��ѹ�ķ�����оƬ�豸�е���Ҫ����

��ѹ�ķ�����оƬ�豸�е���Ҫ����

���Ź�ҵ�Ƽ��Ŀ��ٷ�չ,��ѹ�ķ�����оƬ�����豸�а����Źؼ���ɫ,��Ҫͨ���ṩ�ȶ�,�ྻ�ĸ�ѹ���������㾫�ܹ�������.���������������ü���Ҫ�ԣ�

1. �����ྻ�ȿ���
   ������������оƬ�����Խྻ��Ҫ�󼫸ߣ���ISO 1���޳��ң�����ѹ�ķ��������������ɴ�ȥ�豸�ڲ���΢С��������ֹ��Ⱦ��Բ��
   ��ѹά�֣�ͨ�����ؼ������������̻��ڲ����������͸�ѹ���˿�������ֹ�ⲿ��Ⱦ�����롣
2. ������������
   ��ȷ��������ʴ�̡�������CVD/PVD���ȹ����У���ѹ�ķ������������壨�����������������ȶ�ѹ�����������͵���Ӧǻ�塣
   ����ѭ����������ϵͳ��Э������ѭ����ȷ����Ӧ�����ԡ�
3. ��ȴ���¿�
   �豸ɢ�ȣ�Ϊ�߹����������缤�������������巢�������ṩǿ�Ʒ��䣬��ֹ����Ӱ�쾫�ȡ�
   ��Բ�¶ȹ�����ͨ���������ھ�Բ�����¶ȣ�ȷ������һ���ԣ����˻����̣���
4. ��������������
   �ֲ��������ɣ��������ձ�ϵͳ�������ų�������ά�־ֲ���ѹ������
   ���������������ղ������к����壨��ʴ�̸������ɨ������ϵͳ��
5. �ؼ��豸֧��
   ���̻�Ӧ�ã��ڼ����⣨EUV�������У���ѹ�������ڿ��ƾ����ȱ��β���ȥ��Ⱦ�
   ��Բ���ˣ������Զ���ϵͳ���������������ǽӴ�ʽ���ˣ���������ѹ����������Բ��
6. ���⹤������
   ���������ࣺ����ϴ�����ﲽ���У���ѹ����ȥ������Һ����������
   �������ƣ��������ܷ��Ż�ִ�����Ķ�����
������ս��Ҫ��
   �������У���������Ⱦ����������������������ʽ���ơ�
   ������������������ֹ����Ӱ���豸���ȣ������׼����̶��룩��
   �͸�ʴ���ϣ�Ӧ��ʴ�����壨�������⣩�ĸ�ʴ�ԡ�
����Ӧ�ó�������
  ���̻���ά�־�ͷ�ྻ����ȴ��Դ��
  ʴ�̻������ͷ�Ӧ���岢�ų������
  ��Ĥ�����豸�����ȷֲ�����ǰ���塣
�ܽ�
��ѹ�ķ�����оƬ�豸�в��ɻ�ȱ�ĸ���ϵͳ��ֱ��Ӱ�����ʡ������ȶ��Ժ��豸�����������Ƴ̽ڵ���������3nm���£������������Ⱥͽྻ�ȵ�Ҫ�󽫸����Ͽ����ƶ���ѹ�ķ������������ܣ��������������ڡ����׼����ˣ���չ��