chp0 - CEF CI FL - (20 21)
chp0 - CEF CI FL - (20 21)
chp0 - CEF CI FL - (20 21)
module
Microélectronique :
Histoire: résumé
Période du Tube :
●
1904 : invention de la diode, par « J. A. Fleming » anglais, utilisée dans
les postes radio.
●
1907 : Mise au point de la triode par l'américain « L. de Forest »
utilisée dans l'amplification du signal radio.
●
Inconvénients : Encombrement, forte consommation et manque de
fiabilité
●
Naissance de la µtronic : grâce à 2 inventions technologiques
●
Première:1947-48 : invention du transistor bipolaire En tant
qu'élément discret (Bardeen, Brattain, Schockley).
●
1954: fabrication du 1ier tran.sur Si.
●
- taille en 58 = ordre du cm3
●
- taille en 64 = ordre d'un grain de sel.
●
55 : fabrication de la 1ière calculatrice à base de transistor par IBM
à 2000 transistors. Nécessite multiplicité des connexions et donc
encombrement des systèmes.
●
2nd invention en 59 :invention de la technologie planaire = véritable
saut technologique.
●
59 : fabrication du 1er trans. Planaire par « Jean Hoeni »de fairchild
Semiconductors sur la base des jcts pn.
●
61 : 1er CI comportant 6 composants
●
66 : CI à 100 composants
●
76 : 1er µprocesseur : Intel à 2.250 tran. Sur surface de 6cm2 puis
µpross 16 bits à 100.000 tran.
●
82 : 1er PC IBM et 1er Mac à 32 bits en 84.
●
Histoire de la microélectronique
Introduction et définition:
Règle calculante
M. Al’khawarizmi
Machine analytique
Emetteur Radio
Amplificateur Audio
Récepteur Radio
●
Histoire de la microélectronique
≈
Le premier récepteur Radio à transistors bipolaires
●
Histoire de la microélectronique
W. Schottky
L’ère de la microélectronique: Le succès de la µtronic est dû à deux innovations
En 1947 1ière innovation: l’équipe de Schockley a eu l’idée de
réaliser deux diodes à pointes sur le même substrat au
Germanium. Lorsque les deux pointes sont proches, le courant
de l’une influence l’autre. Ceci amène au phénomène connu
sous le nom de
Transistor = Transconductance + varistor
1952 : Publication et description très fouillée de Shockley
1S
G R qnµn
l
S: modifie la section de passage du courant (JFET)
µn: modifie la conductivité de la zone conductrice
(zone active pour le MOSFET). Le tout premier Transistor
●
Histoire de la microélectronique
Equipe schockley
a inventé le premier transistor.
●
Histoire de la microélectronique
En 1957 le masquage par oxyde à
été développé par Frosch et Derrick.
En 1955-57: La lithographie =
procédé inspiré de la photographie
d’où le nom de: Photolithographie.
S. Cray
●
Histoire de la microélectronique
1cm3 de circuit intégré est équivalent à 1012cm3 de tubes à vide , soit un cube de 100m
de côté.
Les µpross de 2007 contient plus de 50Millios de transistors sur 1cm 2.
Programme ●
Opérations élémentaires pour la
réalisation d'un Circuit Intégré :
●
Ch0 : Histoire et état de l'art. ●
- Oxydation
●
Ch1 : Notion fondamentales sur la ●
- Photolithographie
physique des semiconducteurs.
●
- Dépôts
●
Ch2 : jonction pn, pn en
commutation, famille logique à
●
- Dopage
diode. ●
- Gravure
●
Ch3 : transistor bipolaire, bipolaire ●
- Métallisation & interconnections
en commutation, famille logique
DTL, IIL, ECL et TTL .
●
- Recuit
●
- Package (mise en boîte) et Test
●
Ch4 : contact M-S, MIS ou MOS,
transistor MOSFET, mosfet en ●
Réalisation des composants
commutation et famille logique élémentaires et intégration :
PMOS, NMOS, CMOS et BiCMOS ●
- Résistance -
●
Ch5 : pilotage des familles logiques Condensateur
entre elles : ex : TTL vers CMOS et ●
- Transistor bipol - Tran.
l'inverse CMOS vers TTL. Schottky
●
- Transistor MOSFET
Alimentation
Métal
Métal
h0
●
Ch4 : contact M-S, MIS ou MOS,
●
Réalisation des composants
transistor MOSFET, mosfet en élémentaires et intégration :
commutation et famille logique ●
- Résistance -
PMOS, NMOS, CMOS et BiCMOS Condensateur
●
Ch5 : pilotage des familles logiques ●
- Jpn +Transistor bipol
entre elles : ex : TTL vers CMOS et ●
- Tran. Schottky
l'inverse CMOS vers TTL.
●
- Transistor MOSFET
Bilan intermédiaire :
- Sc + dopage Résistance semiconductrice
- Jonction pn diode + transistor bipolaire + transistor schottky + condensateur à sc.
2ième composant FET (à effet de champ) : la différence avec le JFET est l’outil de commande du
courant.
E0
h0
h0
La zone hachurée = zone résistive la hauteur de la section conductrice est modulée par E0 = c’est
l’effet de champ.
Le courant est modulé par un contact Métal – Sc qui joue le rôle d’un contact schottky (diode
scottky). Le composant est le MESFET.
3ième composant FET (à effet de champ) : la différence avec le JFET et le MESFET est l’outil de
commande du courant.
Source Drain
Contact Métal Sc = jouant le rôle de contact ohmique ( contact redresseur schottky) = c’est ce
qu’on appelle « la masse » toujours sur la face arrière (dite dépolie) du sc de base appelé substrat.
La face avant du substrat est la face active : c’est là ou circule le courant (on montrera qu’il s’agit d’un
puit de potentiel profond).
Par polarisation de la strcture MIS ou MOS, on module la zone conductrice du sc substrat = le
courant est modulé entre la source et le drain.
3ième composant FET (à effet de champ) : la différence avec le JFET et le MESFET est l’outil de
commande du courant.
M M
I ou O
S S
●
Ch4 : contact M-S, MIS ou MOS,
●
Réalisation des composants
transistor MOSFET, mosfet en élémentaires et intégration :
commutation et famille logique ●
- Résistance -
PMOS, NMOS, CMOS et BiCMOS Condensateur
●
Ch5 : pilotage des familles logiques ●
- Jpn +Transistor bipol
entre elles : ex : TTL vers CMOS et ●
- Tran. Schottky
l'inverse CMOS vers TTL.
●
- Transistor MOSFET
●
Histoire de la microélectronique
Gordon E. Moore, " Cramming more components into integrated circuits ", Electronics, 19 avril 1965.
Premier µprocesseur
4004 Composant MOSFET à canal n.
SOIMOSFET
Histoire
●
96 : Intel Pentium Pro avec 5.5 millions Tran.
●
99 : Intel Pentium III avec 9.5 millions Tran.
●
2002 : Intel Pentium IV avec 42 millions Tran.
●
2007 :Core 2TM Quad avec 2.3Milliards Trans. pour f=3GHz
4.5Milliards Tran. Pour f=3.2GHz
●
2008:Intel core i7 avec 731 Millions Tran.
●
L'amélioration de l'intégration grace à :
●
- de la taille des tran. Individuels
●
- de la taille des puces
●
an 83 86 92 2001
●
taille puce 32 45 132 500
Pourquoi la diminution de la taille du transistor
●
Histoire de la microélectronique
► Intel 4004
2250Trs (1971)
► Intel 286
120 000Trs (1982)
Evolution des dimensions et des performances des microprocesseurs durant les années 1994-2001.
Parallèlement à la diminution des dimensions, la surface des puces a diminué, la fréquence de
fonctionnement augmenté et la tension d'alimentation diminué (d'après source DNA-Motorola, 2001).
Investissement
Commun :
Motorola/Philips/ST Microelectronics
Photons
Transistor de Spin
Technologie des CI logiques – Etat de l'art
Astable
Bistable Circuits analogiques
Monostable mettant en forme
Trigger de des informations CI Circuits programmés
schmitt analogiques Circuits logiques où analogiques grace
... aux DSP (Digital Signal Processing)
- Alim unique
- Puissance consommée nulle Sorties
- Niveaux de sortie « 0 » et « Vdd » Entrées
- Transition abrupte à Vdd/2
- délai négligeable
- nbres d'entrées et de sorties illimités
- Impédance d'entrée infinie GND
- résistance de sortie nulle
Tension de sortie
Vdd
Tension de entrée
Vdd/2 Vdd
Evolution des familles logiques
Ennumération
ndue conditionne le choix du circuit en fonction de l'application.
ologies de conception des CI logiques existent et sont groupées en familles. Ce cours balayera un
ue à diode = DL = « Diode Logic »
ue à Résistance et Transistor = RTL = Resistor-Transistor-Logic
ue à Diode et Transistor = DTL = Diode-Transistor-Logic
ue à transistor-Transistor = TTL = transistor-Transistor-Logic
ologies coexistent etprésentent certains avantages :
Emitter Coupled Logic : circuits rapides
I2L = Integrated Injection Logic : haute intégration
: haute intégration
S : faible consommation
«1» «0»
eau de sortie Haut
Indéfini
de T° dans le circuit.
s utilisent :
e T : ex : TTL et ECL
et CMOS
Caractéristiques d'une famille logique
logique d'amplifier Vou I présent à son entrée de manière à ce que le signal ne soit pas dégradé
n-out):
d'unités de charge logique disponibles à sa sortie où charge max que peut attaquer
e unité correspond à la valeur du courant nécessaire pour commander une entrée
ités de charge logique nécessaire à l'entrée pour faire fonctionner la porte où nbre
d’un connecteur correspond au temps que met le signal pour passer d’un état logique à
d’alimentation.
Caractéristiques d'une famille logique
ommée d'une porte augmente à cause des charges/décharges des capacités réparties. La puissa
ge.
Niveaux de fonctionnement et Marge de bruit