Den første bosetningen på Palau fant antakelig sted for om lag 2500 år siden av innflyttere fra det indonesiske arkipelet. Etter at spanierne besøkte øyene i 1543, kom Palau under spansk kontroll. Palau var underlagt Generalkapteinskapet Filippinene (Spansk Ostindia) fra 1574. I 1885 ble den spanske overhøyheten over Spansk Ostindia offisielt proklamert og internasjonalt anerkjent. Den formelle anneksjonen ble foretatt i 1886.
Etter nederlaget i den spansk-amerikanske krig solgte Spania Palau og mesteparten av de øvrige Karolinene til Det tyske keiserrike i 1899. Øyene var deretter, sammen med Marshalløyene, kjent som tysk Mikronesia. I 1914 okkuperte Japan territoriet og administrerte det som mandatområde under Folkeforbundet etter første verdenskrig. USA erobret øyene under andre verdenskrig etter slaget ved Peleliu i 1944, og japanere som hadde slått seg ned på øyene ble utvist.
Selvstendighet
Øyene var fra 1947 et tilsynsområde under FN, administrert av USA. Da Mikronesias forente stater ble dannet i 1979, holdt Palau seg utenfor og ble republikken Palau i 1981. I 1982 ble det forhandlet frem en avtale som skulle gi Palau selvstendighet, men fortsatt nær tilknytning til USA. Avtalen ble lagt frem for folkeavstemning flere ganger, men som følge av sterk motstand mot et ledd i avtalen som ga USA rett til lagring og transport av atomvåpen, ble det ikke oppnådd tre fjerdedels flertall slik grunnloven krevde. Etter grunnlovsendring ble avtalen vedtatt i 1993, med simpelt flertall i folkeavstemningen nummer åtte. I 1994 ble avtalen om selvstendighet satt til livs, og Palau ble medlem av FN.
Utenrikspolitikk
Palaus utenrikspolitikk preges i høy grad av avtalen om frivillig tilknytning (Compact of Free Association) med USA. Avtalen fastslår at USA skal ta hånd om Palaus forsvar, og at amerikanerne til gjengjeld skal kunne opprette militærbaser på Palau. USA har imidlertid lovet ikke å bruke denne rettigheten i fredstid. I forkant av Irak-krigen 2003 fikk USA et tilbud fra Palau om å etablere en flybase, uten at dette ble realisert.
Ved siden av USA er forholdet til Taiwan og Japan viktig. Etter at diplomatiske forbindelser med de to ble opprettet år 2000, har de bidratt med store investeringer og betydelig økonomisk bistand til Palau.