Interférométrie de Speckle: Paul Smigielski
Interférométrie de Speckle: Paul Smigielski
Interférométrie de Speckle: Paul Smigielski
1. Généralités................................................................................................. R 6 331 - 2
1.1 Granularité laser ou speckle ....................................................................... — 2
1.2 Interférométrie de speckle .......................................................................... — 3
1.2.1 Cas de deux objets diffusants différents........................................... — 3
1.2.2 Cas d’un seul objet diffusant ............................................................. — 4
2. Interférométrie de speckle : mesure des déplacements
dans le plan................................................................................................ — 4
2.1 Principe......................................................................................................... — 4
2.2 Fonctionnement en double exposition avec mesure quantitative
des déplacements dans le plan .................................................................. — 5
3. Interférométrie de speckle à dédoublement latéral
ou « shearographie » .............................................................................. — 6
3.1 Principe......................................................................................................... — 6
3.2 Application au contrôle non destructif ...................................................... — 7
4. Interférométrie de speckle électronique ou « TV-holographie » — 8
4.1 Principe......................................................................................................... — 8
4.2 Application : mesure des déplacements tridimensionnels ...................... — 9
5. Conclusion ................................................................................................. — 10
Références bibliographiques ......................................................................... — 10
ette technique a été inventée dans les années 1970 pour pallier les insuffi-
C sances de l’holographie dans le domaine de l’interférométrie en ce qui
concerne le milieu d’enregistrement (en général des plaques et films argen-
tiques puis des films thermoplastiques). Contrairement à l’interférométrie holo-
graphique classique, l’interférométrie de speckle permet l’utilisation de caméras
CCD pour calculer et visualiser le champ des déplacements d’un objet
diffusant. Elle s’est notamment développée en Grande-Bretagne avec
A.E. Ennos, J.A. Leendertz, J.N. Butters, J.M. Burch et E. Arnold (cf. références
bibliographiques). Elle est très adaptée aux applications industrielles (appareils
plus compacts et facilement transportables, coûts plus faibles, traitement numé-
rique des données en temps quasi réel ...) et s’est donc beaucoup développée
ces dernières années au point de remplacer progressivement les systèmes de
contrôles non destructifs holographiques existant dans les grandes sociétés
notamment, et cela malgré des performances qui sont loin d’égaler celles de
l’interférométrie holographique comme la résolution spatiale, la taille de l’objet
analysé et la possibilité d’avoir une image 3D de cet objet, par exemple.
Les caméras CCD ont une résolution faible (6 µm au mieux aujourd’hui) com-
parée à celle des plaques photographiques argentiques (une fraction de µm). Les
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1. Généralités S (laser)
A
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essentielle restant que la rugosité soit telle que les variations de che-
min optique qu’elle engendre soient supérieures à la longueur
d’onde λ de la lumière. En d’autres termes, l’écart-type de la rugo-
sité doit être supérieur à λ.
Toutes les conditions nécessaires à l’obtention d’un speckle cor-
rect étant obtenues, considérons un déplacement tridimensionnel
de l’élément de surface Σ. Comme on est au point sur l’objet, le
speckle se déplace comme s’il lui était rigidement lié. On suppose, et
c’est essentiel, que le déplacement longitudinal du speckle est très
inférieur à la longueur σ du grain de speckle.
D D'
1.2 Interférométrie de speckle
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(laser)
S Objet O1 (référence)
Objet
O1
Σ1 D1
SP
H
Objet
D2 O2
Objet Σ2
O2
L
Plan d'observation
Supposons maintenant qu’un élément de surface Σ1 de l’objet O1
subisse un déplacement caractérisé par le vecteur D1. On suppose
que la figure de speckle se déplace sans déformation significative Figure 5 – Montage pour la visualisation des lignes d’égal
d’une quantité inférieure au grain du speckle (déplacement latéral déplacement hors plan
du speckle inférieur à la dimension latérale du grain du speckle,
déplacement longitudinal du speckle inférieur à la longueur du grain
de speckle). 1.2.2 Cas d’un seul objet diffusant
La phase du speckle en H varie de la quantité ∆ϕ1, son amplitude
restant la même. Dans ce qui suit, on va traiter de trois montages dont deux sont de
plus en plus utilisés dans l’industrie pour la mesure des déplace-
De même, le déplacement de l’objet O2 conduit à la variation ∆ϕ2 ments hors du plan et l’analyse vibratoire (TV-holographie) et pour
de la phase du speckle correspondant en H. le contrôle non destructif (shearographie) et dont le troisième per-
met la mesure des déplacements dans le plan (l’« interférométrie de
L’intensité en H devient alors : speckle à éclairages symétriques »). Nous commencerons par les
montages utilisant l’interférence effective entre deux speckles.
I = A 12 + A 22 + 2 A 1 A 2 cos ( ϕ 2 Ð ϕ 1 + ∆ ϕ 2 Ð ∆ ϕ 1 )
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m1
l1
Éclairage 1
M
Compression L1
∆x L
M'
H
m
θ Rondelle L CCD Laser
SP
θ Image
Éclairage 2
x Objet
x L2
l2
z
z
PZT
Figure 6 – interférométrie de speckle à éclairages symétriques
m2
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S (laser)
M1 ε
Objet
M2
SP2
SP1
PZT Φi
x
L
z Image dédoublée
P
S (laser)
Figure 8 – Carte des déplacements dans le plan d’une rondelle sous Image
compression (doc. HOLO 3) dédoublée
L
Objet
En donnant trois valeurs (au moins) à la différence de phase Φi Figure 9 – Systèmes de dédoublement de l’image en shearographie
par l’intermédiaire du miroir m2 monté sur un translateur piézo-
électrique, on peut résoudre l’équation précédente et obtenir la
carte des phases (ϕ2 − ϕ1) de l’objet au repos. On opère de la même
façon après serrage de la rondelle. On obtient la carte des phases Le principe de base [5] consiste tout simplement à dédoubler
(ϕ2 − ϕ1 + ∆ϕ) de l’objet déformé. l’image de l’objet à l’aide d’un dispositif optique simple, interféro-
mètre de Michelson ou biprisme, par exemple (figure 9).
En soustrayant les deux quantités précédentes, on obtient la
valeur des ∆ϕ, c’est-à-dire les variations de phase dues aux déplace- Considérons le cas de l’interféromètre de Michelson qui possède
ments dans le plan dans la direction x. l’avantage sur le biprisme de permettre le réglage du dédoublement
La figure 8 montre, en fausses couleurs, les déplacements dans le par orientation du miroir M1.
plan engendrés par le serrage de la rondelle.
L’objet est éclairé (pour simplifier) par un faisceau de lumière
parallèle provenant de la source laser S et dont l’axe se trouve dans
le plan (x, z) (plan de la figure 9). L’observation de l’objet se fait à tra-
3. Interférométrie de speckle vers la lame semi-transparente SP1 et à travers un interféromètre de
Michelson. Le dédoublement de l’image est donné par une légère
à dédoublement latéral rotation ε du miroir M1 de l’interféromètre.
ou « shearographie » Supposons que cette rotation soit faite autour d’un axe perpendi-
culaire au plan (x, z ), toujours pour simplifier. Elle donne un déca-
lage latéral δ x de l’image dans la direction x.
3.1 Principe Les deux images (figures de speckle) décalées interfèrent dans
leur partie commune et donnent une figure de speckle résultante
complexe dans laquelle il est difficile de reconnaître les franges rec-
Le terme shearographie est, comme on l’a déjà dit, un terme com- tilignes dont le pas est lié au décalage δ x.
mercial qui est passé dans les mœurs. Les Anglo-Saxons utilisent
également le terme de speckle shearing interferometry ou des ter- Comme dans le cas précédents, on va comparer la figure de spec-
mes voisins. En français, on pourrait dire simplement interféromé- kle de l’image dédoublée avant et après déformation de l’objet. Les
trie différentielle puisque cette méthode, comme on va le voir, franges obtenues caractérisent, en première approximation, la déri-
permet de mesurer les dérivées spatiales des déplacements dans vée par rapport à x du déplacement hors plan. On obtient donc ici
une direction donnée. des informations directes sur les déformations de l’objet.
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Dans le cas des faibles champs, les franges sont déterminées par restrictions d’usage sur la stabilité. Le principe est toujours le
la relation : même : on utilise une caméra CCD et l’on soustrait de l’intensité
numérisée de référence IR l’intensité I numérisée de l’image à l’ins-
∂d z tant t. (D’autres possibilités de traitement existent basées sur la
2 δ x -------- = k λ
∂x transformation de Fourier de chaque image.)
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PZT
M
L2 SP
L1
KE KO
S (laser) Objet
x (I )
L3
z (K )
L4
Image
y (J )
CCD
4. Interférométrie de speckle
électronique
ou « TV-holographie »
Figure 10 – Défauts de collage entre deux élastomères visualisés
(doc. HOLO 3)
4.1 Principe
avec D = I d x + J d y + K d z,
■ Utilisation de la shearographie en mécanique des fluides KE vecteur unitaire caractérisant la direction
Cette application sort du contexte de cet article consacré essen- d’éclairage,
tiellement à la mécanique du solide. Un article des Techniques de KO vecteur unitaire caractérisant la direction
l’Ingénieur est consacré aux méthodes de visualisation en mécani- d’observation,
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a déplacements hors plans selon K1 b déplacements hors plans selon K2 c déplacements dans le plan d déplacements dans le plan selon K3
selon K3 = K1 – K2 par soustraction des phases a et b
on obtient les déplacements dans le plan suivant la direction tage de fonctionner en temps quasi réel. Son encombrement est
K3 = K1 − K2 (figure 14 c). moindre et elle ne nécessite pas de matériaux consommables.
En utilisant simultanément les deux faisceaux d’éclairage E1 et E2,
on obtient les déplacements dans le plan suivant la direction
K3 = KO − K1 − K2 (figure 14 d).
À titre de vérification, on a soustrait la carte des phases ∆ϕ1 cor- 5. Conclusion
respondant à l’éclairage E1 de la carte des phases ∆ϕ2 correspon-
dant à l’éclairage E2.
D’une façon générale, les techniques de speckle ont remplacé ces
On a : dernières années les techniques holographiques pour diverses
applications industrielles, notamment du fait de la compacité des
∆ϕ1 − ∆ϕ2 = D · K1 − D · K2 = D · K3
matériels, et donc de leur maniabilité, et grâce à l’utilisation de
On retrouve bien les déplacements dans le plan selon la direction caméras CCD comme milieux d’enregistrement permettant d’opérer
K3 (figure 14 d). en temps quasi réel et de réaliser des économies (pas de matériels
consommables). Cela est notamment vrai dans le domaine des
En effectuant la somme des cartes des phases ∆ϕ1 + ∆ϕ2, on contrôles non destructifs avec la shearographie qui, de plus, est
obtient les déplacements hors plans dans la direction K1 + K2, c’est- relativement peu sensible à l’environnement.
à-dire dans la direction d’observation.
Comme pour la mesure des déplacements 3 D, c’est la TV-hologra-
La TV-holographie est un instrument qui permet donc relative- phie qui est principalement utilisée pour l’analyse vibratoire, notam-
ment facilement de mesurer les déplacements tridimensionnels. ment pour l’analyse modale en laboratoire. Enfin, la technique de
Pour accéder aux déplacements dynamiques, on utilise un laser speckle à 2 éclairages permet l’accès souple à la mesure des dépla-
pulsé. Les cartes des phases ∆ϕ1 et ∆ϕ2 doivent alors être obtenues cements dans le plan et à l’analyse des déformations et contraintes.
simultanément. Il existe des systèmes commercialisés permettant Cependant, l’interférométrie de speckle n’a pas la haute résolu-
cela. tion spatiale de l’holographie et la capacité de celle-ci à restituer le
Nota : les directions d’éclairage peuvent être quelconques (la symétrie n’est pas obli- relief des objets. Pour le futur, on peut penser que l’avènement de
gée) mais non coplanaires, afin de former une base.
l’holographie numérique entraînera une compétition avec certaines
La TV-holographie est moins performante que l’interférométrie techniques de speckle comme la TV-holographie, pour des applica-
holographique (champ plus petit, résolution 0,1 µm) mais a l’avan- tions spécifiques.
Références bibliographiques
[1] JACQUOT (P.). – Photographie de speckles : [4] BUTTERS (J.N.) et LEENDERTZ (J.A.). – A [7] SMIGIELSKI (P.). – Holographie industrielle.
exemples tirés de l’analyse de déformation double exposure technique for speckle pat- Teknéa éd. Toulouse (1984).
de corps solides. Cours de l’Association Vau- tern interferometry. J. Phys. E : Sci. Inst. 4,
doise des Chercheurs en Physique VCP, p. 277 (1971).
Lasers et Applications Industrielles. Presses
Polytechniques Romandes (1982). [5] LEENDERTZ (J.A) et BUTTERS (J.N). – An Dans les Techniques de l’Ingénieur
[2] ARCHBOLD (E.), BURCH (J.M.) et ENNOS image-shearing speckle-pattern interferome-
(A.E.). – Recording of in-plane surface displa- ter for measuring bending moments.
[8] PRENEL (J.P.) et SMIGIELSKI (P.). – Visualisa-
cement by double exposure speckle photo- J. Phys. E : 6, p. 1107 (1973).
graphy. Optica Acta 17, p. 883 (1970). tion en mécanique des fluides. AF 3 330.
Traité Sciences fondamentales (1999).
[3] LEENDERTZ (J.A.). – Interferometric displa- [6] BUTTERS (J.N) et LEENDERTZ (J.A). – Spec-
cement measurement on scattering surfaces kle pattern and holographic techniques in [9] SMIGIELSKI (P.). – Holographie optique.
utilizing speckle effect. J. Phys. E : Sci. Inst. 3, engineering metrology. Opt. Laser Technol., Interférométrie holographique. R 6 330.
p. 214, (1970). 3, p. 26 (1971). Traité Mesures et Contrôle (2000).
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