Мининистерство науки и высшего образования РФ

ФГБОУ ВО

Национальный исследовательский университет «МЭИ»

ЭнМИ

Кафедра технологии металлов

Курсовой проект

По теме

«Проектирование вакуумной системы для электронно лучевой сварки»

Студент: Лаусон Каваза

Группа: С-10-20

Научный руководитель: Родякина Р.В.

Москва 2023 г.
 СОДЕРЖАНИЕ

Исходное задание 3

Введение 4

1 Выбор электронной пушки 6

2 Моделирование ускоряющего промежутка в программе ELCUT 11

2.1 Математическая модель 12

2.2 Создание геометрии модели 12

2.3 Расчет траекторий электронов пучка 16

2.4 Моделирование работы ускоряющего промежутка пушки 20

3 Проектирование вакуумной системы 25

3.1 Выбор вакуумной схемы 25

3.2 Расчет суммарного потока газов 26

3.3 Проектный расчет 29

3.4 Проверка совместимости насосов 36

Заключение 38

Список использованной литературы 39

2
 Задание:
1. Выбрать электронную пушку (из имеющихся в литературе) для
выполнения электронно-лучевой сварки (U = 60 кВ, Iл = 0,65 А); привести ее
схему, чертеж и описание конструкции, разобрать конструкцию катодного
узла.
2. Провести моделирование работы ускоряющего промежутка
выбранной пушки в программе ELCUT и рассчитать траектории движения
электронов пучка. Найти локальное распределение потенциала и точки, в
кото р ы х ка с ат е л ь н ы е н ап р я же н и я эл е кт р и ч е с ко го п ол я буд у т
максимальными.
3. Выбрать схему для откачки камеры пушки и рабочей камеры
размером 1х1х1 м, а также подобрать насосы для откачки полученной
вакуумной системы.

3
 Введение
Многие направления машиностроительного производства неразрывно
связаны с применением высоколегированных жаропрочных и жаростойких
сталей, сплавов на основе цветных и тугоплавких металлов, а также с
созданием изделий, к которым предъявляются требования повышенной
прочности, пластичности, коррозионной стойкости и др. Одним из
перспективных направлений, которое позволяет успешно преодолевать
возникающие при этом технологические трудности, является активно
развивающаяся в последние десятилетия электронно-лучевая обработка,
основанная на воздействии на обрабатываемый материал энергии
ускоренного потока электронов — электронного пучка [1].
Область применения электронно-лучевой технологии постоянно
расширяется, что обусловлено непрерывным совершенствованием
оборудования. В последнее время наиболее интенсивно развивается
технология электронно-лучевой сварки металлов. Данный вид сварки
является одним из наиболее востребованных технологических процессов при
обработке целого ряда современных материалов. Одновременно
совершенствуется электронно-лучевое оборудование и разрабатывается новая
аппаратура для наблюдения, контроля и управления параметрами процесса
сварки [1].
Современные технологии электронно-лучевой обработки базируются на
передовых достижениях в области электронной оптики, систем управления
потоками электронов, высокоэнергетических источниках питания,
вычислительной технике, вакуумной аппаратуре и конструкциях рабочих
камер, позволяющих проводить обработку изделий объемом до 600 м3.
Широкие возможности автоматизации процесса, осуществление его в
вакууме, обеспечивающем высокую чистоту материала, высокая
концентрация энергии пучка, недоступная традиционным источникам тепла,
способствуют разнообразному применению электронно-лучевой обработки как в

4
высокоточных отраслях производства, так и при производстве достаточно
крупногабаритных изделий тяжелого машиностроения [1].
Современная электронно-лучевая установка (ЭЛУ) – это сложный
комплекс оборудования, включающий в себя электронную пушку с
электронно-оптическими системами, источники электропитания высокого
напряжения (20-150 кВ), системы вакуумной откачки, роботизированные
системы перемещения пушки или изделия с оснасткой, автоматизированные
системы управления и регистрации параметров процесса [1].
Настоящий курсовой проект посвящен выбору электронно-лучевой
пушки (из имеющихся в литературе) для сварки и расчету ее отдельных
элементов, а также выбору схемы откачки камеры и насосов, позволяющих
реализовать выбранную схему.

5
 1. Выбор электронной пушки.
По заданию необходимо было выбрать из литературы электронно-
лучевую пушку, которая отвечала бы следующим параметрам (U=60 кВ,
I=650 мА). Этим параметрам удовлетворяет, например, конструкция
сварочной пушки ЭЛА 60/60 (рис. 1.1) с ускоряющим напряжением 60 кВ и
возможностью регулирования тока пучка до 1 А. Максимальная мощность
пушки – до 60 кВт. Схема катодного узла пушки представлена на рисунке 1.2.
Сварочная электронная пушка содержит катодный узел 1, управляющий
электрод 2 и анод 3. Катодный узел содержит дисковый катод из гексаборида
лантана, эмитирующий электроны. Высокое напряжение, приложенное к
промежутку анод — катод, ускоряет электроны и формирует электронный
пучок. В процессе ускорения пучок фокусируется и направляется в отверстие
анода, а затем направляется по лучепроводу на свариваемую деталь.
Фокусирующая магнитная линза 4 изменяет диаметр пучка на
свариваемой детали, а магнитная отклоняющая система позиционирует пучок
в заданную точку.
В верхней части пушки находится высоковольтный изолятор, на
котором закреплен катодный узел.
Дисковый катод из гексаборида лантана LaB6 имеет вид таблетки
диаметром 4,7 или 6 мм и толщиной 1,5 мм, он фиксируется в держателе из
молибдена. Подогрев катода осуществляется электронной бомбардировкой
(см. рис. 1.3).
Источником свободных электронов является вольфрамовая спираль
вспомогательного катода с диаметром проволоки 0,3 мм. Между
вспомогательным катодом прямого накала ВК (чаще всего спиральным) и
основным катодом ОК прикладывается разность потенциалов, ускоряющая
э м и т и р о ва н н ы е эл е кт р о н ы в н ап р а вл е н и и о с н о в н о го катод а .
Вспомогательный катод имеет отрицательный потенциал относительно
катода. Поток электронов, эмитированный спиралью вспомогательного
катода, ускоряется и попадает на верхнюю поверхность основного катода,

6
разогревая его до рабочей температуры (1700–1800°С). Таким образом
электроны бомбардируют катод, разогревая его до требуемой температуры
(рабочая температура основного катода из гексаборида лантана составляет
1600–1900 К). Изменяя разность потенциалов между вспомогательным и
основным катодом, производится регулировка электронного тока подогрева и,
соответственно, температуры катода.
С нижней рабочей стороны катода происходит эмиссия электронов,
которые ускоряются напряжением 60 кВ, приложенным между катодом и
анодом.
Соосно с катодом расположен управляющий электрод (позиция 2 на
рис. 1.1).
За счет высокого напряжения (60 кВ), приложенного между анодом и
катодом, происходит ускорение эмитированных с поверхности основного
катода электронов, которые, формируясь в электростатическом поле,
создаваемым управляющим электродом и анодом, проходят в отверстие в
аноде диаметром 3 мм (для катода диаметром 4,7 мм) или 3,5 мм (для катода
диаметром 6 мм), попадая в систему проведения [2].
Фокусирующая магнитная линза позволяет изменять диаметр пучка на
свариваемой детали, а с помощью магнитной отклоняющей системы
осуществляется позиционирование пучка в заданную точку, а также
реализуются технологические развертки по сложным траекториям.
В верхней части пушки находится высоковольтный изолятор, на
котором закреплен катодный узел. Поверхность высоковольтного изолятора,
обращенная в вакуум, покрыта высокоомной токопроводящей глазурью,
позволяющей отводить наведенный заряд от рассеянных электронов,
заполняющих вакуумный объем.
Во время работы катодный узел сильно нагревается, поэтому тепло от
него отводится через металлические детали, проходящие через изолятор, в
трансформаторное масло, которое заливается в объем пушки выше изолятора.

7
Масло охлаждается при помощи погруженного в него теплообменника,
выполненного из охлаждаемой водой медной трубки.
К верхней части пушки подходит высоковольтный кабель. Наружной
оболочкой кабеля служит заземленная оплетка. По центру проходит
трехжильный кабель, посредством которого подается высокое напряжение,
ток накала подогревателя и напряжение на управляющий электрод.
Пространство между трехжильным кабелем и оболочкой заполнено
высоковольтной изоляцией.
Внутренний вакуумный объем пушки разделен на два объема
вакуумным клапаном (вакуумным затвором). Верхний вакуумный объем
охватывает анод и катодный узел. Вакуум в этом объекте должен быть
высоким, не хуже 10-3 Па. Высокий вакуум увеличивает электрическую
плотность ускоряющего промежутка и предотвращает электрические пробои.
Кроме того, в высоком вакууме меньше загрязняется поверхность катода (при
загрязнении поверхности катода может наблюдаться снижение тока эмиссии).
Откачка этого вакуумного объема производит ся при помощи
вспомогательного турбомолекулярного насоса.
Нижний вакуумный объем представляет собой тонкостенную трубку –
лучепровод, выполненный преимущественно из титана. Вакуум в этой части
соответствует вакууму в рабочей камере. Верхний и нижний объем
вакуумные объемы соединены отверстием на аноде.
Перед напуском воздуха в рабочую камеру вакуумный клапан
закрывается; в результате катодный узел постоянно находится в вакууме,
поэтому поверхность горячего катода не окисляется [2].

8
Рисунок 1.1 – Чертеж пушки ЭЛА 60/60: 1 – катодный узел; 2 – управляющий
электрод; 3 – анод; 4 – фокусирующая магнитная линза; 5 – отклоняющая
система [2]

9
 Рисунок 1.2 – Схема катодного узла электронной пушки ЭЛА 60/60:
1 – управляющий электрод; 2 – катод; 3 – спираль нагревателя [2]

Рисунок 1.3 – Схема подогрева катода электронной бомбардировкой:

ВК – вспомогательный катод (вольфрамовая проволочная спираль);
ОК – основной катод (таблетка из гексаборида лантана); Iн – ток накала
вспомогательного катода (10–20 А); Iб – ток бомбардировки (20–100 мА);
напряжение бомбардировки от 0,5 до 3 кВ [1]

10
2. Моделирование ускоряющего промежутка в программе ELCUT
Исходя из задания, в этом пункте необходимо с помощью программы
ELCUT выполнить расчет траекторий движения электронов пучка и провести
моделирование работы ускоряющего промежутка. Найти точки, в которых
касательные электрического поля максимальны, а также определить
вероятность возникновения пробоя.
Ускоряющий промежуток рассматриваемой электронной пушки
содержит катод, анод и управляющий электрод (Винельт) (рис. 2.1).
Между катодом и анодом подключен высоковольтный источник
ускоряющего напряжения, вытягивающий электроны с поверхности
разогретого катода. Форма электродов катода, анода и винельта позволяет
получить электронный пучок малого диаметра с высокой плотностью тока и
направить его на свариваемую деталь.

Рисунок 2.1 – Эскиз ускоряющего промежутка электронной

пушки ЭЛА 60/60

Ускоряющий промежуток (рис. 2.1) позволяет получить электронный

пучок с током до 1 А при ускоряющем напряжении 60 кВ (мощность пучка до
60 кВт).

11
 Далее по ходу пучка в сварочной пушке установлена фокусирующая
линза и отклоняющая система, фокусирующая пучок и направляющая его в
заданную точку сварочного стыка.

2.1. Математическая модель

В качестве математической модели распределения напряженности
электрического поля в осесимметричном ускоряющем промежутке
применяется уравнение Лапласа.
1 ⎡ ∂ ∂U ∂ 1 ∂U ∂ ⎛ ∂U ⎞⎤
ΔU = ⎢ (r )+ ( )+r ⎜ ⎟⎥ = 0
r ⎣ ∂r ∂r ∂θ r ∂θ ∂z ⎝ ∂z ⎠⎦ (2.1)
Решаем это уравнение численно методом конечных элементов в
цилиндрической системе координат (r, θ, z).
Напряженность электрического поля E в статическом случае связана со
скалярным потенциалом U следующим соотношением:
E = − gradU ,
(2.2)

! ∂U ! 1 ∂U ! ∂U
gradU = r +θ +z !! !
где ∂r r ∂θ ∂z ( , θ . z – единичные векторы осей в
r
цилиндрической системе координат.
Осесимметричное электрическое поле, существующее в ускоряющем
промежутке, формируется электродами осесимметричной формы. Эти
электроды, а также пространство между ними образуют расчетную область, в
которой проводится моделирование поля. Решение уравнения Лапласа в
замкнутой области, на границе которой задаются граничные условия,
называется задачей Дирихле.

2.2. Создание геометрии модели

Для того чтобы выполнить расчет распределения электрического поля в
электростатической линзе необходимо построить геометрическую модель.

12
 Осесимметричное электрическое поле, существующее в электронной
линзе, формируется электродами осесимметричной формы. Эти электроды, а
также пространство между ними образуют расчетную область, в которой
проводится моделирование поля [3].
При моделировании ускоряющего промежутка рассмотрим только
осесимметричную постановку задачи Дирихле, в которой напряженность
электрического поля не изменяется по азимутальной координате θ и
рассчитывается в меридиональной плоскости (r, z), проходящей по оси z
линзы.
Схематично геометрическая модель ускоряющего промежутка
рассматриваемой пушки представлена на рисунке 2.2, а с проставленными
размерами – на рисунке 2.3.

Рисунок 2.2 – Схематичное изображение геометрической модели

ускоряющего промежутка рассматриваемой пушки

13
 Рисунок 2.3 – Геометрическая модель ускоряющего промежутка пушки
с проставленными размерами

Переносим данный чертеж в программу ELCUT (см. рис. 2.4).

Рисунок 2.4 – Геометрическая модель ускоряющего промежутка,

представленная в программе ELCUT

Ускоряющий промежуток содержит катод и управляющий электрод

(Винельт), установленные на кольцевом изоляторе.
Далее свяжем соответствующие ребра из геометрической модели и
метки ребер, отметив область вакуума (рис. 2.5).

14
 Задаем следующие параметры для расчета:
– Напряжение на катоде Uк= –60 000 [В]
– Напряжение на винельте Uв= –60 500 [В]
– Напряжение на аноде Uа=0 [В]
– Напряжение на границе Uгр=0 [В]
– Диэлектрическая проницаемость вакуума εв=1
– Диэлектрическая проницаемость изолятора εи=8

Рисунок 2.5 – Область вакуума, обозначенная на геометрической

модели ускоряющего промежутка в программе ELCUT

Далее строим сетку метода конечных элементов (рис. 2.6).

Рисунок 2.6 – Сетка метода конечных элементов, построенная

в программе ELCUT

15
 Перейдя в режим «СЧЕТ» в программе ELCUT, получим распределение
скалярного потенциала в расчетной области (рис. 2.7).

Рисунок 2.7 – Распределение скалярного потенциала электрического

поля в ускоряющем промежутке

Далее с помощью соответствующих инструментов ELCUT’а

детализируем данный рисунок.
Рассчитаем траектории электронного пучка.

2.3. Расчет траекторий электронов пучка

В окне «Эмиттер» программы ELCUT (рис. 2.8) зададим данные и
расcчитаем траектории электронного пучка, начинающиеся в одной точке.
Траектории отличаются величиной угла вылета из этой точки. Рисунок 2.8
показан для расчета одной траектории, которая начинается в указанной
мышкой точке и направлена по нормали к поверхности катода. Текущая точка
на траектории задается курсором мышки. При этом начальная точка
выбирается курсором мышки не на поверхности катода, а в ближайшем узле
сетки метода конечных элементов.

16
 Интересующий нас результат – Кинематические параметры электрона –
будут выводиться в окне «Точечный эмиттер. Кинематиче ские
параметры» (рис. 2.9).

Рисунок 2.8 – Окно настройки «Точечный эмиттер. Эмиттер» для

расчета траекторий пучка

Рисунок 2.9 – Вид окна «Точечный эмиттер. Кинематические

параметры», в котором выводятся результаты расчета кинематических
параметров движения электрона
17
 В первом столбце выводятся текущие координаты электрона, во втором
– компоненты вектора скорости электрона, в третьем – компоненты вектора
ускорения электрона.
В результате получаем траекторию движения электрона (см. рис. 2.10).
Дальше электрон летит по инерции по прямой линии, направленной по
вектору скорости в точке Хк.

Рисунок 2.10 – Траектория электрона в ускоряющем промежутке

В начале процесса построения очередной траектории указываем

мышкой начальную точку траекторий на катоде. После этого программа
строит траектории заряженных частиц в электрическом поле ускоряющего
промежутка.
В рабочем режиме кроссовер электронного пучка (точка, в которой
диаметр пучка минимален) расположен внутри отверстия в аноде в области,
где электрическое поле ускоряющего промежутка отсутствует. Поэтому
электроны пучка в зоне кроссовера летят по инерции по прямым
траекториям.
Программа Elcut рассчитывает траекторию пучка от начальной точки
XН и YН, расположенной на поверхности катода до точки ХК и YК = 0 на оси.
Дальше траектория продолжается по прямой под углом к оси, определяемым

18
величинами продольной VX и поперечной VY скоростей электрона в этой
точке.
Результаты вычислительного эксперимента представлены в таблице 2.1.
Таблица 2.1 – Результаты вычислительного эксперимента по
нахождению траекторий электронного пучка

Положение, мм Скорость, м/с Vx/Vy

Xн=0, Yн Xк Vx Vy tgα
меняем меняется,
Yк = 0
1,9549 42,685 1,446800E+08 –5575770 0,03859
1,4715 45,328 1,451320E+08 –3610060 0,02487
1,0369 46,345 1,446680E+08 –2456070 0,01698
0,7478 48,859 1,448260E+08 –1629880 0,0113
0,4583 46,866 1,447840E+08 –1066980 0,00737

Построим полученные траектории движения электронов пучка в

программе AuthoCAD. В результате получим кроссовер электронного пучка
(рис. 2.11).

Рисунок 2.11 – Кроссовер электронного пучка

2.4. Моделирование работы ускоряющего промежутка пушки

19
 Электроны, попадающие в ускоряющий промежуток, формируют пучок
в области положительных эквипотенциалей поля. Нулевые потенциалы
ограничивают диаметр пучка на катоде. В области отрицательных
эквипотенциалей эмитированные с катода электроны не попадают в
сварочный пучок. Таким образом, эффективный диаметр катода,
определяемый нулевыми эквипотенциалями поля, оказывается меньше
физического диаметра катода.
При подаче на Винельт (управляющий электрод) отрицательного
потенциала уменьшается величина тока пучка, поскольку эквипотенциали,
создаваемые Винельтом, создают запирающий слой, который ограничивает
эмиссию электронов с катода. Для моделирования данного процесса
необходимо изменить значение потенциала на Винельте и заново провести
расчет распределения поля, после чего построить траектории электронного
пучка.
Диаметр эмитирующей части катода уменьшается, по мере увеличения
отрицательного потенциала, это приводит к уменьшению тока пучка. При
запирающем потенциале порядка –3 кВ электронный пучок не эмитируется
(ускоряющий промежуток запирается) [3].
Проведем моделирование запирания электронной пушки для различных
значений потенциала на управляющем электроде и определим граничные
значение седловой точки и значения на Винельте, при которых пушка
полностью запирается.
При моделировании траектории пучка был взят интервал значений на
управляющем электроде от –60 500 В до –63 000 В.
–60 500 В было принято как начальное значение, установленное на
Винельте при небольших токах. Как мы можем наблюдать, область
эффективной эмиссии катода незначительно отличается от его номинального
диаметра (рис. 2.12, а).

20
 Рисунок 2.12, а – Моделирование запирания пушки (значение на
Винельте –60 500 В)

При дальнейшем моделировании запирания пушки был взят шаг в 1000

В. По полученным траекториям наблюдается сужение области эмиссии
электронов с катода (рис. 2.12, б).

Рисунок 2.12, б – Моделирование запирающего слоя (значение на

Винельте –61 500 В)

21
 При значении на управляющем электроде –62 900 В было определено
примерно значение, при котором происходит граничное запирание пушки
(седловая точка). По траекториям частиц видно, что эффективный диаметр
катода, с которого происходит эмиссия частиц в лучепровод, наименьший
(рис. 2.12, в).

Рисунок 2.12, в – Моделирование запирающего слоя (значение на

Винельте –62 900 В)

При повышении отрицательного значения на управляющем электроде

(значение –63 000 В) пушка полностью запирается. Данный случай
представлен на рисунке 2.12, г.

Рисунок 2.12, г – Моделирование запирающего слоя (значение

на Винельте –63 000 В). Пушка полностью заперта.
22
 Таким образом, при увеличении отрицательного потенциала на
управляющем электроде происходит постепенное запирание пушки.
Эффективный диаметр катода уменьшается, соответственно уменьшается и
ток пучка.
При дальнейшем увеличении отрицательного потенциала на
управляющем электроде пушка запирается полностью, электроны
эмитируются с катода, но в ускоряющий промежуток не вылетают.
Таким образом, имеются две технические возможности для изменения
тока пучка: изменение напряжения на управляющем электроде и изменение
температуры катода.
Изменение температуры катода производится путем интенсивности
электронной бомбардировки за счет изменения мощности потока электронов
от вспомогательного катода. Однако такой способ регулировки очень
инерционен и на практике применяется крайне редко.
Изменение напряжения на управляющем электроде происходит
практически мгновенно, поэтому при применении такой схемы управления
силой тока электронного луча появляется возможность реализовать
импульсные режимы сварки с высокой частотой [5].
Минимальная величина вакуумного промежутка определяется
максимально допустимой напряженностью электрического поля Eмакс, равной
15 кВ/мм [3].
На рисунке 2.13 представлена максимальная напряженность
электрического поля на аноде (выделено красным цветом).
Как видно из рисунка, пробоя не будет, поскольку значение
напряженности не превышает 15 кВ/мм.

23
Рисунок 2.13 – Максимальное касательное напряжение

24
 3. Проектирование вакуумной системы
3.1 Выбор вакуумной схемы
Выбираем схему с дифференциальной (отдельно происходит откачка
вакуумной камеры и ЭЛП) откачкой, изображенную на рисунке 3.1.

Рисунок 3.1 – Вакуумная схема:

ЭП – электронно-лучевая пушка; ВК – рабочая вакуумная камера;
Ш – вакуумный затвор; 1,9 – натекатели; 2 – турбомолекулярный насос;
3 – термоэлектрический датчик замера давления остаточных газов;
4 – ионизационный датчик замера остаточных газов; 5 – форвакуумный
насос; 6 – основной высоковакуумный диффузионный насос; 7 – сильфонная
развязка; 8, 10, 11, 12 – клапаны

25
 3.2 Расчет суммарного потока газов
После выбора вакуумной схемы проводится расчет параметров для
выбора вакуумных насосов. Для этого рассчитывается количество газов,
поступающих в вакуумную систему.
Суммарный поток газов, поступающих в рабочий объем Q∑,

определяется формулой (3.1).

Q∑ = Q + Qдиф + Qпр + Qпов = pS0,

нат

(3.1)

где Qнат – поток газов, натекающий из атмосферы через течи и соединения,

м3Па⁄с; Qдиф – поток газов, обусловленный диффузионным газовыделением

из глубины конструкционных материалов и обрабатываемых изделий, м3Па⁄с;

Qпр – поток, обусловленный проницаемостью стенок вакуумной камеры,
м3Па⁄с; Qпов – поток газа с поверхности рабочей камеры и элементов,
расположенных в ней, м3Па⁄с; p – давление в рабочей камере, Па; S0 –
эффективная быстрота откачки камеры при давлении p, м3⁄с.
Поток Qпр связан с натеканием газа в вакуумную камеру как по

соединениям, так и по сплошному материалу, которые не могут обеспечить

абсолютную герметичность. Так как в конструкции вакуумной камеры нет
нагретых элементов, отделяющие вакуумную камеру от атмосферы, то в
расчете Qпр будет пренебрежимо мало, формула (3.2).

∑
Qпр = qпрi Аi,
i=1

(3.2)

26
где qпрi – удельная проницаемость i-ых материалов, м3Па⁄м2с [1, табл. 4];

Аi – площади поверхностей соответствующих материалов, м2.

Поток газа с поверхности рабочей камеры и элементов, расположенных
в ней рассчитывается по формуле (3.3).

∑
Qпов = qi Аi, (3.3)
i=1

где qi – удельное газовыделение материалов, м3Па⁄м2с; Аi – площади

поверхностей соответствующих материалов, м2.
n
Аi = 1*6 = 6 м 2 − дл я вак у умной ка меры
∑
i=1

Габаритные размеры пушки ЭЛА 60/60: 330мм*270мм*540мм [2]

n
π ∙ 0.342
= 0,77 м 2 − дл я ЭЛП
∑
Аi = π ∙ 0.34 ∙ 0.55 + 2 ∙
i=1
4

(рассчитываем цилиндрическую камеру, берем с небольшим запасом)

Удельное газовыделение qi с поверхностей нагретых деталей и
элементов рабочей камеры можно считать одинаковым и постоянным во
времени. Так как скорость десорбции газов с поверхности экспоненциально
зависит от температуры, то нагретые элементы десорбируют газы
практически полностью на начальном этапе нагрева. Затем уровень
газовыделения нагретых элементов становится постоянным и соответствует
газовыделению отожжённых в вакууме материалов.
Газовыделение с поверхностей холодных элементов (комнатная
температура) переменно во времени и определяется формулой (3.4)

lgqi = Aдеc − Bдеct,

(3.4)

27
где t – длительность откачки, с; АДЕС, ВДЕС – постоянные [6, табл. 92].(для
-5
н е р ж а в е ю щ е й с т а л и АДЕС = 4 . 1 , ВДЕС = 8 . 3 · 1 0 ,

qi = 4*10−4 м 3 Па /(м 2*с)).

Поток газов, связанный с натеканием в рабочую камеру обычно берется
по характеристикам элементов вакуумных систем, а при их отсутствии
равным или несколько большим произведения чувствительности
течеискателя на число мест, которые могут стать источником натекания [1,
-13
табл. 1]. (В данном случае чувствительность течеискателя равна 5·10

3
м Па/с, а число возможных мест натекания газа равно 6 для вакуумной

камеры и 2 для ЭЛП.)

Диффузионное газовыделение связано с выделением газов из
конструкционных материалов и зависит от материала и его предварительной
обработки. Расчет производится по формуле (3.5).

∑
Qдиф = qДi Аi,
i=1

(3.5)

где qДi – удельное газовыделение материалов, м3Па⁄м2с; Аi – площади

поверхностей элементов, м2.

с0 D
qд = ,
2 t
(3.6)

28
где с0 – начальная концентрация газа в твердом теле, м3Па⁄м3; D –
коэффициент диффузии, м2/c [1, табл. 6 и 7]; t – время откачки, с.
Рассчитывается общий поток газов Q∑ как сумма всех потоков газов,

поступающих в рабочую камеру.

Все расчетные потоки газа запишем в таблицу 3.1.
Таблица 3.1 – Расчетные потоки газа

Потоки газа ЭЛП Вакуумная камера

Qпр, м3Па⁄с 0 0
Qпов, м3Па⁄с 3,08·10–5 2,4·10–3
Qнат, м3Па⁄с 1·10–12 3·10–12
Qдиф, м3Па⁄с 0 0
Q∑, м3Па⁄с 3,08·10–5 2,4·10–3

Поток газов, обусловленный диффузионным газовыделением из

глубины конструкционных материалов и обрабатываемых изделий Qдиф
равен 0, так как при комнатной температуре отсутствует диффузия из
глубины материала.
Поток газа, обусловленный̆ проницаемостью стенок вакуумной̆ камеры
и ЭЛП, QПР равен 0, так как в системе отсутствуют материалы, способные

пропускать газы при комнатной̆ температуре.

3.3 Проектный расчет

Для откачки камеры электронной пушки (откачиваем до давления
10–3 Па, объем камеры 0,05 м3):
Исходя из заданного рабочего давления 10–3 Па, выбираем в качестве
основного насоса турбомолекулярный насос. Для создания указанного
предварительного вакуума выбираем пластинчато-роторный насос.

29
 Находим конкретный типоразмер турбомолекулярного насоса по
значению потока газа и определим необходимую эффективную быстроту
откачки камеры пушки:
Q ∑ ЭЛП
( с )
3,08*10−5 м3
Sэфф1 = = = 0,0308 ;
pраб 10−3

Далее находим быстроту действия насоса.

( с )
м3
SN1расч = v1S01 = 0,0616 , для турбонасосов ν1= 2.

Т.е. при выборе турбомолекулярного насоса должны выполняться

условия:

( с )
м3
1) Sном1>0,0616 ;

−3
Sэфф1 1
2) pпр <Ки1 · pраб= 0,5 · 10 (Па), где Ки1 = = = 0,5 –
SN1 ν1
коэффициент использования насоса.
Из каталога выбираем Насос высоковакуумный турбомолекулярный
TURBOVAC 90 i АО «Вакууммаш» с характеристиками:

( с )
м3
Номинальная быстрота действия (Sном1) – 0,09 ;

Наибольшее выпускное давление – 14 · 102 Па;

Предельное давление – 8 · 10−6 Па.
Характеристики насоса запишем в таблицу 3.1.
Таблица 3.1 – Характеристики насоса TURBOVAC 90i

Быстрота откачки, м3/с 0,09

Предельное давление, Па 8·10–6

30
 Наибольшее выпускное давление, Па 1400
Расход охлаждающей воды, л/ч от 30 до 60

Рабочее давление пластинчато-роторного насоса выбираем по

максимальному выпускному давлению турбомолекулярного насоса с
коэффициентом запаса η = 2. Тогда:
1400
pрасч.раб = = 700 Па;
2
Что соответствует эффективной быстроте откачки:
Q ∑ ЭЛП
( с )
−8 м3
Sэфф2 = = 4,4 · 10 ,
pрасч.раб

так как суммарный поток на данном этапе расчета принимается постоянный.

Далее находим быстроту действия насоса.

( с )
м3−8
SN2расч = v2Sэфф2 = 5,72 · 10 ;

для объемных насосов ν2= 1,3.

Т.е. при выборе пластинчато-роторного насоса должны выполняться
условия:

( с )
−8м3
1) SN2>5,72 · 10 ;

2) pпр <Ки2 · pрасч.раб= 539 Па, где Ки2 = 0,77 – коэффициент

использования насоса.
Из каталога выбираем Насос вакуумный пластинчато-роторный
TRIVAC D 4B АО «Вакууммаш» с характеристиками:

( с )
м3 −3
Номинальная быстрота действия (Sном2) – 2,3 · 10 ;

31
 Предельное давление – не более 5 Па .
Характеристики насоса запишем в таблицу 3.2.
Таблица 3.2 – Характеристики насоса TRIVAC D 4B

Быстрота откачки, м3/с 2,3*10–3

Предельное давление, Па не более 5
Масса, кг 17,9

Проверим возможность использования насоса для предварительной

откачки ЭЛП объемом 0,05 м 3 .
Найдем эффективную быстроту откачки конкретно для этого насоса.

( с )
Sном2 3
−3 м
S02 = = 1 · 10
v2

Тогда получаем время откачки электронной пушки до давления 10–3 Па

(Р1=105 Па, Р2=10–3 Па)
V P
t= ln 1 = 921 (c) = 15,4 (мин) .
S02 P2
Для откачки рабочей вакуумной камеры (откачиваем до давления 10–3
Па, объем камеры 1 м3):
Исходя из заданного рабочего давления 10–3 Па, выбираем в качестве
основного насоса диффузионный паромасляный насос, для нормальной
работы которого необходимо предварительное разрежение порядка 1–10 Па.
Для создания указанного предварительного вакуума выбираем
диффузионный и форвакуумный пластинчато-роторный и двухроторный
насосы.
Находим конкретный типоразмер диффузионного насоса по значению
потока газа (QΣ = 2,4·10–3 м3Па/с). Определим необходимую эффективную
быстроту откачки:

32
 Q ∑ Вак. камера
( с )
м3
Sэфф1 = = 2,4
pраб

Далее находим быстроту действия насоса.

( с )
м3
SN1 = v1Sэфф1 = 3,36 , для паромасляных насосов

ν1 = 1,4 .
Т.е. при выборе паромасляного диффузионного насоса должны
выполняться условия:

( с )
м3
1) SN1 > 3,36

2 ) pпр < Ки1 · pраб < 0,71 · 10−3 Па , где Ки1 = 0,71 –

коэффициент использования насоса.

По каталогу выбираем диффузионный вакуумный насос НД-500,
характеристики которого представлены в таблице 3.3.
Таблица 3.3 – Вакуумный диффузионный паромасляный насос НД-500

Быстрота откачки, м3/с 10,8

Предельное давление, Па 3·10-5
Наибольшее выпускное давление, Па 60
Расход охлаждающей воды, л/ч 550
Потребляемая мощность, кВт 7,2
Диаметр впускного патрубка, мм 500
Диаметр выпускного патрубка, мм 100
Габаритные размеры, мм: 818×695×940
Масса, кг 92

33
 Теперь определим параметры насоса, находящегося в хвосте
диффузионного насоса.

Аналогично выбираем последовательно включенный насос. При этом в

качестве его рабочего давления принимается максимальное выпускное
давление предыдущего насоса:

p2 = p/η, (3.7)

где p = 60 Па; η = 2 – коэффициент запаса.

p2 = 60/2 = 30 Па.

Производительность откачки QΣ для всех последовательно включенных

насосов остается неизменной: Q = 2,4·10–3 м3Па/с.

Эффективная быстрота откачки, соответствующая давлению p2:

Q ∑ ЭЛП
( с )
−5м3
Sэфф2 = = 8 · 10 ,
p2

Далее находим быстроту действия насоса.

( с )
м3−5
SN2расч = v2Sэфф2 = 10,4 · 10 ;

для объемных насосов ν2= 1,3.

Коэффициент использования насоса Ки = Sэфф2/SN2расч = 0,77.
Т.е. при выборе насоса должны выполняться условия:

( с )
м3
−4
1) SN2 > 1,04 · 10

2) pпр < Ки2 · pрасч.раб = 23,1 Па, где Ки2 = 0,77 – коэффициент

использования насоса.
Выбираем двухроторный вакуумный агрегат АВР-150 (см. табл. 3.4).

34
Таблица 3.4 – Двухроторный вакуумный агрегат АВР-150 (ДВН-150, НВЗ-20)

Быстрота действия, м3/с 0,15

Предельное остаточное давление, Па 6,6·10-2
Наибольшее давление запуска, Па 6,6·102
Мощность электродвигателей, кВт 3,3
Габаритные размеры, мм: 896×444×1165
Масса, кг 295
Диаметр входного патрубка, мм 100

Найдем эффективную быстроту откачки конкретно для этого насоса.

( с )
Sном2 0,15 м3
S0 = = = 0,115 ;
v2 1,3

Определим теперь параметры форвакуумного насоса, откачивающего

камеру.

В качестве его рабочего давления принимается наибольшее давление

запуска насоса типа ДВН:

P3 = p/η,

где p = 660 Па; η = 2, – коэффициент запаса.

P3 = 660/2 = 330 Па.

Производительность откачки Q остается неизменной: Q = 2,4·10–3

м3Па/с.

Sэф3 = 2,4·10–4 /330 = 7,27·10–7 м3/с;

Ки3 = 0,7;

pпр3 = 7·10–1 Па – для золотникового типа насоса;

35
 ( с )
м3
−7
SN3расч = v3Sэфф3 = 9,5 · 10 .

Выбирается вакуумный насос, имеющий номинальную быстроту

действия, большую или равную значению SN3расч = 9,5·10–7 м3/с.

Таблица 3.5 – Золотниковый вакуумный насос АВЗ-90

Диапазон рабочих давлений, Па 4…1·105

Быстрота откачки, м3/с 0,09
Предельное давление, Па 0,7
Частота вращения ротора, об/мин 1500
Количество масла, заливаемого в насос, дм3 14
Расход охлаждающей воды, дм3/с 0,20
Мощность электродвигателя, кВт 11
Габариты, мм: 1000×575×1035
Масса, кг 600
Диаметр впускного патрубка, мм 100

Эффективная быстрота откачки камеры именно этим насосом:

( с )
Sном3 0,09 м3
S0 = = = 0,07 ;
v3 1,3

Рассчитаем время предварительной откачки камеры до 10–3 Па. Для

этого используем номограмму [7]. Тогда время откачки камеры от
атмосферного до рабочего давления (10–3 Па) равно: τ = 852 с.

3.4 Проверка совместимости насосов

Построим графики совместимости насосов с целью проверить

совместность работы насосов в системах.

36
 Точка пересечения кривых Sэф1 и SQ соответствует установившемуся
режиму работы турбомолекулярного насоса. Давление в точке пересечения
должно быть равно рабочему давлению турбомолекулярного насоса.
Условием запуска системы можно считать отсутствие двойного
пересечения кривых S Q и S эф1 в промежутке рабочих давлений.
Следовательно, система запускается.
Для камеры пушки график проверки совместимости насосов приведен
на рисунке 3.2, а для рабочей камеры – на рисунке 3.3.

Рисунок 3.2 – График проверки совместимости насосов для камеры пушки

37
 Рисунок 3.3 – График проверки совместимости насосов для рабочей
камеры

Точка пересечения кривых Sэф1 и SQ соответствует установившемуся

режиму работы диффузионного насоса. Давление в точке пересечения
должно быть равно рабочему давлению диффузионного насоса. Аналогично
по пересечению кривых Sэф2 и SQ , Sэф3 и SQ можно найти рабочие давления
остальных насосов. Если они меньше, чем максимальное выпускное
давление диффузионного насоса, то насосы работают совместно.
Условием запуска системы можно считать отсутствие двойного
пересечения кривых SQ и Sэф1 в промежутке рабочих давлений.
Следовательно, система запускается.

38
 Заключение

В представленной курсовой работе рассмотрена взятая за прототип

электронно-лучевая пушка ЭЛА 60/60. Произведено моделирование ее
ускоряющего промежутка в программе ELCUT, выполнен расчет траекторий
движения электронов пучка, проведено моделирование работы ускоряющего
промежутка пушки. Произведен расчет вакуумной системы и осуществлен
выбор насосов для откачки камеры пушки и рабочей камеры объемом 1 м3.

39
 Список использованной литературы
1. Щербаков А.В., Новокрещенов В.В., Родякина Р.В., Ластовиря
В.Н. Оборудование электронно-лучевых комплексов для производства
продукции современной энергетики: учебное пособие. – М.: Вече,
2016.− 208 с .
2. Кайдалов А.А., Истомин Е.И. Сварочные электронные пушки
(Инженерно-техническое описание и инструкция по эксплуатации
сварочных электронных пушек УЛ-119, ЭЛА-15, ЭЛА-30, ЭЛА 60/60,
ЭЛА 60Б). Киев : Научно технический комплекс «Институт

электросварки им. Е.О. Патона» Национальной Академии наук

Украины, 2003. – 153 с.
3. Балашов В.Н., Драгунов В.К., Гончаров А.Л., Терентьев Е.В.
Моделирование сварочных электронных пушек: учебное пособие. –
М.: Вече, 2016.

4. Ластовиря В.Н. Оборудование для обработки материалов

электронным пучком: учебное пособие по курсу «Технологические
машины и оборудование» издательство МЭИ, 1997. 132 с.

5. Слива А.П., Родякина Р.В., Терентьев Е.В. Основы технологии

электронно-лучевой сварки. М.: Изд-во МЭИ, 2019. – 84 с.
6. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: учебник для вузов. 3-е

издание М.: Высш. Шк., 2007. 391 с.

7. Юрьева А.В. «Проектирование вакуумных систем». Томск,

издательство Томского политехнического университета, 2015. – 38 с.
8. ОАО «Вакууммаш» // http://vacma.ru

40