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 b Âo$ostu

DE METZ
UNTVERSITE
INSTITUT DE PIIYSIQUE - ELECTRONIQIIE ET DE CHIMIE

THESE

présentéepour obtenir le gradede :

DOCTEUR DE L'UNIVERSITEDE METZ

EN PTTYSIQUE

par
se]osïS
Abdelmjid EL GHEMMAZ
*læ
s/ru
CONTRIBUTION A L'ETUDE DES PROPRIETES OPTIQUES
DES METAUX LIQUIDES PAR ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE
Soutenuele 17 décembre1996

JURY

M. B. KTIELIFA Présidentet rapporteurexterne (UniversitédeLens)

M. M. CERTIER Professeur (UniversitédeMetz)

M. J. G. GASSER Professeur (Universitéde Metz)

M. L. JOHANN Maître de Conferences (Universitéde Metz)

M. R. KLEIM Professeur@irecteurde thèse) (UniversitédeMetz)

M. C. REGNAUT Professeur(Rapporteurexterne) (UniversitédeParis)ilI)

à k tnânaire{e monpère
 REMERCIEMENTS

Le travail présentédans ce mémoire a été réaliséau sein du groupe Optique du Labo-

ratoire de Physique des Liquides et des Interfaces (L.P.L.I).

Je tiens, en premier lieu, à exprimer toute ma reconnaissanceà Monsieur le Professeur

R. Kleim qui a dirigé cette étude et en a suivi pas à pas l'évolution. Je le remercie pour
I'aide constante et le soutient qu'il m'a apporté en me faisant profiter non seulement de ses
compétencesmais aussi de son enthousiasme.

Je suis très reconnaissantà Monsieur le ProfesseurJ.G. Gasser,directeur du L.P'L.I,

de m'avoir accueilli dans ce laboratoire, et de I'honneur qu'il m'a fait en acceptant de faire
partie du jury.

Monsieur B. Khelifa, Professeurà I'université de Lens, m'a fait I'honneur de présider le

jury de cette thèse. Je le prie de bien vouloir accepterI'expressionde ma profonde gratitude'

Je tiens égalementà remercier Monsieur C. Regnaut, Professeurà I'université de Paris

XII, Monsieur M. Certier, Professeurà I'université de Metz et Monsieur L. Johann Maître
de Conférencesà I'université de Metz de bien avoir voulu accepter de participer à ce jury
malgré leurs multipies obligations scientifiqueset administratives..

Je voud.raisde plus témoigner ma reconnaissanceà Monsieur B. Khelifa et Monsieur

C. Regnaut d.'avoir,de surcroît, acceptéd'être les rapporteurs de ce travail'

Je tiens aussi à exprimer ma reconnaissanceà Monsieur L. Johann' pour sa collabora-

tion. Les nombreuses et fructueuses discussionsque nous avons eues ainsi que son soutient
et sesencoulagements ont grandement aidé à leur aboutissement.

Mes remerciements s'adressent aussi :

 - à A. Pawlowski et S.Bertutcci, ingénieurs C.N.A.M, sans qui I'ellipsomètre spectro-

scopique n'aurait pu évoluer.

- à C. Louis, ingénieur C.N.A.M, pour son aide en informatique, ses remarqueset ses

encouragements.

-à J. Lopez et J.C. Humbert, techniciens,pour I'aide qu'ils m'ont apportée, pour leurs

compétencestechniques,et pour I'amitié qu'ont su me témoigneren maintes occasions.

Je remercie égalament :

- N. Stein et A. En*naciri. Ils ont partagé mes journnées au laboratoire qui auraient

été bien moins animéessans leur présence.

- Y. Rundstadler, E. Lamm, L.Kuntzler, A. Guiader et Madame N. Nicolas, Ingénieurs

C.N.A.M, pour leurs conseilset leurs encouragements.

- A. Makradi et A. Yazi pour leur aide précieuseet leur soutien moral qui ne m'ont
jamais fait défaut.

- Messieurs les ProfesseursR. Cressely et F.X. Royer, Messieurs J.P Decruppe, J.

Auchet, R. Makhloufi, Y. Grandati; A. Berard, B. Grodidier, Maîtres de conférences,qui

m'ont soutenu et encouragétout au long de mes études.

Enfin, à tous mes collèguesde I'IPC, qui ont su me stimuler et encourager tout au long
de mes études.
T.|BLE DES MATIÈRES

Table des rnatières

Introduction

L pRopnrÉrÉs OPTTQUESDES VrÉtlux LIQUIDES

7
1.1 Éléments de la théorie électromagnétique
I
1.1.1 Equations de Maxwell
9
7.7.2 Constantediélectriqueet conductivitéoptique
11
1.1.3 Déterminationdirecte des indicesoptiques
13
1.L4 Coefficientde réflexionet d'absorption
17
1.1.5 Profondeurde pénétration.Effet de peau
19
I.2 Théorie électroniqueclassique
20
1.2.7 Absorption et dispersiondans les diélectriques
Dispelsionet indice de réfraction
22
il2.2
25
\.2.3 Modèle de I'électronlibre
28
1 . 3 Transitions interbandes. Transitions intrabandes
28
1 . 4 Theorie électroniquequantique
28
1.4.7 Modèle de Sommerfeld
' 32
I.4.2 Equation de Boltzmann et theorie linéaire du transport électronique
36
1.4.3 Calcul de Ia conductivitéoptique
38
1.4.4 Calcul du temps de relaxation
k et k' 39
1.4.5 Elément de matrice du potentiel diffusant entre les états
40
1 . 5 Cor-rection de la theorie de Ziman
47
1.5.1 Niveaux d'énergie
44
1.5.2 Conductivité et temps de relaxation '
IJ
D mlDrn
TABLE DES MATIERES

1.6 Conclusion 47

2 ELLTpSOVTÉrnrp SPECTROSCOPTQUE 49

2.7 Introduction 49
2.2 Principes de base de I'ellipsométrie 50
2 . 3 Calcul des indicesoptiquesen fonction des anglesellipsométriques 52
2.4 Différents types d'ellipsomètres 53
2.4.1 L'ellipsométrieà annulation (ou zéro) 54
56
2 . 5 Description de I'ellipsomètrespectroscopiqueà polariseur tournant . 59
2 . 6 Procédure d'alignement 62
2 . 7 Exi:ressiondu flux lumineux reçu par le détecteur 63
2.7.1 Détermination des anglesellipsométriques 67
2.7.2 Tfaitementdu signal 68
2.7.3 Mesuredes coefficientsde Fourier du signal 70
2 . 8 Ctrlibragede I'ellipsomètre 77
2 . 9 Elreurs systématiques 72
2.9.7 Matricesperturbation 73
2.9.2 Incertitudessur tan !û et cosA 74
2.9.3 Erreursd'azimut 76
2.9.4 Les imperfectionsdes élémentsoptiques : erreurs d'ellipticité 77
2.9.5 Autres erreurs systématiques: les fenêtres 79
2 . r 0Erreurs aléatoires 83
2.10.1 Erreurs duent à la statique du comptage 83
2.10.2 Erreur aléatoiredue au polariseur 84
2.10.3 Erreur aléatoiredue à I'analyseur 84
2.11 Différentescausesd'erreurs 85
2.II.I Ouverture du faisceau 85
2.11.2 Déviation du faisceaupar le polariseur 85
2.II.3 Biréfringenceparasite 85
2.12 Conclusion 86
TABLE DES MATIERES

s RÉsuLTATs ET rNTERpnÉr.lrroxs 87

3.1 Dispositif expérimental 87

3.1.1 Introduction 87
3.1.2 Cellulede mesure 87
3.1.3 Four 88
3.7.4 Dispositif de purification 92
3.2 Déroulement et contrôle des essais 92
3.2,7 Préparationdes alliages 92
3.2.2 Mode opératoire 93
3.3 Choix du modèle 93
3.4 Résultatset discussion 94
3.4.1 Généralités 94
3.4.2 Plomb pur 99
3.4.3 Etain pur' 106
3.5 Alliage étain-plomb . . . rr4
3.6 Conclusion 127

Conclusion générale L29

Annexe A 131

A Polarisation de Ia lumière 131

4.1 Généralités 131

4*2 Polarisation elliptique . 133
4.3 Relation entre les équationsparamétriqueset les équations géométriquesde
I'ellipse 1:17
A.4 Calcul du flux lumineux 139
4.5 Représentationmathématique de l'état de polarisation 139
A.5.1 Vecteur de Jones 139
 A,.5.2 Matrices de Jones 140
A.5.3 Vecteur de Stokes 742
A.6 Polarisation partielle t44
L.7 Matrice de MUELLER . . r46
A.7.1 Matrices de Mueller des principaux élémentsoptiques . 147

Annexe B L49

B Réflexion par les surfaces I49

8.1 Ondes planesmonochromatiquespolariséesrectilignement I49

8.2 Conditions aux limites 151

8.3 Réflexion et réfraction-Relationsde Flesnel . . . I52

8.3.1 de Ia réflexion et de la réfraction

Lois geométr.iques I52

8.3.2 Amplitudes de la vibi-ation réflechieet de la vibration tr-ansmise 754

B ' 3 ' 3 M o d eP 155

B ' 3 ' 4 M o d es 156

8.4 Conser-vationdu flux 757

8.5 Incidencenormale 159

8.6 Réflexion sur un milieu absorbant 159

références l_61

Liste des figures L7L

Introduction

Ce travail a été effectué dans le Laboratoire de Physique des Liquides et des Interfaces
(L.P.L.I), au sein du groupe d'optique.

Le L.p.L.I s'intéressedepuis plusieurs annéesaux propriétés structurales et de trans-

port électronique des métaux et alliages liquides. La mise en corlmun des compétencesdans
les études
Ie domaine des métaux liquides et de I'optique conduit tout naturellement à élargir
du laboratoire au domaine pratiquement vierge de l'optique des métaux liquides.

Le choix d,ela technique de mesure, doit satisfaire aux critères suivants :

o pouvoir être utilisée sur des échantillonsse trouvant dans des atmosphèrestrès variées,

o être non destructrive,

o être très sensible,

o se prêter à des mesuresin-situ pour des interfacessolide'gazou solide-liquide,

o fonctionner à des longueurs d'onde fixes ou en mode spectroscopique'

de
L'ellipsométrie est une technique optique d'analyse de surface baséesur la mesure
D'après
changementd'état de polarisation de la lumière aprèsréflexionsur la surfaceétudiee.
le
ces mesureson peut calculer, si on disposed'un modèle approprié, I'indice de réfraction,
qui satisfait à tous
coefficientd'absorption, et l'épaisseurd'une couche. C'est une technique
les critères énumérésci-dessus.

phase, nous
Après avoir poursuivi des expériencesavec I'ellipsomètre à modulation de
permet pas une
avons abondonné cette technique, car la détection synchrone utilisee ne
 en fait un des
acquisition rapide. Par contre I'utilisation de technique d'échantillonnage
jugé utile de poursuivre dans cette voie par
ellipsomètresles plus rapides. Nous n'avons pas
numérique'
absenced'infrastructure suffisantedans le domaine de l'électronique
(Analyseur' Polariseur,
Nous avons poursuivi par I'ellipsométrie à élément tournant
polariseur tournant à trois élé-
Compensateur) et notre choix s'est porté sur I'ellipsomètreà
ments.

liquides sont liées à la

Les mesures des propriétés optiques des métaux et alliages
:
résolution d'un certain nombre de problèmesexpérimentaux

la protection contre I'oxydation des métaux liquides,

la réactivité entre les métaux et les creusets,

r la pression de vaPeur.

L'objectif de ce travail est donc :

précédents,
r de réaliser une cellule de mesure qui tienne compte des impératifs

r d,adapter l'ellipsomètre spectroscopiqueà la mesure aveccette cellule,

les préoccu-
r d,appliquer Ie d.ispositifà la mesure de I'alliage Sn-Pb, qui s'inscrit dans
industriel évident'
pations du laboratoire (métaux polyvalents) et présenteun intérêt

Ce mémoire comporte trois Parties :

et quantique des
o dans le premier chapitre, nous rappelons la théorie macloscopique
pour I'interprétation
métaux, ainsi que la justification du modèle théorique employé
de nos résultats exPérimentaux.

nous décrivons
o dans Ie chapitre deux, après avoir rappelé le principe de I'ellipsométrie'
notre ellipsomètre.

à l'étude despropriétés
o enfi.n,dans le troisième chapitre, nous appliquonsI'ellipsométrie
plomb et à I'alliage étain-plomb'
optiques des métaux liquides, notamment à l'étain, au
Chapitre 1

PROPRIÉTÉS OPTIQUES DES

METAUX LIQUIDES

Ie
Nous traitons dans ce chapitre les propriétés optiques dans un métal d'abord dans
cadre de la théorie macroscopique,puis d'un point de vue microscopique'

Tout au long de ce travail, nous utiliserons le systèmeMKSA.

1_.1_ Élé*"nts de la théorie électromagnétique

1-.1.1- Equations de Maxwell
vecteur
Un champ électromagnétique d.ansle vide est caractérisépar deux vecteurs : le
avec
champ électrique Ê etle vecteur champ magnétiqu"Ê. L'ioteraction d'un tel champ
un milieu matériel est décrite par les équationsde Maxweli :
----+
---+ + AD -+
VAf/ : * + I (1.1)
ot
-+ -) AB
VAE : --- ( 1.2)
ot
---+--'
VD : p ( 1.3)
---+--+
VB :0 ( 1.4)

sous
et par les relations constitutives d.u milieu qui décrivent le comportement de la matière
I'effet du champ :
+
J:oE (1.5)
8 1. PROPRIÉTESOPTIQUESDESMÉTAUX LISUIDES

-+ ----)
D:eE (1.6)
---) -+
B:ltH (1.7)

où D et B sont respectivementles vecteursinduction électrique et induction magnétique.

p est la densité de charge électrique.
7 est le vecteur densité iocale du courant électrique.
€, F, o caractérisent la réponse du milieu au champ électromagnétiqueet sont respective-
ment, la permittivité, la perméabilité et ia conductivité électrique du milieu'

Dans le vide la permittivité es et la perméabilité /^rssont reliéespar :

c: Go pt

où c est la vitessed.ela lumière dans le vide. On peut mettre en évidenceI'effet de la matière

sur I'onde électromagnétiqueen écrivant :
--+ ---) '---) ----+
eE : e6EiP :€O€r E
-+ --+
BB- B
:-_'yI:

P lto lto lt,

où:
F est la polarisation (le moment dipolaire électrique par unité de volume),
rt est I'aimantation (le moment magnétique par unité de volume),
e, : * (e, est la constante diéiectrique relative, sans dimension),

lr, : fr (prest la perméabilité relative' sansdimension).

Dans le domaine des fréquences optiques, les fréquences du champ sont de I'ordre de
grandeur des fréquencespropres des vibrations électroniquesconduisant à la polarisation
électrique. La constante diélectrique ne sera pas seulementune fonction des propriétés du
milieu mais aussi de la fréquence.

Les fréquencespropres de I'aimantation sont généralementtrès différentes de celles qui

ind.uisent Ia polarisation. En effet, aux fréquencesoptiques le processusd'aimantation ne
pourra pas "suivre" la variation du champ. Par conséquent,la dispersionsera telle que I'on
puisseadmettreFr:1.
 ÉIéments de Ia théorie éIectrom

p est nég-
D,autre part, si les milieux étudiés sont conducteurs,la densité de charge
ligeable, c,est-à-direque Ie milieu n'a pas le temps de se polariser.

pour les milieux

Pour les miiieux isotropese, pt eT.o sont des scalaires' par contre
projections sont
anisotropes,È et d n'ont pas en géneral, la même direction, mais leurs
plus compliquéesen
liées par des relations linéaires, Ies relations d.edispersion deviennent
particulier la constantediélectrique est un tenseur'

Pour uh milieu i,sotrope,leséquations de Maxwell deviennent :

----,
---+ ----t aE ,j (1.8)
v AH : e:-+or'
ot
---+
---+ 7 AH (1.e)
v AE :
tt At
---)-----)
VE: 0 (1.10)
---+ -)
VH : 0. ( 1 . 11 )

L.L.2 constante diélectrique et conductivité optique

du milieu à
Les propriétés optiques d'une substancesont déterminéespar la réponse
spectre visible
un champ électromagnétiqueoscillatoire. Dans le domaine des fréquencesdu
(u > I1LaHz), les forces magnétiqueset la polarisation engendréepar Ie champ magnétique
sont très faibles. La réponse est due essentiellementau champ électrique'
û(îJ,,') où 7 est
Une telle réponseest décrite par la conductivité optique complexe
qui est de la
le vecteur d.,ondeassociéà l'électron et r,.rest la pulsation du champ électrique
forme :
(1.12)
----)
de ce champ fait apparaître une densité de courant J qui lui est
propor-
L'application

tionnelle
+ ----+ ----+
J -- ô(k ,a)E ' (1.13)

i ttÊ sont parallèIes

Dans le cas d.'unmilieu i,sotropecorlmec'est le casd'un métal liquide,
et û(T,r..,) est tn scafai'relI].
'ol.pnopmÉrÉsoprtQunsonsvnrauxrtQUlDES

Dans le domaine desfréquencesoptiquesla vitessede phasef est très supérieureà la

lkl
vitessed.esélectronsau niveau de Fermi, et I'on montre que ô est pratiquement indépendant
du7,
, ): Û ( a ) '
Û ( T , o ): ô ( 0w

On appelle conductivité optique la partie reelle ot@) de la conductivité complexe ô(r),

A partir de (1.8) et (1.10)on obtient l'équationd'onde:

A2E AE (1.14)
F : - + o - :' vL , 8 ,
" atz at
---+
AE
le terme * traduit I'atténuationde I'onde.
ot
pour une onde monochromatique d.e fréquence angulaire a,l, I'équation d'onde peut être

écrite sous la forme :

-+ . .A2Ê
L,E : ê,( a) Zttz '

où 6r(cl) représentela constantediélectrique complexeen fonction de la fréquencedu milieu

conducteur :
^ , , .o(r.,) (1.15)
€r\a) : €r ';o
r,

les propriétésoptiques deviennentidentiquesà cellesdu milieu transparent si la quantité

€r: n2 est remplacéePar :
ê,(a) : i,2(a) : (n - i,k)2, (1.16)

où rz est I'indice de réfraction et k est I'indice d'extinction. Si on remplace dans l'équation

(1.8), e, par êr(a.'),elle devient :
--+
----+ --)
-
VnF:eoê,(w)#*i J pl J c,

où 7o est le vecteur courant de d.éplacementet J 6r est le vecteur courant de conduction'

de
Or, Ie courant de déplacement dans un milieu conducteur est la somme du courant
dû à la
déplacement qui existe dans tous les milieux (même dans le vide), et du courant
polarisation induite dans le milieu :

aÊ aÊ -+
^ ,ê, ,a(Ê
eo a ) f :t r o É +, - i : r-o É t Û ( uE
)' (1.17)
 Éléments de Ia théorie éIecttom

--+
AE ?
en posant --TDlr dans l'équation (1.17),il vient :
at
i , ae sê , ( w ) : ' i ' e o u * ô ( o ) , (f i8)

on obtient la relation entre la conductivité optique complexe et la constante diélectrique

complexe :
ô ( a ) : i ' e sw ( ê , ( a ) - 7 ) ' (1'19)

pour des raisons d'écriture on supprimera dorénavant I'indice relarif r pour 6 en se

rappelant qu'il s'agit toujours de e'.

Pour faire apparaître les grandeursréelleset imaginaires, posons:

û(w): o{a) - io2@)

et
ê(a):tt(') -ie2(a)

par identifi.cationavec (1.19) on détermine :

o'(') : es we2(u) (1'20)

o2@) : e ot , l ( 1- e i ( o ) ) . (1'2i)

La partie reelle Re û(u) : ot(a) représenteIe courant en phase avec Ie champ éiec-
: ez(u) caractérise
trique, c'est la conductivité optique. La partie imaginaire Im ê(a)
I'absorption de I'onde.

1-.1.3 Détermination directe des indices optiques

Si I'on consid.èreune onde plane qui se propage dans la direction z, I'équation d'onde
dans un métal liquide qui est donnéepar l'équation (1.14), devient :

a2E* ôE-
,d*"T:#, a2E. (L'22)
est
où E, et la composantedu vecteur champ électrique 7, dont I'expressiondans le vide
donné.epar l'équation (1.12).
1) 1. PROPRIETES _ DESMrîr.n'ux LIQUIDES
_ - _ OPTISUES

Et d'aprèsles équations(1.S)et (1.9) on trouve :

ô8,
,;ro(u)E, : - ÔH, ( 1.23)
a,
oEo
-ôH, : (1.24)
At 0z'

:
E, eT,Hn ont pour expressions
où les composantes

E, : Eo ee(ut-T"1 (r,25)
Hu : Hs ei('t-T"1, (1.26)

en substituant (1.25)et (1.26)dansles équations(1.23)et (L.2$ on trouve les relations [6, 2]

( i , a e se + o ( a ) ) E s : d , w
e oû ' ( w ) H s (1.27)

Ho: û'(u)Es, (1.28)

d'où :

f r 2 ( a \: e - ' i o ( ' ) (1.2e)

€oa

En séparantles parties reelleet imaginaire dans les équations(1.28) et (1.29), on trouve

et@) : n2-k2 ( 1.30)

'z@) : 2nle' (1.3i)

où n est I'indice de réfraction et k est I'indice d'extinction'

A partir des équations (1.30) et (1.31) on peut exprimer n eI k en fonction de e1 et e2

n : {io, +,1"',
+,'r,}"', ( 1.32)

k - +J,'z,+,,ù}L/'z ( 1.33)
{},-',
Si fi, est écrit sous la forme :
i : 1{tr 1rz ( 1.34)
"-et,
 Éléments de Ia théorie éIectrom tique

---+
où la différence d.ephase 7 entre E et H est donnée par :
,^
tan'y : -, (1.35)
n

et compte tenu de (1.16), (1.34)et (1.35)les équations(1.25) et (1.26)peuvent s'écriresous

la forme :
Er: Eo : Eo e-* .i(ut-ff)
"à(ut-i@-i'tùz)
Hu : frEo se(rt-2@-ik)z): \/mEs s-m ei(dt-e?z),

et les parties reellessont donnéespar :

E,: Eo -
cos(cut : fiss-#' -
cos(wt
"-+ ffl ffl
Hu: Jm -T
Ese-T " cos(ut - r),

d'après ces équations, I'indice d'absorption k, décrit I'amortissement de l'onde, puisque

l'amplitude décroît d'un facteur e sur une longueur égale à Cette distance permet
#.
de mesurer Ia profondeur de pénétration dans le métal.

L.L.4 Coefficient de réflexion et d'absorption

Compte tenu de (1.16) on peut écrire l'équation du champ électrique dans le miiieu
conducteur [3, 4] :
? - ( - k -r t\ ,ù,It-Lz\
È :È o
- l) O€ ' " A*'- e-' j (1.36)
"i'(ut-s"h'z)
I
I'expression(i.36) décrit I'onde de pulsation u,rse propageant à la vitesse et s'amortissant
n
suivant Ia loi e-(ik") .

Dans la pratique on mesure le flux de la lumière, qui est proportionnel au carré de

I'amplitude du champ électrique ( ou magnétique) de l'onde électromagnétique'L'expression
(1.36) montre que la puissancede l'onde lumineusese propageantdans un métal décroît avec
la profondeur d'après la loi :
( 1.37)

o ù o : 2 w k 1: 4 n L .
cÀ'
et À est la longueur d'onde dans le vide. La grandeur a s'appelle coefficientd'absorption et
 1. paopalarnsoprteuEsons vÉrtux LreurDES

Figure L.L: Réflexion normale : interface vide-métal

s expllme en ?n -.

Le coefficient de réflexion .R qui décrit la partie de la lumière réfléchie par le métal est
cléterminé par la relation :

I,
R: (1.38)
Ii.

Clonsidéronsle cas de la réflexion normale, à I'interface de deux milieux, il y a super-

position des ondesincidente, refléchieet refractée.
Le champ électrique dans le milieu (, > 0 ) est donné par :

Ê,:Ê setu(t-":1, (1.3e)

pour ( : < 0) le champ électrique est une superposition de I'onde incidente et de I'onde
r'éfractée :
È, : É r"-^t'-11* i r"att-xl. ( 1.40)
 Éléments de Ia théorie électrom

En appliquant les conditions aux limites à z : 0, il y a continuité des composantes

----+ -)
tangentiellesde E eT H ,
Ê o:È r+Ê,

È o:È, +È r,

Cette dernière relation donne, par I'intermédiaire de l'équation (1.10) :

-flEo: Ez - Et

le coefficient de réflexion est donné par le rapport des flux incident et réfléchi :

lE,l2 1- nl h - 7 \ 2+ k 2
R:1pry:lr+al: (1.41)
@+1)2+k2
La dépend.ancedes ind.icesoptiques avec la fréquence, montre qu'elle joue un rôIe
important dans le comportement du milieu, et selon la fréquencedu champ, le milieu peut
être absorbant ou transParent.
Si |a fréquenceest très basse,la valeur approcheede I'indice de réfraction complexeest

n'@)=r# ( 1.42)

d'où
f,(r)-rÆrr*lr, (1.43)

les parties réelle et imaginaire de â sont du même ordre de grandeur, et avec une partie
imaginaire aussi grande, I'ond.e s'amortit rapidement dans le métal. Le milieu est absorbant.
D'après (1.32) et (1.33) on trouve :

or(0)
n:k- ) ( 1.44)
2 ,r,

et par conséquentla valeur approchee du coefficient de réflexion peut se mettre sous la forme

2I (1.45)
,R-1--+
"1.....

Et d'après la loi de conservation d'énergie' on a :

R+ AIT:7
T6 1. PR)PRIÉTÉS OPTIQUES DES METAUX LIQUIDES

l,énergiede I'onde incidente est égaleà la sommede l'énergieréfléchie,transmise, et absorbée.

Pour les métaux, la réflexionest le régimedominant pour les fréquencesdu visible, et le terme
? est négligeable'on a donc :
R-L-A

avec

RN (1.46)

AN (1.47)

l'équation (1.46) est connue sous Ie nom de relation de Hagen-Rubens.

On a A ( Ê, ce qui explique les propriétésréfléchissantesdu métal. D'après l'équation
(1.40), on note que I'énergie absorbeeest inversementproportionnelle à la racine carrée de
Ia conductivité, A diminue quand la conductivité augmente'

La relation de Hagen-Rubensn'est pas vérifiee expérimentalementdans le visible, mais

est bien vérifieedans Ia région des microondeset I'infra rouge lointain comme le montrent les
résultats obtenus par Hagen-Rubensen 1903 pour des longueurs d'onde supérieuresà 8pm
t0l
i"l

Métal Ag Cu Ni Hg

Rx 10-2 calculé 1 , 1 5 7,27 3 , 1 6 7,55

Rx 10-2mesuré 1 , 1 3 1 , 1 7 3,2 7,66

Tableau 1.L: Valeursde -R

 Eléments de Ia théorie électrom

1.1.5 Profondeur de pénétration. Effet de peau

On a vu que les propriétés d'un métal liquide changent avec la fréquence. D'après
l'équation (i.36) on remarque que I'amplitude du champ électrique est atténuée exponen-
tiellement au fur et à mesure de la propagation de I'onde dans le milieu. Cette atténuation
1
:. c'est le
est caractériséepar la distance ô correspondant à un rapport de flux égal à
phénomènede I'effet de peau, et ô est appelé la profondeur de pénétration (ou épaisseurde
peau).

L'amplitude, équation (1.36),est de la forme :

Ê o :É o e-â.
"-t*'

Aux basses fréquences

La profondeur de pénétration est donnéepar :

c l2eoc2 ( 1.48)
6-
t: \ " "t(o)'
eoa
cette relation n'est valable que dans le cas où r,.rrest très inférieur à un et s- est aussr
"(0)
très inférieur à un, ce qui correspondà :

uK. 1
T

et
o' (0)
*;-.
"
où r est le temps de relaxation.

pour avoir un ordre de grandeur des bassesfréquences,nous considéronsIe cas du

cuivre :
A température ord,inaire,la cond.uctivitémesuréeest o :5,76 x 107(CIrn)-l, et le

nombre d'électronspar unité de volume N : 8,5 x 1028rn-3'

Nous obtenonsle tempsde relaxationr: 2,4x10-14s, * "i(,0) :6,5 x 1018s-1.
€g
,, t. pnopntÉrÉsoprteuns nns twnrauxT|QUIDES

basse
Donc pour des fréquencesinférieuresà 1012s-1,le cuivre aura le comportement
fréquence.
. Aux hautes fréquences
Ia conductivité d.épendde la fréquenceet la relation (1.48), prend la forme :

c 2esc2 (1.4e)
ô-
kw
"16
si :
La relation locale (1.16) et I'effet de peau normal sont de bonnes approximations,

o Ie libre parcours moyen Lrn est très inférieur à la profondeur de pénétration : L,n K 6,
du
ce qui est le cas des métaux liquides, sauf les monovalents,ou dans le domaine
spectre optique, L* est de I'ordre de 10Â

ousi:

. f < ô où, o1 est Ia vitesse de Fermi. C'est Ie cas des métaux liquides monovalents.
pour des longueursd'onde inférieuresà2,51-r,m,5 n'excèdepas 10Â.

diminue et la profondeur de
euand la fréquence augmenre, la conductivité optique
peau
pénétration devient inférieure au libre parcours moyen desélectrons,on a alors I'effet de
par
anormal, qui fut suggérépour Ia première fois par Pi,ppare[12], et étudié théoriquement
au libre parcours moyen
Reuter eL Sond,hei,rner122].I1 se produit quand ô devient inférieur
des électrons. Dans ce cas , I'approximation dans la relation (1.48) n'est plus valable.
on a
Cependant, pour les métaux liquides, dans le visible et le proche infrarouge'
toujours I'effet Peau normal.

Conclusion

d'onde,
La théorie électromagnétiquenous permet de déterminer,pour chaquelongueur
du
Ies deux constantes optiques n et le. Cette théorie est insuffisante quand on tient compte
phénomènede disPersion.

:
En résumé pour que la théorie électromagnétique soit complète il faudrait

o faire une étude plus détaillee du mécanismede la conduction des électrons libres sous
I'influence d'un champ électrique oscillant de pulsation cu,
 Théorie éIectronique classique

o prendre en considérationles électronsliés (électronsdu cceur).

Malgré tout cela, la théorie électromagnétiquene peut pas être complètement satis-
faisante et il faut faire intervenir la mécanique quantique pour pouvoir établir un lien entre
Ies propriétés atomiques des métaux et leurs constantesoptiques.

L.2 Théorie électronique classique

La theorie classiquede la conduction dans les métaux est baséesur les approximations
suivantes :

o Les électrons constituent un gaz électronique parfait soumis à I'agitation thermique

caractériséepar le libre parcours moyen L*et par Ie temps de relaxation r.

o Les électrons échangentcontinuellementde l'énergie et de I'impulsion avec les ions du

réseau,ce qui se trad.uit par un équilibre thermodynamique avec celui-ci.

o L'application d'un champ électrique superposeun mouvement ordonné des électrons

et fait apparaître un courant électrique.

En I'absenced'un champ électrique Ë et d'un grad.ientde températu." V7, les élec-

trons d'un métal possèdentune vitessede nature thermique et de moyennevectorieile nulle.
Entre d.euxchocs successifs,dans les conditions citées ci-dessus,les électrons ont une
vitesse thermique Vlnon nulle donnéepar la distribution de Marwell. L'établissement d'un
champ électrique Ë ,'ac"ompagne d'un courant électrique de vecteur densité 7 t"l qrr" '
-? N ezr -3
J:-L, (1.50)
n'ù

On retrouve laloi d"'Ohrnqui donne le courant comme proportionnel au champ élec-

trique. La constante de proportionnalité est la conductivité électriqueo(0) :

o (' or n) : N e 2 r (1.51)

où N est le nombre d'électrons par unité de volume.

Cette expressionfut établie par Drudedansle cadre de Ia théorie classiqueoù l'électron

ne suit pas le pri,ncùPede Pauli'.
 1. PROPRIETESOPTI UES DESVNTIUX LIQUIDES

Il en résulte que la dépendanceen température de la résistivité établie sur cette base

est erronée.
pas correcte. Les processts d'érn'iss'ion
En outre, l'estimation de la chaleurspécifi,quen'est
ne peuvent être expliquésdans le cadre de Ia théorie clas-
thermoélectTiqueet photoélectr'itque,
sique.

L.z.L Absorption et dispersion dans les diélectriques

Dans la théorie de dispersion,le milieu peut être considérécornme s'il était constitué
d'un grand nombre d'éiectronsmobiles dans un champ extérieur périodique [2' 8].
Selon la théorie de Lorentz les milieux diélectriquescontiennent des électrons liés par
d.esforces quasi-élastiques,et ont donc une fréquenceplopre d'oscillation.
L'équation de mouvementd'un électron de massem placé dans un champ électromag-
nétique sinusoidal d'une onde polariséelinéairement (E "" changepas d,edirection) est du
type :
mù -l m1ù 1-*rf;, : eEo*etut, (i.52)

où r est le déplacementde l'électron parallèleà Ia direction de E . I' representeI'accélération.

Le deuxième terme du premier membre de l'équation (1.52) décrit le frottement dû à

la relaxation (la force proportionnelle à la vitessede l'électron),

le troisième membre représenteIa force de rappel supposéela même dans toutes les
directions (proportionnelle au déplacementde l'électron), cas de I'oscillateur isotrope
(la force de rappel est la même dans toutes les directions),

le membre de droite représente la force due au champ électrique extérieur (le champ
local est négligé),
1-
de relaxation.
1 : : représentela constante d'amortissementet r est le temps
T

Le déplacement oscille avec la fréquence du champ et nous pouvons poser'

r : froeittt, ( 1.53)
1.2. Théorie électronique classique 2l

En substituant :ù : trtn et ù: -,r)2fr,dans l'équation (1.52),nous pouvons calculerr

en fonction de E, on trouve :
*E* (1.54)
,20-a2*ia1'

Par définition la densité de courant J est liée à la vitesse de translation des électrons
par la relation :
J:Neù, (1.55)

A partir des équations(1.53), (1.54)et (1.55) on détermineI'expressionde J :

(1.56)

La conductivité complexe (milieu absorbant) est exprimé par :

- i'o2(a)
: ot(w)
û(u) : Yffi ( 1.57)

Les parties réelle et imaginaire de la conductivité complexe,ont pour expression:

o
Ne2
otlu) : (1.58)
n'L ("3 - e2)2+ u212
Ne2 u(afr-u2)
, \ :;@ryp (1.5e)
oz\a)

L'application d'un champ électrique polarise les atomes et crée un moment dipolaire,
proportionnel au champ électrique. La polarisation P est donnéepar :

P:Np:NuE,

la constante o est appeleela polarisabilité atomique et p est le moment dipolaire induit.

Ne2 1 -
P:Ne':#ù-*rEo'"*' (1.60)

On en déduit la polarisabilité atomique et I'indice de réfraction complexe :

N
& ( w ): e s ( 6 ( u )- 1' t)-: "'-, i, (1.61)
rn ufi-stztiwl

û,2@):e@):1f
ry+
esmafi-a'txa1
(1.62)
 1. PROPRTETqSoprtQUES OnS tttÉraux LIQUIDES

L,2.2 Dispersion et indice de réfraction

Les parties réelleet imaginaire de la constantediélectriquedéduite à partir de I'équation

(1.62)sont :

o .D Ne2 ,3-r2
er (,r) : tt -h:r-r-fi----qgllr ( 1.63)
es rn \afi - a")' Ï a""l'
Ne2
,r(r) 2nle : - ( 1.64)
esm(af;-r')'+u2^r2'

Si on considèreun milieu transparent, ce qui correspondà :

, 2 . y 2< ( r 3 - r ' ) ' ,

est positif et k - 0, et la relationde dispersiondevient:

alorse1(r..')

Dr \ , Ne2 1 .,,, ,l
ttr \w l: r -r ----; - r |
--r--i, (1.65)
€Orna6-a' a6-a'

I'indice de réfraction est réel,

est la fréquence de plasma.

Ainsi, pour un systèmetransparent, l'indice de réfraction est supérieur à I'unité, ce qui

caractérisela majorité des cristaux ioniqueset moléculairesdans le visible'

Les atomes ont plusieurs fréquencesnaturelles, chaque fréquence a sa propre constante

de d.issipation7. En outre, "l'intensité" effective des modes est différente, ce dont il faut
rendre compte en multipliant la polarisabilité pour chaquefréquencepar la force d'oscillateur

/. Dans ce cas la relation de dispersionest donnéepar :

n,@):1*#+ffi (1.66)

En plus, si rz - 1 ( 1, alors :
 Théorie éIectron

,2 - I: z t) :2(n - 1),
( n - 1 ) ( r+ (1.67)

et l'équation(1.66)est de la forme:

ù(,):L+#\Afi.**, (1.68)

du milieu, on
Si la fréquence est suffi.samentéloiguee de toute fréquence propre a.rea
peut alors négligera^l par rapport àrt*- rf daor l'équation (1.66),l'indice devient réel et
on est dans une région de transparenceavecune dispersiondonnéepar [4]:

n2@):1*
!#+#-,\ (1.6e)

Considéronsla forme généralede la courbe de dispersion (1.2) :

o Dans la région de transparence n va toujours en augmentant lorsque la fréquence

augmente (dispersionnormale).

o A très bassefréquence(, < r*) I'indice de réfraction est presqueconstant (constante

diélectrique statique), .,
: t +lfoft,
ût(w) ( 1.70)
iwoi

Au voisinagede la premièrebande d'absorption, I'indice de réfraction croît rapidement

et chute aprèsjusqu'à une valeur minimale à partir de laquelle il croît de nouveau.

Dans la région d'absorption o1(c,r)est non nul et a a une valeur maximale pour :

u: uo_,y12. (1.71)

En substituant (1.71) dans les équations(1.58) et (1.61)on trouve:

Ne2 / \ Ne2 1
o{a): d\a ) :
2*'Y' 2^.y;'

qui correspond à la région d'absorptiono1(ar): u)e, et les équations ( 1.63)e t ( 1.64)

prennent la forme :

î, -, a ot
€l:n--k-:t+; €z:2nk -
a0
 L paopaÉrns oprteuEs DEsunrd,vx LIIvIDES

I
I
I
I

k
ù
cr
rVe'
%
I
Ndl
--l
4'll

0
o(

Figure 1.2: Valiation de la conductivité optique et de la polarisabilité en fonction de la

frécluence

o Si iu : &'0ralors a : 0 et Er : 1 et la conductivité or est ma_ximale:

Ne2
e I tfurî -
rn'l
et:

n:Il2 (r.72)

f2
k-712 -' r \l ".m- /a-, r 9 (1.73)
è0(,
 0

+" _t__
I
I
I
I
II t
I
I
I
I

Figure L.3: relation de dispersion

o Quand on approche de la deuxième zone d'absorption a décroît jusqu'à sa valeur

minimale (t : uo + j 12 et en même temps n et k décroissent.

o Quand e,: -€o orrâ 11 :0 e t v u l e s é q u a t i o n s ( I . 7 2 )e t ( 1 . 7 3 ) ,o n a n : k : ,Æ

La conductivité ot@) est de nouveau nulle quandc.' - t.,,o) I et le milieu est trans-
palent.

Le signe de a1 détermine si le milieu est transparent ou réfléchissant.

a tend vers zéro comme €1est donc nécessairement

positif à des fréquencesassez
ù,
élevees.et le milieu est transparent dans cette région,

I.2.3 Modèle de l'électron libre

La théorie classiquedespropriétésoptiquesdesmétaux, baséesur le modèlede l'électron

libre, a été développéepar Drude llll, Zener [23] et Kroni.g 1251.
26 1. PROPRIÉTESOPTIQUESDESMETAUX LIQUIDES

Dans le paragraphe précédent, nous avons discuté de la théorie de dispersion et de

I'absorption des électrons liés par des forces quasi-élastiques. Dans Ie cadre de la théorie
de l'électron libre, Ie systèmese comporte comme un ensembled'oscillateurs de fréquences
propres égalesà.zéro. L'équation (1.52) devient alors :

mù -f m1r : eùsretut. ( 1.74)

Drudp supposeque Ie métal est constitué d'un gaz d'électronslibres mobiles entre les ions
qui forment le réseau. Ces électrons sont en équilibre thermique avec les ions. Lorsqu'on
applique un champ électrique constant, les électrons sont accélérésdans la direction du
champ et créent un courant électrique.
En posant 1,ro: 0 dans les équations (1.5S) et (1.63) on en déduit les expressionsde :

N e2 ''t "Y2
or(r) : (1.75)
;Éæ:;4-rro(o),
Ne2 1
er('r) : n2-k2 -1-ï (1.76)
€ s m a ' ï J, ' u ,
. n -

si c, : 0 on retrouve I'expressionde Drude:

'N: -p-2
ot(a\: o ( 0 ') - . ( 1.77)
rn'Y

Si on compareles équations(1.75)et (1.76)aux équations(1.S8)et (1.63),on remarque

qu'elles sont identiques pour t./0 : 0, ce qui signifie que les électrons libres ont Ies mêmes
propriétés optiques que les diélectriquespour les hautes fréquences.
-- 0 et /c : la réflexion est métallique.
Si e1 est négatif, se qui correspondà n M

Si I'on considèreun métal parfait dans lequel le libre parcours moyen Lrn et Ie temps
de relaxation r sont infinis, Ie réseaun'échangepas d'énergie avecles électrons et n'absorbe
pas d'énergie associéeau champ électromagnétique. L'expression de I'indice de réfraction
pour un tel métal est obtenue à partir de I'équation (1.65) en posant 1 : 0 on obtient :

^ Ne2
û,"(w)-1- 6-1- (%)' (1.78)
€gmD' a

La dépendancedes indices optiques avecla fréquence,montre que Ia fréquencejoue un

rôle important dans Ie comportement du milieu :
- pour a 1 up I'indice d.umétal a une partie imaginaire et les ondes sont amorties, le métal

est absorbant,
- pour u ) ap I'indice de réfraction est reel et le métal devient transparent.
Le modèle de Drud,e-Zenersert de base pour expliquer les propriétés physiques des
métaux alcalins mesurées par Wood 110].
Zener a montré que le modèle du métal parfait pouvait être utilisé pour déterminer
avec
approximativement la fréquencepour laquelle le métal devient transparent, et en accord
(1.78), la fréquencecorrespondanteest donnéepar :

' , : ylN^*"' (1.7e)

On considèretrois régions du spectre optique :

1) ,y > r.,r: c'est la région d'absorption, on obtient facilement à partir des équations
(1.75)et (1.76)les résultats suivants:

(1.80)

(1.81)

Ces expressionspeuvent être simplifiéesà l'aide des équations (1.77), et on trouve

(1.82)

par
si on substitue (1.82) dans (1.41), on obtient les expressionsde .R et de A données
( 1 . 4 6 )e t ( 1 . 4 7 ) .

peut
2) a - a' ) "y : dans ce cas €2:0, r,.rest supérieur à'y d'un facteur 100 donc' on
négligery devant cuet l'équation (1.76) devient :

n2-lr2-1- Y
€ g ' t T LU '

3) ,,r' ) u > 1 : Les valeurs de o1(u,r)et ei(ar) donnéespar (1.75) et (1.76) dans cette
région sont :
 r. paopr,rÉrnsoprrSuus onsmnreux LISUIDES

N ,Ne2 12 1
ot(w) : "2"Y \ )
mw2 *,', tQ)
Ne2
e 1 ( o ): 1 -
egfn a2

1-.3 Transitions interbandes. Transitions intrabandes

Dans le paragraphe précédent, on a calculé la conductivité complexe en fonction de

la fréquence. En généralela conductivité se composede deux parties indépendantes qui
sont dues à I'absorption par les électrons "quasi libres" de conduction à I'intérieur d'une
bande, d'une part (absorption intrabande) et par des électrons liés passant d'une bande à
une autre (absorption interbande) d'autre part. La conductivité totale est la somme des
deux contributions [26] :
o(a):oo(')Io1P@)'

où op est la conductivité déterminée par le modèle de Drude et représentant I'absorption

intrabande, et o7p représenteI'absorption interbande.
Pour déterminer la structure interbande, on soustrait la contribution intrabande de
Ia conductivité expérimentaletotale. Il est donc important d'utiliser un modèle acceptable
pour cette contribution intrabande.

L.4 Théorie électronique quantique

L.4.L Modèle de Sommerfeld

i- Pour tenter de remédieraux insuffisancesde la théorie classique,Sommerfelda introduit

ales hypothèsessuivantes :

; o les électrons sont dans un puits de potentiel limité par des barrières verticales (surface
de l'échantillon).

o La profondeur du puits est caractériséepar l'énergie d'un électron au repos 86. Selon
les métaux Es varie entre -5 et -IÙeV.
 Théorie éIectron

Ils sont libres à I'intérieur du métal et n'en sortent pas facilement. L'émission ther-
moélectrique ne devient importante qu'aux températuresélevées.Quant à I'effet pho-
toélectrique, il présenteun seuil, le plus souvent dans l'UV'

ta La fonction d'onde associéeà un électron est nulle à I'extérieur du métal et par conti-
nuité elle est nulle aussi à la surfacedu métal.

Pour tenir compte du potentiel périod.iquedu réseau (interaction électron-réseau),on

fait coincider le fond du puits de potentiel avec sa valeur moyenne.

',O Les électrons ne sont soumis à aucune force, ils sont donc libres (potentiel constant)'
Avec cette hypothèse,Ie réseaudisparaîtra et la seule grandeur caractérisant Ie métal

IIsera la densité des électro"" Y (N" est le nombre d'atomes par unité de volume V;
I
I Z est Ie nombre d'électrons par atome).

fo Les électrons sont soumis au principe de Pauli,, ils suivent la distribution de Fermi'-
Di,rac.

Les chocsont lieu sans échanged'énergie,ils sont élastiques. Les changementsd'état

quantique ne concernent que la surface de Fermi'.

La neutralité électrique est satisfaite en introduisant la charge positive du réseau.

On devra tenir compte des interactions coulombiennesentre charges. Celles-ci sont
supposéesdistribuées uniformément dans Ie volume V avecune densité égale à :
Z Noe
V

A La théorie quantique desélectronsdans un métal, peut être baséesur le formalisme des

pseudo-potentiels.Dans cette approcheI'interaction électron-ion dans Ie métal est exprimrée
en fonction d'un potentiel effectif appelé pseudo-potentiel.Si ce pseudo-potentielest faible,
on peut utiiiser la théorie des perturbations [14' 15].

x La distribution des électrons du cæur dans les métaux simples (alcalins) est la même
que pour les atomes libres, et les électrons de conduction résultent des électrons de valence
des orbitales s et f] Dans l'étude des interactions électron-ion, l'énergie potentielle d'un
 1. pRopRlÉrÉs opTIQUESons mnraux LISUIDES

électron est exprimée en fonction des potentiels des ions tu(?) à symétrie sphérique. Si les
N ions sont localisésaux points Rt, R2,.....R1y,Ie potentiel total W (7) est de la forme :
N
w("): Ir(17 -Ettl (1.83)
j:r

où

On suppose que les électrons sont confinés dans une boîte cubique, et sont libres et
indépendants (sans interaction coulombienneentre eux mais régis par le principe de Paulù),
le potentiel des électronsde valenceest constant à I'intérieur du métal.

La fonction d'onde llr d'un électron de position r satisfait l'équation de Schrôdi'nger:

72
Hv:l-?v'+w(?)lv - Et, (1.84)
2m

où r/ est la fonction d'onde de l'électron,

.E est I'énergie de l'électron, f/ est I'hamiltonien,
V2 est l,opérateur Laplac,ien, -{V2 est l'énergie cinétique de l'électron.
"t 2n1

Dans le cas des électrons libres, la fonction d'onde est décrite par une onde plane de
vecteur d'onde î et de position ?.

Cette approximation des électrons indépendants, rend l'équation de Schrôdi'ngersimple

à résoudre,et en prenant une fonction d'onde plane on a :

- alv?. (1.85)
*o'*'r:#tî:
Si les électrons se trouvent dans une boîte cubique de volume V , la fonction d'onde
normaliséeest :
:
von (1.86)
fteik,.
en utilisant les conditions aïx limites périodiques(conditions de Born-Von-Karmun), on a:

Vfl(r+ L,a, * I) : ilrfl(r

UI L, z) : V}n,:,u,2
itrrl(", ,U,z), (1.87)
"):
et par conséquent :
eàkaL- eilout - eôk"L : 7,
1.4. Théorie éIectronique quantique 31

les électrons sont dans des états caractérisespar trois nombres quantiques n2, TLgtrz, qui sont
des entiers positifs. L'énergie par rapport au fond de la bande (Eo) est donnéepar :

x,2*2
,: ffi(n2,+nl+"?). (1.88)

Le vecteur d'onde 7 u pot. composantæk", ks, Ic" tel que :

k, :2ïn,, kn:'tnn, k":2tn".

Il vient de la relation (1.88) :

n:fio',+n'r+k?), (1.8e)

le nombre d'état dans l'élément de volume d3? aubur du point k' est alors (compte tenu
du spzn)
-) ^--+ V ô-
n( k )d" 7ç - ^-dole , (1.e0)
4nô

Figure 1.4: densitéd'état en fonction de l'énergie

La densité des états exprimée en fonction de I'énergieest

n(E):#rprn7'n, (1.e1)
32 1. puopRIÉrÉsoprtquqs nns mÉrdux LTQUIDES

L'état occupé de plus haute énergiecorrespondà une valeur :

EF: LqY&yn, 0.s2)

appelée énergie de Fermi. Elle est reliée au nombre d'onde de Fermi par Ia relation :

n2k2-
EF:É, (1.e3)

ou
, , 3 n ' z N o , ,' t / l (1.e4)
rcF: \-n-) t

Si Ia température est différentede zéro,la probabilité d'occupation d'un niveau d'énergie

est déterminéepar la fonction de distribution de Fermi-Di,rac

1
.

lro7nl:
/ n \
(1.e5)
@h- o, T
e ll

où ks est la constante de Boltzmann, T la température absolue et p Ie potentiel chimique,

qui dans notre cas, est peu différent de l'énergie Ep ùt niveau de Fermi.

A 0K, feo@):1pour E l lrp,erf pp(E):0pour E'pr'

Le potentiel chimique est égal à Ep, et varie peu avec la température.

L.4.2 Equation de Boltzmann et théorie linéaire du transport

électronique

Le mouvement des électronsest décrit par la fonction de distribution / (V ,î ,t), où ?

et h,î sont respectivement,la position et la quantité de mouvement desélectrons,considérés
comme des particules quasi classiques.

.-+
Soit /(?+,7 ,t)i|}rdïle le nombre d'électronsdans l'élément de volume à six dimensions
de I'espacedes phasesà I'instant t et soit f le vecteur accélérationde l'électron' A I'instant
1.4. Théorie électronique quantique 33

t + dt,l'électronde vecteurd'onde? qui était au point ? se trouveau point V a?La1

rn
l'
et de vecteur d'onde î +* d,t. Onpeut alors écrire:
n'I

---+

f (? +U,î +ffat,t +dt): r(?,î ,t1+ff1"., (1.e6)

En développant au premier ordre l'équation (1.96), on a:

---)---) -;) ----+
âf df
.*+ ùv--f + k v - , f : ï l a t '
otr
(1.e7)
kaf,

ou: ---à
-? -.-t
hk n'L ry'
t *:;.
rn

Lepremier membre est simplementla dériveetotale de f (V,T,t) et traduit la vari-

ation dans le temps (par le terme #), roor I'effet d'un champ électrique ou d'un gradient
thermique.
Le deuxième membre de (1.97) traduit Ia variation de Ia fonction de distribution /,
due aux collisions. Lorsqu'on supprime les perturbations extérieures, ce sont ces collisions
qui ramènent le systèmeà I'équilibre, et / devient simplement Ia fonction de distribution de
Ferrni-Di,rac.
L'équation (1.97) traduit la variation de la fonction de distribution dans le temps qui
est due à deux effets antagonistes:
D'une part celui dû à I'action du champ électrique qui tend à écarter Ie système de
l'équilibre et d'autre part celui dû aux collisionsqui agissentdans le sens de son rétablisse-
ment.
Le terme de collision peut être exprimé à I'aide de la probabilité de transition.
Soit P(7, F; tu probabilité de transition par unité de temps, pour qu'un électron
..+
occupant l'état k' soit diffusé dans l'état k' , initialement vide. Si on suppose que les
collisions sont parfaitement élastiques,on a :

P(î,È1 : rqÊ,î1,
le terme de collision peut s'écrire :

:- rtrtrl(l - /(k')) - /(k))l

- /(k')(1 rçî,É1, (1.e8)
X
34 1. PROPRIÉTES OPTIQUES DES MÉTAUX LIQUIDES

---+ ----+l
le terme /(/r')(1 - f @))P(k, k ) désignela diminution du nombre d'électronsdans
l'état k,le terme /(k)(1 - f @))P(Ê,Ê') désignel'augmentationdu nombre d'électrons
due aux transitions inverses.
Pour ne pas introduire de transitions interbandes,le champ électrique doit être faible,
Ia fonction de distribution peut être décrite à tout instant par une perturbation au premier
ordre Afi, telle que:
f n= fo- :-L,/n,
' (1.ee)
où A/7, est l'écart entre la fonction perturbée et la fonction non perturbée et /6 est la fonction
de Fermi D'irac en l'absenced'un champ extérieur. Dans ces conditions le terme de collision
se réduit à :
d'r1 - - v/r] P(î ,i latt' , (1.100)
d,t)-u: ? [v"f,,,
c'est l'équation de Boltzrnann pour les électrons.

Il est difficile de trouver une solution généraleà l'équation de Boltzrnann) car les col-
lisions sont de natures diverses : interactions électron-ion, électron-électron et électron-
impureté. Pour simplifier le calcul, on admet que le systèmerépond exponentiellementà une
perturbation, avecun temps de relaxation r,

d,r1 Ll : - - !
ex (1.101)
at)-u: , l

où9r: fn- fo

Dans Ie cas d'une perturbation très faible, on peut écrire explicitement les termes de
I'équation (1.97)

--t ---à . ---+

ùV--+f: u kY ----+Çtct
r r

?+ ?+ Af0
kV---f:kV-ç'l-r
k Ë" an'

_ak ?
Ê---n:hîn et 11,::êb,
k oI
 Théorie éIectron

on obtient :
----+
îç..-r:*a
k Orr
keE,

et
lat\ osr -?
\"/:- at:-etc'
On obtient donc l'équationde Boltzmannl;inéari,sée:

ruÊ +î - - s- n î n + î r: -% ( 1.102)
* f, ; r r
Si on supposeque le champélectriqueest de la forme :

Ê :Ê ' ?) , (1.103)
oeà( ut- i

nr: (-#\
ôt
"'îkÊ:
"uç,,-î.?1.
(1.104)
\ / L - i , r ( a- i a n)
Dans le volume élémentairede I'espacedes phasesd3k,Ie nombre dN d'électrons par
unité de volume de l'échantillon, à l'instant t, est égal à f r:# Ces électrons créent une

densité élémentairede courant d,i définie par :

d , J: e u d , N : f n*,
", 477

En intégrant 1 p sur tout le volume de l'espacedes phasespuis en utilisant la relation

(1.99)on a :

i : * h [î
rroa'r nonasn, ( 1.105)
;î [î
la première intégrale est nulle, car la distribution /0 ne donne aucune contribution au
courant, d'où :

i : nonasn. ( 1.106)
;" [î
Remplaçonsp;, par I'expression(1.104)' on a alors :

j:#lr(#)ffi .
dsle ( 1.107)
36 1, PROPRIÉTÉSOPTIQUESDESMETAUX LIQUIDES

L'intégration sur I'espaced", 7 peut s'efiectueren découpantI'espacepar des surfaces

d'énergie constante :
" tu
tdt
dSdE dSdE
u -_ _
-) ----)

lV nEl n,r----+
lu rl

\ , a.fo,se comporte approximativement comme une distribution de D'irac:

où (-*)
ob

/
I Rr o \ 6 ( E- E P ) '
\-'1;')-
il vient : -7
o -+ r----+
--? e'
i:fulrrrffiduk, f rTn(TnE\
(1.10s)
I'intégrale étant calculéesur la sphèrede Fermi.

L.4.3 Calcul de la conductivité optique

Dans le domaine optique, Ia vitesse de phase de I'onde électromagnétique est très

supérieureà la vitessedes électronsau niveau de Fermi donc :
----+
leTnKa,

et comme le milieu est un liquide le terme î r.î n est un scalaireet on a :

ukak:
l'rl',
3

dans ces conditions. la densité de courant s'écrit :

j' :- 'lorl?.Ê
"'= [ orr. ( 1.10e)
l z n s h J s n pL - x r u

D'après (1.13) , i : û@)Ê,la conductivitécomplexes'écrit:

P2 rlrnl2 e2 I+lra
ô(r) : f
"o :, S (1'110)
ffi Jr"rftd,sp + ir2u2,rorrlurl2dsr'
L2n'rr!
A fréquence nulle,

:
ô(o): o1(o) ( 1 . 11 )
h lrrrrl,*l'osr,
1.4. Théorie électronique quantique 37

d'où :
ô(a):"ro)ffi. (7.rr2)
La conductivité électrique ot(r) s'explique simplement, compte tenu que :

, - - - +, h l k e l
lu nPl: *-,

et qu'au niveau de Fermi :

f-+
k pl''
Jrrot':Anl
l'expression de o1(0) est donnée par :
^2-
:
a1(0) (1.113)
ffiri
Rappelonsgue, d'aprèsla théorie des électronslibres, Ia densitédes porteurs de charge
N est égale à .t par conséquent,la conductivité optique s'écrit en fonction du temps
#
de relaxation r au niveau de Fermi et de la densité des porteurs de charge N :

Ne2r.
o1(o): (1.114)
m
Les parties réelle et imaginaire a1(o) et o2(a) sont reliéesentre elles par la relation de
Kramers-Kronig. D'après la relation (1.112) on peut écrire la conductivité complexe sous la
forme :

û(w):#-u#r,, (1.i15)

ou:

or(r) : eswe2(u):
ffi,
(1.116)

oz(r) : -€oa(tr(,)-1) : (1.117)

#,
En remplaçant o1(0) par son expression (1.114), et en introduisant la fréquence de
coupure u,'o(ou fréquence de plasma) :

t,
u;r-
e{w) 1- (1.118)
ffi
L--rw t
.)
*p I

,z@) ^ L i w2r2
(1.11e)
w
 1. PROPRIÉTESOPTI UESDEStwÉraux LTQUIDES

L.4.4 Calcul du temps de relaxation

Pour calculer la conductivité électrique,il faut évaluerle temps de relaxation au niveau

de Fermi,. L'introduction d'un temps de relaxation unique est justifiée lorsque les collisions
sont essentiellementélastiques.

Dans le cadre de la diffusion élastiquequi reposesur les hypothèsessuivantes :

les collisions des électrons avec le réseau sont élastiques, l'énergie reste constante
E(k): E(k'),

seulela direction du vecteur d'ondeest modifié"' l7l : l7l; on définit le vecteur de

- ---) ôf .
diffusion : lei - k' : 1; le terme (fr) exprimé en fonction de la probabilité de
".t --?.
---) ----+l +
diffusion de I'état 7' o".. l'état k' , P ( k , Ie') pu. unité de temps. La variation de
({) .'"., É et d" 7 l,"r,
' a t ' ,ér,rtte de Ia différenceentre toutes les transitions de 7
----)
,^

Ces transitions sont pondéreespar Ia probabiiité d'occupation de l'état de départ et la

probabilité que l'état d'arrivée soit vacant.

On obtient après calcul :

7 V r ----+-hl
: -8n, ' ki )(L- Yt*,)dttt'
T Jr-'(T

p(T , k') est donnéepar la règle d'or de Fermi,dans le cadre de la théorie des perturbations

dépendantesdu temps :

P(î,Ê1as':'fl. ? + îlwlî t l2N,tn)ds'!, ( 1.120)

ou:
----à
l. 7 +1lwl7 t l':
,
J[{,-k * î
W,trt---+dle ,
k
(1.121)

représente I'élément de matrice du potentiel diffusant.

N1 est la densité des états finaux.
1.4. Théorie éIectronique quantique 39

Si on désignepar d l'angle entre 7 et i , t temps de relaxation r s'écrit :

1r
:,n - c oo
s ) k 'szi n o d o
i J,t l(1
A l'état liquide, les surfacesd'énergieconstantesont sphériques,on a finalement :

! : rITY ['" |' .î + îWlî t l'(r - cos

0)sinld,o,
r 2trh," Jo

on peut égalementécrire :

+:W Io',.î+îwtî , t'+rftfarfii (1.122)

Dans cette relation IrZ est le potentiel perturbateur responsablede Ia diffusion.

L.4.5 Elément de matrice du potentiel diffusant entre les états k

et kt

Dans I'expression (1.122) la probabitité de transition par unité de temps pour qu'un
électron passesousI'influence d.'unpotentiel perturbatew W (7), d'un état k' à !'état kt (
tous les d.euxsur Ia surfacede Fermi,)a été expriméeau premier ordre. L'élément de matrice
du potentiel responsablede la transition s'écrit alors :

.Ê yli ': i | ,uî -îF w(?)as?, (1.123)

on remplace w pa.r son expression(1.s3), l'élément de matrice devient :

(r.r24)
,.7 yl? ': i+"-'îîi | "-'î't w(?)a3v,

L'intégrale est prise sur tout le volume de l'échantillon I/ qui contient N ions. On
effectue le regroupement suivant :
 1. p*opulÉrÉs oprIQUEsops vnraux LIQUTDES

.î +îtwtî,:(+; "_,îÊ,) +I" -ai *1t.? r(?)"0î.v auv (1.12b)

oour mettre l'élément de matrice sousla forme d'un produit de deux termes :

. 7 + llwtT >: s(q),i,(q), (1.126)

t
s ( q ): t (7.127)
N7 "-'î'Ê'.
et
w\ql
N
;,î t w(?)a'r (1.128)
V |

où ,1r(q)est appelé facteur de forme qui est indépendant de la position individuelle des ions.
C'est la transformee de Fourier de potentiel dû à un ion.

S(q) est le facteur de structure qui ne dépend que de la position des ions. Il peut être
mesuré, par exemple, par diffraction de neutron, de rayons X ou d'électrons

1-.5 Correction de Ia théorie de Zitnan

Le formalisme de la theorie de la conductivité électrique dans les métaux liquides

développé par Ziman [15] ne rend pas toujours compte de la réalité expérimentale. Faber
part ont apporté des modifi-
[13, 14] d'une part et Helman et Baltenspergerll7,lS] d'autre
cations au formalisme de Z'i,man,que nous résumonsdans ce paragraphe.

Zi,manconsidère que les électrons de valence se comportent comme des électrons libres,
la conductivité électrique est calculéeà partir de l'équation de Boltzmann:
N e2r
o(o): , (1.12e)
rn
7.5. Correction de Ia théorie de Ziman 47

r est le temps de relaxation, dont I'expression est donnée par :

r*tarcl,(k)l2s(k),
1o2k'
(1.130)
+: #
to(k) est le pseudopotentielreprésentantI'interaction électron-ion,et,S(k) est le facteur de
structure.

Dans son article Faberdonne les raisonspour lesquellesla théorie de Ziman est incom-
plète :

o la conductivité optique dépend de la fréquence,la détermination de o par la théorie

de l'éiectron libre est valable dans le cas des bassesfréquences,par contre à haute
fréquence,il faut tenir compte des électronsdu cceur,

o La massede l'électron libre utilisée dans la conductivité ne semblepas correcte. Effec-

tivement en considérantN comme la densité des électronsde conduction, les résultats
baséssur la théorie de l'électron libre s'écartent des résultats expérimentaux. Faber
suggèred'introduire Ia masseeffectivem*,qtti correspondà la densité d'état des élec-
trons non libres. afin d'améIiorer les résultats de la conductivité.

o Le modèle de l'électron presque libre (NFE) supposeque les électrons de conduction

puissent être traités comme des particules indépendantes,chacune d'elles est donc
décrite par une fonction d'état avec un seul nombre d'onde /c. Ce modèle est valable,
quand Ie libre parcours moyen L* est de I'ordre de la distance interatomique, ce qui
est le cas des métaux polyvalents.

Par contre quand le libre parcours moyen est supérieur à la distance interatomique, il
y a une incertitude sur la valeur de k, ce qui rend difficile la détermination de la limite
supérieurede I'intégrale dans l'équation (2.99), et par conséquencela surface de Fermi
n'est pas bien définie.

1.5.1- Niveaux d'énergie

Les niveaux d'énergie des éIectrons sont séparés en états de cæur et en états de la
bande de conduction. La règle des sommespour les transitions des électrons est définie par
42 1. paopnlÉrÉsoprteugs nnsuÉrtux LIQUIDES

où .l';f est I'intensité de I'oscillateur entre les états i et i. La somme tient compte des tran-
sitions Ei ) E;' pour lesquelles/ar' ) 0, et Ei 1 Ei, pour Iesquellesftr' < 0.

On suppose qu'on a deux types d'électrons dans un métal liquide, les électrons de
valence qui se comportent comme des électrons libres, et les électrons du cceur liés au noyau.
Soit No et N. le nombre de ces électrons par unité de volume.

ttr 2 |q+llru: N., (1.132)

I3

llfu+ tlfu: -Dt/oi +ID fni: N,, ( 1 .i 3 3 )

21 23 r2 23

Figure 1-.5: Bandesd'énergiedæ métaux liquides

La conductivité optique or(r) est associéeà la transition r'éelledans laquelle l'état

initial est rempli et l'état final est vide. D'après la définition de I'intensité de I'oscillateur
on a:
foo
: ;P?tr'
1.""T@)a,
oo2
(1.134)
7.5. Correction de Ia théorie de Ziman 43

ona:
/Poo ffe2
I oT@)d,u):-\lfu, ( 1.134)
Jro2mlB

f- o,t \' ne2

I oî(w)du):
-DDfu,, (1.135)
Jo Zn'L 2 B
or la conductivité totale o{w) est la soûrmede oi@) et oi@)
tel que :
2m [* / \,
- I o(u)du:Nt, ( 1.136)
TE'JO

donc :
o@)ar:#*r,
lo*
( i .137)

où N2 - No f N", est le nombre total des électronspar unité de volume.

Pour ru1uo, of(o) : 6.

et (1.135)on a les inégalités:

En comparantles équations(4.16), (1.133),(1.134)

2 f oî@)(N",
rez Ju@)
I\
( 1.138)

ryfo{@)>N,.
TE'JO
(1.13e)

Le nombre effectif des électronsde valencepar atome pour une transition de fréquence
entre 0 et a.lest défini par :

n*(u): orrçr'1ar' (1.140)

# f'
où N, est le nombre d'atomes par unité de volume. A haute fréquence,n* (r) tend vers la
valeur limite de rz* qui peut être déterminéepar la mesurede o1(ar). En comparant (1.138),
(1.139)et (1.140)on montre que :
*N, (1.141)
n>N,

Si ia conductivité oi@) vérifie la formule de Drude, alors il faut remplacer N, par

fl*No, ou n* satisfaitl'équation(1.141).

L'inégalité (1.141) est valable pour un métal avec un gap entre la bande de valence
et les électrons de cæur. Par contre pour les métaux nobles et de transition dans lesquels
l'extension spatiale des orbitales d est trop grande, (ce qui provoque un recouvrement des
orbitales des ions voisins), elle n'est pas valable.
44 7. paoparqrÉs oprleuqs ons mnreux LIQUIDES

t.5.2 Conductivité et temps de relaxation

Faber [14, 13] a utilisé la théorie desperturbations pour calculerla conductivité optique,
en se basant sur les travaux théoriques de Edwards [30].
La fonction propre de l'énergie est décrite par :

V(E)e-i#, (1.142)

sousI'influence du champ éiectrique,des transitions se produisent entre les états occupéset

les états vides. La conductivité optique associéeà ces transitions peut être calculée par la
théorie des perturbations, son expressionest donnéepar :

2re2rt2 f*
o,( a\ ): d E l T ( E-) f ( E+ n u ) l x n ( E ) n ( E
+h,u)lD(E,u)12, (1.143)
ffi J"

où /(E) est Ia fonction de distribution de Fermi'-Dirac'

L'élément de matrice D(E,w) est donnépar :

D(8,w): *. @ + nùfiv(E)drd,yd,z, (1.r44)

|

la formule (1.L44) est donnée dans la direction de r du vecteur champ électrique, mais les
résultats sont indépendants de la direction. Pour le détail des calculs, il faut se référer à
I'article de Faber [13]. L'expressionfinale de oi(a.r)est :

o ( w ) : n , N o e"r ( t + r ) ' t t - - Ë ( #-) ' j : ; l. (1.14b)

" \-'l m'yo 1+ (#)ffi)"lL i(W)'+.......1'
7.5. Correction de Ia théorie de Ziman 45

où no est Ie nombre d'électronsde valencepar atome et ltr" est le nombre d'atomes par unité
de volume.

En comparant les valeurs de h,w avec l'énergie de Fermi Ep, orr trouve que les termes
(æY ut (H)'sont faibles dans le visible et I'infrarouge, on retrouve donc la formule de
Drude,avec:

*N, (1.146)
n:N.

et
^t:'Yo(T)' (7.147)

le facteur (f + .l)2 résulte de la normalisation de Ia fonction d'onde est supérieur à 1. Le

facteur de correcti # résulte de la perturbation du premier ordre des électronsde valence.
""

Helmann et BaltenspergerlLT,18]ont calculéIa constantediélectriqued'un métal liq-

uide par la méthode des fonctions de Green thermiques, dans les domaines de fréquence
apla)(0.
a,'odésigne la fréquence de plasma, et {s la fréquence de reiaxation de Ia résistivité en régime
statique.
La diffusion des électrons est traitée dans l'approximation de Born, à I'aide du facteur de

structure dynamique de Van Hove, et d'un pseudopotentiel écranté pour les ions.

e(a,) -,+l-
: r-TFir+et,) ( 1.148)

qui décrit
Les fonctions {(ar) et'y(ar) sont détermineesà partir du pseudopotentielTr.'(q)
I'interaction électron-ion,et par le facteur de structure S(q) :

((,)-,+:ffi|o-nu|atn)|2d'qS(q)|e(q,0)_,(q,a)|,(1.14e)
46 1. PROPRIÉTESOPTIQUES DESMETAUX U?UIDES

où, e(q,ar) est Ia fonction diélectrique de Lind.hard,s,kTF : JW

est le paramètre de
et EF : ffi.st
Thomas-Ferm'i,, l'énergie de Fermi, avech, : \.

Si r,.r-- 0, l'équation (1.149)se réduit à :

{(0): # - (1.150)
lo*otak)t'aqs(q)
" li^tffit #el,
"yo: 7(o): # lo'r' nt
(q),
onlra(q)l's (1.151)

et si a; K Ep l'équation (1.148),devient :

e(a):t-f3ft1 +€(o)-o*t-', (7.752)

comme€(0) < I o" retrouve Ia formule de Drude:

: t - fSYtL- aZ(o)1-'.
e(w) (1.153)

K. h,w K Ep:
A haute fréquence : T'r,1

n*:no(1 +€o)

et
.Y : "YO,

A bassefréquence : a K. "l
n*:nî(7-€ol-t

et
'y:''ro(r-{o)-1,
1 6 Annelttsion 47

si la valeur de (e ( 1, la différence entre n* à haute et à bassefréquenceest très petite.

C'est par exempleIe cas du sodium où { : g,96.

1-.6 Conclusion

Nous avons présentédes modèlesthéoriques,qui permettent de calculer les constantes

optiques. La théorie classique de Maxwell est incomplète quand on tient compte de la
d.ispersion.Le modèle de Drude corrigé est une bonne approximation aux bassesfréquences,
mais ne tient compte que des électronslibres.
Les corrections apportéespar Ziman [15], Faber [13], Helman [17], ainsi que d'autres
auteurs [20, 19] montrent qu'à bassefréquence,on retrouve le modèle de Drude.
Dans notre cas, on a fait des mesuresà bassefréquence,et donc on utilisera le modèle
de Drude pour exploiter nos résultats.
48 1. PROPRIETÉSOPTIQUESDES METAUX LIQUIDES
Chapitre 2

ELTIPSOMETRIE
SPECTROSCOPIQUE

2.L Introduction

L'ellipsométrie est une technique optique non destructive d'analyse des surfaces,basée
sur la mesure de la variation de l'état de polarisation de la lumière après réflexion sur une
surface[31, 32, 33].

Une desméthodesellipsométriquesles plus anciennesest cellede Drude [34], qui met en

æuvre les éléments classiques: polariseur, compensateur,analyseur et fonctionne en mode
statique. Mais ce n'est qu'en 1946que le terme ellipsométriea été introduit par RothenlSSl,
pour désignerle montage utilisé pour la mesure de l'épaisseurdes couchesminces.

Couramment utilisée dans le domaine du visible et du proche U.V depuis les années
1960 [36, 37, 38, 39], pour déterminer les constantesoptiques des matériaux, I'ellipsométrie
à connu un intérêt accru durant les deux dernièresdécennies140,47, 42,43, 44]. CeIa est dû
en particulier aux besoinsde plus en plus grand de mesureset de contrôles dans le domaine
de la micro-électronique,de I'optique, des traitements de surfaceet aussi aux performances
des micro-ordinateurs et de l'électronique.

Cette technique, grâce au développement récent d'ellipsomètres spectroscopiques au-

tomatiques d.e grande précision 143, 45,46], est devenueun outil très performant utilisé
50 2. ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE

dansdenombreuxdomaines.On peut citer 147,48,49,50, 51, 52] :

o les mesuresdes constantesoptiques des matériauxl

o la mesure d'épaisseur de couchesultra minces (inférieure à 10 nm), de couchesplus

épaisses(plusieurs micromètres) et de films transparents (couchesantireflets, couches
d'or, de silice ou de silicium dans les circuits intégrés);

o Ie suivi in situ et en temps reel de l'évolution de l'épaisseurd'une couche grâce à son

caractère non destructif.

o la caractérisation des interfacesliquide-solideou liquide-liquide;

o I'analyse des couches de protection (électro-déposition, dépôt plasma, polymères),

traitement de surface par recuit (application dans Ia métallurgie).

2.2 Principes de base de l'ellipsométrie

Lorsqu'un faisceaulumineux se réfléchit sur une surfaceplane, son état de polarisation

est modifié. Les deux composantesorthogonales du vecteur champ éIectrique Ê .uru.-
térisant I'onde incidente sont notées EI et EI". Elles sont respectivementles composantes
parallèleset perpendiculairesau plan d'incidencedéfini par le rayon incident et la normale à
la surface. Il en va de même pour les composantesdu vecteur champ électrique de la lumière
réfléchie notées Ef et E!

Pour caractériser la réflexion, on définit les deux quantités suivantes :

Ip : Ef _ Vll "o1og_-r;t
- : lrol"uu', ( 2.1)
Ei IETI
EP -_ lqll .uqay-og1
_ lr"l ( 2.2)
rs
Er" lEil " "u6",

io el f sont les coefficients de réflexion complexes de la surface analysée. Leur module lrol
"
 51

Figure 2.1: Réflexion d'une onde par une surface

et lr"l représentent la modification de I'amplitude et leurs arguments, ôo et ô", le changement

de phase dû à la réflexion.
Le changement de l'état de polarisation, qui résulte de Ia différence de comportement
en amplitude et en phase des ondes p et s, peut alors être caractérisé par le rapport :

îD
P: i, (2.3)
rs
qui est exprimé généralementsous la forme :

P : tanV (2.4)
"'o,
52 2. ELLIPSOMNTNrcSPECTROSCOPIQUE

tan lU : lkl (estle rapportdesmodules)

lrsI

A : 6o- ô" (est la différencede phase).

Les angles iû et  caractéristiquesde la surface étudiée, sont appelés "angles ou

paramètres ellipsométriques". Il ne dépendent que de la longueur d'onde À et de I'angle
d'incidenced,

0<412n.

Le rapport p, en géneral complexe est de module différent de l'unité, c'est-à-dire que

les deux composantes de la vibration rectiligne incidente sont différemment atténuées et
différemment retardées par la réflexion.
La connaissancedes phaseset des amplitudes absoluesn'est pas nécessaire,ce qui rend
la mesure indépendante des fluctuations éventuellesde la source.
Pour un materiau massif, la détermination des paramètres ellipsométriques V et A,
permet de remonter aux constantesoptiques du milieu étudié.

2.3 Calcul des indices optiques en fonction des angles

ellipsométriques

Pour déterminer les constantesoptiques d'un substrat, on considère que les milieux
étudiés sont optiquement isotropes.
Les coefficients de réflexion f, et i" sont donnés par les relations de Flesnel :

û,cos0 - nscos0l
r,p : (2.5)
h c o s ?* n s c o s 0 t '
?20cos0 - ûLcos0/
,s (2.6)
+ ùcosl"
"0.""0
2.4. Différents types d'ellipsomètres 53

â est I'indice complexe du milieu réfléchissant(milieu absorbant) et rzs est I'indice réel du
milieu incident (air rze : 1), 0 et 0t sont respectivementi'angle d'incidence et I'angle de
réfraction reliés entre eux par la loi de Descartes:

a6sin 0 : û,sin0',

si nous rapprochons les relations (2.1) et (2.2) de cellesde Fresnel,nous avons:

tan(o-ot)'
fp
' : (2'7)
tan(o + ot)'
sin(d- 9')
f"' -: (2.g)
sin(a+o')'
en faisantle rapport membreà membredesrelations(2.7)et (2.8)on trouve :

ta nilr eil:î, - - cos( o- +ot)

rs cos( 0- 0' ) ' e.g)
pour la conemodité de calcul on pose :

1 - tan V ei\ 2 coso cosr, æo

(2.10)
lttanV eià 2sindsind/ tangsing'
en développantI'expression (2.10), et après simplification on trouve :

h2 - sin2g _ cos22rlr - sin22rPsin2A- zsin4rf sinA

(2'11)
tæ oæ o (1 + sin 2v cosa)2
Or, û, : n - zk, où rz est I'indice réel de réfraction et k est I'indice d'extinction.

Par identification des parties réelle et imaginaire dans l'équation (2.11) on aboutit
finalement aux équations :

€1 : n2- k2: sin2a(l+ 6n2o#),

" t' e.L2)
(1 * sin2![ cosA)2
nY=!t"a
e2 : 2nk : sin2dran2
- ,- ,, ,ttl (2.13)
(1 f sin2itrcosÂ)z'

2.4 Différents types d'ellipsomètres

Il existe différentesméthodespour mesurer le couple (V, A). Elles sont toutes décrites
dans I'ouwage de référencesur I'ellipsométrie édité par Azzamet Bashara [31].
54 2. ELLIPSOMETRIESPECTROSCOPIQUE

2.4.L L'ellipsométrie à annulation (ou zéro)

Dans cette technique, Ia caractérisation de la lumière réfléchie se fait à partir de la

r-echerchedu minimum du flux réfléchi.

Le montage le plus utilisé est celui proposépar Drude [34]. Il comprend : un polariseur,
une lame quart d'onde et un analyseur.

Le flux est nul lorsque la lame quart d'onde transforme la vibration elliptique réfléchie
par l'échantillon, en une vibration rectiligne, qui peut ensuite être éteinte par I'analyseur.

Figure 2.2: Schémad'un ellipsomètreà extinction

Le flux s'annule pour :

2.4. Différents types d'ellipsomètres 55

Zones Valeurs de V et A

1 c:-i V:A L:2P+i

2 C:*i V:A L:-2P-i

3 t,:-- v: -A L:2P-i

4 C:+i v: -A L: -2P+i

Tableau 2.1-:Valeursde iF et A pour C : Li

tanC-i,tan(P-C)
p - -tanA (2.r4)
1*itanCtan(P-C)

où A, P et C sont respectivementles azimuts de I'analyseur, du polariseur et de Ia lame

quart d'onde,
En choisissantC : Ll,l'équation (2.14) devient particulièrement simple, car tan C :
+1.

A I'aide de I'expression:

1-itan0 -,-z1,
-:e (2.15)
1 fitan0
'zones'. Les
On trouve quatre combinaisonspossiblesdes azimuts .4 et P, appellées
résultats sont donnéesdans le tableau 2.1.

L'inconvénient de cette technique est que les mesures sont relativement longues. Les
nombreusesmanipulations excluent son utilisation pour le contrôle "in-situ" de processus
56 2. ELLrPSOMnrnrcSPECTROSCOPTQUE

dynamiques. De plus, I'emploi d'une lame quart d'onde, ne permet pas au montage d'être
spectroscopique.

2.4.2 L'ellipsomètre photométrique

On distingue deux types d'ellipsomètresphotométriques :

I'ellipsomètreà modulation de phase(E.M.P)[63, 66, 67, 68, 69, 701

Son principe dont le schémaest présentésur la figure 2.3, est dû à Jaspersonet Schnat-
terly [63]. Le faisceaulumineux incident provenant d'une lampe xénon est polarisé
linéairement. Son état de polarisation est ensuite modulé par un modulateur pho-
toélastique, consistant en un barreau de silice collé à un cristal de quartz piézoélec-
trique dont Ia fréquencepropre est de 50 kHz. L'excitation du cristal induit une onde
stationnaire de contrainte unia>cialedans le barreau de silice qui crée une biréfringence
modulée 6 : A sin(ar t). L'amplitude .4 est proportionnelle à la tension d'excitation
du cristal et inversementproportionnelle à la longueur d'onde.

La lumière réfléchiepar I'échantillon est finalement analyséepar un analyseur linéaire

puis focaliséesur la fente d'entrée d'un monochromateur avant d'être détectéepar un
photomultiplicateur. Le signal détecté,est composéd'un niveau continu et d'un signal
modulé à la fréquencesimple et double de la fréquencede neodulation de phase.

Le choix du systèmede détection a une grandeimportance dans les E.M.P. L'utilisation

de la détection synchronene permet pas une acquisition rapide, par contre I'utilisation
de techniqued'échantillonnage du signal, en fait un desellipsomètrele plus rapide. Cet
ellipsomètreest d'un grand intérêt si la rapidité des mesuresest prioritaire [68, 70,74]1.

I'ellipsomètre à élément optique tournant

Lorsqu'un élémentoptique, compensateur,analyseurou polariseurest animé d'un mou-

vement de rotation uniforme, on parlera d'élément optique tournant. Il existe trois
types d'ellipsomètre à élément tournant :

tournant(E.C.T)145,
1 ) compensateur 71, 79,801,
tournant(E.A.T);[43,58, 59,72,737,
2 ) analyseur
2.4. Différents types d'ellipsomètræ 57

monochrometeur
lrmpe xénon
compenseteur
polrriseur
rnrlgseur

diaphragme
t lmm
0
diaohreome
s f -- êchrntillon

entréeréférence

Figure 2.3: Ellipsométrieà modulationde phase

3) polariseurtourna,nt;(E.P.T) Ï44, 75.,76, 77, 78]1.

Pour illustrer le pr-incipede fonctionnementd'un ellipsomètrede ce type, considérons

Ie cas du polariseur tournant à deux éléments:

Le montage comprend : une source, un polariseur tournant à la vitesse angulaire

a:2 zr /, un analyseurfixe et un détecteur.L'évolution de l'état de polarisation de
la lumière depuis la sourcejusqu'au détecteurest décrite par le formalisme de Stokes-
Mueller (annexe A).

Le signal est d'abord échantillonné puis quantifié avant d'être aualysépal la méthode
de la transformée de Fourier discrète.

Le flux atteignant le détecteur s'écrit :

I(P) : Is[asf @2acos 2P + 42" sin zPl:10(1 +c cos 2P + B sin 2P)

58 2. ELLIPSOMETRIESPECTROSCOPIQUE

où o et B sont les coefficientsde Fourier de I'harmonique 2P et sont donnés par :

d2c cos 2A - cos 2iU

( 2.16)
1 - cos 2A cos 2V
@ :

ao
^ d2s sin 2A sin 2iÛ cosA
P ' (2.r7)
o,o 1 - cos 2A cos 2{t

L'inversion des équations(2.16) et (2.17) conduit aux grandeursellipsométriquestan iU

et cosA :

tan tlr : tt*" Ian A (2.18)

V1-"
p
cosA : (2.1e)
lR
La mesure des paramètres o et B permet donc de remonter à tan V et cosA indépen-
damment de I'intensité absolue16. En revanche,on ne mesurepas directement A mais
cosA. Ceci est un inconvénient car le signe de A reste inconnu.

Le même formalisme reste valable pour I'ellipsomètreà analyseurtournant, à condition

d'intervertir P et A dans les formules.

Les ellipsomètresà polariseur tournant (ou analyseurtournant) à deux éléments,per-

mettent les mesures spectroscopiquesdu proche ultraviolet au proche infrarouge.

Ils présentent néanmoinsdes inconvénients:

- pour le montage à polariseur tournant, I'instrument est sensibleà la polarisation

résiduelle de la source, tandis que pour le montage à analyseur tournant, il est

nécessaired'utiliser un détecteur insensibleà l'état de polarisation.

L'ellipsomètre à compensateur tournant permet de s'affranchir de toutes ces con-

traintes, mais il ne peut être utilisé qu'à une seulelongueur d'onde.

Dans notre laboratoire nous avonsmis au point un troisièmetype de montage rarement

utilisé : I'ellipsomètre spectroscopiqueà polariseur tournant à trois éléments. Le but est de
2.5. Description de I'ellipsomètre spectroscopiqueà pola,riseurtournant 59

réaliser des spectres ellipsométriques en éliminant les inconvénients des ellipsomètres à éle-
ment tournant à deux éléments. C'est cet ellipsomètre que nous allons décrire.

La société SOPRA nous a fourni les deux moteurs pas à pas, le monochromateur,
l'électronique de commande des moteurs et de comptage ainsi que le programme de gestion
de ces éléments,écrit en Visual Basic.

Le logiciel de pilotage de l'ellipsomètre et le calibrage ont été réalisésau laboratoire

par Bertucci et Pawlowski [81, 82], les essaisqui ont permis de valider les solutions retenues,
constitue I'apport de ce travail.

2.5 Description de l'ellipsomètre spectroscopique à

polariseur tournant

Le schémade principe est indiqué dans Ia figure (2.Q. Le faisceautraverse le polariseur

fixe placé entre les deux diaphragmes et le polariseur tournant avant de se réfléchir sur
I'échantillon qui est placé dans une enceinte munie de deux fenêtres transparentes (voir
chapitre III), permettant le passagedu faisceau.
Après réflexion, il traverse un troisième polariseur, celui-ci porte le nom d'analyseur
étant donneesa place dans le montage,et il est focalisépar une lentille convergentede courte
focale sur I'entrée d'une fibre optique assurantla liaison optique jusqu'au monochromateur
et au détecteur qui convertit le flux lumineux en courant électrique.

o La sourceest une lampe à arc Xénon haute pressionde 75 Watts (de faible puissance
mais de très forte luminance), à polarisation résiduelletrès faible. Elle émet dans tout
le spectre visible, du proche ultraviolet au proche infrarouge. Elle est placée dans le
plan focal objet d'une lentille de courte focale pour obtenir un faisceau parallèle avec
un flux intense.

o Nous utilisons deux diaphragmes D1 et D2, placés respectivement avant le polariseur

fixe et le polariseur tournant. Ils ont deux rôles dans le montage :
60 2, ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPISUE

Lompe)Gnon

tenlille

DiophrogmeDl

Poloriseurfixe
Dio$rrogmeD2
Poloriseur
lournonl

Fibreoplique
Lenlille

Anolyseur

Cellulede mesure
Photomultiplicoteur

Coblede lioison

Monochromoleur
Boieéléctronique
LioisonRS232
Pcet Progromme
de gestion

Figure 2.4: Schémadu montage de I'ellipsomètre.

1) ils réduisent le diamètre du faisceau avant chaque traversée des éléments optiques
pour éviter toute réfl.exionparasite,

2) leur diamètre et leur espacement conditionnent la divergence du faisceau : une

faible divergence est en effet nécessairepour obtenir une bonne définition de I'angle
d'incidence. Il faut trouver un juste compromis entre divergencedu faisceauet valeur
du flux. Nous utilisons des diaphragmesde 1,5 mm de diamètre espacésde 60 cm, la
divergence du faisceauest de I'ordre de 5 mrad.

o Un polariseur fixe qui est un prisme de Glazebrooken calcite, il absorbepeu de lumière

 tion de I'eIIi ariseur tournant

et polarise parfaitement dans un domaine spectral étendu (0,22p,mà 1,5prm). Il est

monté sur une platine réglable manuellement par un vernier gradué dont la précision
est la minute d.'angle. De plus Ia platine est équipee d'un codeur optique affichant
I'angle au centièmede degré.

Un polariseur tournant fourni par la société SOPRA initialement un polaroid : les

polaroids présentent une forte absorption et ne polarisent pas parfaitement. Nous
avons mis à leur place un polariseur type Glazebrook en calcite, il est monté sur une
platine d.otéed'un moteur pas à pas, est entraîné par un moteur à courant continu
tournant à une vitesse de 10 tours/seconde,qui module I'intensité du flux lumineux.

un analyseur du même type que le polariseur tournant (Glazebrook).

Le repéragede la position des élémentsest fait par des codeurs optiques, la précision
de la position d.eI'analyseur est de I'ordre du centième de degré. Le codeur optique
fixé sur 1'axe du moteur relie Ia position u.rgrluir" du polariseur tournant au signal
modulé détecté par le détecteur.

Un double monochromateur constitué de deux élémentsdispersifsmontés en configu-

ration de Czerny-T\rrner [65]. n est composé:

- d'un réseauplan "blazé" de 600 traits par mm et de dimension 58 x 58 (résolution

0,01 nm), dont l'étenduespectrales'étendde 0,23 p'mà2p'm;

- d'un prisme en silice de d.imension50 x 50, pour séparer les ordres superposés

après diflraction par le réseauet rendre négligeableia quantité de lumière diffusee

par les diverses surfaces optiques. Les fentes d'entrée et de sortie sont réglables
de 0 à l,b mm par I'intermédiaire de deux vis micrométriques. Un tour de vis
correspondà une ouverture de fente de 100pm'

Le monochromateurest couplé à un photomultiplicateur, qui est monté en comp-

teur de photon. Il fonctionne de I'U.V jusqu'au très proche I'R (0,25 pm à 0'9

/rm).

Un photomultiplicateur (PM), utilisé en détecteur de photons. Une carte électronique

permet, par multiplexage, d.erépartir les impulsions électriques généreespar le PM sur
62 2. ELLIPSoMÉrnnspncrnoscoptQun

huit compteurs cycliqueset cela par demi-tour. Chaque compteur est donc incrémenté
pend.antun seizièmed.etour du polariseur tournant. Le début de cycle est synchrone
avec le "Iop zéto" du codeur angulaire du polariseur tournant. Les sommesrecueillies
dans chaque compteur permettent d'effectuer une transformation de Hadamard' pour
aboutir aux paramètres ilr et A. Le monochromateuret l'électronique de mesure et de
commande sont pilotés par un micro-ordinateur.

Il est très important, pour toutes les mesureseffectuées,de ne pas atteindre le seuil
de saturation du d.étecteur. Pour que la réponsedu P.M. soit proportionnelle à I'intensité
du flux arrivant au détecteur il faut impérativement travailler dans la zone de linéarité du
systèmede détection (détecteur et électroniquede comptage)'

Le nombre de coups par secondedoit être compris dans I'intervalle [160 000, 360 000]
pour une tension d'alimentationdu P.M. de 840 volts [81].

2.6 Procédure d'alignement

Après avoir ajusté ]a hauteur de tous les composantsoptiques,à I'aide d'un laser He-Ne
(À:6328 Â;. On procèdeàl'alignement de lalampe Xénon en centrant le faisceausur les
orifices des diaphragmes. On place ensuite la lentille de courte focale (3.5 cm) devant la
iampe.
Les faces des polariseurset de I'analyseur doivent être rigouresementperpendiculaires
au faisceau.
Les deux diaphragmes servent d'éléments de référence pour le réglage, ce sont eux qui
déterminent la direction du faisceau incident.
L'angle d'incidence réglable d'une façon mécanique est déterminé avec précision en
mesurant les angleseltpsométriques d'un milieu d'indice optique parfaitement connu,
II est déterminé à partir desmesureseffectuéessur deux échantillons(SiO2/Si) d'épaisseurs
égalesà 106 nm et 130nm. Ces échantillonsont été choisisen raison de la stabilité de leurs
indices en fonction du temps, de plus leurs indices sont parfaitement connu'
 pour
Les mesures effectuéessur ces deux échantillons sont donnéesdans le tableau 2.2,
un angle d'incidence0 :70" :

On trouve un écart sur n, d.eI'ordre de 3 millième, ce qui correspondà une incertitude

sur g de I'ordre de centième de degré.

Echantillons Angle A iû A Indices et épaisseur

sio2/si + 45" 45,7468 80,7468

ép. 106nm - 45" 45,1356 79,059 n:1,4636
e:106r53
moyenne 46,44L2 79,6582
sio2/si + 45" 77,9346 87,9742
ép. 130nm - 45" 77,,t75 88,5868 1-L14662
e:1-30,20
moyenne 7L15548 88,2805

Tableau 2.2: Résultats obtenus pour deux échantillons pour la longueur d'onde À:
0,6328prm

2.7 Expression du flux lumineux reçu par le détecteur

polariseur
Le faisceau incident initialement polarisé linéairement passe à travers un
subir une
animé d,un mouvement circulaire uniforme qui module le flux lumineux, avant de
avant
réflexion sur l'échantillon. Le faisceau réfléchi passe ensuite à travers un analyseur
quadruples
d,arriver sur le détecteur. Le flux détecté est modulé aux fréquencesdoubles et
de la fréquencede rotation du polariseur.

pour le calcul du flux d.étectéon utilise les vecteurs de Stokeset le formalisme matriciel
par le détecteur
de Mueller (voir annexe A). Le vecteur de Stokes 31 a" la lumière reçue
matrices de
s,obtient en multipliant le vecteur de Stokes incident 3, pu, I'ensemble des
64 2. ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPI?UE

Mueller d.eséléments constituants I'ellipsomètre (les élémentsoptiques sont supposéspar-

faits) :

-?
Sf : ru, {"-'t"l MpRe))E â,
{n-.ça1ruAÆ(/)} {n-Lçet)Mptl(Pt)}
Q'20)

MA,M",Mp, et Mp soît respectivementles matrices de Mueller de I'analyseur, de

I'échantillon, du polariseur tournant et du polariseur fixe'

o La lumière issue de la sourceest caractériseepar un vecteur de Stokes :

-? fsol
lSrl
Sa: l'--1.
]
L;:
o Le polariseur fixe placé après Ia sourcelumineuse, intercepte le faisceauet le modifie
en lumière rectiligne selon une direction faisant un angle P avec le plan d'incidence.

f1100.l
111 1 0 0l
luro:61n o o ol
-
L; o o ol
o Le polariseur tournant piacé avant l'échantillon, module le flux :

| 1 cos2CIt lin2clt^^ 9l
Me(,t):
l:f "":,11;ï,'n'
33l,r;îT'*n'rn IolI
Lo o o
où f): 2r f eI / est la fréquencede rotation du polariseur.

o l'échantillon réfléchit la lumière modulée incidente :

1 -cos2i[ 0 0
| I
M": â .iozJriolI
,,o2vo"o.a
l-"t" - sin2ilrsinAcosA
L o 0 sin2lU I

o I'analyseurfixe placéaprèsl'échantillon,et dont la matrice de Mueller est Ia mêmeque

celle du polariseurfixe.
2.7. Expressiondu flux lumineux teçu par le détecteur 65

A,Ptet P sont les anglesque font les a>resrapides respectifsavec I'axe Or ùt repère
de référence, et sont comptés positivement dans Ie senstrigonométrique par rapport au plan
d.'incidenceen regardant dans le faisceau(les conventionsutiliséesdans I'ensemblede ce mé-
moire sont cellesproposéespar Mueller, au congrèsde NEBRASKA, complétéespar celles
de Hauge, Mueller, et Smith [33, 83' 84]).

Le fl.ux est égal à Ia composante 3o a,, vecteur de Stokes 31. Il est obtenu en

multipliant ,S7,à gauche, par le vecteur ligne (1,0,0,0). Lorsque lalumière incidente n'est
pas polaris& Saest de la forme (1,0,0,0). A la sortie de l'analyseur 51 s'écrira donc :

Ms{R-re ù Mprn@t)}{n-t çe)rur}4, (2.21)

4 : {* oR(A)}
avec

3 n : { / 0 , 0 , 0 , 0 ,} (2.22)

représentele vecteur de Stockesde la lumière incidente'

(l
Le delxième polariseur, tourne à la vitesse angulaire : 2nf , et le flux transmis

devient une fonction périodique de période O" peut le décomposeren série de Fourier
Ë.

| æ ^l
I (t) : /o nfltl ,
+ \@""cos rzf,)t* anssin (2.23)
Lro
dans notre cas)n : 2,4 (harmonique2 et harmonique4)'

Le flux arrivant sur le détecteur est le premier élément du vecteur de Stockes donné
par I'expression(2.21) :

I : Io(ao I a2"cos2P1-lLaz" sin 2Pt + a4cos4Pt I aassin4Pl) (2.24)

où.[gagestleflrrxmoyend.elalumièreincidenteetPl:f)testl'azimutdel,axedetrans-
mission du polariseur tournant au temps t par rapport au plan d'incidence. Les coefficients
de Fourier a0,a2cta2s,a.c et a4, peuvent être considéréscomme les éléments d''un vecteur ?
donné par :
66 2. ELLIPSoMÉrnrc SPECTRzSIIPIQUE

foo
----) lau
I o'"
Q,: (2.25)

l"*
a+"
L

Par identification avec I'expression(2.27) du vecteur d.eStokes 4 o" obtient les coef-
ficients de Fourier suivant :

1
a0: = ( Z + c o s 2 P c o s 2 A- c o s 2 P c o s 2 { t
2'
- 2 c o s 2 A c o s 2 V+ c o s A s i n 2 P s i n 2 A s i n 2 i Û ) (2.26)

424. : cos2P * cos2 A - cos2 i[ - cos2 P cos2A cns2V (2.27)

a2s : s i n 2 P - c o s 2 A c o s 2 t l rs i n 2 P + c o s A s i n 2 A s i n 2 \ U (2.28)
1
a4a : l(cos 2 P cos2A - cos2P cos2 ilr
2'
- cosA sin 2 P sin2 A sin2{t) (2.2e)
1
&4s : I (cos2 A sin2 P - cos2 iÛ sin2 P
2'
* cos2 P cosA sin 2 A sin2 V) . (2.30)

Si le détecteur utilisé est linéaire et sansbruit, I'intensité électrique observéeest pro-

--+
portionnelle à 3y. Dans Ia pratique, I'intensité électrique détectees'écrit lrr*"(t) : GI(t),
où G représente le gain total du montage qui tient compte non seulement de la source (par
ie terme -Is) mais aussi du détecteur et des circuits électroniquesassociés. C'est le signal
Irr*"(t) qu'il va faloir mesurer, traiter et analyser pour remonter aux caractéristiques ellip-
sométriquesde l'échantillon.

La quantité reellement mesurée à la sortie du détecteur suivi de son électronique de

traitement s'exprime par :

I(t)-.": ao f o.2ccos2ùt+ a5 sin zùt + ot4acos(Qt+ aa" sin4f)t ( 2.31)

 du flux lumineux

an: Gak / c: 0 , 2 c , 2 s , 4 c , 4
.s (2.32)

2.7.L Détermination des angles ellipsométriques

L'inversion des équations (2.26) à (2.30) conduit aux grandeursellipsométriquescosA

et tan Ù,

2(o4s cos2P- d,Acsin 2P) (2.33)

cosA:

où Q est égal à :

(2oqc * ot2ccos2PI qzssin2P +2(I-2cos2P)(auc coszP + aas sin2P)) x

(2oac I azc cos2PI azsstn2P -2(L+2cos2P)(a4çcos2P * aassin2P)) .

et pour V

X (2.34)
tan llr : tan A
Y

o ù X e t Y sont :

X: 2aac + a2c cos2P + o2s sin 2P + 2(L - 2 cos2P)(aas cos2P + aas sin2P)

Y: 2aac I a2ç cos2P+o2s sin 2P - 2 (7 + 2cos2P) (aas cos2P + o,assin2 P).

II est à noter que pour la détermination de ![r et A, nous n'utilisons pas, contrairement
à beaucoup d'autres montages d'ellipsométrie photométrique, la composante continue du
signal.

La mesure des paramètres 02", Q2s,dkc et a4" permet donc de remonter à cos a et
tan llr sans connaître la valeur absolue du flux, c'est là un avantage certain de I'ellipsométrie
pas
par rapport à d'autres techniquescomme la réflectivité. En revanche,L'E.P.T ne mesure
directement A mais cos A. Ce qui pose un problème pour les applications qui nécessitent
 soMÉrrun sPECTRosc oPI
ELLTP

la connaissancede A avec précision. C'est le cas par exemple pour les mesuresd'indice des
matériaux massifsfaiblement absorbantsoir cosA - -El, (A proche de 0 ou zr)'

En effet, la sensibilité de A aux erreurs de mesures augmente fortement comme le

montre I'expression:

d(cosA)
dL,:+
sln a

pour résoudre ce problème on peut ajouter une lame quart d'onde après le polariseur

tournant, mais on perd I'achromatisme du montage l77l'

2.7.2 Tlaitement du signal

Dans I'expressiondu signal électrique (2.31) on considèreimplicitement que l'axe de

: 0) de
transmission d.u polariseur tournant se trouve dans le plan d'incidence au temps (t
début de I'échantillonnage. En pratique étant donné le positionnement du codeur optique,
il est difficile de faire coincider l'origine des temps avec le passagede cet axe dans le plan
d'incidence. C'est pourquoi, nous d.evonsintroduire un angle Ps qui est I'angle que fait la
d.irectionde polarisation du polariseur tournant avec Ie PI au début du premier échantillon
mesurédu signal (top zéro). On aura ainsi :

I (t) : ho I hzccos2{ltt I hz"sin2Ot' -f h+"cos4f)t' t harsin4C)t' ( 2.35)

oùf':t-to,
et si on pose P - f,)t, P' :{ltt, et Ps - f) to, il vient par identification

I(r) : ho4-hzccos2(P-Po)*h2"sin2(P-Po)*h4.cos4(P-Po)+h4"sin4(P-P0) (2.36)

La figure 2.5 représenteune configuration possible. A I'instant t':0 I'axe de trans-

mission occupe une position caractérisée par I'angle P6 de cet a>repar rapport au plan
 '69
2.7. du
Expression flux lumineux reçu pat Ie détecteur.

Origineoptique: t=0

Figure 2.5: Définition de I'angle Ps

d'incidence.

En développant les exPressionstrigonométriques et en identifiant les deux écritures

(2.35) et (2.36) du flux, iI vient :

hs (2.37)

h2" : d2ccos2Pot az"sin2Po (2.38)

h2, : -o2" sin 2PO* ot2rcos2Pg (2.3e)

haa : cosAPo+ oassin 4Pg
@4s (2.40)

ha : -o4" sin 4Po t ot&cos{Ps (2.47)

On en déduit les coefficientso4 (i :0,2c,2s,4c,4s)

o0: hs (2.42)

@2c - h2'sin2Ps
h2scos2Ps (2.43)
7î
tv 2. ELLrPsoMnrnm SPECTROSCOPIQUE

ot2s : h2.sin2Pot h2"cos2Ps (2.44)

aç : h4acos4Po- ha"sin{Ps (2.45)

czts : ha. sin 4Pol h+scos[PO (2.46)

-
Pour P9 : 0, on trouve bien l'égalité ap hp.

2.7.3 Mesure des coefficients de Fourier du signal

L'électronique de comptage de I'instrument permet par multiplexage de répartir les

impulsions électriquesissuesdu P.M. dans huit compteurs, en changeantde compteur tous
Ies 1/16" de tour du polariseur tournant. En fin de cornptage,le contenu de ces huit comp-
teurs noté st,sz,,...,sa permet de calculerles coefficientsh6, h2.,h2",hçeL ha" de la série
de Fourier.

La transformation de Hadamard est une méthode simple et efficacepour déterminer

les composantesd'un signal de la forme :

/(P) :ao-' (2.47)

Do*cosiP* Dou"siniP
!<i'<n L1i'<n

avec P I'azimut du signal du polariseur tournant à I'instant t.

L'intégration du signal peut être réaliseepar le comptage d'impulsions généréespar

un photomultiplicateur utilisé en comptage de photons [85]. Pour extraire les harmoniques
deux et quatre du signal, il faut intégrer sur un demi-tour moteur, par huitième de période.
Chacune d.essommespeut être calculée à partir de I'expression du signal :

fÛlr /8
sl : f/' tçr'1ae' S5: I
Jr/2
r ( Pt) dP'
nr/4
' fiir/4
S2 : | r(P')dPt 36: I r ( P' ) dP'
Jr/8 J5n/8
JTr/8
s3 : [*'t r1r'1or' 37: I
J3r/4
r ( P' ) dP'
Jr /4
rtr/2 rlf

S4 : I r(Pt)dPl 58: / r ( P' ) dP'

Jùr/8 JTn/8
 de I'elli

Après calcul, on obtient :

s1
ir,o+*n* *'+n," +jn** Tnn, (2.48)

-
[no+'+n* * fn," lnn* Inn"
S2 (2.4e)

Q=n* n - -
[no+
s3 (2.50)
fn* ln* nnn"
- !nn*
-
[n, * nr"*'+nr" +
S4 ( 2.51)
Inn"
(2.52)
J,)
îno-*n**+,"*|o**inn"
s6 + Q=n* - - !no** ( 2.53)
[no *n," ïnn"
S7 (2.54)
[no++r*-*o*-io*-Ion"
Lrno*
*nr"* +or, +|n*-Ton"
s8 (2.55)

Par combinaison d.esdifférents ,Sa,on détermine les coefficientsho, h2", hz", hq" et hat'
On a donc :

s7+ s2+ s3+ s4+ s5+ s6+ s7+ s8 (2.56)

hs
7f
s 7+ s 2 - s 3- s 4 - s 5 - s 6+ s 7 + s 8 (2.57)
h2"
2
s7+ s2+ s3+ s4- s5- s6- s7- s8 (2.58)
h2"
2
sr - s2- s3+s4 + s5- s6- s7+ s8 ( 2.5e)
haa
2
st + s2- s3- s4+,s5+ s6- s7- s8 (2.60)
h+"

2.8 Calibrage de l'elliPsomètre

Le calibrage de I'ellipsomètre est une phase importante, pour Ie positionnement avec

précision des éléments optiques par rapport au plan d'incidence, afin d'éliminer les erreurs
'7q 2. ELLIPSOMVfïT SPECTROSCOPIQUE

systématiquesd.'azimutsur les anglesellipsométriques![ et a.

La détermination des azimuts (P, A, P6) se fait par la mesuredes coefficientsde Fourier
dans des cas particuliers.
et
Le but du calibrage [85] est de positionner les a>resde transmission de I'analyseur
la
d.u polariseur fixes par rapport au plan d'incidence, ainsi que I'angle Ps qui caractérise
position de l,axe du polariseur tournant en début de comptage (c'est le "top zéro").

Le calibrage par le module [86, 87, 88], est une méthode qui consiste à définir une
fonction (en utilisant les modules des harmoniquesdeux et quatre), appelée"résiduelle", QUi
présente un extremum lorsque I'azimut de l'élément optique étudié, se trouve exactement
de
dans le plan d'incidence. Pour le détail de la procédure voir les mémoires C.N.A.M
Bertucci [S1] et de Pawlowski [821.

2.9 Erreurs systématiques

Dans la détermination du flux, nous avons supposéque les éléments optiques étaient
parfaits, or d.ansla pratique la détermination, lors du calibrage, des azimuts A, P, et P6,
n,est pas très précise,c'est pour cela qu'il faut évaluer analytiquement les erreurs systéma-
tiques comrnisessur les anglesellipsométriquestan V et cosÀ. L'effet de chacunedes causes
d'erreur est étud,iéindividuellement. L'erreur globale commise sur les angles ellipsométriques
est obtenu en additionnant algébriquement les effets des différentes causesd'erreur.

Qkct
Toutes les erreurs sont expriméesà travers les coefficientsde Fourier Qo, Q2c,ot2s,
impar-
a4". Les erreurs systématiquesôor,, 6or", 6o*16oo"proviennent d'éléments optiques
causes
faits, d'erreurs d.'azimut,et peuvent être explicitéesanalyLiquementpour chacunedes
op-
d,erreur considérée en employant la formule générale du flux établie pour un système
peut être
tique parfait. Le flux réel, celui qui tient compte des imperfections du système,
d.éveloppéen série d,eTaylor, par rapport à I'ensemble des variables étudiées'

per-
Si on appelle $ lu ,r""t"ur de Stokes de I'ellipsomètre parfait, et,r la variable de
turbation, on a, au premier ordre [89] :
 Erreurs

-
Ê,:4 *D *u*u: S *D(o3r)',
- u'"t'i i
(2.61)
i

En développantle secondterme pour une perturbation x' on obtient les ôor', 6or", 6o*,
termes
ô."o"correspondants.Le développementne tient compte que des termes d'ordre 1. Les
d'ordre supérieur (multiples et croisés),sont négligés'

En pratique on étudie qu'une seule variable à la fois. Sa valeur est calculée directe-
du flux, par
ment en remplaçant la matrice de l'élément optique étudié, dans I'expression
',perturbation" qui lui est associée(différenceentre la matrice reelle au premier
la matrice
ordre et la matrice idéale d'origine).

Nous
Le flux est obtenu en multipliant 31 à gauchepar le vecteur ligne (1,0,0,0).
des
adopterons la notation vectorielle pour représenter les écarts à ce flux pour chacune
causesd'erreurs ri envisagées.

6aoat

----+
6a2.æ.i
6a: 6az"rd (2.62)
6ak*.t
6an"ot

2.9.L Matrices Perturbation

per-
Le fl1x perturbé est obtenu en remplaçant les matrices idéales par les matrices
qu'une seule
turbation des éléments optiques. Pour simplifier les calculs, on ne remplace
matrice idéale à la fois par sa matrice réelle.

pour une perturbation unique r, la matrice réelle de Mueller d'un élément optique peut

s'écrire :

M ( r ) : M o( r ) + 6M ( n) (2.63)
7A 2. ELLIPSOMÉrnrc SPECTROSCOPIQUE

où:
Mo est la matrice idéale de I'élément optique
ô M est la matrice Perturbation.

On a donc :

6M(r):u(r)-Mo@) (2.64)

En développantM(x) en sériede Taylor :

*wu, *ry6*2 ...,

M(*): Mo(r) (2.65)

En remplaçant M(x), on obtient pour I'ordre 1 :

6M(r):Wu* (2.66)

2.9.2 Incertitudes sur tan!Û et cosA

Les erreurs faites sur la mesure des para,mètresellipsomètriques tan iU et cos A, ô tan iU
et d cosA, se propagent uniquement à travers les coefficientsde Fourier aa, éléments du
, --.)
vecteur a:

lffl
-+
a: (2.67)

pour chaque type de perturbation r, il faudra calculer les ôoa correspondantset les

substituer dans les expressionsde ô tan iF et ô cosA'

On étud.ie toujours une seule source de perturbation à la fois, donc nous serons en
présenced'autant de couples 6tani[, ôcosA qu'il y a de perturbations à étudier. L'erreur
totale est la somme de toutes les erreurs individuelles'
 Les erreurs sur tan V et cos A s'obtiennent en dérivant les expressionsde tan ilr et cos A
en fonction des coefficientsaa.

((1 - cos 2A) cos2P(cos2A - cos2V) csc22Acsc2V)

I((;L f cos2A)(1* cos2tlr))

((1 - cos2A)(cos2A - cos2{t)csc22Acsc2V

sin2P)
I (eI f cos2A)(1f cos2i[))
6 tan i[ : 6rl7 , (2.68)
(2(l - cos2A) (cos 2A - cos2P - 2 cos2A cos22P - cos2itrr
* cos2A cos2P cos2V + 2 cos22P cos2\U)csc22A csc2t)
l(eL f cos2A)(1f cos2!trr))

( 2 ( 1 - c o s 2 A ) ( - 1 - 2 c o s 2 A c o s 2 P+ c o s 2 A c o s 2 i U
*2cos 2P cos2V)csc22Acsc2Vsin2P)
l(eL f cos2A)(r f cos2V))

cosA cos2Pcsc2A csc2ilr

(cot2Acot2iU- csc2Acsc2V)

cosA csc2Acsc2i[
(cot2 Acot 2i[ - csc2A csc2V) sin 2P

2 csc2Acsc2![(cos A cot 2A cot2V

-2 cosA cos22P cot2AcoI2V
ôcosA:6,lr (2.6e)
- cosA cos2P cot2{t csc2A
-{-cosA cos2P cot'2Acsc2V
- c o sA c s c2 A c s c 2 V
f2 cosA cos22P csc2A csc2trt- sin2P)

2 csc2A csc2i[ (cos2P

-2 cosA cos 2P cot2 A cot 2{t sin 2P
- cosA cot 2\[rcsc2Asin2P
* cosA cot 2A csc2V sin2P
-|2 cosA cos2P csc2A csc2itrr sin 2P)
76 2. ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE

2.9.3 Erreurs d'azimut

Les erreurs d'azimut sont provoquéesprincipalement lors de la phase de calibrage. Les

éléments optiques imparfaits perturbent la localisation du plan d'incidence. Pour une lo-
calisation incorrecte du P.I., on aura une détermination incorrecte de I'azimut des éléments
optiques.

La matrice perturbation due à une erreur d'azimut 0 est :

l0 0 L9l
I o - (20)
sin *. (?ll, I I
ôÂ(a):260 o - cos(2g) - ri"
| 1zâ;o I
e.To)
Lo o o ol
Polariseur

La perturbation du vecteur de Stokes (6sf)a due à un défaut de positionnement du

polariseur est donnéePar :

(ôsr)" : {MAR(A)} Ms {R-L(PùMp,R(P')} {ôR-'(P)Mp} Sc Q'7r)

Seules les composantes d.eFourier du premier élément de ce vecteur sont utilisées.

Ainsi pour le casparticulier où A : *45" et,P :0o, I'erreur d'azimut due au polariseur
est :

,'n"o,tlîo"!:çi-',
fotanvI
: "^|
-r '\r wù 4Y/, 1 ^-"
(2.72)
I I 6P | |
| ô c o s AI -
l z r g n , l , ( - c o s 2 a+ c o s 2 i [ ( c o s 2 A 1 ) ) I

(par conventionnous posonssgnA: 1 pour A: 45" et sgnA - -1 pour 'A - -45')'

Au premier ordre, les erreurs sur tan ![r et cosA, dues à un décalage angulaire 6P du
polariseur, peuvent être compenséesen procédant à une mesure double-zone.
 Pour I'analyseur, les calculs sont du même type que pour le polariseur. L'équation de
départ est :

(ôsr)" : {MA6R(A)} Ms {R-L?ùMp,R(P')} {R-r(P)Me} st, Q.73)

PourA:L45"etP:0o:

fatan*l:uol
-2sgnA tan2V
I (2-74)
|
I ocosa
I L 0 I
Au premier ordre, seule tan ilr est sensibleà un décalage ôA de I'analyseur. Cette erreur
peut être compenséepar une mesure double zone.

2.g.4 Les imperfections des éléments optiques : erreurs d'ellipticité

Dans la réalité, l'état de polarisation de la lumière transmise par un élément n'est pas
linéaire, mais légèrementelliptique. De ce fait, il faut en tenir compte dans la matrice per-
turbation. La matrice perturbation d'un polariseur imparfait est :

r0 0 0 1l
6Mp:""18
B Bâl (2.75)
1 0 0l L1

du matériau (cas du quartz)

7o est I'ellipticité résiduelle due par exemple au pouvoir rotatoire

Polariseur

Un polariseur réel, ne transmet pas une lumière à polarisation rigoureusement rec-

tiligne. Il subsistetoujours une très légèreellipticité.
 SPECTROSCOPTQUE
2. ELLTPSOMÉTRLE
78

(657)s: {MAR(A)} M, {R-r(Pt)Mp,R(Pr)}{R-Le)6Mp} se' Q'76)

PourA:t45"etP:0o:

:'" (2.77)

[ ,::: ] [:]

paramètresellipsométriques'
L,imperfection .ydu polariseur,n'influe pas sur lesvaleursdes

Analyseur

(ôSy)7a: {6MAR(A)} M, {R-t(Pt)Mp,R(Pt)} {Ê-t(P)Mp} So Q'78)

PourA:t45oetP:0":

(2.7e)

mais on peut
Au premier ordre, seuletan ilr est sensibleà I'imperfection de l'analyseur,
l'éliminer en faisant des mesuresen double-zones'

Polariseur tournant

Leproblèmeestlemêmequedanslesdeuxautrescas:

St (2'80)
(657)1et: {MAR(A)} M, {R-t(Pt)6Mp,R(Pr)} {R-Le)Mp}

Pour A : È45o et P :0o :

| 6tanV I I sgnAcos2i[sinA I
| | 2rtr)
l0 + cos
,, I t (2.s1)
I l:2'Y"t I
L a"o.n I | - r g n A , c o s A s i n  c s cI2 i [
 Une fois encore,les erreursinduites par I'imperfection "ydu polariseurtournant, peuvent
être compensées(au premier ordre) en effectuant une mesure double-zone'

2.g.5 Autres erreurs systématiques : les fenêtres

Dans notre cas, les échantillonsétudiés, sont placés dans une enceinte,munie de deux
fenêtres transparentes. Ces deux éléments supplémentaires perturbent le flux détecté par Ie
pM. On assimile ces deux fenêtres aux lames de phase qui introduisent chacune un faible

retard. 6W et,ont un azimut w4par rapport au PI.

La matrice de transfert peut s'écrire sousla forme :

M w: R- r ( w) M( 6w) R( w) (2.82)

Pour les fenêtres on a :

-1 ( 2.83)
(ôSy)cw : {M AR(A)} M woMs M w"{R-r (P t) M p&(Pt) } { fi (P ) M p} Sr,

Pour Ia fenêtre d'entrée I'erreur sur tan ![ et cosA:

(2.84)

Au premier ordre, I'imperfectlonWode la fenêtre d'entréemodifie uniquement la valeur

de cosA.

Et pour la fenêtre de sortie, on trouve :

80 2. ELLIPSoMÉrnrcspncraoscopQun

| 6tan i[ I 2Ù - 2)(sinA cot2tUcos2w6)l$ * cos2'I') ]

I ssnA(cos
I l:6wtl l. (2.85)
- cos2w6)
-l"grzAsinA(cos L'sin2w6cos2ilr I
I O"osÀ I |

Au premier ordre, I'imperfectionW6 de la fenêtre de sortie influe sur tanV et cosA,

mais on peut l'éliminer en faisant des mesuresen deux-zones.

Interêt de la mesure double-zone

Elle consiste à déterminer la grandeur recherchéeen prenant la moyenne arithmétique

,dedeux mesures effectuéesdans des conditions particulières.
Dans notre cas, il s'agit de deux positions symétriques de I'analyseur, par rapport au
plan d'incidence: A: t45"
La mesure en d.ouble.zone,est une technique courante dans de nombreux domaines,
permet de corriger au premier ordre les erreurs systématiques liées aux :
- imperfections des Polariseurs,

- positionnement des Polariseurs,

- fenêtres de la cellules.

Par mesuresdouble-zone,Iaplus part des erreurs systématiquessont éliminées, seule

I'erreur d.ueà la fenêtre d'entrée, qui influe sul cosA, n'est pas éliminée'
 6 LaniZ

6P zsgnAcos Â(cos zt? - r)

/6 + coszt)

6A zsgnA tanziZ

'Yp o

'lPt zsgnA sin  coszrl

/(, + cosz!Z)

'Ye o

Wo o

W6 sgnA(coszilt - z)(cos2to6sin AcoLzÛ)

/(, + coszV)

Tableau 2.3: Erreurs systématiquessur tant. Cas particulier: A: =f45o et P: oo

 ELLIP SOMET RIE SPEC T ROSC OP I

6cosÂ

6P sgnA(cos2 A - zcoszilr)
f sinzilt

6A o

^fP o

^lpt zsgnA(sin A cosA)

f sinzt

^le -zsgnAsin Â

wo -2 cos zuosin A

W6 -|sgnA sin Â(cos Acoszto6

- cos 2tD6)

Tableau 2.4: Erreurs systématiquessur cos Â. Cas particulier : A: ;l45o et P : o"

z.LO Erreurs aléatoires

Ia limitation de la sensibilitéde I'ellipsomètre.

Les erreursaléatoires,ont pour conséquence
Le gain est directement conditionné par une diminution du niveau de bruit.
Pour le cacul des erreurs aléatoires, nous reprenons les principaux résultats de A'
Pawlowski [82].

2.LO.L Erreurs duent à la statique du comptage

Les variances de tan iU et cosA dues au comptage de photons sont respectivement

données par : ô o
cos22.I,
qtrt
vtan!trr---l
\ v)ffi
tana (2.86)
sin22rf 4(1 + cos2i[)2

o2"",d: + 1)*
r cos2atan2v (2.87)
#( ##

o,t olo est la variance de la composantecontinue du signal'

Or an - G an oir le gain G est proportionnel à N, Ie nombre total d'impulsions délivré

par le photomultiplicateur.
On en déduit

_2
udo- o3o'" (2.88)

Or I'écart type oç est proportionnel à \Æ.

Donc

o'r, - oZ (2.8e)
G2N
84 SPECTROSCOPTQUE
2. ELLIPSOMÉTRLE

PourP:0oet A:45" ona:

oo: -Tcos2tU (2.e0)

En définitive :

*2
o?u'v:h c o t'zv
:- ^ . 4( (,,r ir)
1 "lt'2Y,=," + tan4 (2.91)
*cos211-

oî"d:#coû2v(7ffi + 1)
r cos2atan2itr/ (2's2)

2.LO.2 Erreur aléatoire due au polariseur

Ona:

o?*,t: k?oT (2.e3)

oz.ord: n|o', (2.e4)

avec

cosA(cos2(t-L)
t -:- 1
le't
+"o,2rl,
et,
2
nr: -# A)
(sin2A cos2i[+ cos2

2.1-0.3 Erreur aléatoire due à l'analyseur

Ona:
o?.ov: k|o'o (2.95)

o2*"n: kZ"| (2.96)

avec
- L
Ies:2cos24t
sin 2ilr
k+: 0
 La variance due au trois causesd'erreurs est :

o?*,v: (oâ"*)iu+ ("â'*)o f (o?"'*)o

o2.",d: (ofua)ru+ (oâ"a)p+ (oï"a)a

Nous adopterons comme incertitude sur Ie résultat l'écart type correspondant.

:
Il faut remarquer qu'il existe d'autres sourcesqui contribuent à I'incerbitude totale
état de
effet du secondd,ordre, défaut d.'alignementet de divergencedu faisceau,vibration,
la surface.
Les formulesgénéralesde propagation deserreurspermettent de calculerles incertitudes
sur t1 et e2, n et k ainsi que sur la conductivité optique o1'

2.!L Différentes causes dterreurs

Z.LL.L Ouverture du faisceau
sur la
La divergence du faisceau incident sur la surface, peut engendrer des erreurs
si on
d.étermination de I'angle d.'incidenceet donc fausser les mesuresde iU et A, même
pouvait la réduire à volonté, on serait timité (sauf emploi du laser) par la nécessité de
conserver un flux incident suffisant pour permettre les mesures.

2.LL.2 Déviation du faisceau par le polariseur

ce
Dans notre ellipsomètre on fait intervenir la rotation du polariseur, si les faces de
ce qui
dernier ne sont pas parallèIes entre elles, le rayon polarisé moyen forme un cône,
engendreune variation de I'angle d'incidenceet du plan d'incidence'

2.LL.3 Biréfringence Parasite

pour Ia bonne précision desmesures,iI est essentielque les lames transparentes (fenêtres

de la cellule de mesure) placeessur les trajets des faisceaux incident et réfléchi, n'introduisent
collées
aucune biréfringence parasite. Les lames utilisées, en quartz d'épaisseur3 mm, ont été
sur leur support flexible respectif par une colle élastique pour ne pas avoir de contrainte'
 ELLIP SOMET RIE SPE CT RO SC OPI

Angle A Psi Delta Indices et épaisseur

avec + 45" 45,7468 80,2574

[enêtres -45" 45,1356 79,059 p:1,4636
e:1-06r53
moyenne 45,44L2 7916582

SANS + 45' 44,86 80,068

fenêtres -45" 45,96 78,82 n:1r4656
e:106:23
moyenne 45,41 79r44

Tableau 2.5: Influence des fenêtresde la cellule de mesuresur {r et A

Pour évaluer I'influence des fenêtres sur Ies mesuresde i[ et A nous avons effectué des
mesures sur I'échantillon S,i.O2lSad'épaisseur 106 nm, avec fenêtres et sans fenêtres. Les
résultats obtenus sont donnés dans le tableau 2.5.

2.L2 Conclusion

Nous venonsde décrire notre ellipsomètrespectroscopiqueà polariseur tournant à trois

éléments, qui nous a permis de nous affranchir des inconvenients des ellipsomètres à deux
éléments(E.A.T et E.P.A).
L'étude des erreurs systématiques,menée à I'aide du formalisme de Stokes-Muller,
a permis notamment de corriger certaines de ces erreurs par mesuresdouble-zone. Seule
I'erreur due à la fenêtre de sortie subsiste'
Les calculs des erreurs aléatoires effectuéspar A. Pawlowski [82], nous ont permis
d'évaluer les incertitudes sur la statique du comptage,du polariseur et de I'analyseur
Chapitre 3

RESUTTATS ET
INTERPNÉTNTIONS

3.1_ D isposit if expérimental

3 . 1 _ . 1 Introduction

pour pouvoir étudier les propriétés optiques des métaux liquides, nous avons mis au

point une cellule de mesure, que nous décrironsdans la première partie de ce chapitre'
La conceptionde cette cellule,seraliée à Ia résolution d'un certain nombre de problèmes
qu'au
pratiques inhérents aux techniquesde mesurequi se posent à haute température, ainsi
pour
choix des matériaux étudiés. Par exemple, le lithium qui a une forte affinité chimique
pourra pas
I'oxygène et I'azote devra être préparé et fondu sous atmosphèreneutre. Il ne
être contenu dans un creuset en silice, qui réagit vivement avec les alliages à base de lithium.

3.L.2 Cellule de mesure

(enceinte
Les figures (3.1, 3.2, 3.3) montrent I'agencementde la chambre de mesure
joints
étanche sous atmosphère controlee). L'ensemble est en acier inox qualité 304L' Les
toriques sont en viton.

Les fenêtres sont en silice et fixées avec une colle élastique' pour réduire au maximum
Elles
la polarisation induite par la biréfringence parasite due aux contraintes mécaniques.
du faisceau
sont montées sur des tombacs, munis de trois vis, afin de régler I'orthogonalité
 entre
et des fenêtres. L,ensembleest conçu de manière à pouvoir varier I'angle d'incidence
60' et 70".

pour éviter les problèmes de vibrations, I'enceinteest fixée sur un support antivibra-

toire.

3.1.3 Four

Le four est en cuivre, et composéde d.euxparties (figure 3.2) : la partie basse,de forme
creuset
cylindrique, de diamètre externe 6 cm et de hauteur 3 cm, dans laquelle est logé le
en inox.
gradient
La partie haute est un bloc cylindrique qui sert de couverclepour réduire le
de température dans le métal liquide.

L'élément chauffant est un thermocoa>ctype 1NC, enroulé autour du four. Il est consti-

tué d'un fil chauffant Nickel-Chrome,gainé soustube métallique (inconel) et électriquement

isolé. son diamètre est de 2mm, sa résistancede ligne de 3,1 ohmsfm.
pour éviter la dispersionde chaleur dans I'enceinte,nous utilisons des écrans thermiques en

inox, disposésde part et d'autre du four.

L'utilisation de fenêtres en plexiglass, qui supportent une température maximale de

tube
80.C, nous limite en température. Pour résoudrece problème, nous avons installé un
qui permet
en cuiwe, en forme de Té, qui répartit I'arrivée d'argon sur les deux fenêtres' ce
de diminuer leur température. En outre, nous utilisons desventilateurs. Ainsi la température
maximale du four peut atteindre 500'C.
Ces fenêtres seront prochainement remplacéespar d'autres en silice
La température est mesurée par deux couples thermoélectriques en Chromel/Alumel'
indi-
L,un est sous Ie creuset et en contact avec lui. L'autre est solidaire du couvercle. Les
cations données par les deux couples ne diftrent pas de plus de 1oc.
3.7. Dispositif expérimental 89

Hublot quartz

Supportsantivibratoires

Figure 3.1: Cellule de mesure : vue de face

90 3. RESULTATSET INTERPRETATIONS

Thernocouples

Figure 3.2: Cellule de mesure : vue de côté

92 3. RÉSULTATSET INTERPRETÆ
u. ,,u

3.L.4 Dispositif de Puriftcation

Les mesures sur les métaux et alliages liquides doivent être effectuéessous atmosphère
inerte. Afin d'éviter I'oxydation du métal, nous avonsutilisé de I'argon préalablementpurifi.é
-02- N2 avec régulation de
par un banc depurificationdegaz neutre d.oublehgne H2o
pression fabriqué par Ia société Jacomex. Le banc est un prototype réalisé pour nos ex-
périences,selon un cahier des chargesbien déûni. En premier lieu, il ne doit pas créer de
vibrations et ce problème a été résolu en entraînant le gaz par une turbine qui remplace la
pompe. It doit purifier I'argon en éliminant I'oxygèneet I'eau pour éviter I'oxydation de la
surface des métaux. Enfin l'étude du lithium nécessiteune atmosphèresans azote' En effet
qui ne fond
le nitrure de lithium se forme déjà à température ambiante. C'est un solide noir
qu'à 84b'C. En conséquencenous avonsfait installer un épurateur d'azote.

3.2 Déroulement et contrôle des essais

3.2.! Préparation des alliages

Les compositions des alliages sont expriméesen pourcentageatomique (% atom.) :

nombre atomeA
XA:100 x
nombre atome A I nombre atomeB
:
Dans ces conditions, le rapport des massesrmAet me des élémentsd'un alliage A-B s'écrit
*A - Xe Ml.
rmB XB MB

oi M a et M p sont les massesatomiques correspondantes'

Toutes les compositions d'alliages sont exprimées,dans ce travail, en pourcentage atom-

ique. L'incertitude sur les concentrationsest de 0,01%'
3.2.2 Mode opératoire

Lorsque Ie montage est réalisé, I'enceinte est placée sous vide pour vérifier la bonne
étanchéité du dispositif. Avant de commencer à chauffer, on effectue une entrée d'argon
hydrogéné ( b% d,hydrogène). On introduit de I'hydrogène de manière à réduire les oxydes
encore présents dans I'enceinte. La purification dure une journée à température ambiante,
à
afin d'éliminer toute trace d'oxygène. Pour contrôler la teneur en oxygène' une lampe
pouvoir
filament de tungstène de 7 volts, dont on a scié I'ampoule, sert de témoin. Pour
réaliser des mesures,deux conditions sont nécessaires:

o avoir une bonne homogénéitéde la température du métal; pour cela le four est porté
pend.ant quelquesheures à une centaine de degrésau-dessusde la température de fusion
du métal,

e avoir une surface refléchissante(condition nécessairemais pas forcément suffisante....).

pour satisfaire à cette deuxième condition, on procède au raclage de la surface, avec un

racloir en acier inoxydable, pour éIiminer les impuretés et, en particulier, la couche d'oxyde
formée.

Dans le cas ou la surfacen'est toujours pas réfléchissante,on solidifie Ie métal, et on

élimine Ia couche en grattant la surface solide. Il est souvent nécessairede répéter cette
opération deux ou trois fois.

3.3 Choix du modèle

Comme nous I'avons décrit dans le deuxième chapitre, I'ellipsométrie nous permet de
déterminer les paramètres ellipsométriques aux constantes optiques n et k ou €1 et e2donnés
par (cf chapitre II )

- si{ zv
cos-'zztt' nt
n2- lr2: sin2d(l ( 3.1)
€1 : .(@/'
+ tanz0 îtl
94 3. RESULTATSET INTERPRETATIONS

sin 4!û sin A

€2 : 2nk : sin2gtan2 0 (3.2)
(1 + sin2i[ cosA)z

Les résultats peuvent s'interprèter dans le cadredu modèle de Drude. Le choix de ce modèle,
sa justifi.cation et seslimites ont été discutésdans le chapitre I.
Les expressionsde €L,€2 sont donnéespar :

( 3.3)

( 3.4)

. o No2
o ua ; : ffi
N est le nombred'électronsde conductionpar unité de volume,el m leur masse,
66 est Ia constante diélectrique du vide,
e est Ia charge de I'électron.

3.4 Résultats et discussion

Les métaux et leurs alliages que nous pouvons étudier, ne doivent pas avoir un point
du fusion supérieurà 400'C, ni une tension de vapeur trop élevee.Les métaux utilisés provi-
ennent de la sociétéJMC Puratronic, d'une pureté métallique de 99,999%.

3.4.L Généralités

Evaluation de I'incertitude sur les mesures expérimentales :

Dans le deuxième chapitre, nous avons montré que les erreurs systématiques' se compensent
par des mesuresen double zone.
Pour évaluerI'ordre de grandeur de I'incertitude due aux erreurs aléatoires,nous avons
fait nos calculs sur l'étain, d'après les donnéessuivantes :
3.4. Resultats et discussion 9lt

Longueur d'onde ), : 560nm

Nombre d'impulsions par secondeN : 170000
Angle d'incidence0 :77,37"
Azimut du polariseur P : 0o
Azimut de I'analyseur.A :45"
tan ilr - 0, 71 et v : 35, 37"
cosA - -0,579 etA : L25,47"

Les incertitudes sur tanry', cosL, h, k, e1 et e2 dues à N, P et ,4 pour une incerti-

tude de I'ordre de 0, 1osur I'angled'incidence,sontdonnéesdanslestableaux 3.I ,3.2 et 3.3.

En prenant en considération,non seulementles erreurs aléatoires,mais aussi d'autres

sourcesd'erreurs (défaut d'alignement,divergencedu faisceau,...),nous estimonsI'incerti-
tude sur nos mesuresà deux fois i'écart type calculéprécédemment.

Remarque
Pour illustrer I'importance de la précision sur I'angle d'incidence, nous avons calculé
on, ok, o^ et o€2,pour deux o9 différents , respectivement0,03" et 0,5o.

Les résultats récapitulatifs sont donnés dans les tableaux 3.4 et 3.5, et montrent que
I'incertitude sur nos résultats est très liée aux soinsapportésau réglagede I'angle d'incidence.
 N P A total

otanù 0 , 6 9 x 1 0 - 3 0 , 1 x 1 0 - 3 0 , 5 x 1 0 - 3 0 , 9 8x 1 0 - 3

ocosA 1 , 5 x 1 0 - 3 0 , 7 1x 1 0 - 3 0 1,6x 10-3

Tableau 3.L: Incertitudessur tanilr et cosA

€1 Oet e2 oez

- L 7 , 7 1 0,26 19,54 0,26

Tableau 3.2: Incertitudessur 61 et 62

3.4. Résultatset discussion 97

n on k o1a

2,082 9 x 10-3 4,69 23 x 10-3

Tableau 3.3: Incertitudes sur rz et k

oa: 0,03o €1 OeL e2 Oe2 n on k €k

-r7,71 0 ,7 2 19,54 0 , I 2 2,082 4 , 3 x 1 0 - 3 4,69 1 0 x 1 0 - 3

et k pour oa : 0,03".
Tableau 3.4: Incertitudes sut eL,€21n

co :0r5o E1 Oet €2 o.^ n on .k ek

- L 7 , 7 7 1 , 1 8 19,54 7,24 2,082 4 1 X 1 0 - 3 4,69 107x 10- 3

Tableau 3.5: Incertitudessur t1, €2, tu et /c pour oe : 0,5o

98 3. RÉSULTATSET INTERPRETATIONS

Comparaison des données expérimentales avec le modèle de Drude

Dans le modèle de Drude il faut déterminer la densité effective N* des électrons , et le temps
d.erelaxation. Nous avonsutilisé la méthode du simplex de Nelder et Mead [94]' Elle permet
de minimiser une fonction non linéaire quelconqueà multiples variables. On part d'un point
initial connu et on détermine successivementd'autres points de manière à se rapprocher du
minimum de la fonction.
et tan vrrrr" sont les mesures ellipsométriques. Le problème consiste donc à
cos a-""
déterminer par itérations successivesà partir d'un couple de valeurs initiales (tan \U"olset
cosA"as), les paramètres S et r de la loi de Drude qui minimisent la fonction :

p : (cosL^o - cosA4)2 + (tan V *" - tanV.o)2 ( 3.5)

où N* est le nombre effectif d'électrons par unité de volume, m la massede l'électron et r

le temps de relaxation.
cosA"o1et tan V"a, sont calculésà partir de e1 et e2 d.éterminéspar les équations (3.3)
et (3.a).
On peut néanmoinsprocéder d'une autre manière pour évaluerles paramètres de la loi
de Drude. Le temps de relaxation r peut être estimé à partir de la conductivité statique
o(0)
N ezr ( 3.6)
o ( o ):
n'I

où la valeur de o(0) est obtenue à partir d.ela littérature. Pour calculer Ie nombre d' élec-
pour
trons de conduction, il faut connaître la valencedu métal (on adopte habituellement 4
l,étain et le plomb) et la massevolumique à I'état liquid.een fonction de la température [95],

[e6].
Ce calcul fournit ce que nous appelleronsdans ce qui va suivre "loi de Drude théorique".
Elle est représentéeen pointillé sur les figures.

Remarque
Dans la suite de ce chapitre nous adoptons égalementla notation déjà utilisee dans le
chapitre I, à savoir :
rr*:# et no:*
par unité
où No est Ie nombre d.'atomespar unité de volume et No est le nombre d'électrons
de volume.
3.4.2 Plomb pur

Les résultats expérimentaux présentéssur les figures 3.4, 3.5, 3.6 ont été mesurésà la
température 390oC,dans une garnme d'énergiede 1,5 eV à 3,1 eV'

Les pricipalx résultats sur le plomb à l'état liquide ont été obtenus par Kent [109] en
1919,Hodgson [101]en 1961,Smith [99] en 1967,Comins [102] en1972 et Inagaki [103]en
1g82. Récemmentune étude théorique sur Ie plomb à l'état solideet liquide a été publiée par
1995 [106]. Le calcul est en accord avec les résultats publiés pour l'état liquide
H1!t1er_^en
par Inagaki.

Paramètres du modèle de Drude théorique

par l'équation:
Le volumespécifiqueen fonctionde la températureest représenté

v : 0 ,0 9 3 8x [1+ 119x 10- 6( T- Tr ) + 3,5 x 10- e( T- r e) l ( 3.7)

où Tp est la températurede fusion du plomb.

En utilisant la masse atomique du plomb (207,2 g/mol), et en prenant le nombre

d'électrons de valenceégal à 4, on détermine le rapport

N'
: 1 , 3 5 x ! o * sr n - , . k g - L
rn
La résistivité d.u plomb à 390" est calculée à partir des résultats expérimentaux de Ben
Abdellah (1eea) [e8] :

P: aoI a1T I azTz

dont les coefficients sont :

, r : 2 , 8 7 4 7 x 1 0 - 21 - t T . c m T - le t ( t 2 : 9 , 8 3 4 3 x 1 g - a p 0 . c m T - 2
a 0: 8 6 , 3 t 9 1 . t } . c m d
avec ? en degré Celsius.

La conductivité statique à 390'C est donc :

 (l-r m-L
o(0) : 1009830

Nousen déduisonsle tempsde relaxation1 :

r : 2 , 9 1 x 1 0 - 1 6s

Ajustement des données expérimentales par le modèle de Drude

En ajustant nos résultats, nous obtenons :

N* -
*-3.pn-t
r,2Gx1g5e
rn
et

r : 3 , 2 6 x 1 0 - 1 6s

En comparant avec les valeurs calculéespour une valence 4, on trouve :

A:0,g3
na

ce qui correspond à une valenceégaleà 3,73.

La figure 3.4 représente nos valeurs expérimentales de tan ![r et cosA et montre le bon
accord avec celles calculées avec la formule de Drude. Néanmoins, il existe une différence
(tableau 3.6) entre les valeurs ajustéesfi,, .t le modèle de Drude qui peut s'interpréter en
prenant en compte I'incertitude.
 plomb liquide Température ('C) r(10-16s) *ôt références
#

ModèIe de Drude 390 2,9r 1 1

théorique

ce travail (1996) 390 3,26 0,93 1,05

Smith (1967) 390 1,25 Ieel

Hodgson (1961) 567 2,3 7,L7 0,94 [101]

Hodgson (1961) 785 2,18 7,r 4 0,93 [101]

Comins (1972) 600 1,19 [102]

Comins (L972) 800 1,13 [102]

Kent (1919) 400 \r28 [10e]

n'
Tableau 3.6: Valeurs de r et 1ù!
 Sur les figures 3.5, 3.6 nos résultats sont comparésà ceux de Inagaki [103]' Smith [99]'
et, à titre de comparaison,Ie modèle de Drude.

Smith [gg] a effectuésesmesuresà la même température que nous (390"C) et sousvide

(tO-o tr6rr). Inagaki [103] a opéré à 341'C, soit 12'C au dessusde la température de fusion,
et sous ultra vide 2x 10-8 torr.

Smith obtient la valeur # : !,25 proche de la notre. Il interprète son résultat en

terme de masseeffective électronique inférieureàm, ou bien en terme de valenceeffective
plus grande que 4. Il affirme qu'une contamination de la surface est exclue, les valeurs
obtenues restant stables suite à des nettoyagessuccessifsde la surface'
Dans le tableau 3.6, nous avonsreprésentéles valeursdu #, en comparant avecd'autres
auteurs. Il est à noter que l'écart entre nos résultats et ceux de Smith qui a effectué ces
mesures à la même température que nous (390'C) est important, de I'ordre de 0,32 sur le
rapportfi.
Les résultats de Inagaki se situent au dessusdes prédictions du modèle de Drude, et
Inagaki interprète I'écart par d,estransitions interbandes. En retranchant la conductivité
intraband,e (Drude) de la conductivité totale (expérimentale),il détermine la conductivité
interbande. II comparela conductivité optique du plomb à I'état solideobtenu par Matahew-
son et Myers [110]et sesrésultats à l'état liquide, et en déduit que les transitions interbandes
d.el'état solide, persistent à l'étgt liquide, ce qui se traduit par un pic à 2,5 eV'

Les résultats de Inagaki, ont été retrouvés théoriquement par, Hiitner [106] à I'état
liquide (T:600 K) qui confirme Ia transition interbande, Jank et Hafner [107] en utilisant le
modèle du pseudopotentiel,et expérimentalementpar Indelkofer et al' [111]' par la méthode
UP S (ultraviolet photoemissionspectroscopy).

Vu nos résultats, et compte tenu des erreurs expérimentales, nous proposons d'adopter
pour Ie plomb liquid,e une valence de 4 et une masseégale à celle de l'électron libre.
3.4. Résultats et discussion 10ll

1.0

0 .8
a^'a
- . -'l-r. ...?.t .t .-..:.....
or.oo.lr.al;...

i-/ 0.6
c
(d

0.4 . Ce travail
Modèlede Drude

o.2

0.0

-0.2

.t
t'
-o'4 .t
''

3 ..?'t''
a --r- o. o
o
(J -0.6 or
I r'
aaa.l.
'
a''
ao'

-0.8
Pb
-1.0
1.5 2.O 3.0

E(ev)
f igrrr. 3.4: Variation d.etan tU et cosA avec l'énergie
IO4 3. RÉSULTATSET INTERPRÉTATIONS

5 .5 A
a.
.A Modèlede Drude
a'.
A o Ce travail(390"C)
.a
a .. r lnagaki(341"C)
5.0 a '^.. . o Smith(390"C)
a a
aA
a-t
a!i
l.o '..a
9 4.5 r

Y A
a r.a ô
A
4.O ..4 a
. . 4a ^ r
...4 A

'.4
3 .5
A

3.0 A

o'.
a'... a
'1.
.' a
â 2.5 a a. '. A
a
a
at.
A
.J
a
2 .0 a '.. a

' . i"... A
A

. a' A
^
1.5 a '...
a A

Pb a
a

ao
'..
'.

1.0

1.5 2.0 2.5 3.0

E(ev)

Figure 3.5: Variation de n et k avec l'énergie

3.4. Résultats et discussion t}lt

40

a Drude
.)
. Ce travail( 390"C)
a'.
30 t'. o Inagaki(341"C)
. Smith (390"C)
tr -! a
e
a
t.t
N L
q) a. '
20 rÇ
t. a
-J-) a
." o
'1.a
a ' . -_t o
a.O
a . a
a...
a
10 I o'

a
a

Pb
0

ë -ro
c^) ...';"i
'
3'r'l':.'j't
. . r . | ro . '
'
ott' .31L o
-20 o oo. t"
roi

1.5 2.0 2.5 3.0

E(ev)
Figure 3.6: Variation de el et €2 avec I'énergie
rc6 3. RESULTATSET INTERPRETATIONS

3.4.3 Etain pur

Les résultats expérimentaux présentéssur les figures 3.7, 3.8, 3.9 ont été mesurésà la
température 360oC,dans la gamme d'énergiede 1,5 eV à 3,1 eV'

La température de fusion d.el'étain est assezbasse (231,9') et sa pression de vapeur

saturante faible. Lorsqu'il est fondu, I'étain s'oxydesuperficiellement.Le film d'oxyde formé,
étudié par diffraction électronique, se présente comme un mélange des deux oxydes stanneux
et stannique. peu de travaux ont été réaliséssur cet élément. A notre connaissanceseul
Hodgson [101],Comins [102],Kent [109],et plus récemmentPetrakian [104] en 1980, ont
étudié les propriétés optiques de l'étain à l'état liquide'

Paramètres du modèle de Drude théorique

Le volume spécifiqueest représentéen fonction de la température par l'équation [95]:

v : 0 , 1 4 3 2 x [ 1 + 1 0 4x 1 0 - 6 ( 1 - (3.8)
"r)]
où ?p étant la température de fusion de l'étain'

En utilisant la masse atomique de l'étain (118,69 g/mol), et en prenant le nombre

d'électrons de valenceégal à 4, on détermine le rapport

lÙ" -
\ , b 4 x L o s sr n - , , l c g - r
rn
La résistivité de l'étain est calculeeà partir des résultats expérimentaux de J.G. Gasser
(1e82)[e7],

p: doI a1T * a2T2

avec :
as: pQ.cm ,t aL:0,0263869 pr,(l.cm"T-Let a2: -4,17771x 10-7p'{l'cmT-2'
4L,6136

A 360'C la conductivité est égale :

 7
oo : : 1958498,7(ft rn)-l
p
A partir des valeurs d" * et de o(0) nous calculonsle temps de relar<ation1 :

r : 4 , 9 7 x 1 0 - 1 6s

Ajustement des données expérimentales par le modèle de Drude

En ajustant nos résultats par la méthode de Nelder et Mead [94] en obtient :

N* -
1 , 5 4 x 7 o 5m
s -3.kg-L
rn
et
r : 2 , 9 7 x 1 0 - i 6s

Si les résultats por. S sont compa,rables,il n'en n'est pas de même pour les temps de
relaxation qui sont très différents.

Interprétation et discussion

Nos résultats expérimentauxen fonction de l'énergie sont comparésà d'autres auteurs,

ainsi qu'avec les courbes théoriques du modèle de Drude (électrons libres) et du modèle
quantique de Helmann [17] (modètede pseudopotentiel).

n*
Dans le tableau 3.7, nous avonsreprésentéles valeurs de r et U. en comparant avec
^,
d'autres auteurs : Petrakian [104],Hodgson [101],Comins [102]et Kent [109].

Tout d'abord, la comparaison de nos conditions expérimentales avec celles des divers
auteurs nous paraît indispensable. Comins a d'abord fait le vide jusqu'à 10-5 torr, et, une
fois le métal fondu, il a introduit de I'hydrogène pour réduire I'oxyde qui s'est formé au
niveau de la surface.
 Etain liquide Températu."('C) r(10-tur) # *# tu

Modèle de Drude 360 4,97 1

théorique

ce travail (1996) 360 2,,97 1,00 0,60

Petrakian (1980) 267 4,90 r ,02 0,95 [1041

Hodgson (1961) 446 3,90 r ,L7 0,934 [101]

Hodgson (1961) 858 3,52 1,15 0,928 [101]

Comins (1972) 600 4,71 1,10 0,98 [102]

Comins (1972) 800 3,88 1,05 0,96 [102]

Kent (1919) 400 L,02 [10e]

Etain solide

Hodgson (1961) 20 37,4 0,33 0,55 [101]

Tableau 3.7: comparaison des résultats de l'étain liquide et solide

3 4 Résnlf.a.ts e.f, disanssion 109

Hodgson a fondu le métal dans un creuset en silice ou en carbone, Ie tout enfermé

dans une enceinte où il a introduit de I'hydrogène. Par contre Petrakian a travaillé sous ul-
tra vide (2x 10-8 torr), et, une fois le métal fondu, il a procédéau raclagein situ de la surface.

Sur les figures 3.8 et 3.9, nous avons représentéles valeurs des constantes optiques
conjointement avec celles de Petrakian [104], Hodgson [101] et les courbes théoriques de
Drude et de Cisneroset Helman [105]utilisant le modèle de pseudopotentiel.

Nous n'avons pas pu comparer nos résultats avec ceux de Comins de [102],car il a fait
des mesuresuniquement dans l'infrarouge.

Cisneroset Helman [105] ont fait une étude théorique sur l'étain, baséesur I'approche
quantique, en utilisant le pseudopotentielde Heine-Animalu. Leurs résultats théoriques sont
en bon accord avecles résultats expérimentauxde Petrakian, Hodgsonet Comins. Par contre
ils trouvent un écart avec le modèle de Drude de I'ordre de 5% pour des énergiesinférieures
à 4eV, et de 15% pour des énergiescomprisesentre 4eV et 12 eV.
Les écarts entre nos valeurs expérimentales et celles des autres auteurs, ainsi que ceux
avec Ia loi theorique de Drude, sont importants et ne peuvent s'expliquer en faisant inter-
venir les incertitudes de mesure ni les conditions expérimentalesdifférentes,en particulier la
y
température de la mesure. La valeur de 1,00 que nous avonsobtenues pou, est tout à fait

comparable à celle de Petrakian (1,02). Cependant pour être totalement en accord avec Ie
modèle de l'électron libre de Drude, il faut également que le temps de relæration déterminé
par ajustement d.enos résultats (r : 2,97) soit comparable au temps de relaxation calculé
à partir de la conductivité statique, or ce n'est pas le c-q,s.L'ordr^ede grandeur correspond
o)
bien à un métal liquide, cependantle rapport "('-i : ry: 0,60 donné dans Ie
o(uJ m o\u)
tableau 3.7 est très inférieur à la valeur calculée par les autres auteurs sur les mêmes métaux
liquides. Par contre elle est proche des valeurs obtenuespour l'étain solide.
La présence de transitions interbandes, évoquée dans le cas du plomb, ne nous paraît
pas de nature à expliquer I'importante différenceconstatéepour l'étain. Nous pensons que
l'écart par rapport au modèle de Drude est dû à une couchesuperficielle,d'oxyde par exemple.
L'influence de Ia présenced'une couchesur les paramètresmesuréstan {r et cosA fera I'objet
d'une étude détaillée dans la partie consacréeau système Sn-Pb.

C'est par ailleurs pour éviter la formation d'une couche d'oxyde sur un échantillon
flO 3. RESULTATSET INTERPRÉTATIONS

préalablement et soigneusementpurifié ( par dégazagependant 65 heures et nettoyage mé-

canique de 1asurfacependant 20 heures)que Petrakian a travailié sousultra vide plutôt que
sous hydrogène.
3.4. Résultatset discussion I1l

1.0

0.8

e06
c
(d
+t
o.4

o.2

0.0

-0.2

e-04
a
o
o -o.o

-0.8

-1.0
1.5 2.0 2.5 3.0

E(eV)

Figure 3.7: Variation de tan V et cosA avecl'énergie

172 3. RESUL'TATSET INTERPRÉTATIONS

o Ce travail (390'C)
Drude
7
o Helman(335'C)
. Petrakian(261'C)
\q

Y o\
\o
aa b
6
\a
aa
ora

gO \
t)' \ o
5 \
o \O,
o
ra--
'e
o
__l_ a
't
1O
\a
aa
\ ra
a
a

tot
'
a
10 a
c t
aoaot
t o
taa--
\
2 '3 1o
a
'.o '
-t.'

'4.a '
*.i a

Sn -:-a
- -O.ô_
a

1.5 2.0 2.s 3.0

E(ev)

Figure 3.8: Variation de n et k avec I'énergie

3.4. Résultats et discussion l]'.l

50

Ce travail(360"C)
Modèlede Drude
40
Petrakian(261'C)
Hodgson(446"C)
Helman(335"C)
â30
(\I
(,
20

10

-10

\/ -20
q)

-30

-40
Sn
-50
1.5 2.O 2.5

E(eV)
Figure 3.9: Variation de el et €2 avec l'énergie
77'I 3. RÉSULTATS ET INTERPRÉTATIONS

3.5 Alliage étain-plomb

par Kent en 1919 [109]

Les plopriétés optiques de I'alliage étain-plomb ont été mesur-ées
poul trois longueursd'onde0,579p.m, 0,546pm et 0,404pm.
.Nous avonsfait des mesurespour trois concentrations20 aLTo,26,laLToet 60at% du
plomb et à quatre températures200"C, 250"C, 300'C et 350"C.

350

J00

250

q)
200
qr
:
'qi
t50
S
ê(+f
t00

50

0t020 80 90 t00
SN f( deld nasse
Conposilton, Pb

Figure 3.1-0: Diagrammede phasede Sn-Pb.

Le systèmeSn-Pb présenteun diagramme de phaseeutectique simple (figure 3.10). Le

point eutectique a pour température 183,3oCet sa compositioncorrespondà26,latTo en
plomb.
3.5. AIIiase étain-plomb 115

Le volume molaire varie avec la température, et pour le calculer, nous avons utlilisé les
travaux de Crawley [96].

Le volume molaire Vy d':unalliage binaire est donné par la formule :

LVxa:Vnr-Vu.ot

où AVlr est le volume d'excès

ûAA+nBB -' ,freA , frsBr,

I )AvrM
, : -
p* r p"'

et ra et rs sont respectivementles pourcentagesatomiques des élémentsconstitutifs , A et

B sont les poids atomiques,
pe, pB et pee sont respectivementles densitésspécifiquesdesconstituants A, B et de I'alliage
AB.

D'après Crawley, dans le cas de I'alliage étain-plomb, LVy : 0, et pne est déterminé
par :

rAA+nBB
yAb-
(raA+aRB\
\p.a,' Pat

Les résultats obtenus pour r et fi sont donnésdans les tableaux 3.8, 3.9, 3.10.
 20%Pb 350" 300' 250' 200"

n'
,tu
0,50 0,41 0,31 0,22

r ( 1 0 - 1 6 s ) 4,45 4,54 4,62 4,72

théorique

r (10-16s) 3,90 4,28 4,88 6,76

ajusté

Tableau 3.8: Paramètresajustés et theoriquesde Drude pour 20 at% Pb

26,I%Pb 350' 300" 250' 200'

n'
fw
0,58 0,60 0,60 0,59

r ( 1 0 - 1 6 s ) 4,33 4,41 4,48 4,57

théorique

r ( 1 0 - 1 6 s ) 5,75 4,79 5,84 6,38

ajusté

Tableau 3.9: Paramètresajustés et théoriques de Drude pour 26,1atfto Pb

3.5. AIIiage étain-plomb 717

60%Pb 350" 300' 250" 200'

n'
flp
0,72 0,75 0,73 0,74

r ( 1 0 -1 6 s ) 3 , 5 9 3 , 7 5 3 , 7 4 3 , 7 5
théorique

r ( 1 0 -1 6 s ) 3 , 2 7 3,20 3,45 3 , 4 9
ajusté

Tableau 3.10: Par-amètres

ajustéset theoriquesde Drude pour 60at% Pb
 Pour une température fixee ( 350'C) on représente tan V et cosA en fonction de
l'énergie pour trois concentrations(fig 3.11). On constate que les valeurs expérimentales
sont inférieuresà la théorie, et l'écart se creuselorsque la concentration en étain augmente.
La même constatation est valable pour les constantesoptiques n et k (fig 3.12) ainsi que
pour s1 et e2 (fig 3.13).
L'effet de Ia température est plus accentuépour les alliages à forte concentration en
étain, aussibien pour tanV et cosA (fie 3.14) que pour les constantesoptiques (fig 3.15).
Il faut remarquer que pour la formule de Drude théorique, I'effet de la température
s'introduit d'une part par rz, qui dépend de la massevolumique et d'autre part par r qui
dépend de la résistivité.

Nous avons tenté d'ajuster le modèle de Drude sur les donnéesexpérimentales,pour

trois concentrations (dont celle de I'eutectique) et quatre températures, les paramètres
ajustés étant # r. Les résultats sont rassemblés,sous une forme légèrement différente
"t
(S remplacé par ù^ mieux adapté à la discussion)dans les tableaux 3.8, 3.9, 3.10.
"rt
On constate d'abord que les écarts entre les valeurs théoriqueset ajustéessont impor-
tants pour les faibles concentrationsen plomb, aussi bien pour fi que pour r, et ces écarts
diminuent avec l'augmentation de Ia concentration en plomb. Une constatation analogue
est valable pour l'évolution thermique des paramètres,avec une très forte variation pour les
alliagespauvres en plomb. II faut remarquer que la variation desparamètresthéoriquesreste
pius faible.
Il est intéressantde comparer cesvaleursà cellesdu corpspurs. Pour l'étain, # :7,00
e t r : 2 , 9 7 x 1 0 - 1 6 sà c o m p a r e r à l a v a l e u r t h é o r i q ur e: 4 , 9 7 x 1 0 - 1 6 s .P o u r l e p l o m b
e t r : 3 , 2 6 x 1 0 - 1 6 sà c o m p a r e rà l a v a l e u rt h é o r i q u er : 2 , 9 1 x 1 0 - 1 6 s .I l
*:0,93
n'est pas exclu que les écarts observéspour l'alliage puissentêtre imputés à l'existence d'une
couchesuperfi.cielled'oxydes d'étain, beaucoupplus difficile à éliminer que dans le corps pur
par les traitements dejà décrits.

Kent [109] qui a étudié les alliages de plomb avec Cd, Bi et Sn, signale "que traua'i,ller
auecl'alliage Pb-Sn est ertrèmement dffici,Ie", et pense qu'une couched'oxyde se forme au
bout de quelquessecondesà la surfaceen dépit d'une atmosphèred'hydrogène pur.
3.5. AIIiage étain-plomb 119

cos (^) tan (y)

:.éôôèoaoeo
ôèobsbbhràbrbb

a,
o
:l
N
ô
g8 H
m C5 T'
o
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cos (^) tan (y)

iëôôèpoQegi
ôôôèiDôieèôôô

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o
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Figure 3.11: Variation de tan{r et cosA en fonction de l'énergiepour différentesconcen-

trations.
 n (ot) k (')

:
o

N
b
m
o @
i c,l @f
N ('l
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15' c; l,
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o
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o
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n (o) k (')

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u
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Figure 3.L2: Variation de n et /c en fonction de l'énergiepour différentesconcentrations.

 €1 (o)) e, (or)
N
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sè o) o
o

Figure 3.L3: Variation de e1 et e2 en fonction de l'énergie pour différentes concentrations.

r22 s. nÉsutrnrs pr ntrnnpnÉrlrrcIlts

cos (^) tan (ry)

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ë Ào

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tan (y)
AA
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b,i bhoèb,bô

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D
('(J)l\)
('rool
b ooo
ooo
o ooo
-p
@
itt
=
5 o
o
tl
o
o, D

Figure 3.14: Variation de tan V et cosA en fonction de la tempér-ature.

3.5. Alliase étain-plomb

n (ro) k (')

ir
Bco D) oo3
,c "o
too >o
DO )o
)o
to DO
>o to

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m J >o
@
o o-t to
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n (or) k (')

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3. ot.

a O'
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N E o>a
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b c
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o,a

o a ot.

=
5
o-t

o,
o o) C'J t\)
orool
ooo
ô o
ooo

Figure 3.1-5: Variation de n et /c en fonction de Ia température.

 Pour justifier cette interprétation, nous avonsadopté un substrat dont I'indice de réfrac-
tion complexeest calculéà partir de Drude théorique et une couched'épaisseur5nm, 10nm,
15nm et 20nm. Deux cas sont envisagés: une couchetransparented'indice n:7,5 et k : 0
et une coucheabsorbanten:7,5 et /c:0,2, à la longueurd'ondeÀ: 400nm.
Comme nous mesurons directement cosA et tanV, la comparaison se fera sur ces
paramètres.
Les résutats sont donnésdans les tableaux 3.11,3.12.

Les deux tableaux (3.11,3.12) traduisent une tendance: avecune coucheabsorbante,tanV

et cosA varient dans le bon sens. La présencede la couche rapproche les valeurs calculées
de celles effectivement mesurées. Cependant, Ia comparaison ne peut être que grossière :
d'une part nous ignorons si les constantesoptiques de I'alliage sont bien donnéespar la loi
de Drude théorique, et d'autre part les paramètresréels de la coucherestent inconnus.
3.5. Alliase étain-plomb 125

substrat tan iU : 0, 818 cosA : - 0,459

substrat
-r tan \[ : 0, 834 cosA: -0,313
couche5nm

substrat
+ tan ilr : 0. 851 cosA:-0,180
couche10nm

substrat
I
tan ilr : 0. 867 c o s A : - 0 , 0 6 4
couche15nm

substrat
+ tan i[ : 0. 867 c o s A : - 0 , 0 6 4
couche20nm

Tableau 3.11: Substrat et couchetransparented'indice n:1,5.

 substrat tan iU: 0,818 c o s A : - 0 , 4 5 9

substrat
+ tan l[ : 0, 805 cosA: -0,306
couche5nm

substrat
+ tanlU: 0,797 c o s A : - 0 , 1 6 6
couche 10nm

substrat
+ tan ilr : 0, 795 c o s A : - 0 . 0 4 4
couche 15nm

substrat
-r tan ilr : 0,797 cosA : -0,059
couche20nm

Tableau 3.L2 Substrat et coucheabsorbanted'indice n:1,5 - 0,2i

3.6. Conclusion 127

3.6 Conclusion

Le modèle classique de Drude rend assezbien compte de la réalité expérimentale.

Certains auteurs [21, 106, 19] ont cherché à calculer les propriétés optiques des métaux
liquides en faisant appel à un formalisme beaucoupplus complexe. Les conclusionssont les
mêmesdans tous les cas : la théorie de Drude rend bien compte de la réalité expérimentale.
Comme très peu de systèmesont été étudiés expérimentalement,il serait hasardeux d'en
déduire un comportement général. Il est probable que de nombreux systèmes,par exemple
Li-Pb, Mg-Bi.... présentent un comportement qui s'éloignede ce qui est couralnment admis
actuellement. Des études dans ce senssont prévues au laboratoire.
728 3, RESULTATSET INTERPRETATIONS
3.6. Conclusion 129

Conclusion générale

Nous nous sommesproposés dans ce travail d'apporter une contribution à l'étude des pro-
priétés optiques des métaux et alliagesliquides en nous intéressantplus particulièrement aux
métaux polyvalents.
Dans une première étape nous avons mis au point un ellipsomètre spectroscopiqueà
polariseur tournant, pour I'appliquer à l'étude des propriétés optiques des métaux liquides.
L'ellipsomètre à polariseur tournant à trois éléments nous a permis de nous affranchir des
inconvénientsdu montage à polariseur tournant ou à analyseurtournant à deux éléments.

La mise au point de cet appareil a nécessitéune étude détaillee de I'effet des imperfec-
tions des composantsoptiques sur la détermination du couple (if et A) ainsi que la mise au
point d'une méthode de calibrage.
La réduction deserreurs systématiquespar la mesuredouble-zoneet l'évaluation deser-
reurs aléatoiressont baséessur destravaux développésantérieurementau laboratoire [82, 81].

La deuxième partie de notre travail a été de concevoir et de réaliser une cellule de

mesure adapté à l'étude des propriétés optiques des métaux liquides.
Enfin ce dispositif expérimental a été appliqué à l'étude : de l'étain, du plomb et de
I'alliage étain-plomb.

L'interprétation théorique des résultats expérimentaux a été faite en employant la

théorie des électrons libres de Drude. Des méthodes théoriques plus élaborées de calcul
des propriétés optiques utilisant les fonctions de Green 117,2Ll ou le formalisme du pseu-
dopotentiet [106, 19] conduisent à la conclusion que le modèle de Drude est une bonne
approximation. Compte tenu du petit nombre de résultats expérimentaux disponibles à ce
jour, il faut cependant éviter une généralisation hative, et nous pensons que des systèmes tel
que LiPb, MgBi etc... présentant des composésdéfinis ou une transition métal- non métal
pourraient s'écarter notablement du comportement habituellement observé. Dans le cas du
plomb un accord satisfaisant est obtenu entre nos résultats expérimentaux et le modèle de
Drude, contrairement aux résultats d'Inagaki qui interprète l'écart par des transition inter-
bandes. Par contre, pour l'étain, nos mesuress'écartent du modèle de l'électron libre, mais
la présencede transitions interbandes, évoquéedans le cas du plomb par Inagaki, ne nous
paraît pas de nature à expliquer cette importante différence. Nous pensonsqu'elle est prob-
ablement due à l'existenced'une couchesuperficielle.

Les propriétés optiques de I'alliage étain-plomb ont été déterminéespour trois concen-
trations de plomb et à quatre températures.
Malgré la miseen oeuvre d'une atmosphèred'argon très pur et en présenced'hydrogène,
I'alliage Sn-Pb sembleposer des problèmes dont la résolution pourraient progresserpar la
mise en oeuvre d'une analyse fine de la surface du composésolide (Auger, SIMS...) lors de
chaque cycle fusion- solidification.
Nous envisageonsde poursuivre nos études avec d'autres systèmes,en particulier Li-
Pb déjà évoqué et dont les propiétés structurales [112] et thermodynamiques [113] sont
bien connues. Pour cela, il est indispensabled'étendre le domaine de température vers les
valeurs élevées,de I'ordre de 1000"C. L'extension de la gamme spectrale vers I'ultraviolet
(transitions interbandes) et infrarouge (validation des modèles ) est aussi nécessaire.
 131

Annexe A

Polarisation de la lumière

A.1 Généralités

Dans Ia théorie électromagnétiquede Monwell197],une onde lumineuse est composée

des vecteurs champ électrique Ê @,r, z,t) et champ magnétiqu È çr,U, z,t), de même
"
fréquenceet perpendiculairesentre eux. L'onde se propage dans la direction perpendiculaire
au plan formé pu, 7 etÊ.

La polarisation d'une onde se réfère au comportement dans le temps du vecteur qui

représentecette onde, en un point déterminé de I'espace [71, 116, 117]. Pour la décrire,
contrairement à d'autres phénomènes: interférences,diffraction, théorie d'approximation
de I'optique géométrique, I'aspect vectoriel de l'onde est donc nécessaire.La vibration lu-
mineuse est souvent assimilee au vecteur champ électrique Ê l'interaction de la lumière
"ur
avec Ia matière résulte essentiellementde la force exercéepu. Ë sur les électrons, I'action
du champ magnétiqu" F porrrrunt être négligée.

Pour une onde plane monochromatique de pulsation u se propageant dans un milieu

quelconqueselon I'axe ozr le vecteur champ électriquepeut s'écrire dans un système d'axes
orthogonaux :

+
Ê ( * , a ,z , t ) : E * î | Eu a

ou:
Er: A* cos(a,'t- kz | 6r)
 Es : Au cos(rr,'t- kz * 6n)

où: 4r, A, représententles amplitudes des vibrations;

ô", ô, sont les phasesdes vibrations.
k est Ie vecteur d'onde orienté selon la direction de propagation de I'onde.

Avec :

u:2tr ut

t:T )

a)

F-t=l/v---{

b)

Figure 4.1: Propagation d'une onde lumineuse et nature oscillatoire des vecteurs champ
électrique et champ magnétique: a)dépendancespatiale des deux ondesà un instant donné;
b)dépendancetemporelle des ondes en un point de I'espace.
 133

A.2 Polarisation elliptique

Lorsque les phase 6, et 6n sont différentes, la polarisation de la lumière est dite ellip-
tique. En effet I'extremité du vecteur champ électrique Ê aêcrit une ellipse sur un plan
orthogonal à la direction de propagation.

-
Quand la différencede phase O : ôs 6, est comprise entre 0 et zr, I'ellipse est dite
droite (sensdes aiguille d'une montre en regardant dans le faisceau).L'ellipse est dite gauche
si elle est parcourue dans le senstrigonométrique en regardant dansle faisceau(-n < O < 0).

Pour une complète ca,ractérisationde la polarisation elliptique quatre paramètres sont

définis :

o I'orientation dans I'espacedu plan de I'ellipse : définie par le vecteur unité ?, normal
au plan.

o l'orientation de I'ellipse dans son plan, sa forme et son sensde parcours :

- son orientation est représenteepar I'azimut 0 qui est I'angle compris entre entre le
grand axe de I'ellipse et la direction positive de I'axe or; il définit l'orientation de
I'ellipse dans son plan.
-r<ott
7t^71

- sa forme, définie par la quantité e appelée ellipticité, est le rapport du petit axe de

I'ellipse sur Ie grand axe.

b
e: - : tan€
o,
où e est I'angle d'ellipticité.
- son sensde parcours :

ellipse droite, décrite dans le sens des aiguilles d'une montre en regardant dans le
faisceau. Par conventione > 0,
ellipse gauche dans le cas opposé, e ( 0

I'amplitude de I'ellipse qui est :

A:1{16z
734 A. Polarisation de la lumière

o Ia phasetemporelle absoluequi donne la position du vecteur E àt: 0 dans le système

d'axe de I'ellipse.

Polarisation rectiligne :

La polarisation est dite rectiligne si les d.eux composant", du 7 ont même fréquence
a.ret le déphasageO : 0 ou zr.
L'ellipse se réduit alors à un segmentde droite.

Polarisation circulaire

La polarisation est circulaire si les deux composantesdu vecteur champ électrique 7

ont même amplitude Ar: An et un déphasageconstant O : tf . L'extrémité du vecteur
z
champ électrique décrit un cercle de rayon a. Le signe de déphasagedétermine le sens de
parcours du cercle.

Si Q : r f2 on a une polarisation circulaire droite.

Si Q : -T /2 on a une polarisation circulaire gauche.

 v
I
a) =t*-
Av: 0 I

Ex
v
I
b)
Av: I Y

+.
4=l
c)

Ar= I

4:l
d) -vFI
A :0.5 I
v

Figure A.2: Représentationd'une lumière polariseerectiligne. a)le long de I'axe

Ox; b)le
long de I'axe oy: c)a'ec une orientation de 45opar rapport à I'axe ox.
736 A. polarisation de Ia lumière

a)

v v Yy
I I Ir
b) 14, 1,
JS' rl
I 2 34

v
lo
3

")

d)

Figure A.3: Représentationd'une lumière polariséeelliptiquementà gauche: a)composantes

linéairesorthogonales;b) représentationdu vecteursommedes deux composantesaux points
1 à 4; c) matérialisation de I'ellipse décrite par I'extrémité du vecteur somme quand on
legarde dans le faisceau; d) résultante du vecteur champ électrique.
A.3. Relation entre les équations paramétriques et les équations géométriques de I'ellipse 737

4.3 Relation entre les équations paramétriques et les

équations géométriques de l'ellipse

Les composantesdes parties réellesd,uvecteur champ électrique7, sont donnéesdans

le systèmed'axe (or,oy) par :

Et : A, cos(r f ôr) (4.1)

Eu : Ancos(ti_6o) ( A.2)

r : at - kz et A*, Au sont les amplitudes selon les axes r et g.

En éliminant r, on trouve :

e?n|+ a'-nl - 2A, AsuuE"cos

o : A?A?sin
o, (A.3)

où O : 6o- 6, représente le déphasage.

L'expression (A.3) décrit l'équation d'une ellipse inscrite dans un rectangie dont les côtés
sont parrallèles aux axes du repère orthogonal. Les longueurs des côtés sont,2A, selon r et
2An selony.

Une rotation d'angle d fournit les coordonnéesdans le systèmedes axes de I'ellipse :

Er, : Ercos?+Ersin? (4.4)

Eu' : -E' sin 0 t Eo cos' (4.5)

En utilisant l'équation de I'ellipse on a :

o2nl,+ o'ET,: a2b2, (A.6)

et en injectant les équations (A. ) et (4.5) dans (A.6) on obtient :

0 + a2 sifi Qn2,* (o'co"z 0 * b2sin2o)El +2(b' - o2)sin0cosl E,Es:

(b2cos2 o2b2 (A.7)
 Figure 4.4: Ellipse de polarisation

En comparantles coefficientsdeséquations(A.3) et (A.Z), on a :

e'z,
+ el o 2+ b 2 ( A.8)
A7_Ai (o' - u')cos2o (A.e)
2ArAn cos0 (o' - b2)sinzo (A.10)
ArAn sin0 ab (A.11)

Ies paramètres r/ et e sont définient par :

Aî
tan!t : -
As

b
tan e
o,
A.4. CaIcuI du flux lumineux I39

et d'aprèsles équations(4.8) à (4.11) on trouve :

tan20 - tan 2$ cos0 ( A.12)

sin2e sin 2rl sin Q ( A.13)

cos2(t - c o s2 e c o s 2 0 ( A.14)
tan24t
tan O (A.15)
sin20

A.4 Calcul du flux lumrneux

Dans I'eilipsométrie à élément tournant, les anglesiÛ et A sont déterminés à partir du

calcul d'un flux. II existe deux formalismesmathématiques pour y parvenir :

o le formalisme de JONES : il donne I'amplitude du champ qui multipliée par son con-
jueué permet d'obtenir le flux. Si le calcul à partir des matrices de JONES permet de
connaître la phase absolue du vecteur champ électrique, il n'est par contre pas possi-
ble de traiter le cas d'une lumière partiellement polariséeou de tenir compte dans les
calculs d'une éventuelledépolarisationintroduite par le systèmelui-même.

o le formalisme de Mueller : I'emploi des matrices de Mueller permet de réaliser directe-

ment le calcul des flux d'une lumière totalement ou partiellement polarisée.

A.5 Représentation mathématique de ltétat de polar-

isation
A.5.1 Vecteur de Jones

L'état de polarisation de la lumière est entièrementdéterminépa.rles amplitudes et les phases

relatives des composantesd" 7.
I40 A. Polarisation de Ia lumiète

Le champ électrique d'une onde plane transverse peut être représenté par le vecteur
colonne, appelé vecteur de Jones:

fE (t)l ( 4.16)
lÛn(t)J
ou:

E,(t) lA,(t)lei6"(t) (4.17)

En(t) lAr(t)1"t6u?) (A.18)

Expérimentalement, on ne mesure que I'intensité de I'onde, celle-cipeut s'obteniren

additionnant les carrés des amplitudes :

I --< E,E; > + < EnEi > (A.1e)

L.5.2 Matrices de Jones

Un faisceaud.elumière polariséequi se propage à travers un systèmeoptique subit des

changementsde son état de polarisation.

Ce systèmepolarisant peut être décrit par une matrice T, appeléematrice de Jones, à

condition que :

o la lumière soit une onde uniforme, transversalemonochromatique;

o I'interaction avec le système soit linéaire et conservela fréquence;

o seules les propriétés terminales nous intéressent (avant et après la traversée du sys-
tème). Soit un systèmeT,Ê"le vecteur de Jones de la lumière incidente, 7" le

vecteur de Jones de le lumière émergente.

El
ue- lE*l (A.20)
LE.uJ
A.5. Représentation mathématique de L'état de polarisation

IE"''f
---+
uFs - ( A.21)
lE"a'l

Le systèmeétant linéaire, les relations entre les composantess'écrivent sous la forme :

Esn,:TrrE""lT*E"y

E"E':T'yrÛ"tlTwE"s

soit :

lE",'1- (T,, T'c\ I E*l

LE"n,l \4, T* / I,E.ul

c'est-à-dire:
Er: T'8"

':(7; æ)

où ? est la rnatrice de Jones,matrice de dimension 2x2, du système.

La matrice de Jones ? prend souvent une forme particulièrement simple si les axes
des coordonnéessont colinéairesavec les axesprivilégiés du dispositif optique ( direction de
polarisation d'un polariseur, axe neutre d'une lame...).

Si ces derniers tournent d'un angle 0 par rapport aux axes de référence,la matrice de
Jones devient :

T' : R(-?).f .R@)

avecR(0) qui est la matrice de rotation :

tt"',)
^ R (iA-)\:-(sci o
n s0 o
cos|)
r42 A Pnlerieaf.inn da le lrtmiàra

Figure 4.5: Représentationpar les matrices de Jones de N dispositifsoptiques placésen

cascade

Si le système optique est composé d'un nombre N d'éléments caractérisés chacun par-
une matrice de transfert, I'expression (A.5.2) reste valable et nous avons

(A.22)

Il est à noter I'ordre inversedu produit desmatrices : la dernièrematrice ?r du produit

matriciel représentele ptemier élément rencontré par le rayon lumineux.

4.5.3 Vecteur de Stokes

Le calcul de I'intensité lumineuseà partir des matrices de Jonesdonne I'amplitude du

champ qu'il sera nécessairede multiplier par son complexe conjuguépour obtenir le flux. Le
calcul à partir des matrices de Jonespermet de connaître la phaseabsoluedu vecteur champ
électrique, mais pour caractériserune polarisation elliptique trois quantités indépendantes
A.5, Représentation mathématique de I'état de polarisation 743

sont nécessaires.Ces paramètres ont des dimensionsphysiqueset qui sont introduites par
Stolcesen 1852 d'où le nom paramètresde Stokes[115].

Les paramètres de Stokespour une onde plane monochromatiquesont représentéspar

quatre quantités qui ont les dimensionsd'une puissance.

Par déf,nition, le vecteur de Stokes3 s'écrit :

':lll]
ou:

, 9 6: < E ' - ( t )> + < n l ( t ) , ( 4.23)

,s1: < 83ft) (A.24)

Sz : 2 < E,(t)Eo(t) cos(6r(t) - 6"(t)) > (4.25)

53 : 2 < E,(t)E"(t) sin (ôr(t) - ô"(t)) > (A.26)

où < ... > représentela moyennetemporelle.

56 est le flux total de I'onde,
,91est la différencede flux entre les composantesde I'onde polariséesverticalement et hori-
zontalement,
52 est la différencede flux entre les composantesde I'onde polariséeslinéairement, orientées
à +45" et -45o,
,S3représente la différence de flux entre les composantes de I'onde polarisées à droite et à
gauche[116,117].

Ces paramètres ont les dimensions d'une puissane. Seulementtrois paramètres sont
indépendants,on a :

s3:s?+s2t+s! (A.27)
I44 A. Polatisation de Ia lumière

,Ssreprésentele flux total, toujours positif, qui est mesuréexpérimentalement.

L'équation (A.27) caractériseune sphèrede rayon 56, appeléesphère de Po'incaré. Les

paramètres de Stokessont liés aux paramètres d et e ot lt et O par les équations suivantes :

c_
UI ^9scos2ecos20 : -Socos2tls (A.28)
S2 ,56cos2e sin 20 : Sosin2rl cosO (A.2e)
'Sg ,Sosin 2e : Sosin2r/ sin O (A.30)

Les relations (A.28),(4.29),(4.30),montrent la représentationgéométriquesimple des

états de polarisation possibles.

A.6 Polarisation partielle

Dans le cas d'une onde monochromatique, la lumière est totalement polarisée. Par contre
si cette onde traverse des milieux dépolarisantsou si la lumière est naturelle, on est alors
en présencede la lumière partiellement polarisée. Dans plusieurs cas et notamment en el-
lipsométrie, on a de Ia polarisation partielle, composéede lumière polarisée et de lumière
dépolarisée.

La relation (A.27) est satisfaite uniquement dans le cas de Ia polarisation totale. Par
contre pour une onde non polariséeon a :

Sr:Sz:Ss:0 et S ol 0

II convient alors de séparer la lumière en deux composantes, une totalement polarisée et

I'autre non polarisée. La représentationde Stokesseprête bien à la description de la lumière
partiellement polariséeet la définition d'un degré de polarisation.

So : S0r,a,Sor : ,S0r,i s?+s?+s? (A.31)

A.6. Polarisation partielle

où: 56r,est Ie flux de la lumière non polarisée,

,S6pest le flux de la lumière polarisee.

Le degré de polarisation P est déterminé par :

d lo2 r 52a92
o
- : D W _YoL-r"zt"ô ql ( A.32)
,So So
si on utilise les relations (4.28), (A.29) et (4.30) dans l'équation (4.32) on trouve:

p: :t ( A.33)

- Si P : 1 la lumière est totalement polarisée.

- Si P : 0 la lumière est dite non polarisée.
- 0 < P < 1 Ia lumière est partiellement polarisée.

Les différents états sont représentépar :

lumière non polarisée :

+
fl 01l
l
s:srlôl (A.34)

Loj
lumière partiellement polarisêeP : lcos2(tl I f '

f1l
tl
- n l0'l
o:"olol ( A.35)

Lol
lumière polarisée linéairement, P : 1 :

-+: f*t'I
s so (A.36)

Ls-l
lumière polarisée elliptiquement, P : 1 :

3:so
| ,,t;i,*-
l (A.37)

| - sin 2tlt sin0 )

L46 A. Polatisation de Ia lumière

polarisation circulaire,P :1 :

-? f1
^ l0
-S : S o-"10
l ( A.38)

L+1

A.7 Matrice de MUELLER

Dans le cas d'une lumière monochromatiqueet d'un systèmeoptique non-dépolarisant,

la matrice de Mueller M d'rn élémentoptique est une matrice de dimension 4x4 qui s'obtient
à partir de ia rnatrice de Jones? par la relation [116,117]:

M : A( T* AT) A- r (A.3e)

où ? x T est le résultat du produit direct de la matrice de JonesT par T conjuguéeet où A

est :

l1 0 0 1

,: lâ1Î -1
0
( A.40)

Lo i -i 0

Dans le cas plus générald'une lumière parbiellementpolariséeet d'un systèmeoptique

dépolarisant, la matrice de Mueller permet de calculer le flux émergent

_--+ -t
Ér: M S'a (4.41)

où 3o est Ie vecteur de Stokes du faisceau incident et 31 le vecteur de Stokes du faisceau

transmis,
En cas d.'associationde N élémentsoptiques, le produit matriciel de l'expression (4.22) reste
valable et nous avons
---+ -
St : Mx.MN-1 ,'..,'. Mz.Mt' Sa (4.42)
A.7. Matrice de MUELLER 747

A.7.L Matrices de Mueller des principaux éléments optiques

La matrice de Mueller d'un élément optique k sera nol6e Mp:

o matrice de Mueller d'un analyseur ou d'un polariseur supposéparfait:

Mp:MA:Ll2
11331
,î ,,^f ( 4.43)
lô ô o o l
Lo o o oJ
o matrice de Mueller d'un échantillon parfaitement réfléchissant:

Ms: o (A.44)

* : (ro2 + r12)12

Cette constante rc n'apparaîtra pas dans les calculs, elle sera implicitement comprise
dans .Is lors du calcul des flux;

r introduction de Ia matrice rotation:

Le calcul de Ia propagation du flux lumineux à travers des éléments optiques par

I'intermédiaire desmatrices de Mueller sefait dansun systèmed'axes déterminé. Aussi,
lorsque le flux traverseun élément optique tel qu'un polariseur ou un analyseur, il faut
ramener les axes de transmissionsde cesélémentsdans le systèmed'axes de calcul. On
utilisera pour le calcul du flux, une matrice rotation, notée r?(0) et son inverse, notée
R-L(0).

La matrice de Mueller d'un élément k, dont un des axesprivilégiés (a>rede transmission

pour un polariseur) fait un angle 0 avecI'axe Ox du repère de référence (généralement
une parallèle au plan d'incidenceet sa normale), est obtenue par la relation

M n @ ) :n - r @ ) u n R ( ,o ) (4.45)
148 A. Polarisation de la lumière

0 0 0l

li
R (0) :
cos20
- sin20
0
La matrice de Mueller pour une lame de phaseest :
sin20 0 |
cos20 0 |
0 1.1
(A.46)

':li ,l,l 00
10
0
0
cosô
-sinô
(4.47)
 749

Annexe B

Réflexion par les surfaces

El.l Ondes planes monochromatiques polarisées rec-

tilignement

Les ondes monochromatiquespeuvent être caractériseespar un vecteur unique (on

choisit généralement le vecteur champ électrique). Les composantesde ce vecteur peuvent
s'écrire, en notation complexe,sous la forme:

---+
E- Ê o"'<"-Ê'?1 (B.1)

-+
E représentele vecteur caractéristiquede I'onde au point 7 et à I'instant t, c.uest sa
pulsation. Ainsi, en tout point du plan défini par l'équation7.? : Cste,le vecteur E

prend la même valeur à un instant donné t. Une telle onde est appeléeonde plane, Ie vecteur
---+ '=+' 2rn
k (vecteur d'onde) est orienté dans la direction de propagation et son module I k I
est le nombre d'ondel À représentela longueur d'onde du rayonnementdans le vide.

Pour une onde plane se propageant dans un milieu homogèneet isotrope les équations
de Maxwell se simplifient.

En posant :
a +LA | -+ -i,k.
at
I50 B. Réflexion par hessurfaces

Les équations (1.1) et (1.2) prennent la forme:

---+ +
ckA B
È_înÊ. E_ ( 8.2)
a n t?t

----t
Ces deux relations montrent que les vecteurs E , B , /c sont perpendiculaires entre
eux.

E:,-*r*=* ^ 5.t*,o""""

Figure 8.1: Réflexiond'une onde plane sur une interface

La figure (B.1) suggèreque pour I'étude de la réflexion de la lumière sur une interface plane,
deux cas sont à considérer:

- le vecteur champ électrique E est un vecteur du plan d'incidence. L'onde est du type
"p" (comme parallèle).
8.2. Conditions aux limites 75I

- le vecteur champ électrique 7 est perpendiculaire au plan d'incidence. L'onde est

du type "s" (comme "senkrecht"qttisignifie perpendiculaire,en allemand).

Toute autre polarisation peut se décomposerselon cesdeux polarisations particulières.

8.2 Conditions aux limites

Les vecteurs champs électrique E et magnétique fI vérifient les équations de Maxwell

en n'importe quel point du milieu de propagation et, en particulier, à la surfacede séparation
entre deux milieux différents. Ceci impose certainesconditions aux limites qui vont permettre
de relier les valeurs des champs dans les deux milieux. Les équations de Maxwell doivent
être complétéespar les équations de continuité à la surface de séparation. Pour cela on les
écrit sous leur forme intégrale, en utilisant les theorèmesde Gausset de Stolees.

l l^ç^Êû: I"Èâ: I l^ri+{trt ( 8.3)

I I^n^ÈiÀ: l"Èd : -* I IÊ rÀ ( B.4)

( B.5)
IIlÇBav: IIIpdv:Ili,À
(8.6)
lllÇÊav: llÊn:o
dA est un élement de la surface.

+
Les composantes normales d e D e t B

En developpantles équations (B.5) et (8.6), on aboutit aux relations :

---+ +
(Dr- Dz).1i2 : Ps, ( B.7)
(Bl_ î,1.n :0, ( 8.8)

où d est le vecteur unitaire, normal à la surface,dirigé du milieu (1) versle milieu (2).
p" est la densité superficiellede charge.
 B. Réflexion par les surfaces

---)
Si, la densi.tésuperfi'ciellede charge est nulle, les composantesnormales de D sont
cont'inues à trauers la surface de séparati,on.
---+
Les composantesnortnales de È sont toujours cont'i,nuesà trauers la surface de sepa-
rat'ion.

+ +
Les composantes tangentielles de E e t I I

Le developpementdes équations (B.3) et (B. ) conduit aux relations :

-?
'i n (î, -îrl Js t (B.e)
'in(n--r-îrt 0, ( B.10)

avecj" la densité de courant superficielle.

----+
o La composantetongentielle du champ magnétique H subi,tune disconti,nui,té,sauf si'
-
j" :0'

o La composantetangenti,elledrcÊ estcont'inueà trauers Ia surface d,eséparati'on.

Ce sont les conditions aux limites qui permettent de résoudreles problèmes de passage
d'un milieux 1 à un milieu 2.

8.3 Réflexion et réfraction-Relations de FYesnel

La réflexion d'une onde électomagnétiqueet sa transmissionà travers I'interface de deux

milieux homogènessont décrites par les équations de Fresnel qui se déduisent des équations
de Maxwell en considérant la continuité des composantes tangentielles à I'interface.

11.3.1- Lois géométriques de la réflexion et de la réfraction

Considéronsmaintenant la réflexion et la réfraction d'une onde plane.

8.3. Réflexion et réfraction-Relations de fuesnel 153

Faisceauincideot

Irrterfrce

Figure 8.2: Réflexionet réfractiond'une onde plane

So\t (or,oy) I'interface séparantles deux milieux transparents,homogèneset isotropes.

Le faisceauincident est dans le plan (ox,oz) qui est le plan d'incidence (PI). On veut retrou-
vel d'abord les lois géométriquesde la réflexionet de la réfraction à partir des équations de
passage.

----+
Les champs incident Ei, réflécbi rt ettransmisdt s'écrivent:
---)
t-lc, a-lc. z)
Ei: îoei(, (B.11)
-----+
E,: F;"l{,"r-ui a-k!iu-k'! z) (8.12)
--+
a-k'uu-kL z)
Et: î,'"t{r'r-oL , (B.13)
154 B. Réflexion par les surfaces

En écrivant la continuité des composantestangentielle de 7 :

'.-1
E t X -T
Irt
r Df
u.t
DL
Dt ( B.14)
(B.15)

qui doivent être vérifiéespour z : 0 et quelsque soientn et y ;

E-o"*t t Eileu"t : El"tu'r. (B.16)

Cette relationdoit être vérifieeà tout instant, ce qui impose:

u
,,t _
w -w ,,il (B.17)
t-
tua
- çl
tuz -- ; l l tuî, (B.18)

La relation (B.17) exprime que Ia réflexion ou Ia réfraction ne changepas la fréquence

de l'onde.

La relation (8.18) s'écrit en fonction des vitessesde propagation :

9 sio0 : lsin 0//: 9 sin1',

4t,
vx ui U1

soit:
û,sinl : â sin 0" : Â,'sin 0'.

d'oir :
sin I nl
_:
sin â' n
Ce sont les lois de Descartes à la surface de séparation, écrites avec les indices de
réfraction complexe.

8,3.2 Amplitudes de la vibration réflechie et de la vibration

transmise

Pour z : 0 les facteurs exponentiels sont les mêmes pour tous les termes des équations
de passage,de sorte que nous pouvons les omettre et écrire les conditions aux limites pour
8.3. Réflexion et réfraction-Relations de fuesnel 755

--)
les amplitudes. L'égaiité des composantestangentiellesde E et de H entraîne :

----+ +
ELt I u tFt"r ET, (B.1e)
-----+ ---+ ----+.
Ei tDT
Tuu E; (B.20)
+ ----+
tti
"g
----+
+Hi : 4 (8.21)
+
-t -r'iu +Hi : Hi (8.22)

8.3.3 Mode P

E est parallèle au plan d'incidence,et seulela composantede B selon Ia direction og

perpendiculaire au plan d'incidenceest non nulle, de pius on sait qrr" d est lié àÊ purt

: fflÊ1,
lE.l
En appliquant les conditions aux limites on a :

nÛi+ frEi: n'Etu (B'23)

Pour calculer ies coefficientsde reflexion et de transmission,on utilise la relation :

-) + AE
V^f/--€;7 (8.24)
ot

qui donne pour une onde plane

-tî nÊ : ( 8.25)
"tuÊ
en utilisant l'équation (B.19) et avec kr:0 on obtient :

Ie"flEi' kt:hD' kLntE'

J-= ( B.26)
irz nt

comme k'J : -k" on obtient :

- E',):rfiYtf;l;,n'
n(Eo (8.27)
156 B. Réflexion par les surfaces

En posant Er : rpÛi el Et : t p D i et à l'aide des relations (8.23) et (B.27) on déduit :

û, cos?t - û,'cos?
rp: ( 8.28)
û, cos0t * û,' cos0
cosd sin 0/
t^: n-
-sin(g*g/)cos@-e'1' (B.2e)

Si l'incidence est voisine de la normale, on peut assimilerles sinus et les tangentes aux
angleset les cosinusà un, d'où:
n -n
rp: - ( B.30)
ù' +11
2fr
+- ( 8.31)
fr+ht'

8.3.4 Mode S

---)
.E est perpendiculaire au plan d'incidence,la seule composantenon nulle est selon oy
et B est dans le plan d'incidence.
En appliquant les équations de passage,et après simplifications on trouve :

k"Ei+ k',Ei: k:EL ( B.32)

et comme k'): -k" ,

E"- Ei: Lr"t, ( B.33)

En posant par définition : E' : r"Ei et Et : trEi

on déduit :
sin (0 - 0')
rs (B.34)
sin(A+ A')
2sinîtcos?
ts ' (8.35)
sin(0+9)
8.4. Conservation du flux L57

Si I'incidence est voisine de Ia normale, on obtient :

zft
"" - fl,+fl'
t --

Les coefficients de réflexion ro et r" varient en fonction de I'angle d'incidence. Pour

I'onde S, Æ" est toujours plus grand que ,Ro (,R" > ,Ro), sauf dans les cas de I'incidence
normale (A : 0) et de I'incidencerasante (0 : r l2). En outre, d'après l'équation (1.13), on
voitquerp : }Pourd * r' :T,

Pour cette valeur particulière de I'angle d'incidence qui est désigné par 0B (angle de
Brewster) les rayons réfléchi et réfracté sont perpendiculaires. On peut écrire:

û,sin1e: r?'sin0t : û'' cos1e,

d'où:
tan09:Y'
n
Sous I'incidence de Brewster,la vibration parallèle au plan d'incidence n'est pas réflechie.

8.4 Conservation du flux

Le flux d'énergie électromagnétique est égal au flux du vecteur de Poynting:

de module
':,8"
On a d'autre part:
1
ep
avec p,, : I pour les diélectriques. En comparant à o" trouve que ?z : {4, et on en
l,
déduit que:
s: rf-f,"nn,,
158 B. Réflexion par Iæ surfanes

c'est-à-dire que le flux incident est proportionnel à nE2.

Si le milieu est transparent, le flux incident est égal à la somme du flux réfléchi et du
flux transmis.
Pour exprimer la conservation du flux, il faut tenir compte que les sections droites du fais-
ceau incident et du faisceautransmis ne sont pas les mêmes,et que les indices sont différents.

Les flux incident, réfléchi et transmis sont respectivement proportionnels à:

( Sr ): n E2 cosl,

< Sr >- n E2r2 eÆsl",

( Ss ): n E2t2 coslt,

Le facteur de réflexion de la surface est le rapport du flux réflechi et du flux incident,

,l:'s-tt:lrl2, (8.36)
(,S,;)rr/

et le facteur de transmissionest le rapport des flux transmis et incident:

,:#:!::4ftP (B.37)

La conservationde l'énergie s'écrit :

< Si >:1 Sr ) f (,St ),

soit :
R+T:I.

La réflectivité et la transmitivité dépendent de l'état de polarisation de I'onde inci-

dente, d'après les équations de Flesnel.
8.5. Incidence normale 159

8.5 Incidence normale

Pour une incidence normale (A : 0), il n'y a pa'sde différenceentre les ondes s et p, et
Ies formules de Freszel se réduisent à:

n-n'
fl+fr"
2û
6 tr 6t'

Et la réflectanceet la transmittance deviennent alors:

Rp: R" _ ,'ûf r, - f r ' p'

+fr,'
Tp: T" : Afrfr'
@+ù'Y'
8.6 Réflexion sur un milieu absorbant

Pour un milieu absorbant I'indice de réfraction est complexe.Soit â :'t1, - ek, I'indice
de réfraction du milieu absorbant et n,l I'indice de réfraction du milieu 1 (air).

L'application directe de la loi de Descartesdonne:

nl sin 0 : (n - i.le)sin?',

I'angle g'est complexeet il convient donc de reécrire la loi de Descartes:

kL,:1e2":fsindr,

Les équations de FTesneIdeviennent alors:

Ie1*- leu
û
's- (B.38)
k1o1-lcz-'
n?ku - ùzku
-
'P (8.3e)
n?kz*+ ùzlcL,'
 B. Réflexion par les surfanes

où kp et Ie2, sont normaux aux vecteurs d'onde des milieux L et 2. Soit k1, la com-
posante tangentielle du vecteur d'onde :

:
IeL, ,t" ô, :
f Isin t'1,
alors k6 et k4 Peuvent s'écrire:

kL,:l(î",f - k?"]'t, : ltïl' - r?"1'

p, (B.40)

t, : lrif r"- i.k)

k2,:lrï^f - *?"]' - r?"f'
p, ( B.41)

sous incidence normale, les coefficients ro et r" sont égaux :

1- (n - i,k)
,p rs (8.42)
7+(n-i,k)'

R: lrrl':1"'l':ffi, ( B.43)

et la différence de phase à Ia réflexion est :

tang: (8.44)
l-n2-k2'
oÉrÉou*"tt ,u,

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172 LISTE DES FIGURES

3.13 Variation de el et e2 en fonction de l'énergie pour différentes concentrations. 721

3.14 Variation de tantlr et cosA en fonction de la température. r22
3.15 Variation de n et le en fonction de la temprérature. 723

4.1 Propagation d'une onde lumineuse et nature oscillatoire des vecteurs champ
éIectrique et cha,rrp magnétique : a)dépendancespatiale des deux ondes à un
instant donné; b)dépendancetemporelle des ondes en un point de I'espace. 132
A.2 Représentation d'une lumière polariseerectiligne. a)le long de I'a>reOx; b)le
long de I'axe Oy; c)avecune orientation de 45" par rapport à I'axe Ox. 135
A.3 Représentationd'une lumière polariséeelliptiquement à gauche: a)composantes
linéaires orthogonales; b) représentation du vecteur sorlme des deux com-
posantesaux points 1 à 4; c) matérialisationde I'ellipse décrite par I'extrémité
du vecteur sommequand on regardedans le faisceau;d) résultante du vecteur
champ électrique. 136
A.4 Ellipse de polarisation 138
4.5 Représentation par les matrices de Jonesde N dispositifs optiques placés en
cascade L42

B.1 Réflefon d'uné onde plane sur une interface 150

8.2 Réflexion et réfraction d'une onde plane 153
LISTE DES FIGURES L7L

Liste des Figures

1.1 Réflexion normale : interface vide.métal T4

7.2 Va,riation de la conductivité optique et de la polarisabilité en fonction de la
fréquence 24
1.3 relation de dispersion 25
L.4 densité d'état en fonction de l'énergie 31
1.5 Bandes d'énergiedes métaux liquides 42

2 . 1 Réflexion d'une onde par une surface 51

2.2 Schémad'un ellipsomètre à extinction . F '
o+

2.3 57
2.4 Schéma du montage de I'ellipsomètre. 60
2.5 Définition de I'angle Ps . . 69

3.1 Cellule de mesure : vue de face 89

3.2 Cellule de mesure : vue de côté 90
3.3 Coupe de la cellule de mesure 91
3.4 Variation de tan V et cosA avec l'énergie 103
3.5 Variation de n et k avec l'énergie 104
3.6 Variation de e1 et e2 avecl'énergie 105
3.7 Variation de tan V et cos avec l'énergie 111
3.8 Variation de n et k avec l'énergie 11?

3.9 Variation de e1 et €2 o.yecI'énergie 113

3.10 Diagramme de phase de Sn-Pb. 174
3.11 Variation de tan{r et cos en fonction de l'énergie pour différentes concen-
trations. 119
3.12 Variation de n et Ie en fonction de l'énergie pour différentes concentrations. r20