Toulouse, 21 octobre 2005

Soutenance de Thèse

Étude électrique de la physique d’une décharge de Townsend à

la pression atmosphérique et de son interaction avec un
générateur : Modèle et Expérience

Par Nicolas Naudé

Sous la direction de F. Massines & J-P Cambronne

Laboratoire de Génie Électrique

de Toulouse
Introduction – Plasmas Froids pour le traitement de surface 1

Microélectronique Réacteur micro-onde pour

gravure et dépôt sur wafer
Applications : gravure, dépôts de couches minces … de Si (LGET)

Basse pression
Plasma homogène
T ≈ Tambiante
Basse pression = Réacteur étanche + groupe de pompage
Traitement en ligne et taille des surfaces traitées

Traitement de films polymères

Application : activation de surface (Procédé Corona)

Pression atmosphérique
Traitement en ligne
T ≈ Tambiante
Décharge non homogène

Traitement non homogène Traitement en ligne de film polymère par procédé Corona

Plasma homogène à pression atmosphérique ?

Introduction – Plasmas à pression atmosphérique 2
Rupture d’un gaz dépend du produit pression × distance
Pour un gaz non excité si p × d > qq dizaines de Torr.cm

claquage de type streamer

Le faible libre parcours moyen conduit à une mise à l’équilibre thermodynamique

 transition à l’arc !
T ≈ qq dizaines de milliers de K
Risque de destruction du matériau

Comment éviter la transition à l’arc ?

Solution robuste et facile : Décharge contrôlée par Barrière Diélectrique (DBD) Siemens – 1857
80
8

Tension appliquée (kV)

60
6
40

Courant(mA)
électrode + 4
20
diélectrique 2
0
~ -20
0
-2
-40 -4
électrode - -60 -6
-80 -8
0 20 40 60 80 100
temps (µs)
Formation d’un canal de décharge
Accumulation de charges sur le diélectrique (Vds )  Décharges bloquées
 Répartition plus uniforme des micro-décharges
Introduction – DBD homogènes à pression atmosphérique 3

Bartnikas (1969) puis Okazaki (1988), Massines (1996)

Massines et Roth (1992)

Décharge Luminescente à la Pression Décharge de Townsend à la Pression

Atmosphérique (DLPA) obtenue en Hélium Atmosphérique (DTPA) obtenue en Azote
Cathode
Cathode

Anode
Anode
Décharge homogène radialement Décharge homogène radialement

1,5 8
10
40 6

Tension appliquée (kV)

Tension appliquée (kV)

1,0
4 5
20
Courant (mA)

Courant (mA)
0,5
2

0,0 0 0 0

-2
-0,5
-20 -5
-4
-1,0
-40 -6
-10
-1,5 -8
0 20 40 60 80 100 0 100 200 300 400 500
temps (µs) temps (µs)

Périodicité du courant et durée du pic 1 pic de courant par alternance

Introduction – Objectifs 4
DTPA compatible avec les procédés de traitement en ligne de matériaux (activation de
surface, dépôts de couches minces, …).

Dépôts réalisés
en N2-N2O-SiH4
(S. Carré)

DTPA Filamentaire
Néanmoins : – les conditions d’obtention de la DTPA sont encore trop limitées
– temps de traitement (∝ P) trop long pour des applications industrielles
40
vitesse de dépôt (nm/min)

35
Exemple de 30
vitesse de dépôt
25
en N2 - N2O - D’où l’intérêt d’augmenter
HMDSO 20 la puissance transmise
15
(A. Fornelli)
10

5
0,0 0,5 1,0 1,5 2,0
Puissance dissipée (W/cm2)
Introduction – Objectifs 5

Amélioration de la compréhension de la physique de la DTPA

Compréhension des causes de déstabilisation de la DTPA

Définir des solutions permettant d’augmenter la puissance transmise

Étude du couplage générateur – décharge

Réalisation d’un modèle Alim + DTPA
Plan de l’exposé 6

 Dispositif expérimental
 Caractéristiques de la Décharge de Townsend à la Pression
Atmosphérique (DTPA)
 Modélisation de la DTPA
 Augmentation de la puissance transmise à la DTPA
 Conclusion et perspectives
Dispositif expérimental – Enceinte et cellule de décharge 7
A l’intérieur de l’enceinte se trouve la cellule de décharge …

Électrode Décharge

Diélectriques
Électrode

HT
Injection
de gaz
Dispositif expérimental – Circuit d’alimentation électrique 8

Amplificateur : 2800 VA

Transformateur : 600 VA, 60 V / 9 kV

Va
Ra
Amplificateur

Puissance

m
de

GBF

Rm

VRm ∝ Im
Plan de l’exposé 9

 Dispositif expérimental
 Caractéristiques de la Décharge de Townsend à la Pression
Atmosphérique (DTPA)
 Modélisation de la DTPA
 Augmentation de la puissance transmise à la DTPA
 Conclusion et perspectives
Caractéristiques de la DTPA – Tension appliquée sur le gaz et courant de décharge 10
8 8
6 Va
Pour modéliser la DTPA, il faut déterminer sa

Tension appliquée (kV)

6
Courant mesuré (mA)
Im
4 4
caractéristique courant - tension
2 2
0 0
Or pour les DBD, la tension appliquée sur le gaz et le
-2 -2
-4
courant de décharge ne peuvent être mesurés …
-4
-6 -6

-8 -8 Comment les calculer ?

60 80 100 120 140 160 180 200
Temps (µ
µs)

Schéma électrique équivalent de la cellule de décharge

Vds
section DTPA = section électrode
Im Im Ig Cds Id

Ip
ICg

Va Va Cp Rp Cg Gg Vg

Rm
Rm
Caractéristiques de la DTPA – Analyse temporelle de l’évolution des grandeurs électriques 11
Im Ig Cds Id

IC
Cp Rp Cg g Gg
Va Vg

Rm

8
8
C ds 6⋅ C g dVa ( t ) Va
⋅ 6
C ds + C g dt
4 4
Courant (mA)

2 Im

Tension (kV)
2

0 0
Id
-2 -2
Vg -4
-4

-6
-6
Ig
-8
-8
60 80 100 120 140 160 180 200
Temps (µ
µs)
Caractéristiques de la DTPA – Analyse temporelle de l’évolution des grandeurs électriques 12
Mécanismes de création de charges dans un gaz
Avalanche électronique
Sous l’effet du champ électrique, les électrons sont accélérés et entraînent l’ionisation des atomes
ou des molécules par collision. α = nombre d’électrons produits sur le trajet d’un
⊕ seul électron parcourant 1 cm
⊕-

Courant
e- n e- n e-
e
atome ou
⊕- I = I 0 ⋅ exp ( α ⋅ d )
molécule e- n e-
e I0 d : distance
inter-électrodes
Tension
Émission secondaire à la cathode
Le bombardement de la cathode par des ions ou des états excités permet de créer des électrons dit
« électrons secondaire ».
e-
ν A* A+
hν
A Le nombre moyen d’électrons émis par la cathode
par ion ou état excité incident est défini par γ

cathode
Caractéristiques de la DTPA – Analyse temporelle de l’évolution des grandeurs électriques 13

Amorçage de la décharge
Le gaz passe d’un état capacitif
Lorsque est Vg > Vgα Id  et ICg 
à un état résistif
6 Id=f(Vg)
Vg 4
6
4 Vgαα
ICg

Courant (mA)
Courant (mA)

Tension (kV)
2 Id
4
0 0

-2
-2 2
Vgαα
-4

-6 -4 I0
0
60 80 100 120 140 160 180 200 0 1 2 3 4
Temps (µ
µs) Tension (kV)

Claquage de Townsend
Ionisation dans le gaz (α)
2 mécanismes
Émission secondaire à la cathode (γ)
Caractéristiques de la DTPA – Analyse temporelle de l’évolution des grandeurs électriques 14

Vg ≈ cste
dVa ( t )
Vg = cste  toutes les variations de Va sont reportées sur Cds I g ( t ) = C ds ⋅
dt
10 4
Courant Id imposé par l’alimentation
5 2
Courant (mA)

Tension (kV)
0 0
Décharge alimentée par une source de
-5 -2 courant (amplitude ∝ à Cds et V×
×f)
-10 -4

60 80 100 120 140 160 180 200

Temps (µs)
10 Arc
0,1

1E-3 Décharge Luminescente

1E-5
Courant (A)

1E-10 Décharge de Décharge de Townsend

Townsend
1E-12
Avalanches
I0 électroniques
1E-14
Drainage des charges crées
1E-16
par une source extérieure
0 200 400 Vgαα 600 800 1000 1200

Tension (V)
Caractéristiques de la DTPA – Effet mémoire d’une décharge à la suivante 15
Effet mémoire d’une décharge à la suivante :

Le courant de décharge n’est pas nul entre 2 décharges.
6 4 Le gaz ne revient pas au repos entre 2
4
2
décharges (Id=I0).
Courant (mA)

Tension (kV)
2

0 0 Ce courant provient de la diffusion des

-2 0,4

0,2
-2
métastables N2(A3Σu+) créés pendant la
-4
0,0

-0,2
décharge précédente qui induit une émission
-4
-6
-0,4

110 115 120 125 130 135 140 continue d’électrons à la cathode.
60 80 100 120 140 160 180 200
Temps (µs)

4 1,0
Tension de claquage (kV)

0,8
3

0,6
 de Vclaquage pour
I0 (mA)

2 partie due à l’effet

0,4
mémoire
1
0,2

Va=15 kVcc Va=15 kVcc

0 0,0
0 2 4 6 8 10 12 14 16 0 2 4 6 8 10 12 14
Fréquence (kHz) Fréquence (kHz)
Caractéristiques de la DTPA – Variation de l’émission secondaire 16
Variation de l’émission secondaire durant la décharge :

Id=f(Vg)
Hystérésis sur la caractéristique Id=f(Vg)

6
Courant (mA)

4 γ Lors de l’amorçage, le diélectrique recouvrant la

cathode est chargé négativement
γ fort (jusqu’à 0,5)
2 Vgαα

I0 γ =γ i Lorsque la charge du diélectrique  alors γ 

0
0 1 2 3 4 5
Tension (kV)

8 6 L’ionisation dans le gaz  (donc Vg)

Vg
6
4
4
Vds
Courant (mA)

Lorsque le diélectrique recouvrant la cathode est

Tension (kV)

Ig 2
2

0 0
entièrement déchargé : γ ≈ γi (0,01)
-2
-2
-4
-4
-6
Annulation de Vds
-8 -6
60 80 100 120 140 160 180 200
Temps (µ
µs)
Caractéristiques de la DTPA – Conclusion 17

La modélisation de la DTPA devra rendre compte :

du claquage de type Townsend qui conduit à une décharge de Townsend

de la variation de l’émission secondaire pendant la décharge

de l’effet mémoire d’une décharge à la suivante

Plan de l’exposé 18

 Dispositif expérimental
 Caractéristiques de la Décharge de Townsend à la Pression
Atmosphérique (DTPA)
 Modélisation de la DTPA
 Augmentation de la puissance transmise à la DTPA
 Conclusion et perspectives
Modélisation de la DTPA – Présentation du modèle 19

Claquage de type Townsend

4
0,2

3
0,1
e.IBV+I0 4 paramètres :

Courant (mA)
IBV+I0
2
I0 BV, IBV, NBV.kT/q et I0
0,0
3,0 BV 3,5
1 BV+NBV.kT/q

0
0 1 2 3 4 5
Tension (kV)
Vds Vz
Im Ig Id
Variation de γ
Cds
+
Ip Effet mémoire
ICg

Va Cp Rp Cg Vg Cγ Rγ Vγ

Rm

Modèle réalisé sous Orcad PSpice

Modélisation de la DTPA – Principe de fonctionnement 20
Vds Vz
on off
Im Ig Cds Id
8
Résultats de

Tension (kV)
Ip
ICg 4 simulation
Va Cp Rp Cg Vg Cγ Rγ Vγ (1 kHz, 15 kVcc)
0
Rm
-4
-8
1

Courant ((mA)
Amorçage
Vz(t)=Vg(t)-Vγ(t) Amorçage de la Zener
>0 >0 <0 pour Vg < BV 0

Pendant la décharge -1
400
Id  : Cγ se charge et Vγ qui était de signe –
change de signe et  200

Vγ (V)
Hystérésis
0
Entre deux décharges
- 200 Effet
Les diodes sont bloquées : Cγ se décharge mémoire
dans Rγ et donc Vγ  - 400
9 9,2 9,4 9,6 9,8 10
temps (ms)
Modélisation de la DTPA – Détermination des paramètres 21

Les valeurs de Rγ et Cγ sont déterminées à partir de l’hystérésis de Id=f(Vg) et de la

variation de la tension de claquage de la DTPA.

Connaissant Rγ et Cγ, la tension aux bornes des diodes est calculée et les paramètres des
Zeners sont déterminés graphiquement à partir de la caractéristique Id=f(Vz).

1,0
Modèle
Expérimental
0,8

0,10
0,6
Id (mA)

0,05
0,4
e.IBV+I0
IBV+I0
0,2 I0 0,00
2 3 4
BV
BV+NBV.kT/q

0,0
0 1 2 3 4 5
Vz (kV)
Modélisation de la DTPA – Effet de la puissance sur les paramètres du modèle 22
t=1 s t=3000 s
8 10
Les paramètres du modèle ont été déterminés
6 Va
dans une condition de puissance
4 5

Tension (kV)
Ig
Courant (mA)

2 Lorsque t 
P  et Vclaquage 
0 0

-2

-4 -5
Effet thermique ?
-6
Va=15 kVcc et f=6 kHz p ⋅V = n ⋅ R ⋅ T
-8 -10
0 20 40 60 80 100 120 140 160 à p et V constants si T  alors n  donc Vc 
temps (µs)
Température (K) à p=1000 mbar
Courbe de Paschen 600 550 500 450 400 350 300
2,0
VC (kV)

1,5 + 100 °C
T
102 p = pref .

de Vc (kV)
pref=patm Tref
Tref=Tamb 1,0
101

0,5
1 - 860 V

Pd 0,0
10-1 500 600 700 800 900 1000
10-3 10-2 10-1 1 10 102 (bar.mm)
Pression (mbar) à T=300 K

Détermination de la température du gaz

Modélisation de la DTPA – Détermination de la température du gaz 23
100
La température du gaz est déterminée à partir de :
80

∆T diélectrique (°C)

Température en surface d’un diélectrique
60
lorsque l’équilibre thermique est atteint
40

Température rotationnelle du gaz (déduite

20
de mesures de spectroscopie d’émission
optique) Eurotherm 2404 0
0 500 1000 1500 2000 2500 3000
temps (s)
°C

hublot en
unité de
photomultiplicateur lentille quartz
comptage
de photon

3000
Spectre expérimental Tvib=1830 K monochromateur
Spectre synthétique Trot=397 K

2000
Intensité (u.a.)

1000

0
375 376 377 378 379 380 381
Longueur d'onde (nm)
Modélisation de la DTPA – Détermination de la température du gaz 24
Température du gaz en régime établi en fonction de la puissance
160
Tdielec
140 Trota
120

100
∆T gaz (°C)

80
Conditions :
60
• à l’équilibre (temps long)
40
• 1 < f < 10 kHz
20
• 13 < Va < 19 kVcc
0
0,0 0,5 1,0 1,5 2,0
-2
Puissance dissipée (W.cm )

Relation liant la puissance à l’élévation de température à l’équilibre

∆T = P ⋅ ( −41, 5 ⋅ vgaz + 76, 7 )
P : puissance moyenne (W.cm-2)
vgaz : vitesse du gaz (m.s-1)

En régime transitoire ?
Modélisation de la DTPA – Détermination de la température du gaz 25

Tous les paramètres du modèles ont été déterminés dans toutes les conditions (à temps court
et à temps long) puis corrélés avec la puissance dissipée dans la décharge.

Détermination de BV (Zener) Comparaison avec Paschen

(à partir de mesures expérimentales)
4 2,0
temps court Paschen
temps long temps court
3 1,5 temps long

de BV (kV)
BV (kV)

2 1,0

1 0,5

0 0,0
0,0 0,5 1,0 1,5 2,0 2,5 600 500 400 300
-2
Puissance dissipée (W.cm ) Température (K) à p=1000 mbar

Calculée à partir de :
∆T = P ⋅ ( −41, 5 ⋅ vgaz + 76, 7 )

à chaque instant : ∆Tgaz ( t ) = P ( t ) ⋅ ( −41, 5 ⋅ vgaz + 76, 7 )

Modélisation de la DTPA – Modèle complet (alim + DTPA) 26

Rγ(P) Rγ , Cγ
Cγ(P)
vg(t) Calcul de la P
puissance
id(t) moyenne Paramètres des
BV(P), IBV(P), diodes Zener
NBV(P), I0(P)

Vds
Vz
Ra Rt Lt Im Ig Cds Id

Ip
Amplificateur

m ICg

GBF C1 Rf Lµ C2 Va Cs Vg Cg
Cp Rp Cγ Rγ Vγ

Rm

Modèle de l’alimentation Modèle de la cellule de décharge

Modèle auto-adaptatif : pas d’ajustement des paramètres

 Modélisation de la DTPA – Validation du modèle 27
Le modèle de la DTPA a été validé par comparaison entre les résultats expérimentaux et
les simulations de Va(t), Vg(t) et Ig(t).
f
8 6 8 8
1,0 Va(t) 6 Va(t) 15 Va(t)
6 Ig(t) 6
4 Vg(t)
4 4
10 Vg(t) 4
Ig(t)
Courant (mA)

Ig(t)

Courant (mA)

Courant (mA)
0,5

Tension (kV)
Vg(t) 2

Tension (kV)

Tension (kV)
2 2 5 2

0,0 0 0 0 0 0
-2 -2 -5 -2
-2
-0,5
-4 -4 -4
t=1 s -4 t=1 s -10 t=30 s
-6 -6 -6
-1,0 1 kHz, 15 kVcc 6 kHz, 15 kVcc -15 14 kHz, 15 kVcc
-8 -6 -8 -8
0 200 400 600 800 1000 0 50 100 150 0 20 40 60
temps(µ
µs) temps(µ
µs) temps(µ
µs)
 durée
Expérimental
Sinus
Triangle d’allumage
Simulation 8 20 8
1,0 Va(t)
Va(t) 6 15 Ig(t) 6

4 10 Vg(t) 4

Courant (mA)
Courant (mA)

0,5 Ig(t)

Tension (kV)

Tension (kV)
2 5 2
Vg(t)
0,0 0 0 0

-2 -5 -2
-0,5
-4 -10 -4
t=1 s t=420 s
-6 -15 -6
-1,0 1 kHz, 15 kVcc 14 kHz, 15 kVcc
-8 -20 -8
0 200 400 600 800 1000 0 20 40 60
temps(µ
µs) temps(µ
µs)

Bonne description du comportement électrique de la DTPA qq soient les conditions

Modélisation de la DTPA – Bilan 28

Le modèle montre que le comportement de la DTPA est contrôlée par :

- la variation de l’émission secondaire durant la décharge

- l’effet mémoire d’une décharge à la suivante

- l’élévation de la température du gaz

Plan de l’exposé 29

 Dispositif expérimental
 Caractéristiques de la Décharge de Townsend à la Pression
Atmosphérique (DTPA)
 Modélisation de la DTPA
 Augmentation de la puissance transmise à la DTPA
 Conclusion et perspectives
Augmentation de la puissance – Domaine de fonctionnement 30

Le domaine de fonctionnement Va=f(f) permettant d’obtenir une DTPA est limité :

60
Limite supérieure = limite du générateur ou tension
de transition DT / DF
40

Courant (mA)
26

24 Limite du générateur
20
Tension appliquée (kVCC)

22
0
20 Filamentaire 60 80 100 120
Temps (µs)
18 Townsend
30
16

14
20

Courant (mA)
12

0 2 4 6 8 10 12 14 16 10
Fréquence (kHz)

Limite inférieure = tension de recouvrement des 0

0 10 20 30 40
électrodes
Temps (µs)
Augmentation de la puissance – Déstabilisation durant l’amorçage de la décharge 31
30

20
Courant (mA)

10

0
0 10 20 30 40
Temps (µs)

Modèle DTPA + Modèle Alim Modèle DTPA + Alim parfaite

10 10
20 Va 20 Va
5 5
Courant (mA)

Courant (mA)
10 10

Tension (kV)

Tension (kV)
Ig Ig
0 0 0 0

-10 -10
-5 -5
f=11 kHz, f=11 kHz,
-20 Va=17,8 kVcc -20 Va=17,8 kVcc
-10 -10
140 160 180 200 120 140 160 180 200
Temps (µ
µs) Temps (µ
µs)

En simulation : apparition d’oscillation durant la  de Ig uniquement

lorsque le modèle de la DTPA est couplé à celui de l’alim !
Augmentation de la puissance – Déstabilisation durant l’amorçage de la décharge 32
30

Cds.dVa/dt Lors de l’amorçage, la charge vue par

l’alimentation bascule d’une source de
Courant (mA)

20
courant contrôlée par Cds et Cg vers
une source contrôlée par Cds

10
Amplitude de la variation de charge :
Cds
(Cds.Cg/(Cds+Cg)).dVa/dt kc = +1
0 Cg
50 60 70 80 90 100 110
temps (µs)

Si la variation de charge est trop Oscillations du courant dues aux

rapide et/ou trop importante éléments parasites de l’alimentation

 l’amplitude de la variation (kc)

2 solutions possibles
pour éviter les
oscillations
 la vitesse de la variation
Augmentation de la puissance – Déstabilisation durant l’amorçage de la décharge 33

 de l’amplitude de la variation de charge (3 cas étudiés)

c ds g
k =4,5 : conditions standards (C =37,26 pF, C =10,62 pF)
C ds
kc = + 1
kc=8 : gap  à 2 mm (Cds=37,26 pF, Cg=5,31 pF)
Cg

kc=8 : épaisseur des diélectriques  et cellule ≠ (Cds=106 pF, Cg=15 pF)
Amplitude de la tension appliquée (kVcc)

26
kc=4,5 kc=4,5

Puissance moyenne (W.cm-3)

24 kc=8 40 kc=8
kc=8 kc=8
22
Townsend × 1,4
30
20 Filamentaire P?
×4
18 20
16

14 10

12
0
0 2 4 6 8 10 12 14 16 0 2 4 6 8 10 12 14 16
Fréquence (kHz) Fréquence (kHz)

Fréquence maximale dépend de kc : + kc , + fmax 

kc=8  kc=4,5
fmax × 2,5 et Pmax × 1,4

Augmentation de la puissance – Déstabilisation durant l’amorçage de la décharge 34

20 t=20 s 20 t=390 s

10 10
Courant (mA)

Courant (mA)
0 0

-10 -10

-20 -20
f=12 kHz et Va=15,5 kVcc f=12 kHz et Va=15,5 kVcc
0 20 40 60 80 0 20 40 60 80
temps (µ
µs) temps (µ
µs)

400
temps court
temps long
La vitesse de la variation de charge dépend de la
300 température du gaz :
NBV.kT/q

200
Plus T augmente plus la variation de l’ionisation dans
le gaz en fonction de la tension devient lente.
100
0,0 0,5 1,0 1,5 2,0
Puissance dissipée (W.cm-2)
L’augmentation de la température du gaz entraîne
une stabilisation de la décharge
Augmentation de la puissance – Déstabilisation après le maximum de courant 35
60

40 Une étude optique (E. Croquesel) a permis de mettre en évidence

Courant (mA)

que cette déstabilisation est due à des micro-décharges qui se

20
développent dans le gaz.

0
60 80 100 120
Temps (µs)

Quelle est l’origine de ces micro-décharges ?

Elles apparaissent toujours après le maximum de Ig, dans la zone où :

le courant est imposé par le circuit extérieur
Ig(t)=Cds.dVa(t)/dt

la charge du diélectrique recouvrant la cathode s’annule
 de γ
8 6

6
Vg Afin de compenser la perte d’ionisation liée à
4
4 la  de γ, l’ionisation dans le gaz 
Vds
Courant (mA)

2
2 Ig
Tension (kV)

0 0

-2
-2
-4  du champ E qui peut entraîner la formation
-4
-6 de grandes avalanches lorsque celui-ci devient
Annulation de Vds
-8
60 80 100 120 140 160 180 200
-6 suffisamment élevé
Temps (µ
µs)
Augmentation de la puissance – Déstabilisation après le maximum de courant 36
Comment augmenter P ?
Objectifs :
 la durée d’allumage de la décharge

maintenir le courant maximum durant toute la durée de la décharge
Commutateur de courant
8
Ig(t) Va(t)
6
5 Id(t) K1 K3
4
Courant (mA)

Vg(t)

Tension (kV)
2

0 0 I
-2

-4 K2 K4
-5 Résultats de
-6
simulation
-8
0 20 40 60 80 100
temps (µs)

Tension sinusoïdale vs Commutateur de courant
P  de 40 % (à valider

expérimentalement)
Tension Courant
Va (kVcc) 23,6 40
50 % < ton/ttotal < 95 %
f=10 kHz Imax (mA) 24,7 24,7
P (W.cm-3) 38 54 (+ 40 %)
Ne nécessite pas
kc=4,5 d’adaptation d’impédance
ton/ttotal 75 % 95 % (x 1,5)
expérimental simulation
Augmentation de la puissance – Bilan 37

La compréhension des 2 causes de déstabilisation de la DTPA a permis de définir

des solutions permettant d’augmenter la puissance transmise à la décharge :

Commutateur
de courant
60
Puissance moyenne (W.cm-3)

50 54
kc=8 kc=4,5
W.cm-3
40

38,4
30
W.cm-3
20 26
W.cm-3
10

0
Départ de
l’étude
Plan de l’exposé 38

 Dispositif expérimental
 Caractéristiques de la Décharge de Townsend à la Pression
Atmosphérique (DTPA)
 Modélisation de la DTPA
 Augmentation de la puissance transmise à la DTPA
 Conclusion et perspectives
Conclusion 39

Modèle électrique de type circuit de la DTPA :

 Modèle auto adaptatif valide sur l’ensemble du domaine de fonctionnement
 Vision macroscopique de la DTPA
 Mise en évidence de l’importance :
- de la variation de l’émission secondaire durant la décharge
- de l’effet mémoire d’une décharge à la suivante
- de l’élévation de la température du gaz

L’étude de la température du gaz a permis :

 De corréler les mesures de températures de surface aux mesures de température
rotationnelle
 De définir une relation, valable en régime instantané, liant l’élévation de
température du gaz à la puissance dissipée dans la décharge et à la vitesse du gaz
Conclusion 40

L’utilisation de ce modèle a permis :

 de prouver qu’une cause de déstabilisation de la DTPA est liée à des
oscillations dues aux éléments parasites de l’alimentation
 d’aider au dimensionnement et à la conception d’une alimentation pour un
prototype industriel basé sur l’utilisation d’une DTPA
 de séparer la contribution de l’effet thermique et de l’effet mémoire d’une
décharge à la suivante

L’étude du couplage entre l’alimentation et la décharge a permis de définir des

solutions afin d’accroître la puissance transmise à la décharge :
 La réduction du rapport Cds/Cg
 L’utilisation d’une source de créneaux de courant (commutateur de courant)
afin de maintenir un courant maximal durant la durée la plus grande possible
Perspectives 41

 Test avec un commutateur de courant

 Étude de l’influence de la température sur la stabilité de la décharge et sur

la puissance transmise en découplant T et P

 Étude du mécanisme de déstabilisation au maximum de courant :

Valeur maximale de courant de décharge (effet de la température, de γ, ...)
...