TECNOLOGISTA MICROSCOPIA ELETRÔNICA – CETENE

MÓDULO 1

1.1 COMPONENTES DO MEV

O MEV consiste basicamente da coluna ótico-eletrônica (canhão de elétrons e sistema de
demagnificação), da unidade de varredura, da câmara de amostra, do sistema de detectores e do sistema de
visualização da imagem. O canhão de elétrons é usado para a produção do feixe de elétrons com energia e
quantidade suficiente para ser captado pelos detectores. Esse feixe eletrônico é então demagnificado por várias
lentes eletromagnéticas, cuja finalidade é produzir um feixe de elétrons focado com um pequeno diâmetro
numa determinada região da amostra.

1.2 COLUNA ÓTICO-ELETRÔNICA

Na coluna ótico-eletrônica ficam localizados o canhão de elétrons, que gera os elétrons primários, as
lentes condensadoras, que colimam o feixe de elétrons primários, as bobinas, que promovem a deflexão do
feixe de elétrons primários no sentido horizontal e vertical sobre uma dada região da amostra, e ainda as
bobinas que fazem as correções de astigmatismo. Toda a coluna deve estar sob vácuo durante a emissão do
feixe de elétrons primários.

1.2.1 Canhão de Elétrons

O canhão de elétrons é um conjunto de componentes essenciais para a produção e aceleração de elétrons
na microscopia eletrônica de varredura (MEV). A estabilidade e intensidade do feixe de elétrons são cruciais
para obter uma imagem de qualidade. O diâmetro inicial do feixe, gerado pelo canhão, é inadequado para
grandes ampliações, sendo necessário reduzi-lo por meio de condensadoras, que são lentes eletromagnéticas.
Geralmente, os MEVs conseguem gerar um feixe com diâmetro da ordem de 10 nm ao atingir a amostra,
mantendo uma corrente suficiente para uma boa resolução.
Diferentes tipos de canhão de elétrons são utilizados em microscópios, variando na corrente produzida,
no tamanho da fonte, na estabilidade do feixe e na vida útil da fonte. O modelo mais comum é composto por
três componentes, seguindo o formato de triodo: um filamento de tungstênio como cátodo, o cilindro de
Wehnelt e o ânodo.
O filamento de tungstênio opera com base no efeito termoiônico, emitindo elétrons quando aquecido.
Para prolongar sua vida útil, é utilizado um material que requer baixa energia para emissão. O tungstênio, por
exemplo, tem uma temperatura de emissão de 2427 °C, bem abaixo da temperatura de fusão de 3410 °C,
resultando em uma baixa evaporação e maior durabilidade, aproximadamente 60 horas.
A fonte, com voltagem entre 200 V e 30 KV, aquece resistivamente o filamento. Durante a operação, o
filamento é mantido em potencial negativo pela fonte de alta voltagem, emitindo elétrons em todas as direções.
O cilindro de Wehnelt, polarizado negativamente, atua como um eletrodo de controle, focalizando os elétrons
para dentro do canhão e regulando sua quantidade. Abaixo, encontra-se o ânodo.
O cilindro de Wehnelt e o ânodo funcionam como um sistema de lentes eletrostáticas, resultando em um
feixe focalizado no ponto de entrecruzamento, próximo ao orifício do ânodo. Este ponto é o primeiro foco,
uma imagem da área de emissão do filamento. A manipulação da tensão na grade catódica influencia o
tamanho dessa área, permitindo a produção de um fino feixe de elétrons primários. O ponto de
entrecruzamento, não o filamento, é usado como fonte para as lentes eletromagnéticas.
A resolução do MEV não depende apenas da tensão de aceleração, mas também do desempenho das
lentes condensadoras e da minimização da área de emissão. A corrente do feixe atinge a amostra com uma
ordem de grandeza menor do que a corrente no "crossover" devido às aberturas na coluna. A imagem do
primeiro foco deve ser a menor possível, pois as lentes condensadoras convertem o feixe em um formato mais
fino, monocromático e focado na amostra. Um "crossover" grande pode resultar em perda de resolução ou
exigir mais das lentes magnéticas, comprometendo o desempenho da coluna. Assim, a eficiência do MEV não
se limita apenas à tensão aplicada, mas também à otimização do sistema de lentes condensadoras e à redução
da área de emissão.

1.2.2 Caracteristicas da fonte

Uma fonte de elétrons é considerada eficaz com base em parâmetros cruciais, como densidade de
corrente, brilho, tempo de vida, tamanho e estabilidade. A densidade de corrente (Jb) é uma medida
fundamental expressa como a corrente dividida pela área, porém, não considera a divergência do feixe. Para
avaliar adequadamente o desempenho da fonte, o brilho (β) é um parâmetro mais abrangente, levando em
conta densidade de corrente, divergência e área sólida. O brilho é essencial para determinar a eficiência da
fonte, aumentando com a voltagem e diminuindo com o aumento da temperatura do filamento.
Apesar da existência de outras fontes emissoras, como o Hexaboreto de Lantânio (LaB6) e o Field
Emission Gun (FEG), o filamento de tungstênio é amplamente utilizado devido ao seu desempenho satisfatório
e custo acessível. O tungstênio é escolhido por sua emissão termoiônica eficiente, mesmo operando a
temperaturas bem abaixo de seu ponto de fusão, garantindo uma vida útil de aproximadamente 60 horas. A
estabilidade das fontes termoiônicas, como o tungstênio e o LaB6, é crucial, especialmente para microanálise,
mantendo-se em torno de 1%. A durabilidade do filamento de tungstênio, em condições normais de operação
a vácuo, varia de 30 a 100 horas.
Para melhorar o brilho, considera-se mudar o material da fonte ou o mecanismo de emissão. A fonte
termoiônica de LaB6 oferece maior brilho em comparação com o tungstênio, sendo cerca de 5 a 10 vezes mais
brilhante e com uma vida útil mais longa. No entanto, sua operação requer um vácuo mais elevado, inferior a
10-5 Pa, e envolve custos operacionais significativamente maiores.
Outra abordagem é a fonte de emissão eletrostática (Field Emission Electron Guns), geralmente um
monocristal de tungstênio. Sua ponta extremamente fina resulta em um campo elétrico extremamente alto,
proporcionando uma densidade de corrente significativamente maior do que as fontes termoiônicas. Apesar
de oferecer uma resolução de 1 a 2 nm devido à menor demagnificação necessária, essas fontes têm
desvantagens, como menor estabilidade do feixe e a necessidade de um vácuo extremamente elevado.
A escolha da fonte de elétrons depende da aplicação específica. Para médios aumentos, onde o alto brilho
não é crítico, e para análises estáveis de materiais, o filamento de tungstênio permanece como uma opção
viável. Por outro lado, para aplicações que exigem alta resolução e brilho intenso, fontes como LaB6 ou
emissão eletrostática podem ser mais adequadas, embora apresentem desafios operacionais e custos mais
elevados.

1.3 SISTEMA DE LENTES

O sistema de lentes no Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV) desempenha um papel crucial na
obtenção de imagens de alta resolução. Sua principal função é demagnificar a imagem do "crossover" (ponto
de entrecruzamento do feixe de elétrons) de aproximadamente 10 a 50 µm, nas fontes termoiônicas, para um
tamanho final entre 1 nm e 1 µm ao atingir a amostra, resultando em uma demagnificação da ordem de 10.000
vezes. Nas fontes eletrostáticas, onde a fonte já é pequena, essa redução é cerca de 10-100 vezes.
A focalização dos elétrons pode ser realizada por campos eletrostáticos ou magnéticos. A primeira
focalização ocorre no canhão de elétrons, enquanto as lentes dentro da coluna, na maioria dos microscópios,
são eletromagnéticas. Embora menos eficientes que as lentes de vidro para focar a luz, as lentes
eletromagnéticas são as mais usadas devido ao menor coeficiente de aberração.
O sistema de lentes inclui três condensadoras, sendo a última chamada de objetiva. As duas primeiras
condensadoras colimam o feixe de elétrons, demagnificando a imagem do "crossover", enquanto a objetiva
reduz as aberrações esféricas. Geralmente, essas lentes são controladas automaticamente e simultaneamente.
As lentes eletromagnéticas consistem em um cilindro de ferro com bobinas de cobre no interior, criando um
campo magnético homogêneo. Uma fenda no cilindro desvia os elétrons fora do eixo ótico, com a intensidade
da deflexão dependendo da energia dos elétrons e da intensidade do campo magnético. A componente
perpendicular ao eixo ótico causa um movimento em espiral dos elétrons à medida que atravessam a coluna,
o que pode levar à rotação da imagem quando a corrente é alterada.
A mudança na altura da amostra (eixo Z) afeta a focagem, alterando a distância de trabalho (working
distance - WD). A distância focal da lente objetiva, responsável por ajustar a focagem, é influenciada pela
corrente nas bobinas e pela voltagem de aceleração do feixe eletrônico. Microscópios modernos ajustam
automaticamente a corrente das lentes para compensar as mudanças na voltagem, mantendo a distância focal
constante. Em resumo, o sistema de lentes no MEV desempenha um papel vital na manipulação do feixe de
elétrons, garantindo a demagnificação adequada e a focalização precisa para obter imagens de alta qualidade.

1.3.1 Lentes Condensadoras

A maioria dos microscópios é equipado com duas lentes condensadoras, cuja função é demagnificar
o feixe eletrônico. Conforme descrito anteriormente, quanto maior a corrente que flui pelas condensadoras,
menor o tamanho final do feixe eletrônico e consequentemente menor a corrente do feixe que atinge a amostra.
As condensadoras são normalmente refrigeradas ao ar, pois são lentes mais fracas e o calor por elas gerado
devido a passagem de corrente é facilmente dissipado.

1.3.2 Lente Objetiva

A última lente da coluna é a objetiva, cujo principal papel é focar a imagem variando a distância focal
do feixe eletrônico ao longo do eixo ótico (eixo Z) da coluna. Como a lente objetiva é a lente mais potente do
MEV, com uma intensa corrente fluindo através de suas bobinas, ela normalmente precisa ser refrigerada.
Esta lente normalmente contém as bobinas defletoras, as bobinas de correção do astigmatismo e a abertura
final.

1.4 ABERRAÇÕES DE LENTES

Como resultado da deflexão não ideal da lente magnética, erros óticos na formação do feixe são
introduzidos. Esses erros são conhecidos como aberrações e causam uma defasagem dos raios eletrônicos no
foco. Como resultado a imagem fica desfocada. As três principais aberrações das lente eletromagnéticas são:
astigmatismo, aberração esférica e aberração cromática.

1.4.1 Astigmatismo
A assimetria no campo magnético de uma lente no Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV) resulta
em astigmatismo, influenciando a focalização do feixe eletrônico. Essa não simetria, proveniente de
irregularidades no material da lente, assimetria nas bobinas, sujeira na abertura ou carga na amostra, pode
causar a formação de uma imagem elíptica em vez de circular. O astigmatismo leva a um alargamento do
feixe, mesmo sem outras aberrações presentes.
Detectado em aumentos significativos, cerca de 10.000x ou mais, o astigmatismo se manifesta quando
a imagem, ao ser focalizada, aparece levemente desfocada acima ou abaixo da posição correta. A imagem
esticada em direções perpendiculares indica o astigmatismo, persistindo mesmo no ponto de foco adequado.
A correção é realizada por oito bobinas, divididas em dois grupos de quatro, aplicando um campo magnético
suplementar para simetrizar a lente em relação ao feixe. A correção resulta na convergência das duas linhas da
imagem para um único ponto focal. Se a correção não for possível, é necessário limpar aberturas e/ou o tubo
da coluna e alinhar a coluna do MEV.

1.4.2 Aberração Esférica

A aberração esférica no Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV) ocorre quando os elétrons mais
afastados do eixo ótico são mais defletidos pelo campo magnético do que os elétrons próximos ao centro. Isso
resulta em vários focos cuja posição varia conforme a distância do centro do eixo ótico. Ao contrário da ótica,
a aberração esférica no feixe de elétrons não pode ser eliminada pela combinação de lentes positivas e
negativas.
 No MEV, a única abordagem para mitigar a aberração esférica é reduzir a divergência do feixe por meio
do uso de uma abertura menor na objetiva. Contudo, essa solução acarreta uma diminuição na corrente do
feixe.

1.4.3 Aberração Cromática

A aberração esférica ocorre como resultado da variação de energia dos elétrons do feixe primário. A
deflexão da trajetória dos elétrons depende não somente da sua posição mas também da sua energia. Desta
maneira elétrons que estejam posicionados a uma mesma distância do centro do eixo eletrônico, serão focados
em pontos diferentes dependendo dos valores de suas energias.

1.5 VARREDURA DO FEIXE DE ELÉTRONS

Nas seções anteriores, exploramos a formação do crossover pelo canhão eletrônico e a demagnificação
e focagem do feixe de elétrons na amostra. Agora, o feixe estacionário resultante é defletido sobre a amostra
por um par de bobinas eletromagnéticas na objetiva, permitindo varreduras nas direções x e y. A varredura do
feixe nas bobinas acompanha a deflexão de sua imagem no vídeo, sendo o aumento da varredura a relação
entre o tamanho da imagem no vídeo e a área varrida na amostra.
A possibilidade de variar o aumento da imagem ao ajustar a área varrida, sem modificar outros
parâmetros, é crucial. Isso permite ao operador escolher um aumento maior do que desejado, focar o feixe
adequadamente e obter uma correta focalização. O tamanho ideal do feixe é aquele cujas bordas tocam
levemente a linha anteriormente varrida. Um feixe muito grande resulta em sobreposição de linhas, causando
desfocagem, enquanto um feixe muito pequeno, ao reduzir a corrente nas lentes condensadoras, aumenta o
ruído eletrônico e deixa áreas da amostra não varridas.
Ao diminuir a voltagem de aceleração do feixe, o circuito eletrônico ajusta a corrente das lentes para
acomodar elétrons menos energéticos, mantendo a demagnificação e o foco. No entanto, esses elétrons são
mais suscetíveis a aberrações óticas e variações do campo magnético. O tamanho do feixe é influenciado por
correntes nas lentes condensadoras, material da amostra e voltagem aplicada, sendo a seleção do diâmetro
ideal mais uma questão empírica.
Ao escolher o aumento desejado e gradualmente reduzir o diâmetro do feixe, ajustando o astigmatismo
e refocando, obtém-se uma imagem nítida. À medida que o tamanho do feixe é reduzido, o ruído eletrônico
aumenta, podendo ser mitigado eletronicamente selecionando uma varredura mais lenta. A correlação entre
velocidade de varredura e redução de ruído eletrônico destaca a importância da experiência na seleção do
diâmetro ideal do feixe para uma condição específica.