Canon à électrons

Un canon à électrons est un dispositif permettant de produire un faisceau d'électrons. C'est l'un
des composants essentiels d'un tube cathodique ou d'un instrument tel que le microscope
électronique.

Schéma d'un canon à électrons.

Principe général

Le principe du canon à électrons est d'extraire les électrons d'un matériau conducteur (qui en est
une réserve quasiment inépuisable) vers le vide où ils sont accélérés par un champ électrique. Le
faisceau d'électrons ainsi obtenu est traité par la colonne électronique qui en fait une sonde fine
balayée sur l'échantillon.

Il existe deux familles de canon à électrons selon le principe utilisé pour extraire les électrons :

l'émission thermoïonique, avec les filaments de tungstène et pointes LaB6 ;

l'émission par effet de champ.

Il existe également un principe intermédiaire : la source Schottky à émission de champ, de plus

en plus employée.

Suivant ces distinctions et le mode de fonctionnement, les canons à électrons ont des propriétés
et des caractéristiques différentes. Il existe des grandeurs physiques pour les caractériser. La
principale est la brillance, la durée de vie est également très importante, ainsi que la stabilité. Le
courant maximum disponible peut également être pris en considération, ainsi que la dispersion
énergétique1.
Brillance d'une source

On peut définir la brillance B d'une source par le rapport du courant émis par la source au produit
de la surface de la source par l'angle solide. Dans le cas général, on ne sait mesurer que la
surface d'une « source virtuelle » qui est la zone d'où semblent provenir les électrons. (Définition à
revoir)

Pour une source d'électrons dont les caractéristiques sont :

le diamètre de la source virtuelle d

le courant d'entrée

le demi-angle d'ouverture

l'expression de la brillance devient :

Dans les systèmes optiques, la brillance, qui se mesure en (ampères par unité de
surface et par angle solide), a la propriété de se conserver lorsque l'énergie d'accélération est
constante. Si l'énergie varie, la brillance lui est proportionnelle. Pour obtenir un signal de
détection abondant lorsque le spot sur l'échantillon est très petit, il faut que la brillance de la
source soit la plus élevée possible2.

Émission thermoïonique : Filament de tungstène et pointes

LaB6

Article détaillé : émission thermoionique.

Des matériaux tels que le tungstène et l'hexaborure de lanthane (LaB6) sont utilisés en raison de
leur faible travail de sortie, c’est-à-dire de l'énergie nécessaire pour extraire un électron de la
cathode. En pratique, cette énergie est apportée sous forme d'énergie thermique en chauffant la
cathode à une température suffisamment élevée pour qu'une certaine quantité d'électrons
acquière l'énergie suffisante pour franchir la barrière de potentiel qui les maintient dans le solide.
Les électrons qui ont franchi cette barrière de potentiel se retrouvent dans le vide où ils sont
ensuite accélérés par un champ électrique.

Dans la pratique, on peut utiliser un filament de tungstène, formé comme une épingle à cheveux,
que l'on chauffe par effet Joule, comme dans une ampoule électrique. Le filament est ainsi porté
à une température supérieure à 2 200 °C, typiquement 2 700 °C.

Les cathodes au LaB6 doivent être chauffées à une température moins élevée mais la
technologie de fabrication de la cathode est un peu plus compliquée car le LaB6 ne peut pas être
formé en filament. En fait, on accroche une pointe de monocristal de LaB6 à un filament en
carbone. Le cristal d'hexaborure de lanthane est porté aux alentours de 1 500 °C pour permettre
l'émission d'électrons. Cette cathode nécessite un vide plus poussé que pour un filament de
tungstène (de l'ordre de 10-6 à 10-7 Torr contre 10-5). Les cathodes en hexaborure de cérium
(CeB6) ont des propriétés très voisines.

Le filament de tungstène porté à une température de 2 700 °C a une brillance typique de 106
A.cm-2.sr-1 pour une durée de vie entre 40 et 100 heures. Le diamètre de la source virtuelle est de
l'ordre de 40 µm.

La cathode LaB6 portée à une température de 1 500 °C a une brillance typique de 107 A.cm-2.sr-1
pour une durée de vie entre 500 et 1 000 heures. Le diamètre de la source virtuelle est de l'ordre
de 15 µm3.

Canons à émission de champ

Article détaillé : Émission par effet de champ.

Le principe d'un canon à émission de champ est d'utiliser une cathode métallique en forme de
pointe très fine et d'appliquer une tension de l'ordre de 2 000 à 7 000 volts entre la pointe et
l'anode. On produit ainsi, par « effet de pointe », un champ électrique très intense, de l'ordre de
107 V.cm-1, à l'extrémité de la cathode. Les électrons sont alors extraits de la pointe par effet
tunnel. Il existe deux types de canons à émission de champ (FEG en anglais pour Field Emission
Gun) :

l'émission de champ à froid (CFE en anglais). La pointe reste à température ambiante ;

l'émission de champ assistée thermiquement (TFE en anglais). La pointe est alors portée à
une température typique de 1800 K.

Le gros avantage des canons à émission de champ est une brillance théorique qui peut être 100
fois plus importante que celle des cathodes LaB6. Le deuxième type de canon (assisté
thermiquement) est de plus en plus utilisé, car il permet pour un sacrifice en brillance très
modeste de mieux maitriser la stabilité de l'émission. Le courant disponible est également plus
élevé. Avec un canon à émission de champ froid, le courant disponible sur l'échantillon n'est en
effet jamais supérieur à 1 nA, alors qu'avec l'assistance thermique, il peut approcher les 100 nA4.

Une autre grosse différence entre les canons à émission de champ et les canons thermoïoniques
est que la source virtuelle est beaucoup plus petite. Cela provient du fait que toutes les
trajectoires sont normales à la surface de la pointe, qui est une sphère d'environ 1 µm. Les
trajectoires semblent ainsi provenir d'un point. C'est ainsi que l'on obtient des brillances très
élevées : 109 cm-2 sr-1 pour les cathodes froides et 108 cm-2 sr-1 pour les cathodes à émission de
champ chauffées. Sur l'échantillon, la brillance est toujours dégradée3.

Le très petit diamètre de la source virtuelle nécessite moins d'étages de réduction, mais un
inconvénient est que la source, moins réduite est plus sensible aux vibrations.

Comparaison des différentes propriétés des canons à électrons3

Émission thermoïonique Émission de champ

Matériaux Tungstène LaB6 S-FEG C-FEG

Brillance réduite 105 106 107 108

Température (°C) 1700 - 2400 1500 1500 ambiante

Diamètre de la pointe (nm) [réf. nécessaire] 50 000 10 000 100 - 200 20 - 30

Taille de la source (nanomètre) 30 000 - 100 000 5 000 - 50 000 15-30 <5

Courant d'émission (µA) 100 - 200 50 50 10

Durée de vie (heure) 40 - 100 200 - 1 000 >1 000 >1 000

Vide minimal (Pa) 10-2 10-4 10-6 10-8

Stabilité cellule 2 cellule 3 cellule 4 cellule 5

Utilisation

Dans le cas d'un microscope électronique à balayage, le canon à électrons est la source du
faisceau d'électrons qui viendra balayer la surface de l'échantillon. La qualité des images et la
précision analytique que l'on peut obtenir avec un MEB requièrent que le spot électronique sur
l'échantillon soit à la fois fin, intense et stable. Une forte intensité dans un spot le plus petit
possible nécessite une source « brillante ». L'intensité ne sera stable que si l'émission de la
source l'est également.

Notes et références

1. J.I.Goldstein et al., Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, Plenum press,
1992 p. 25-42

2. J.I.Goldstein et al., p. 29

3. Michael T. Postek, The Scanning Electron Microscope in Handbook of Charged Particle

Optics, CRC Press, Université du Maryland, 1997

4. Selon la brochure New-Technology Scanning Electron Microscope DSM 982 Gemini de la

société Karl Zeiss, 1998
Voir aussi

Bibliographie

Christian Colliex, La Microscopie électronique, 1998 [détail de l’édition] (lire en ligne (http://www.stem.lp
s.u-psud.fr/la-microscopie-electronique) [archive])

Articles connexes

Tube cathodique

Microscope électronique

Thermoïonique

Canon électrique

Canon électromagnétique

Canon magnétique

Liens externes

Éléments d’optique électronique (http://www.cemes.fr/microscopie/Elements.htm) [archive],

Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales, CNRS.

Simulation d'un canon à électrons (http://www.didaktik.physik.uni-muenchen.de/elektronenba

hnen/fr/kanone/klassisch/Simulation.php) [archive], LMU Munich

Exemple de canon à électrons pour le soudage : Leptons-Technologies

https://www.leptonstechnologies.com/single-post/2013/05/01/Voici-le-titre-de-votre-premier-
post-image [archive]

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