤﺘﺮ اﺳﺖ.
Exو Eyﺑﻪ ﺗﺮﺗﯿﺐ اﺑﯿﺮاﻫﯽ در راﺳﺘﺎي xو yﻣﯽ ﺑﺎﺷﺪ .و Pxو Pyﻓﺎﺻﻠﻪ ي ﭘﺮﺗﻮ از ﻣﺮﮐﺰ ﻣﺮدﻣﮏ ورودي در راﺳﺘﺎي xو y
اﺳﺖ .اﯾﻦ ﻓﺎﺻﻠﻪ ﻫﺎ ﺑﻪ 1ﺑﻬﻨﺠﺎر ﺷﺪه اﻧﺪ .ﯾﻌﻨﯽ اﮔﺮ Px=1ﭘﺮﺗﻮ از ﻟﺒﻪ ي ﻣﺮدﻣﮏ وارد ﺷﺪه و اﮔﺮ Px=0ﭘﺮﺗﻮ از ﻣﺮﮐﺰ وارد ﺷﺪه
اﺳﺖ.
ﭼﻮن در راﺳﺘﺎي xاﺑﯿﺮاﻫﯽ ﻣﺘﻘﺎرن اﺳﺖ ،اﺑﯿﺮاﻫﯽ ﮐﺮوي .ﭼﻮن در راﺳﺘﺎي yﻧﺎﻣﺘﻘﺎرن اﺳﺖ اﺑﯿﺮاﻫﯽ ﮐﻤﺎ دارﯾﻢ.
:Optical Pathﺑﺎ اﻧﺘﺨﺎب اﯾﻦ ﮔﺰﯾﻨﻪ ﻣﻮج ﺑﺮ ﺣﺴﺐ ﻣﺮدﻣﮏ ورودي رﺳﻢ ﻣﯽ ﺷﻮد.
9
از روي اﯾﻦ ﻧﻤﻮدار ﻣﻼﺣﻈﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ در ﻓﺎﺻﻠﻪ ي ﯾﮏ ﭘﻨﺠﻢ ﻣﺮدﻣﮏ ورودي ﮐﯿﻔﯿﺖ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺗﻘﺮﯾﺒﺎ ﺧﻮب اﺳﺖ.
:Spot Diagram-2اﯾﻦ ﮔﺰﯾﻨﻪ ﮐﻪ در Analysisاﺳﺖ ،ﺣﺎﻻت ﻟﮑﻪ ي روي ﺗﺼﻮﯾﺮ رﺳﻢ ﻣﯽ ﺷﻮﻧﺪ .اﺑﺘﺪا ﺣﺎﻟﺖ Standard
را اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ:
10
ﺑﯿﻀﯽ ﺑﻮدن ﻧﺸﺎﻧﻪ ي اﺑﯿﺮاﻫﯽ آﺳﺘﯿﮕﻤﺎﺗﯿﺴﻢ و ﻗﻄﺮه اي ﺷﺪن ﺷﮑﻞ )ﮐﺸﯿﺪه ﺷﺪن دﻧﺒﺎﻟﻪ دار( ﻧﺸﺎﻧﻪ اﺑﯿﺮاﻫﯽ ﮐﻤﺎ اﺳﺖ.
ﺑﺎ اﺳﺘﻔﺎده از through focusﺗﻤﺎم دﯾﺎﮔﺮام ﻫﺎي ﻣﺮﺑﻮط ﺑﻪ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺑﺮ اﺳﺎس ﻓﺎﺻﻠﻪ روي ﺻﻔﺤﻪ ي objectرﺳﻢ ﻣﯽ ﺷﻮﻧﺪ:
11
ﺑﺎ اﺳﺘﻔﺎده از Matrix Spot Diagramﻣﯽ ﺗﻮان ﺗﺼﻮﯾﺮ را ﺑﺮ ﺣﺴﺐ زواﯾﺎي ﻣﺨﺘﻠﻒ ﺑﺮاي fieldﻫﺎﯾﯽ ﮐﻪ اﺑﺘﺪا ﺗﻌﺮﯾﻒ ﮐﺮده
اﯾﻢ رﺳﻢ ﮐﻨﯿﻢ:
ﻋﻼوه ﺑﺮ ﺣﺎﻻت ﻣﺨﺘﻠﻒ ﺳﯿﺴﺘﻢ ،ﻣﯽ ﺗﻮان ﻧﻤﻮدار ﺗﻮزﯾﻊ ﺷﺪت را ﻧﯿﺰ ﺑﺮاي ﺳﯿﺴﺘﻢ رﺳﻢ ﮐﺮد.
)Illumination-3ﺷﺪت( :از ﭘﻨﺠﺮه ي Analysisﮔﺰﯾﻨﻪ ي Illuminationرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .رﺳﻢ ﻫﺎي ﻣﺨﺘﻠﻔﯽ وﺟﻮد
دارد ﮐﻪ ﺑﺴﺘﻪ ﺑﻪ ﻧﯿﺎز ﻫﺮ ﮐﺪام را ﮐﻪ ﺧﻮاﺳﺘﯿﻢ رﺳﻢ ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
ﺑﺮاي ﻣﺜﺎل اﮔﺮ Illumination 2D surfaceرا اﻧﺘﺨﺎب ﮐﻨﯿﻢ دارﯾﻢ:
12
ﻣﻼﺣﻈﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ ﺗﺼﻮﯾﺮ ﻋﻠﯿﺮﻏﻢ ﺗﺸﺨﯿﺺ ﭘﺬﯾﺮي ،وﺿﻮح ﻣﻄﻠﻮب را ﻧﺪارد.
ﯾﺎ اﮔﺮ ﮔﺰﯾﻨﻪ ي Illumination XY Scanرا اﻧﺘﺨﺎب ﮐﻨﯿﻢ ﭼﯿﺰي ﮐﻪ ﺑﺪﺳﺖ ﻣﯽ آﯾﺪ ،ﺗﻮزﯾﻊ ﺷﺪت ﻧﺴﺒﯽ ﺑﺮ ﺣﺴﺐ ﻣﮑﺎن در
ﺻﻔﺤﻪ ي XYاﺳﺖ:
13
در ﮔﺮاف ﺑﺪﺳﺖ آﻣﺪه ﮐﻪ ﺑﺎ اﻏﺮاق ﺷﮑﻠﯽ ﺗﻘﺮﯾﺒﺎ ﮔﺎوﺳﯽ دارد اﮔﺮ از settingﺗﻌﺪاد smoothingرا زﯾﺎد ﮐﻨﯿﻢ دارﯾﻢ:
14
ﮐﻪ ﺑﻪ ﺷﮑﻞ ﮔﺎوﺳﯽ ﻣﺪ ﻧﻈﺮ ﻣﺎ ﺑﺴﯿﺎر ﻧﺰدﯾﮏ اﺳﺖ .در اﺻﻞ ﺑﺎ زﯾﺎد ﮐﺮدن smoothingﭼﮕﺎﻟﯽ ﭘﺮﺗﻮﻫﺎ را ﺑﻪ ﮔﻮﻧﻪ اي ﺗﻐﯿﯿﺮ ﻣﯽ
دﻫﯿﻢ ﺗﺎ ﻧﻤﻮدار ﻫﻤﻮار ﺷﻮد.
:Image Analysis-4ﻣﯽ ﺗﻮان ﮐﯿﻔﯿﺖ ﺗﺼﻮﯾﺮ را در ﺻﻔﺤﺎت ﻣﺨﺘﻠﻒ از ﺟﻤﻠﻪ ﺻﻔﺤﻪ ي ﺗﺼﻮﯾﺮ ﻣﺸﺎﻫﺪه ﮐﺮد.
ﺑﺮاي ﻣﺜﺎل ﺑﺎ اﻧﺘﺨﺎب ﮔﺰﯾﻨﻪ ي Geometric Image Analysisﺷﮑﻞ زﯾﺮ ﺑﺪﺳﺖ ﻣﯽ آﯾﺪ:
The image part with relationship ID rId30 was not found in the file.
: MTF -5ﻣﺨﻔﻒ Modulation Transform Functionاﺳﺖ .اﯾﻦ ﭘﺎراﻣﺘﺮ ﻣﻼﮐﯽ ﺑﺮاي ﺗﻔﮑﯿﮏ ﯾﺎ ﺑﻪ ﺗﻌﺒﯿﺮي ﮐﯿﻔﯿﺖ
ﺳﯿﺴﺘﻢ اﺳﺖ .در اﺻﻞ ﺗﺎﺑﻌﯽ اﺳﺖ ﻓﻀﺎﯾﯽ ﮐﻪ ﺗﻔﮑﯿﮏ ﻓﺮﮐﺎﻧﺲ ﻫﺎي ﻓﻀﺎﯾﯽ را ﺑﺪﺳﺖ ﻣﯽ دﻫﺪ.
از اﯾﻦ ﺷﺎﺧﻪ ﮔﺰﯾﻨﻪ ي FFTﮐﻪ ﻣﺨﻔﻒ Fourier Transformاﺳﺖ را اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .ﮔﺮاﻓﯽ ﻣﻄﺎﺑﻖ ﺷﮑﻞ زﯾﺮ ﺑﺪﺳﺖ ﻣﯽ
آﯾﺪ:
15
MTFﺑﺮ ﺣﺴﺐ ﺗﻌﺪاد ﺧﻂ در ﻣﯿﻠﯽ ﻣﺘﺮ رﺳﻢ ﺷﺪه اﺳﺖ .ﻧﻤﻮدار ﺑﻪ 1ﺑﻬﻨﺠﺎر ﺷﺪه اﺳﺖ .ﻫﺮ ﭼﻪ MTFﺑﻪ 1ﻧﺰدﯾﮏ ﺗﺮ ﺑﺎﺷﺪ
ﺗﻔﮑﯿﮏ ﺧﻄﻮط از ﻫﻢ ﺑﯿﺸﺘﺮ اﺳﺖ و درﻫﻢ ﻓﺮورﻓﺘﮕﯽ وﺟﻮد ﻧﺪارد .ﻫﺮﭼﻪ ﺑﻪ ﺻﻔﺮ ﻧﺰدﯾﮏ ﺑﺎﺷﺪ ﺷﮑﻞ ﭘﯿﻮﺳﺘﻪ ﺗﺮ اﺳﺖ.
از settingﻣﻘﺪار ﻣﺎﮐﺰﯾﻤﻢ MTFرا ﮐﻢ ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ:
16
ﻣﻼﺣﻈﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ در ﺗﻔﮑﯿﮏ ﻓﻀﺎﯾﯽ ﺑﯿﻦ ﺻﻔﺮ ﺗﺎ ،10ﺷﯽ ﺗﻘﺮﯾﺒﺎ ﺗﻔﮑﯿﮏ ﺧﻮﺑﯽ دارد.
ﺣﺎل وارد ﺑﺨﺶ ﻣﻬﻢ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﻣﯽ ﺷﻮﯾﻢ
ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي:
ﺑﺮاي ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﺑﻮﺳﯿﻠﻪ ي Zemaxراه ﻫﺎي ﻣﺨﺘﻠﻔﯽ وﺟﻮد دارد .ﻗﺒﻞ از ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﺑﺎﯾﺪ ﭼﻨﺪ ﻣﻮﺿﻮع روﺷﻦ ﺷﻮد .اوﻻ ﺑﺎﯾﺪ
ﻣﺸﺨﺺ ﺷﻮد ﮐﻪ ﭼﻪ ﭘﺎراﻣﺘﺮﻫﺎﯾﯽ از ﺳﯿﺴﺘﻢ ﻃﺮاﺣﯽ ﺷﺪه ﻗﺎﺑﻞ ﺗﻐﯿﯿﺮ اﺳﺖ .ﺑﺮاي ﻣﺜﺎل ﺑﺮاي ﻣﺎ اﯾﻨﮑﻪ ﭘﺎراﻣﺘﺮي از ﺳﯿﺴﺘﻢ)ﻣﺜﻼ
ﺷﻌﺎع اﻧﺤﻨﺎء ﯾﮏ ﺳﻄﺢ( ﻏﯿﺮ ﻗﺎﺑﻞ ﺗﻐﯿﯿﺮ ﺑﺎﺷﺪ .ﺗﻤﺎم ﭘﺎراﻣﺘﺮﻫﺎي ﻃﺮاﺣﯽ ﺷﺪه در ﺣﺎﻟﺖ ﭘﯿﺶ ﻓﺮض رو ﺣﺎﻟﺖ ﻏﯿﺮﻗﺎﺑﻞ
ﺗﻐﯿﯿﺮ) (fixedﺗﻨﻈﯿﻢ ﺷﺪه اﻧﺪ .ﺑﺮاي اﯾﻨﮑﻪ ﭘﺎراﻣﺘﺮﻫﺎي ﻗﺎﺑﻞ ﺗﻐﯿﯿﺮ را ﻣﺸﺨﺺ ﮐﻨﯿﻢ ،روي ﭘﺎراﻣﺘﺮ ﻣﻮرد ﻧﻈﺮ داﺑﻞ ﮐﻠﯿﮏ ﮐﺮده و
solve typeرا از ﺣﺎﻟﺖ fixedﺑﻪ ﺣﺎﻟﺖ variableﺗﻐﯿﯿﺮ ﻣﯽ دﻫﯿﻢ:
17
ﺑﺎﯾﺪ ﺗﻮﺟﻪ داﺷﺘﻪ ﺑﺎﺷﯿﻢ ﮐﻪ اﮔﺮ ﭘﺎراﻣﺘﺮ ﻗﺎﺑﻞ ﺗﻐﯿﯿﺮ ﻣﺎ ﺟﻨﺲ ﺷﯿﺸﻪ ﺑﻮد ﺑﻪ ﺟﺎي اﻧﺘﺨﺎب variableﺑﺎﯾﺪ ﮔﺰﯾﻨﻪ ي substitute
را اﻧﺘﺨﺎب ﮐﻨﯿﻢ.
ﻫﺮﭼﻨﺪ در اﯾﻦ ﻟﻨﺰي ﮐﻪ ﻣﺎ ﻃﺮاﺣﯽ ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ ﻫﯿﭻ ﺳﻄﺤﯽ ﺑﺮ ﺳﻄﺢ دﯾﮕﺮ ارﺟﺤﯿﺖ ﻧﺪارد ﺑﺮ fixedﺑﻮدن ﯾﺎ variableﺑﻮدن،
ﺑﺮاي ﻣﺜﺎل ﺷﻌﺎع اﻧﺤﻨﺎء ﺳﻄﺢ اول doubletاول را variableدر ﻧﻈﺮ ﻣﯽ ﮔﯿﺮﯾﻢ .ﭘﺲ از اﻧﺘﺨﺎب ﮔﺰﯾﻨﻪ ي variableﺑﺮاي
ﺷﻌﺎع اﻧﺤﻨﺎء اﯾﻦ ﺳﻄﺢ در ﮐﻨﺎر radiusﻋﻼﻣﺖ vﻇﺎﻫﺮ ﻣﯽ ﺷﻮد:
)ﻣﻘﺪار 20اوﻟﯿﻪ را ﺑﻪ ﯾﺎد ﻣﯽ ﺳﭙﺎرﯾﻢ(
ﻣﻮرد دوﻣﯽ ﮐﻪ ﺑﺎﯾﺪ ﺑﺮاي ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﻣﺸﺨﺺ ﺷﻮد ﻣﻘﺪار ﻣﻄﻠﻮب آن ﮐﻤﯿﺖ اﺳﺖ .ﺑﺮاي ﻣﺜﺎل ﺳﯿﺴﺘﻤﯽ ﮐﻪ ﻃﺮاﺣﯽ ﮐﺮده اﯾﻢ
ﺑﺎﯾﺪ ﻓﺎﺻﻠﻪ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﻣﻮﺛﺮ 100داﺷﺘﻪ ﺑﺎﺷﺪ در ﺣﺎﻟﯽ ﮐﻪ ﻧﺪارد 100 .ﻣﯽ ﺷﻮد targetﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي.
ﭘﺲ از اﯾﻨﮑﻪ اﯾﻦ دو ﻣﻮرد ﻣﺸﺨﺺ ﺷﺪ از ﻣﻨﻮي Editorsﮔﺰﯾﻨﻪ ي Merit Functionرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
ﺳﭙﺲ ﺟﺪوﻟﯽ ﺑﺎز ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ در آن ﺗﺎﺑﻊ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎز )ﻣﻄﺎﺑﻖ ﺑﺎ ﮐﻤﯿﺘﯽ ﮐﻪ ﻗﺮار اﺳﺖ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺷﻮد( را وارد ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .ﺑﺮاي ﻣﺜﺎل
اﮔﺮ ﻗﺮار اﺳﺖ ﻓﺎﺻﻠﻪ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﻣﻮﺛﺮ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺷﻮد ،ﻓﺮﻣﺎن ﺗﺎﺑﻊ ﻣﻮرد ﻧﻈﺮ EFFLﺧﻮاﻫﺪ ﺑﻮد .اﯾﻦ ﻓﺮﻣﺎن ﻫﺎ در manualﻣﻮﺟﻮد اﺳﺖ.
ﺳﭙﺲ در ﻗﺴﻤﺖ Targetﻣﻘﺪار ﻣﻮرد ﻧﻈﺮ را وارد ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ:
18
در ﻗﺴﻤﺖ Valueﻣﻘﺪار ﮐﻤﯿﺘﯽ ﮐﻪ ﻫﻢ اﮐﻨﻮن ﺳﯿﺴﺘﻢ دارد ﻣﺸﺨﺺ ﻣﯽ ﺷﻮد.
ﻗﺴﻤﺖ Weightدرﺟﻪ اﻫﻤﯿﺖ اﯾﻦ ﭘﺎراﻣﺘﺮ را ﺑﺮاي ﻣﺎ ﺗﻌﯿﯿﻦ ﻣﯽ ﮐﻨﺪ .ﺑﺮاي ﻣﺜﺎل اﮔﺮ اﯾﻨﮑﻪ ﺟﺮم ﺳﯿﺴﺘﻢ 2ﮐﯿﻠﻮﮔﺮم ﺑﺎﺷﺪ ﺑﺮاي
ﻣﺎ 5ﺑﺮاﺑﺮ اﻫﻤﯿﺖ ﺑﯿﺸﺘﺮي دارد ﺗﺎ اﯾﻨﮑﻪ ﻓﺎﺻﻠﻪ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺳﯿﺴﺘﻢ 100ﺑﺎﺷﺪ در ﻗﺴﻤﺖ ﻣﺮﺑﻮط ﺑﻪ ﺟﺮم ﺳﯿﺴﺘﻢ)ﺑﺎ ﻓﺮﻣﺎن
ﺗﺎﺑﻊ (TMASدر ﺳﺘﻮن Weightﻋﺪد 5و ﺑﺮاي EFFLﻋﺪد 1را وارد ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
ﺳﺘﻮن Waveﭘﺮﺗﻮﯾﯽ را ﻣﺸﺨﺺ ﻣﯽ ﮐﻨﺪ ﮐﻪ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي روي ﻃﻮل ﻣﻮج آن ﺻﻮرت ﻣﯽ ﮔﯿﺮد.
ﭘﺲ از اﯾﻨﮑﻪ داده ﻫﺎ را وارد ﮐﺮدﯾﻢ ،ﭘﻨﺠﺮه را ﺑﺴﺘﻪ و از ﻣﻨﻮي Toolsﮔﺰﯾﻨﻪ ي Optimizationرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
ﭘﻨﺠﺮه اي ﻣﻄﺎﺑﻖ ﺷﮑﻞ ﭘﺎﯾﯿﻦ ﺑﺎز ﻣﯽ ﺷﻮد:
در اﯾﻦ ﭘﻨﺠﺮه ﺗﻌﺪاد دورﻫﺎﯾﯽ ﮐﻪ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﯾﮏ ﺣﻠﻘﻪ را ﻃﯽ ﻣﯽ ﮐﻨﺪ ﺗﺎ ﺑﻪ ﻣﻘﺪار ﺣﺪي ﺑﻬﯿﻨﻪ ي ﻣﺎ ﻧﺰدﯾﮏ ﺷﻮد ﻣﺸﺨﺺ ﻣﯽ
ﺷﻮد.
ﻋﻼوه ﺑﺮ اﯾﻦ ﯾﮏ ﺣﺎﻟﺖ Automaticﻧﯿﺰ وﺟﻮد دارد ﮐﻪ ﺑﻪ ﺻﻮرت ﺧﻮدﮐﺎر آﻧﻘﺪر ﺣﻠﻘﻪ را ﻃﯽ ﻣﯽ ﮐﻨﺪ ﺗﺎ ﺑﻪ ﻣﻘﺪار ﺣﺪي ﺑﻬﯿﻨﻪ
ﻧﺰدﯾﮏ ﺷﻮد.
ﺗﻌﺪاد cpuﻫﺎﯾﯽ از ﺳﯿﺴﺘﻢ ﮐﻪ ﺑﺎﯾﺪ در اﯾﻦ ﻣﺤﺎﺳﺒﻪ ﺑﻪ ﮐﺎر ﮔﺮﻓﺘﻪ ﺷﻮﻧﺪ ﻧﯿﺰ ﻗﺎﺑﻞ ﺗﻌﯿﯿﻦ اﺳﺖ.
ﺑﺎ اﻧﺘﺨﺎب ﮔﺰﯾﻨﻪ ي Automaticﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﺷﺮوع ﻣﯽ ﺷﻮد.
19
ﭘﺲ از اﺗﻤﺎم ﮐﺎر ﻧﺮم اﻓﺰار دارﯾﻢ:
ﻣﻘﺪار initial MFاﻧﺤﺮاف اوﻟﯿﻪ از ﻣﻘﺪار Targetاﺳﺖ Current MF .اﻧﺤﺮاف از Targetﭘﺲ از ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي اﺳﺖ.
در اﯾﻦ ﻣﺜﺎل ﻣﺸﺎﻫﺪه ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺗﻮاﻧﺴﺘﻪ اﺳﺖ اﺧﺘﻼف را ﺑﻪ ﺻﻔﺮ ﺑﺮﺳﺎﻧﺪ ﯾﻌﻨﯽ ﻫﻢ اﮐﻨﻮن ﺳﯿﺴﺘﻢ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺷﺪه و
ﻓﺎﺻﻠﻪ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﻣﻮﺛﺮ ﺳﯿﺴﺘﻢ دﻗﯿﻘﺎ ﺑﺮاﺑﺮ اﺳﺖ ﺑﺎ .100ﻣﺴﻠﻤﺎ ﺷﻌﺎع اﻧﺤﻨﺎء ﺳﻄﺢ اول doubletاول دﯾﮕﺮ ﺑﺮاﺑﺮ ﺑﺎ 20اوﻟﯿﻪ ﻧﯿﺴﺖ:
20
و در ﻣﻮرد ﺷﻌﺎع اﻧﺤﻨﺎ دارﯾﻢ:
ﻋﻼوه ﺑﺮ اﯾﻦ ﺑﺮاي ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﮐﻞ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﻣﯽ ﺗﻮان از ﭘﻨﺠﺮه ي Merit Function Editorﺑﻪ ﻣﻨﻮي Toolsرﻓﺖ و ﮔﺰﯾﻨﻪ
ي Default Merit Functionرا اﻧﺘﺨﺎب ﮐﺮد .ﭘﻨﺠﺮه اي ﻣﻄﺎﺑﻖ زﯾﺮ ﺑﺎز ﻣﯽ ﺷﻮد:
در اﯾﻦ ﭘﻨﺠﺮه ﺣﺎﻟﺖ ﻫﺎﯾﯽ را ﮐﻪ ﻣﺪ ﻧﻈﺮ ﻣﺎﺳﺖ را اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .ﻣﺜﻼ اﮔﺮ ﻣﯽ ﺧﻮاﻫﯿﻢ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي روي ﺟﺒﻬﻪ ﻣﻮج ﺻﻮرت
ﺑﮕﯿﺮد Wave frontرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ و اﮔﺮ ﻣﯽ ﺧﻮاﻫﯿﻢ روي ﺷﻌﺎع ﺗﺼﻮﯾﺮ ﺻﻮرت ﺑﮕﯿﺮد Spot Radiusرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ
ﮐﻨﯿﻢ Rings .ﺗﻌﺪاد ﻣﺮﺗﺒﻪ ﻫﺎﯾﯽ اﺳﺖ ﮐﻪ ﯾﮏ Waveدرﻧﻈﺮ ﮔﺮﻓﺘﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد و Armsﺗﻌﺪاد ﻧﻘﺎﻃﯽ اﺳﺖ ﮐﻪ ﺑﺎ ﻓﺎﺻﻠﻪ ﻫﺎي
ﺷﻌﺎﻋﯽ ﻣﺸﺨﺺ از chief rayﻗﺮار ﻣﯽ ﮔﯿﺮﻧﺪ .واﺿﺢ اﺳﺖ ﮐﻪ ﺑﻪ ﺗﻌﺪاد Arms×Ringsﺑﺮاي ﻫﺮ waveﺑﺎﯾﺪ ﺣﺎﻟﺖ داﺷﺘﻪ
ﺑﺎﺷﯿﻢ ،اﻣﺎ ﺑﺨﺎﻃﺮ ﺗﻘﺎرن ﻓﻘﻂ ﻧﺼﻒ آﻧﻬﺎ درﻧﻈﺮ ﮔﺮﻓﺘﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد)ﮐﻪ در اﯾﻦ ﻣﺜﺎل 9ﺗﺎ ﻣﯽ ﺷﻮد(:
21
ﭼﻮن ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي را روي wave frontدر ﻧﻈﺮ ﮔﺮﻓﺘﻪ اﯾﻢ ،ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﻧﯿﺰ روي اﺧﺘﻼف راه اﭘﺘﯿﮑﯽ) Optical Path
(Differenceاﻧﺠﺎم ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ ﻓﺮﻣﺎن آن ﻫﻤﺎﻧﻄﻮر ﮐﻪ ﻣﺸﺎﻫﺪه ﻣﯽ ﺷﻮد OPDCاﺳﺖ.
ﺑﺮاي ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي اﺧﺘﻼف راه اﭘﺘﯿﮑﯽ ﺑﺎﯾﺪ ﺻﻔﺮ ﺷﻮد ﯾﻌﻨﯽ ﺑﺎﯾﺪ ﺗﻤﺎم Targetﻫﺎ را ﺑﺮاﺑﺮ ﺑﺎ ﺻﻔﺮ ﻗﺮار دﻫﯿﻢ:
22
ﭘﺲ از آﻧﮑﻪ Targetﻫﺎ را ﺻﻔﺮ ﻗﺮار دادﯾﻢ optimizationرا اﺟﺮا ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .ﭘﺲ از ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺑﻪ ﺻﻮرت زﯾﺮ در
ﻣﯽ آﯾﺪ:
ﻣﺸﺎﻫﺪه ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ در ﺣﺎﻟﺖ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺷﻌﺎع اﻧﺤﻨﺎء ﺳﻄﺢ اول از 20ﺑﻪ 20.374887رﺳﯿﺪه اﺳﺖ .و ﺷﻌﺎع اﻧﺤﻨﺎء ﮐﻪ ﻗﺮار ﺑﻮد
100ﺑﺎﺷﺪ ،ﻣﻘﺪار 99.2186903را دارد.
ﺣﺎل ﺑﺮاي اﯾﻨﮑﻪ ﺑﺮرﺳﯽ ﮐﻨﯿﻢ آﯾﺎ ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺷﺪه اﺳﺖ ﯾﺎ ﻧﻪ آﻧﺎﻟﯿﺰﻫﺎي ﺳﯿﺘﻢ را ﺑﺮرﺳﯽ ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
23
) Aberration -1اﺑﯿﺮاﻫﯽ(:
:Ray Aberration
ﻣﻼﺣﻈﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ اﺑﯿﺮاﻫﯽ ﻫﺎ ﻧﻪ اﯾﻨﮑﻪ ﮐﺎﻣﻼ ﺑﺮﻃﺮف ﺷﺪه ﺑﺎﺷﻨﺪ اﻣﺎ ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﺣﺎﻟﺖ ﻗﺒﻞ از ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﺑﺴﯿﺎر ﺑﻬﺘﺮ ﺷﺪه اﻧﺪ.
:Optical Path
24
اﺧﺘﻼف راه اﭘﺘﯿﮑﯽ ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﺣﺎﻟﺖ ﻗﺒﻞ از ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﺑﺴﯿﺎر ﺑﻬﺘﺮ ﺷﺪه اﺳﺖ ﺑﻪ ﻃﻮري ﮐﻪ ﻗﻄﺮ ﻣﺮدﻣﮏ ورودي از ﯾﮏ ﭘﻨﺠﻢ
ﺑﻪ ﺣﺪود ﺳﻪ ﭘﻨﺠﻢ اﻓﺰاﯾﺶ ﯾﺎﻓﺘﻪ اﺳﺖ.
:Spot Diagram-3ﺑﺮاي رﺳﻢ ﺷﮑﻞ ﻟﮑﻪ ي ﺑﺪﺳﺖ آﻣﺪه دارﯾﻢ:
:Standard
ﻫﺮﭼﻨﺪ ﺑﺮاي ﺑﺮﺧﯽ fieldﻫﺎ ﮐﻤﺎ اﯾﺠﺎد ﺷﺪه اﺳﺖ اﻣﺎ ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﺣﺎﻟﺖ ﻗﺒﻞ ﻗﺎﺑﻞ ﻗﺒﻮل ﺗﺮ اﺳﺖ.
:Through Focus
25
ﮐﺎﻣﻼ واﺿﺢ اﺳﺖ ﮐﻪ ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﺣﺎﻟﺖ ﻗﺒﻞ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺗﺮ و ﺑﻬﺘﺮ اﺳﺖ.
) Illumination -3ﺷﺪت(:
:XY Scan
26
ﻫﺮﭼﻨﺪ ﺗﻮزﯾﻊ ﺷﺪت ﻫﻨﻮز ﻫﻢ ﮔﺎوﺳﯽ ﻧﯿﺴﺖ اﻣﺎ ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﺣﺎﻟﺖ ﻗﺒﻞ ﮔﺎوﺳﯽ ﺗﺮ اﺳﺖ .ﺑﺎ ﺑﺎﻻ ﺑﺮدن Smoothingدارﯾﻢ:
27
ﮐﻪ ﺑﺎ ﺗﻘﺮﯾﺐ ﺧﻮﺑﯽ ﮐﺎﻣﻼ ﮔﺎوﺳﯽ اﺳﺖ.
:MTF -5
ﻣﻼﺣﻈﻪ ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ ﻣﻨﺤﻨﯽ ﻫﺎ ﺑﻪ 1ﻧﺰدﯾﮏ ﺗﺮ ﺷﺪه اﻧﺪ ،ﭘﺲ ﺗﻔﮑﯿﮏ ﭘﺬﯾﺮي ﺳﯿﺴﺘﻢ ﺧﯿﻠﯽ ﺑﻬﺘﺮ ﺷﺪه اﺳﺖ.
ﻋﻼوه ﺑﺮ اﯾﻦ ﻧﻮع ﺑﻬﯿﻨﻪ ﺳﺎزي ﮐﻪ اﻧﺠﺎم دادﯾﻢ ،ﻣﺪل ﻫﺎي دﯾﮕﺮي ﻧﯿﺰ ﻫﺴﺖ ﮐﻪ در اداﻣﻪ ﻣﻌﺮﻓﯽ ﻣﯽ ﮔﺮدد.
:Global Searchﺑﻪ اﯾﻦ ﺻﻮرت اﺳﺖ ﮐﻪ در ﻣﯿﺎن ﺳﯿﺴﺘﻢ ﻫﺎﯾﯽ ﮐﻪ ﺑﺎ ﻣﺸﺨﺼﺎت ﺳﯿﺴﺘﻢ ﻣﻮرد ﻧﻈﺮ ﻣﺎ ﻣﻄﺎﺑﻘﺖ دارد ،ﺟﺴﺘﺠﻮ
ﻣﯽ ﮐﻨﺪ و ﺑﻬﺘﺮﯾﻦ ﻫﺎي آﻧﻬﺎ را ذﺧﯿﺮه ﻣﯽ ﮐﻨﺪ 10 .ﻣﻮرد آﺧﺮ ذﺧﯿﺮه ﻣﯽ ﺷﻮﻧﺪ:
28
ﮐﻪ اﻟﺒﺘﻪ دﻗﺖ و ﺳﺮﻋﺖ روش ﻗﺒﻞ را ﻧﺪارد.
:Hammer Optimizationﻣﺎﻧﻨﺪ Globalاﺳﺖ ﺑﺎ اﯾﻦ ﺗﻔﺎوت ﮐﻪ ﺗﻐﯿﯿﺮات را ﺑﻪ ﺻﻮرت ﻣﺴﺘﻘﯿﻢ updateﻣﯽ ﮐﻨﺪ.
Make Focal
ﻋﻼوه ﺑﺮ ﺗﻤﺎم روش ﻫﺎﯾﯽ ﮐﻪ ﺗﺎ اﯾﻨﺠﺎ ﮔﻔﺘﯿﻢ ،اﮔﺮ ﻓﻘﻂ ﻓﺎﺻﻠﻪ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺑﺮاي ﻣﺎ ﻣﻬﻢ ﺑﺎﺷﺪ و ﺗﻤﺎم ﺳﻄﻮح variableﺑﺎﺷﻨﺪ ،ﻣﯽ
ﺗﻮان ﺑﺎ اﺳﺘﻔﺎده از ﮔﺰﯾﻨﻪ ي Make Focalﺳﯿﺴﺘﻢ را ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﮐﺮد.
ﻻزم ﺑﻪ ذﮐﺮ اﺳﺖ ﮐﻪ در اﯾﻦ روش ﺣﺘﯽ اﮔﺮ ﺳﻄﻮح fixedدر ﻧﻈﺮ ﮔﺮﻓﺘﻪ ﺷﻮﻧﺪ ،ﺳﯿﺴﺘﻢ آﻧﻬﺎ را variableﻓﺮض ﻣﯽ ﮐﻨﺪ.
ﺑﺮاي ﻣﺜﺎل دارﯾﻢ اﮔﺮ ﺑﺨﻮاﻫﯿﻢ ﻓﺎﺻﻠﻪ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺳﯿﺴﺘﻢ 100ﺑﺎﺷﺪ از Make Focalﻓﺎﺻﻠﻪ ي ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﺳﯿﺴﺘﻢ را از ﻣﻘﺪار ﺣﺎﺿﺮ
ﺑﻪ 100ﺗﻐﯿﯿﺮ ﻣﯽ دﻫﯿﻢ:
29
ﭘﺲ از okﮐﺮدن ،ﺗﻤﺎم ﺳﻄﻮح ﺗﻐﯿﯿﺮ ﻣﯽ ﮐﻨﻨﺪ و ﻓﺎﺻﻠﻪ ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ 100ﻣﯽ ﺷﻮد:
ﺣﺎل ﺑﺮاي اﯾﻨﮑﻪ ﺻﻔﺤﻪ ي ﺗﺼﻮﯾﺮ روي ﮐﺎﻧﻮن ﻗﺮار ﺑﮕﯿﺮد ﺑﻪ Toolsرﻓﺘﻪ و ﮔﺰﯾﻨﻪ ي Quick Focusرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ.
ﻗﻄﺒﺶ:
ﻗﺎﺑﻠﯿﺖ ﻣﻬﻢ دﯾﮕﺮ Zemaxﺑﺪﺳﺖ آوردن ﻗﻄﺒﺶ روي ﺳﻄﻮح اﺳﺖ.
در اﯾﻦ ﻣﺜﺎل ﮐﻪ آن را رﺳﻢ ﮐﺮدﯾﻢ ،ﻗﻄﺒﺶ ﭼﻨﺪان ﻣﻬﻢ ﻧﯿﺴﺖ ،اﻣﺎ در ﺑﻌﻀﯽ ﻣﺴﺎﯾﻞ)ﻣﺜﻼ ﻃﺮاﺣﯽ ﯾﮏ ﺗﯿﻐﻪ coatﺷﺪه ﺑﺎ
ﺿﺮﯾﺐ ﻋﺒﻮر ﻣﺸﺨﺺ( اﻫﻤﯿﺖ ﭘﯿﺪا ﻣﯽ ﮐﻨﺪ.
30
از ﻣﻨﻮي Analysisﮔﺰﯾﻨﻪ ي Ploarizationرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .ﻣﻄﺎﺑﻖ ﺑﺎ اﻃﻼﻋﺎﺗﯽ ﮐﻪ ﻣﯽ ﺧﻮاﻫﯿﻢ ﺑﺪﺳﺖ ﺑﯿﺎورﯾﻢ)ﻣﺜﻼ
ﺿﺮﯾﺐ ﻋﺒﻮر( ﭘﻨﺠﺮه ﻫﺎﯾﯽ ﺑﺎز ﻣﯽ ﺷﻮد ﮐﻪ در آن اﻃﻼﻋﺎت ﺳﯿﺴﺘﻢ ﻧﻮﺷﺘﻪ ﺷﺪه اﺳﺖ:
ﺑﺮاي رﺳﻢ ﻧﻤﻮدار ﻫﺎي ﺟﺬب و ﺑﺎزﺗﺎب از ﻣﻨﻮي Analysisﮔﺰﯾﻨﻪ Coatingرا اﻧﺘﺨﺎب ﻣﯽ ﮐﻨﯿﻢ .اﻧﻮاع ﻧﻤﻮدارﻫﺎﯾﯽ ﮐﻪ ﻧﺮم اﻓﺰار
ﻣﯽ ﺗﻮاﻧﺪ رﺳﻢ ﮐﻨﺪ در اﯾﻨﺠﺎ ﻗﺮار دارﻧﺪ .ﺑﺮاي ﻣﺜﺎل اﮔﺮ ﺑﺨﻮاﻫﯿﻢ ﺑﺎزﺗﺎب را ﺑﺮ ﺣﺴﺐ زاوﯾﻪ ي ورودي رﺳﻢ ﮐﻨﯿﻢ دارﯾﻢ:
31
ﺣﺮف Sو Pﻧﺸﺎن دﻫﻨﺪه ي ﺣﺎﻟﺖ ﻫﺎي ﻗﻄﺒﺶ ﻋﻤﻮدي و ﻣﻮازي اﻧﺪ A .ﺑﻪ ﻣﻌﻨﺎي Averageاﯾﻦ دو ﺣﺎﻟﺖ اﺳﺖ.
رﺳﻢ ﻫﺎي ﻣﺨﺘﻠﻒ
ﺣﺎﻟﺖ ﻧﻬﺎﯾﯽ ﺳﯿﺴﺘﻢ را ﻣﯽ ﺗﻮان ﺑﻪ ﺻﻮرت ﻫﺎي ﻣﺨﺘﻠﻔﯽ ﻧﻤﺎﯾﺶ داد .ﺗﻤﺎم اﯾﻦ ﻣﺪل ﻫﺎ از ﻣﻨﻮي Analysisو اﻧﺘﺨﺎب ﮔﺰﯾﻨﻪ
Layoutﺑﺪﺳﺖ ﻣﯽ آﯾﻨﺪ.
:Solid Model -1اﯾﻦ ﺣﺎﻟﺖ ﺷﮑﻞ اﺳﮑﻠﺖ ﺑﻨﺪي ﺷﺪه ي ﺳﯿﺴﺘﻢ را ﻧﻤﺎﯾﺶ ﻣﯽ دﻫﺪ:
32
:Shded Model -2ﺳﯿﺴﺘﻢ را ﺑﻪ ﻃﻮر واﻗﻌﯽ ﺗﺮ و ﺗﻮﭘﺮ ﻧﻤﺎﯾﺶ ﻣﯽ دﻫﺪ:
ﻣﺮدﻣﮏ ورودي ﺑﺎ رﻧﮓ ﻗﺮﻣﺰ ﻧﺸﺎن داده ﺷﺪه اﺳﺖ.
33
