Cours Surfaces XPS
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Cours Surfaces XPS
2 – Principe de la mesure
4 – Caractérisation chimique
5 – Analyse quantitative
6 - Conclusion
1- Principe de l'analyse ESCA ou XPS
photons
électrons
échantillon
Etats Libres
(continuum)
Ecinétique
Niveau du vide -0-
h
Niveaux Liés Eliaison
électrons
photons
Un bon contact est nécessaire entre l'échantillon et son support afin de fixer le
potentiel de l'échantillon par rapport à l'ensemble de l'appareillage.
L'équilibre thermodynamique se traduit par l'alignement des niveaux de Fermi de
l'échantillon et du spectromètre.
La différence entre les niveaux du vide de l'échantillon et du spectromètre représente
la différence de potentiel de contact.
Cette différence de potentiel de contact jouera le rôle d’un frein ou d’un accélérateur
pour l’électron sortant de l’échantillon.
En effet, dès que l’électron quitte l’échantillon, le potentiel de référence devient le
niveau du vide du spectromètre.
e-
Sample Spectrometer
Free Electron Energy
KE(1s) KE(1s)
Vacuum Level, Ev
sample spec
hv
Fermi Level, Ef
BE(1s)
E1s
C1s at 285.0 eV
Au4f7/2 at 84.0 eV
Process of Photoionization
A + h A+ + e-
Avec Flood-gun :
Le fond d’électrons secondaires :
0 s
n l=2 1 p
2 d
2d3/2 3 f
j=l-s
j=l+s
XPS Peak: spin orbit coupling
Since s can be ±1/2, each level with l>0 is split into two sublevels
with an energy difference known as the spin-orbit splitting.
The degeneracy of each of these levels is 2j+1
Δ= 3.13 eV
1s
Energy lines
Photon energies,
in eV, of principle
K- and L- shell
emission lines.
C 1s
Orbital=s
l=0
s=+/-1/2
ls=1/2
Cu 2p 2p3/2
2p1/2
Orbital=p
l=1
s=+/-1/2
ls=1/2,3/2
19.8
Peak Area 1 : 2
Ag 3d 3d5/2
3d3/2
Orbital=d
l=2
s=+/-1/2
6.0 ls=3/2,5/2
Peak Area 2 : 3
378 374 370 366 362
Binding Energy (eV)
5 – ANALYSE QUANTITATIVE :
électrons
photons
S −z
dI=FN𝜎 sin Texp ( sin ) dz
F : Flux de photons
N : Concentration de l'élément analysé
: Section efficace de photo-ionisation de l'élément analysé
(S/sindz : Volume analysé
z : profondeur d'analyse
: libre parcours moyen du photo-électron
T : Facteur de transmission du spectromètre
Si on intègre par rapport à z de 0 à l'infini (analyse
d'une couche d'épaisseur infinie), on obtient :
I0 F.N. S T
Si on intègre par rapport à z de 0 à d (analyse d'une
couche d'épaisseur d), on obtient :
I I0 1 exp d
sin
- Analyse élémentaire
- Analyse quantitative
- Caractérisation chimique
- Imagerie chimique
Annexe
la distribution des électrons par couches électroniques des
éléments chimiques à l'état fondamental
Électrons Colonne
Ligne
Élément chimique Famille d'éléments par couche2 (groupe)
1 H Hydrogène Non-métal 1 1 IA
2 He Hélium Gaz noble 2 1 O
3 Li Lithium Métal alcalin 2, 1 2 IA
4 Be Béryllium Métal alcalino-terreux
2, 2 2 II A
5 B Bore Métalloïde 2, 3 2 III B
6 C Carbone Non-métal 2, 4 2 IV B
7 N Azote Non-métal 2, 5 2 VB
8 O Oxygène Non-métal 2, 6 2 VI B
9 F Fluor Halogène 2, 7 2 VII B
10 Ne Néon Gaz noble 2, 8 2 O
11 Na Sodium Métal alcalin 2, 8, 1 3 IA
12 Mg Magnésium Métal alcalino-terreux
2, 8, 2 3 II A
13 Al Aluminium Métal pauvre 2, 8, 3 3 III B
14 Si Silicium Métalloïde 2, 8, 4 3 IV B
15 P Phosphore Non-métal 2, 8, 5 3 VB
16 S Soufre Non-métal 2, 8, 6 3 VI B
17 Cl Chlore Halogène 2, 8, 7 3 VII B
18 Ar Argon Gaz noble 2, 8, 8 3 O
19 K Potassium Métal alcalin 2, 8, 8, 1 4 IA
20 Ca Calcium Métal alcalino-terreux
2, 8, 8, 2 4 II A
21 Sc Scandium Métal de transition 2, 8, 9, 2 4 III A
22 Ti Titane Métal de transition 2, 8, 10, 2 4 IV A
23 V Vanadium Métal de transition 2, 8, 11, 2 4 VA
24 Cr Chrome Métal de transition 2, 8, 13, 1 4 VI A
25 Mn Manganèse Métal de transition 2, 8, 13, 2 4 VII A
26 Fe Fer Métal de transition 2, 8, 14, 2 4 VII
27 Co Cobalt Métal de transition 2, 8, 15, 2 4 VII
28 Ni Nickel Métal de transition 2, 8, 16, 2 ou 2, 8, 17, 1b 4 VII
29 Cu Cuivre Métal de transition 2, 8, 18, 1 4 IB
30 Zn Zinc Métal pauvre 2, 8, 18, 2 4 II B
31 Ga Gallium Métal pauvre 2, 8, 18, 3 4 III B
32 Ge Germanium Métalloïde 2, 8, 18, 4 4 IV B
33 As Arsenic Métalloïde 2, 8, 18, 5 4 VB
34 Se Sélénium Non-métal 2, 8, 18, 6 4 VI B
35 Br Brome Halogène 2, 8, 18, 7 4 VII B
36 Kr Krypton Gaz noble 2, 8, 18, 8 4 O
37 Rb Rubidium Métal alcalin 2, 8, 18, 8, 1 5 IA
38 Sr Strontium Métal alcalino-terreux
2, 8, 18, 8, 2
39 Y Yttrium Métal de transition 2, 8, 18, 9, 2
40 Zr Zirconium Métal de transition 2, 8, 18, 10, 2
41 Nb Niobium Métal de transition 2, 8, 18, 12, 1
42 Mo Molybdène Métal de transition 2, 8, 18, 13, 1
43 Tc Technétium Métal de transition 2, 8, 18, 13, 2
44 Ru Ruthénium Métal de transition 2, 8, 18, 15, 1
45 Rh Rhodium Métal de transition 2, 8, 18, 16, 1
46 Pd Palladium Métal de transition 2, 8, 18, 18
47 Ag Argent Métal de transition 2, 8, 18, 18, 1
48 Cd Cadmium Métal pauvre 2, 8, 18, 18, 2
49 In Indium Métal pauvre 2, 8, 18, 18, 3
50 Sn Étain Métal pauvre 2, 8, 18, 18, 4
51 Sb Antimoine Métalloïde 2, 8, 18, 18, 5
52 Te Tellure Métalloïde 2, 8, 18, 18, 6
53 I Iode Halogène 2, 8, 18, 18, 7
54 Xe Xénon Gaz noble 2, 8, 18, 18, 8
2, 8, 18, 18,
55 Cs
Césium Métal alcalin 8, 1
2, 8, 18, 18,
56 Ba
Baryum Métal alcalino-terreux
8, 2
2, 8, 18, 18,
57 La
Lanthane Lanthanide 9, 2
2, 8, 18, 19,
58 Ce
Cérium Lanthanide 9, 2
2, 8, 18, 21,
59 Pr
Praséodyme Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 22,
60 Nd
Néodyme Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 23,
61 Pm
Prométhium Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 24,
62 Sm
Samarium Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 25,
63 Eu
Europium Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 25,
64 Gd
Gadolinium Lanthanide 9, 2
2, 8, 18, 27,
65 Tb
Terbium Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 28,
66 Dy
Dysprosium Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 29,
67 Ho
Holmium Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 30,
68 Er
Erbium Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 31,
69 Tm
Thulium Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 32,
70 Yb
Ytterbium Lanthanide 8, 2
2, 8, 18, 32,
71 Lu
Lutécium Lanthanide 9, 2
2, 8, 18, 32,
72 Hf
Hafnium Métal de transition 10, 2
2, 8, 18, 32,
73 Ta
Tantale Métal de transition 11, 2
2, 8, 18, 32,
74 W
Tungstène Métal de transition 12, 2
2, 8, 18, 32,
75 Re
Rhénium Métal de transition 13, 2
2, 8, 18, 32,
76 Os
Osmium Métal de transition 14, 2
2, 8, 18, 32,
77 Ir
Iridium Métal de transition 15, 2
2, 8, 18, 32,
78 Pt
Platine Métal de transition 17, 1
2, 8, 18, 32,
79 Au
Or Métal de transition 18, 1
2, 8, 18, 32,
80 Hg
Mercure Métal pauvre 18, 2
2, 8, 18, 32,
81 Tl
Thallium Métal pauvre 18, 3
2, 8, 18, 32,
82 Pb
Plomb Métal pauvre 18, 4
2, 8, 18, 32,
83 Bi
Bismuth Métal pauvre 18, 5
2, 8, 18, 32,
84 Po
Polonium Métal pauvre 18, 6
2, 8, 18, 32,
85 At
Astate Métalloïde 18, 7
2, 8, 18, 32,
86 Rn
Radon Gaz noble 18, 8
2, 8, 18, 32,
87 Fr
Francium Métal alcalin 18, 8, 1
2, 8, 18, 32,
88 Ra
Radium Métal alcalino-terreux
18, 8, 2
2, 8, 18, 32,
89 Ac
Actinium Actinide 18, 9, 2
2, 8, 18, 32,
90 Th
Thorium Actinide 18, 10, 2
2, 8, 18, 32,
91 Pa
Protactinium Actinide 20, 9, 2
2, 8, 18, 32,
92 U
Uranium Actinide 21, 9, 2
2, 8, 18, 32,
93 Np
Neptunium Actinide 22, 9, 2
2, 8, 18, 32,
94 Pu
Plutonium Actinide 24, 8, 2
2, 8, 18, 32,
95 Am
Américium Actinide 25, 8, 2
2, 8, 18, 32,
96 Cm
Curium Actinide 25, 9, 2
2, 8, 18, 32,
97 Bk
Berkélium Actinide 27, 8, 2
2, 8, 18, 32,
98 Cf
Californium Actinide 28, 8, 2
2, 8, 18, 32,
99 Es
Einsteinium Actinide 29, 8, 2
2, 8, 18, 32,
100 Fm
Fermium Actinide 30, 8, 2
2, 8, 18, 32,
101 Md
MendéléviumActinide 31, 8, 2
2, 8, 18, 32,
102 No
Nobélium Actinide 32, 8, 2
2, 8, 18, 32,
103 Lr
Lawrencium Actinide 32, 8, 3
2, 8, 18, 32,
104 Rf
RutherfordiumMétal de transition 32, 10, 2
2, 8, 18, 32,
105 Db
Dubnium Métal de transition 32, 11, 2
2, 8, 18, 32,
106 Sg
Seaborgium Métal de transition 32, 12, 2
2, 8, 18, 32,
107 Bh
Bohrium Métal de transition 32, 13, 2
2, 8, 18, 32,
108 Hs
Hassium Métal de transition 32, 14, 2
2, 8, 18, 32,
109 Mt Indéterminée
Meitnerium 32, 15, 2
2, 8, 18, 32,
110 Ds Indéterminée
Darmstadtium 32, 16, 2
2, 8, 18, 32,
111 Rg Indéterminée
Roentgenium 32, 17, 2
2, 8, 18, 32,
112 Cn
Copernicium Métal de transition 32, 18, 2
2, 8, 18, 32,
113 Nh Indéterminée
Nihonium 32, 18, 3
2, 8, 18, 32,
114 Fl Indéterminée
Flérovium 32, 18, 4
2, 8, 18, 32,
115 Mc Indéterminée
Moscovium 32, 18, 5
2, 8, 18, 32,
116 Lv Indéterminée
Livermorium 32, 18, 6
2, 8, 18, 32,
117 Ts Indéterminée
Tennesse 32, 18, 7
2, 8, 18, 32,
118 Og Indéterminée
Oganesson 32, 18, 8