Master Physique Couche Mince Matiere

III - Programme détaillé par matière
(1 fiche détaillée par matière)
Compte tenu des spécificités de la physique des couches minces, il

est indispensable de dispenser des enseignements soutenus, aussi bien
théoriques que pratiques (cours, TD et TP), sur les principes de base
régissant les processus de fabrication des films minces de qualité
technologique, l’obtention du vide très poussé, les techniques d’étude et
de caractérisation de ce type de matériaux.
On estime très utile d’initier les étudiants dès le 3 ème semestre (S3) à
l’art et la méthodologie nécessaires à rédiger et à présenter leurs
connaissances par la réalisation et la soutenance de projets personnels
ayant trait à la critique bibliographique en relation avec les thèmes de
recherche développés au laboratoire Couches minces-interfaces.
En outre, l’unité « Découverte » (Séminaires scientifiques) permettra aux
étudiants de découvrir les récents progrès scientifiques et technologiques
sur les matériaux de basse dimensionnalité.
Le volume de travail personnel que doivent fournir les étudiants est

important et est destiné à consolider leur formation et à développer en eux
un esprit d’initiative.
Intitulé du Master : Physique des couches minces

Semestre : 1
Intitulé de l’UE : UEF
Intitulé de la matière : Interactions rayonnement - matière
Crédits : 4
Coefficients : 1
Objectifs de la formation Décrire ce que l’étudiant est censé avoir acquis comme
compétences après le succès à cette matière.
Compréhension des mécanismes et phénomènes d’interaction entre un matériau et un

rayonnement donné
Prérequis indispensables Sous forme de matières déjà décrites, et/ou d’un descriptif
succinct des connaissances requises pour pouvoir suivre cette matière.
Contenu de la matière : (Références : Livres et polycopiés, sites internet)

A- Notions générales sur les rayonnements
a- Définitions, nature et origine des rayonnements

b- Unités et grandeurs caractérisant les rayonnements ( Energie, longueur d’onde,
intensité, libre parcours moyen, section efficace, champ de rayonnement, énergie
communiquée au milieu, microdosimétrie, radioprotection,…)
c- Dualité onde-particule
d- Aspects ondulatoire et corpusculaire des rayonnements
e- Relations entre énergie et longueur d’onde
f- Classifications des rayonnements
B- Structure de la matière
a- Particules élémentaires ( Leptons, quarks, …)

b- Antiparticules
c- Rappels sur la théorie atomique de la matière
C- Notions fondamentales sur les interactions
a- Interactions élémentaires ( Forte, faible, électromagnétique et gravitationnelle )

b- Modification du rayonnement sous l’action de la matière
c- Modification de la matière sous l’action du rayonnement
d- Transfert d’énergie du rayonnement à la matière
e- Interaction élastique
f- Interaction inélastique
D- Interaction des rayons X avec la matière
Introduction
a- Propriétés des rayons X ( production, détection, mesure )
b- Absorption des rayons X
- Effet photoélectrique, - Phénomène macroscopique ( coefficient d’absorption ),
- Variations du coefficient d’absorption avec la longueur d’onde et le numéro
atomique, - Rayonnement de fluorescence, - Applications
c- Interaction élastique
- Diffusion cohérente ( diffusion de Thomson ), - Pouvoir diffusant, - Amplitude de
diffusion,- phénomène de diffraction, - calcul de la densité électronique
d- Interaction inélastique
- Diffusion incohérente ( diffusion Compton ), - émission de rayonnements
secondaires.
E- Interaction des électrons avec la matière
Introduction
a- Production, détection, mesure
b- Absorption des électrons ( perte d’énergie par ionisation, - perte d’énergie par
émission de rayonnement de freinage )
c- Interaction élastique
d- Interaction inélastique
e- Interaction électron-atome ( facteur de diffusion atomique )
f- Diffusion cohérente
g- Phénomène de diffraction
h- Applications
F- Interaction des neutrons avec la matière
Introduction
a- Le neutron ( - définition, - production, - classification )
b- Absorption des neutrons ( - absorption, - détection, - protection )
c- Interactions neutron-matière
- Section efficace de diffusion, - potentiel d’interaction nucléaire, potentiel
d’interaction magnétique, - réflexion de Bragg nucléaire, - réflexion de Bragg
magnétique, -optique neutronique
d- Applications
- La fission, - Interaction avec les tissus biologiques, - activation par les neutrons
G- Interaction des ions avec la matière
Introduction
a- Interaction ion-atome isolé
- Collisions élastiques, - Diffusion de Rutherford, collisions inélastiques
b- Interaction ion-solide
* Effets sur l’ion projectile
- Perte d’énergie, - interaction ion-ion (collisions élastiques, pouvoir d’arrêt
nucléaire), - interaction ion-électron ( - collisions inélastiques, pouvoir d’arrêt
électronique )
* Effets induits dans le matériau cible
c- Emission ionique des particules
- Pulvérisation nucléaire, - pulvérisation électronique, - pulvérisation potentielle,
émission d’agrégats
d- Implantation ionique
- Parcours moyen projeté, - Déviation standard, - dose d’implantation, - profil de
concentration, - phénomène de canalisation
H- Quelques applications de l’interaction Rayonnement-matière
a- Diffraction des rayons X ( DRX )

b- Diffraction des neutrons ( DN )
c- Diffraction des électrons de faible et de haute énergies ( LEED et RHEED )
d- Microanalyse X
e- Spectroscopie de masse à ions secondaires ( SIMS )
Mode d’évaluation : Contrôle continu

Semestre : 1
Intitulé de la matière : Défauts dans les matériaux
Crédits : 4
Coefficients : 1
Découverte des différents défauts et leur rôle dans les matériaux
Introduction : Défauts et propriétés dans les matériaux solides

i. Défaut – Structure
ii. Défaut – Propriétés
I : Rappels et compléments sur la structure cristalline

1. Introduction
2. Définitions
3. Principaux types de structure cristallines
4. Polymorphisme – Transformations allotropiques
5. Anisotropie cristalline
6. Projection stéréographique
II : Les défauts ponctuels

1. Définitions
2. Les interstitiels
3. Les lacunes
4. Les atomes en substitution
5. Mise en évidence expérimentale
6. Energie de formation et concentration de défauts
7. Applications : Approche microscopique de la diffusion et
coloration des cristaux ioniques
III : Les dislocations

1. Introduction
2. Concept de dislocations
3. Caractérisation d’une dislocation
4. Types de dislocations
5. Mouvements des dislocations
6. Dislocations imparfaites et défauts d’empilement
7. Champs de contraintes et de déformations
8. Forces exercées sur une dislocation
9. Interactions de dislocations
10. Multiplication de dislocations
11. Dissociation de dislocations
12. Méthodes d’observation des dislocations
13. Application : Approche microscopique de la déformation plastique
IV : Joints de grains

1. Définitions
1.1. Paramètres du joint de grains
1.2. Joints de grains - Dislocations
1.3 Joints de grains – Contraintes
2. Caractéristiques géométriques de la désorientation
2.1. Orientation d’un grain
2.2 Axe de désorientation
2.3 Angle de désorientation
3. Classification des joints de grains
3.1. Joints à faible angle
3.2 Joints C.S.L. (Coincidence Site Lattice)
3.3. Réseau ‘O’ et Dislocations primaires
3.4 Réseau DSC et Dislocations secondaires
3.5 Critères de spécialité
V : Surfaces
VI : Ségrégations, amas et précipités

1. Solutions solides et précipitation
2. Amas de surstructures, pré-précipités et précipités

Semestre : 1
/Intitulé de la matière : Propriétés physiques des matériaux
Crédits : 4
Coefficients : 1
Découverte des différentes propriétés physiques des matériaux massifs
1. Généralités
a. Structures cristallines
b. Cristaux et amorphes
c. Imperfections
2. Diffraction des rayons X

a. Production et détection
b. Méthodes expérimentales
c. Applications
3. Propriétés mécaniques
a. Elasticité-plasticité
b. Fluage – fatigue
c. Dureté
4. Propriétés électroniques
a. Thermiques
b. Electriques
c. Magnétiques
d. Optiques
e. Thermodynamique

Semestre : 1
Intitulé de la matière : Thermodynamique et physique statistique
Crédits : 4
Coefficients : 1
Bases fondamentales de la thermodynamique et de la physique statistique appliquées aux

corps solides
Contenu de la matière : (Références Livres et polycopiés, sites internet)
I.Rappels :
I. 1.- Premier et second principes :
loi de Nerst, loi de Kirchoff..
I. 2.- Potentiels Thermodynamiques
Fonction enthalpie, L’énergie libre, l’énergie de Gibss…
II.Equilibre Thermodynamique et lois du déplacement de l’équilibre
II.1 Condition de l’équilibre

Equilibre stable, équilibre instable, équilibre métastable
II. 2- les différents conditions de l’équilibre

-Notion de phases
- composants et constituants
- concentrations
- Potentiels thermodynamiques chimiques
II. 3- Expression de la règle des phases
- Notion de la variance du système
- Détermination des phases à partir des masses des constituants
II. 4- Loi du déplacement de l’équilibre
Loi de modération
III.Etude thermodynamique d’un mélange de deux corps purs
III.1 -Titre et concentrations

-Variance d’une solution. Courbe de solubilité
- Chaleur de dissociation
- Détermination expérimentale des courbes de solubilité
III.2 Solutions Solides
Définition et Propriétés
Mélange à deux composants : Solution homogène, solution non homogène
Alliages
IV .Introduction à la Thermodynamique Statistique :
- problème de l’étude du microscopique sur les bases de la mécanique statistique,

-déterminisme/indéterminisme
V. Phénomènes stochastiques :
-introduction, marche au hasard,

distributions binomiales et gaussiennes,
mouvement Brownien et équation de Langevin,
- paramètre d’ordre, transition
-ordre/désordre, chaînes polymères.
VI.Notions fondamentales :
-notion d’équilibre, valeurs moyennes, fluctuation/configuration,

-principes de la thermodynamique statistique, irréversibilité, espace de phase.
VII-Entropie Statistique:
-notions de théorie de l’information, lien entre information et entropie,

-entropie dans un système simple,
- entropie dans un système plus complexe
VIII- Statistique Classique:
-généralités, hypothèse ergodique, ensembles de Gibbs, statistique de Maxwell-

Boltzmann,
-fonction de partition, lien avec les fonctions thermodynamiques classiques
- Applications: valeurs moyennes, théorème de l'équipartition de l’énergie, théorie
cinétique des gaz
IX- Statistiques Quantiques:

-statistiques quantiques (Fermi-Dirac et Bose-Einstein),
-Maxwell-Boltzmann généralisée, lien avec les fonctions thermodynamiques classiques
- Application aux systèmes chimiques simples : fonction de partition d’un système à
plusieurs constituants indépendants, règles d’additivité, gaz et mélange de gaz parfaits,
équilibre chimique simple

Semestre : 1
Intitulé de la matière : Technologie des matériaux
Crédits : 4
Coefficients : 1
Connaissance des principes techniques d’élaboration des matériaux et des diagrammes

d’équilibre de phases
Introduction
1. Solutions solides
a. Insertion
b. Substitution
c. Solutions ordonnées
d. Phases intermédiaires
2. Diagrammes de phases binaires

a. Bases thermodynamiques
b. Etude expérimentale
3. Changement de phase
a. Germination homogène
b. Germination hétérogène
c. Croissance
d. Diagramme TTT
e. Solidification
f. Purification par fusion de zone

Semestre : 1
Intitulé de l’UE : UEM
Intitulé de la matière : Techniques numériques
Crédits : 4
Coefficients : 1
Maîtrise des méthodes de programmation pour les calculs numériques
- Résolutions d’équations ; résolution de système d’équations

binaires
- Calcul numérique des valeurs et vecteurs propres
- Interpolation numérique
- Approximation de fonctions
- Dérivation numérique
- Equations différentielles à conditions initiales ; équations

Semestre : 1
Intitulé de la matière : Travaux pratiques I
Crédits : 3
Coefficients : 1
Applications pratiques des connaissances théoriques sur l’élaboration et la caractérisation

des matériaux
- Préparation des échantillons (polissage mécanique, polissage

électrochimique, attaque
chimique)
- Microscopie optique
- Microdureté
- Traitements thermiques et solidification

Semestre : 1
Intitulé de l’UE : UED
Intitulé de la matière : Didactique
Crédits : 2
Coefficients : 1
Découverte des méthodes pédagogiques d’approche à la résolution des problèmes de

physique

- Participation active de l’étudiant à sa propre formation.
- Initiation aux techniques de communication
- Initiation à la recherche bibliographique
- Apprendre à rédiger et exposer un projet d’étude donné
- Acquérir une certaine maîtrise de calcul scientifique à l’aide
d’ordinateur

Semestre : 1
Intitulé de l’UE : UET
Intitulé de la matière : Anglais
Crédits : 1
Coefficients : 1
Apprentissage de l’anglais et de la terminologie scientifique
……………………………………………
Anglais scientifique et technique
………… ………………………………
……………………………………………
……………………………………………

Semestre : 2
Intitulé de la matière : Méthodes d’analyse et de caractérisation des solides
Crédits : 4
Coefficients : 1
Prise de connaissance des différentes techniques expérimentales d’étude des matériaux

et maîtrise de leurs principes de fonctionnement et domaines d’application.
Contenu de la matière : (Références : Livres et polycopiés, sites internet).
1. Spectroscopie d’absorption I.R.

a. Spectre de rotation et de vibration
b. Spectrométrie micro ondes et infra rouge
2. Spectrométrie de diffusion
a. Spectre Raman
b. Spectre d’absorption / spectre de diffusion
c. Spectromètre Raman
3. Spectres électroniques des molécules diatomiques

a. Spectre vibro électronique
b. Principe de Frank-Condon
4. Ellipsométrie optique
a. Principe
b. Application aux couches minces
5. Spectroscopie de masse
a. Principe et caractéristiques d’un spectromètre de masse
b. Spectromètres à simple et à double fente
c. Analyse isotopique
d. SIMS : spectromètre de masse des ions secondaires
6. Spectroscopie des R X
a. Production et détection des R X
b. Fluorescence X, EXAFS, ESCA
7. Spectroscopie des électrons

a. Microscopies MET, MET
b. Microscopie à effet tunnel
c. Spectroscopie Auger
d. Applications : géologie, métallurgie
8. Spectroscopie nucléaire
a. Activation neutronique
b. Analyse par faisceaux d’ions : PIXE, RBS
9. Méthodes par Ultra .Sons et électriques

Semestre : 2
Intitulé de la matière : Propriétés tensorielles des solides
Crédits : 4
Coefficients : 1
Compréhension des différentes propriétés physiques des matériaux en utilisant les

tenseurs mathématiques de différents rangs

I- Principes généraux.
I.1- Scalaires, vecteurs et tenseurs de second ordre.
I.2- Transformations des axes, coordonnées, composantes d'un tenseur, produits
de coordonnées.
I.3- Quadrique représentative.
I.4- Intensité d'une propriété dans une direction donnée.
I.5- Propriétés géométriques dans la quadrique représentative.
II- Susceptibilités paramagnétique et diamagnétique.

II.1- Relations générales.
II.2- Energie d'un cristal aimanté.
II.3- Couples et forces.
II.4- Susceptibilité magnétique d'une poudre.
III- Tenseur des contraintes.

III.1- Notion de contraintes.
III.2- Contraintes sous forme tensorielle.
III.3- Quadrique représentative.
III.4- Tenseurs particuliers de contraintes.
IV- Tenseur des déformations.

IV.1- Déformation unidimensionnelle.
IV.2- Déformation bidimensionnelle.
IV.3- Déformation tridimensionnelle.
IV.4- Dilatation thermique.
V- Elasticité. Tenseurs de rang 4.

V.1- Loi de Hooke.
V.2- Notation matricielle.
V.3- Energie d'un cristal déformé.
V.4- Effet de la symétrie cristalline.
V.5- Relations entre les coefficients de Lamé, de Poisson et le module d'Young.
V.6- Compressibilités volumique et linéaire d'un cristal.
VI- Piezoélectricité. Tenseurs de rang 3.

VI.1- Effet piezoélectrique direct.
VI.2- Réduction du nombre de composantes. Notations matricielles.
VI.3- Effet piezoélectrique inverse.
VI.4- Réduction du tenseur à l'aide de la symétrie cristalline.
VI.5- Surfaces représentatives.
VII- Conductivité thermique et électrique.

VII.1- Conductivité thermique et tenseur de la résistivité.
VII.2- Deux cas particuliers d'étude de flux de chaleur.
VII.3- Ecoulement de chaleur dans le cas général.
VII.4- Conductivité électrique.
VII.5- Relations réciproques kij = kji .
VIII- Polarisation électrique.

VIII.1- Relations générales.
VIII.2- Polarisation électrique et aimantation.
  
VIII.3- Relation entre , E et P dans un condensateur à électrodes parallèles.
VIII.4- Energie d'un cristal polarisé.
VIII.5- Force et couple s'exerçant sur un cristal plongé dans un champ électrique.
VIII.6- Champ électrostatique dans un diélectrique homogène anisotrope.
VIII.7- Pyroélectricité et ferroélectricité.

Semestre : 2
Intitulé de la matière : Transformations de phases
Crédits : 4
Coefficients : 1
Compréhension des processus de germination et de croissance des phases, ainsi que

leurs transformations sous diverses conditions

1- Aspects thermodynamiques généraux.
I.1- Cinétique d'une transformation.
I.2- Etat transitoire activé.
I.3- Energie interne d'activation.
I.4- Distribution de l'énergie cinétique.
2- Croissance cristalline et solidification (concepts de base).

II.1- Etat solide et état liquide.
II.2- Interface liquide / solide.
II.3- Germination et croissance.
II.4- Solidification.
3- Classification générale des transformations de phases et problèmes de germination de

la nouvelle phase.
III.1- Introduction.
III.2- Classification générale des transformations de phases.
III.3- Problèmes de germination de la nouvelle phase.
4- Cinétique des transformations dans les métaux et les alliages à l'état solide.
IV.1- Caractères généraux des transformations à l'état solide.
IV.2- Amorçage des réactions procédant par germination et croissance.
IV.3- Théorie classique de la germination.
IV.4- Théorie de la décomposition spinodale.
IV.5- Insuffisances des théories précédentes.
IV.6- Germination homogène et hétérogène.
5- Rôle de l'énergie de déformation élastique et de l'énergie d'interface.

V.1- Cohérence totale, semi-cohérence et incohérence totale.
V.2- Caractéristiques des phase formées par précipitation.
V.3- Structures "modulées".
6- Mécanismes de croissance des cristaux lors des transformations sans diffusion.

VI.1- Transformation "normale".
VI.2- Transformation martensitique.
VI.3- Transformation "massive".
VI.4- Argument thermodynamique de la possibilité de formation de la nouvelle
phase sans diffusion.
7- Types de transformations avec diffusion.

VII.1- Introduction.
VII.2- Précipitation continue.
VII.3- Précipitation discontinue

Semestre : 2
Intitulé de la matière : Diffusion dans les solides
Crédits : 4
Coefficients : 1
Compréhension des différents mécanismes de diffusion des atomes dans les matériaux
pour mieux expliquer leurs propriétés physico-chimiques
I- Introduction.
II- Flux de particules. Equation de Fick.

III- Régime permanent.
IV- Solution de l’équation de diffusion.

IV.1- Couche mince superficielle ou en sandwich.
IV.2- Concentration superficielle constante.
IV.3- Placage: la distribution initiale est dite infinie.
IV.4- Coefficient de diffusion fonction de la composition.
V- Relation entre transfert et diffusion. Equation de Nernst-Einstein.
VI- Nature de la force de transfert.
VII- Variétés des processus de diffusion et généralisation de la loi de Fick.
VIII- Diffusion à l’état solide.

VIII.1- Le flux.
VIII.2- L’équation de transport.
VIII.3- Les couches diffusées.
a) Etat de dépôt.
b) La redistribution.
c) Mesure des couches diffusées.
IX- Conclusion.

Semestre : 2
Intitulé de la matière : Introduction à la physique des couches minces
Crédits : 5
Coefficients : 1
- Acquisition des notions de base sur l’élaboration et la caractérisation des matériaux

sous forme de couches minces ;
- Compréhension des différentes caractéristiques spécifiques des couches minces en
comparaison avec les matériaux massifs, ce qui permettra de mieux expliquer leurs
diverses propriétés physico-chimiques ;
- Avoir une idée plus claire sur l’importance des couches minces et de leurs
nombreuses applications pratiques et technologiques

I- Introduction.
II- Généralités sur les couches minces

1- obtention des couches minces.
2- Paramètres déterminants des couches minces : épaisseur, état du substrat,
température du substrat, vitesse de dépôt, …
3- Caractéristiques des couches minces : condensation, nucléation, croissance,
structures (monocristallines, super réseaux, poly-cristallines, amorphes)
4- Types de couches minces : métalliques, semi-conductrices, diélectriques, …
III- Propriétés des couches minces

1- Mécaniques
2- Electriques
3- Diélectriques
4- Magnétiques
5- Optiques
IV- Applications technologiques des couches minces

1- Décoration
2- Revêtements
3- Métallisation et interconnexion
4- Résistances
5- Condensateurs
6- Composants électroniques (diodes, transistors,…)
7- Circuits intégrés
8- Cellules solaires
9- Optique intégrée, etc.

Semestre : 2
Intitulé de la matière : Méthodes de simulation en science des matériaux
Crédits : 4
Coefficients : 1
Savoir traiter et interpréter, avec logique et rigueur, les données et les résultats obtenus
en utilisant différentes méthodes de calcul

- Potentiel d’interaction empirique
- Système statistique microcanonique
- Système statistique canonique
- Système statistique grand canonique
- Statistique moléculaire
- Dynamique moléculaire
- Méthode Monté-Carlo
- Méthode ab-initio

Semestre : 2
Intitulé de la matière : Travaux pratiques II
Crédits : 3
Coefficients : 1
Applications pratiques des connaissances théoriques sur l’élaboration et la caractérisation

des matériaux
- Diffraction des rayons X (DRX) : Principe de la diffraction ; acquisition et

dépouillement des spectres ; détermination des paramètres de réseaux ;
identification de phases
- Essais de compression
- Module de Young
- Matériaux semiconducteurs : Effet Hall et conductivité électrique

Semestre : 2
Intitulé de la matière : Initiation à la recherche bibliographique
Crédits : 1
Coefficients : 1
Initiation à la recherche bibliographique relative à un thème donné et à sa critique

- Initiation à la recherche bibliographique et à la synthèse d’articles
scientifiques
- Initiation à la rédaction et à la présentation d’un rapport scientifique

Semestre :
Intitulé de l’UE : UET
Intitulé de la matière : Anglais
Crédits : 1
Coefficients : 1
Perfectionnement de l’anglais scientifique et technique
……………………………………………
Anglais scientifique et technique
……………………………………………
……………………………………………
……………………………………………

Semestre : 3
Intitulé de la matière : Méthodes d’analyse structurale et physico-chimique des
couches minces
Crédits : 5
Coefficients : 1
- Maîtrise des principes théoriques des techniques avancées les plus performantes
utilisées dans la caractérisation structurale et physico-chimique des matériaux en couches
minces.
- Manipulations pratiques sur certaines de ces techniques disponibles dans le laboratoire
responsable du parcours et, éventuellement, dans d’autres laboratoires.
1ère année Master (S1 et S2)
I. Diffraction des rayons X en incidence rasante (utilisation du rayonnement

synchrotron)
1. Introduction
2. Rayonnement synchrotron
3. Justificatif de l'incidence rasante
4. Diffraction des rayons X: théorie cinématique
5. Domaine d'utilisation
6. Dispositif expérimental
7. Exemples d'applications
8. Conclusion
II. Spectroscopie d'absorption X (XANES et EXAFS)
1. Introduction
2. Principe de base de l'absorption X
3. Conditions expérimentales et méthode de mesure
4. exemples d'applications
5. Conclusion
III. Spectroscopie de pertes d'énergie d'électrons ( EELS, HREELS )
1. Introduction
2. Principes physiques
3. Instrumentation
5. Conclusion
IV. Microscopies à champs proches
1. Introduction
2. Effet tunnel
3. Principes de base
4. Dispositif expérimental
5. Exemples de résultats
6. Conclusion
V. Spectroscopie de rétrodiffusion d'ions (ISS)
1. Introduction
2. Bases physiques
3. Instrumentation et modes opératoires
4. Cas de la rétrodiffusion Rutherford d'ions (RBS)
5. Concepts physiques
6. Appareillage
8. Conclusion

Semestre : 3
Intitulé de la matière : Technique du vide
Crédits : 5
Coefficients : 1
- Maîtrise des principes théoriques de fonctionnement des techniques de pompage de

vide dans des enceintes de dépôt de couches minces solides.
- Manipulations pratiques sur différents groupes de pompage( pompes à vide primaire,
pompes à vide secondaire poussé, pompes à vide secondaire très poussé) dans le
laboratoire responsable du parcours.

Physique
Master « Sciences des Matériaux »
Parcours « Physique des Couches Minces »
Semestre 3 « S3 »
Matière : TECHNIQUES DU VIDE

(Code : PCM3.2)
I. Généralités
1. Nature générale des gaz
2. Notions de pression
3. Rappel de la théorie cinétique des gaz. Cas des faibles pressions
II. Production du vide

1. Pompes mécaniques pour vide primaire
2. Pompes roots
3. Pompes à fluide moteur
4. Pompes turbomoléculaires
5. Pompes cryogéniques
6. Pompes ioniques
7. Pompes à membrane
8. Pompes sèches
III. Mesure des faibles pressions

1. Choix d'un manomètre et exécution d'une mesure
2. Mesures des pressions partielles
3. Détection de fuites
IV. Huiles pour pompes à vide

1. Huiles hydrocarbones
2. Huiles synthétiques
3. Huiles pour pompes à diffusion, éjecteurs, boosters
V. Réalisation d'une installation à vide

1. Détermination des caractéristiques
2. Calcul des conductances
3. Régimes de flux gazeux dans un appareil à vide
4. Ultra-vide
5. Accessoires d'une installation de vide
6. Dégazage des matériaux utilisés en vide

Semestre : 3
Intitulé de la matière : Elaboration des couches minces
Crédits : 5
Coefficients : 1
- Maîtrise des principes théoriques des différentes techniques physiques et chimiques de

dépôt avancées des couches minces.
- Maîtrise des fondements thermodynamiques de la formation et croissance des couches
minces sur des substrats massifs de diverses natures.
- Utilisations pratiques des procédés d’obtention des couches minces par évaporation
thermique, par pulvérisation cathodique, par voie chimique disponibles dans le laboratoire
responsable du parcours et, éventuellement, d’autres procédés dans d’autres laboratoires.

Physique
Semestre 3 « S3 »
Matière : ELABORATION DES COUCHES MINCES

(Code : PCM3.3)
I. Généralités
II. Evaporation sous vide

1. Mécanisme d'évaporation
2. Sources d'évaporation
3. Préparation des couches minces composées de semiconducteur ou d'alliage
métallique
4. Mécanisme de croissance
III. Pulvérisation
1. Mécanisme de la pulvérisation
2. Taux de pulvérisation
3. Différents modes de pulvérisation
4. Tension d'autopolarisation
5. Schéma électrique et répartition des tensions
6. Circuit d'accord
7. Pulvérisation magnétron
8. Pulvérisation triode
IV. Dépôt par CVD et PECVD
1. Principe de dépôt par CVD
2. Limitation du CVD
3. Dynamique des gaz dans le réacteur CVD
4. Phénomène de transport
5. Mécanisme de dépôt
6. Système de dépôt par CVD
7. PECVD (Plasma Enhanced CVD)
V. Dépôt par faisceaux d'ions
1. Sources d'ions
2. Extraction de faisceaux d'ions
3. Dépôt de faisceaux d'ions secondaires
4. Dépôt de faisceaux d'ions primaires
5. Dépôt par ions plating
6. effet du bombardement ionique
VI. Mécanisme de croissance des couches minces

1. Mécanisme de nucléation
2. Condensation
3. Formation de la couche et croissance
4. Taux de croissance
VII. Méthodes de mesure d'épaisseur des couches minces

Semestre : 3
Intitulé de la matière : Physique des plasmas froids
Crédits : 5
Coefficients : 1
- Maîtrise des principes théoriques de la physique des plasmas et leurs modélisations

(obtention, caractéristiques électriques et optiques).
- Procédés pratiques d’obtention de plasma et applications pratiques dans les dépôts des
couches minces et des traitements de surface dans le laboratoire responsable du parcours
et, éventuellement, dans d’autres laboratoires.

Physique
Semestre 3« S3 »
Matière : PHYSIQUE DES PLASMAS FROIDS

(Code : PCM3.4)
I. Introduction à la physique générale des plasmas.
II. Décharge luminescente dans les gaz.
III. Propriétés électriques des plasmas.
IV. Différents types de plasmas.
V. Diagnostic des plasmas (émission optique et sonde électrostatique Langmuir).
VI. Plasma des procédés (couches minces, PVD et PECVD)
VII. Traitement des surfaces par plasma.
VIII. Modélisation des plasmas.

Semestre : 3
Intitulé de la matière : Nanosciences
Crédits : 5
Coefficients : 1
Compréhension des principes de base des propriétés fondamentales des nanomatériaux,

leur fabrication et leurs applications technologiques

Physique
Semestre 3 « S3 »
Matière : NANOSCIENCES
(Code : PCM3.5)
Principe de base et propriétés fondamentales.
Implications de l’échelle nanométrique sur les propriétés physiques et chimiques.
Méthode d’élaboration des nanomatériaux et des nanoparticules.
Procédés de fabrication des matériaux massifs nanotructurés et des matériaux nanoporeux.
Applications des nanomatériaux.

Semestre : 3
Intitulé de la matière : Recherche bibliographique
Crédits : 2
Coefficients : 1
Recherche bibliographique préparatoire au projet du stage de mémoire de Master en S4.
- Réalisation d’une recherche bibliographique sur un thème

scientifique correspondant au parcours du Master proposé
- Synthèse et rédaction d’un rapport scientifique sur le thème étudié
- Présentation orale du rapport au sein du laboratoire de soutien

Semestre : 3
Intitulé de la matière : Séminaires scientifiques
Crédits : 3
Coefficients : 1
- Séminaires scientifiques portant sur les technologies des micro-systèmes et de l’optique

guidée.
Séminaires scientifiques sur :

- Optique intégrée, guidée
- Microélectronique
- Nanotechnologie
- Propriétés de transport
- Toxicité des matériaux et applications des couches minces
- Microscopie
- Supraconductivité

Semestre : 4
Intitulé de l’UE : Projet de fin d’étude
Intitulé de la matière : Projet de fin d’étude
Crédits : 30
Coefficients : 1
L’objectif principal du projet de fin d’études est de :

- Initier l’étudiant à entreprendre un sujet de recherche scientifique, le développer et le
mener à terme avec succès
- Permettre à l’étudiant de prendre des initiatives personnelles et adéquates pour
surmonter les difficultés susceptibles d’être rencontrées durant la réalisation du projet
- Apprendre à l’étudiant à travailler en groupe
- 1ère année Master (S1 et S2)

- Seuil minimum de crédits à acquérir en S3
Contenu de la matière : (Références : Livres, thèses, mémoires et polycopiés, sites

internet)
Le stage de recherche, tutoré dans un laboratoire de recherche

et/ou de développement (universitaire ou industriel) sous la direction
d’un enseignant référant, sera couronné par la rédaction d’un mémoire
et sa soutenance orale devant un jury spécialisé.
L’évaluation du projet de fin d’étude de Master porte sur :
- la méthodologie suivie lors de la réalisation du travail de recherche,
- les résultats scientifiques obtenus et leur interprétation,
- la qualité de la rédaction du mémoire et de la présentation de l’exposé
oral.
Mode d’évaluation : Soutenance
Intitulé du Master :
Semestre :
Intitulé de l’UE :
Intitulé de la matière :
Crédits :
Coefficients :
Objectifs de l’enseignement (Décrire ce que l’étudiant est censé avoir acquis comme
compétences après le succès à cette matière – maximum 3 lignes).
Connaissances préalables recommandées (descriptif succinct des connaissances

requises pour pouvoir suivre cet enseignement – Maximum 2 lignes).
Contenu de la matière (indiquer obligatoirement le contenu détaillé du programme en

présentiel et du travail personnel)
Mode d’évaluation : Contrôle continu, examen, etc…(La pondération est laissée à

l’appréciation de l’équipe de formation)
Références (Livres et polycopiés, sites internet, etc).

V- Accords ou conventions
Oui : x
NON
(Si oui, transmettre les accords et/ou les conventions dans le dossier papier de la
formation)
LETTRE D’INTENTION TYPE
(En cas de master coparrainé par un autre établissement universitaire)
(Papier officiel à l’entête de l’établissement universitaire concerné)
Objet : Approbation du coparrainage du master intitulé :
Par la présente, l’université (ou le centre universitaire) déclare

coparrainer le master ci-dessus mentionné durant toute la période d’habilitation de ce
master.
A cet effet, l’université (ou le centre universitaire) assistera ce projet en :

- Donnant son point de vue dans l’élaboration et à la mise à jour des programmes
d’enseignement,
- Participant à des séminaires organisés à cet effet,
- En participant aux jurys de soutenance,
- En œuvrant à la mutualisation des moyens humains et matériels.
SIGNATURE de la personne légalement autorisée :
FONCTION :
Date :
LETTRE D’INTENTION TYPE
(En cas de master en collaboration avec une entreprise du secteur utilisateur)
(Papier officiel à l’entête de l’entreprise)
OBJET : Approbation du projet de lancement d’une formation de master intitulé :
Dispensé à :
Par la présente, l’entreprise déclare sa volonté de

manifester son accompagnement à cette formation en qualité d’utilisateur potentiel du
produit.
A cet effet, nous confirmons notre adhésion à ce projet et notre rôle consistera à :
- Donner notre point de vue dans l’élaboration et à la mise à jour des programmes
d’enseignement,
- Participer à des séminaires organisés à cet effet,
- Participer aux jurys de soutenance,
- Faciliter autant que possible l’accueil de stagiaires soit dans le cadre de mémoires
de fin d’études, soit dans le cadre de projets tuteurés.
Les moyens nécessaires à l’exécution des tâches qui nous incombent pour la réalisation
de ces objectifs seront mis en œuvre sur le plan matériel et humain.
Monsieur (ou Madame)…………………….est désigné(e) comme coordonateur externe de

ce projet.
SIGNATURE de la personne légalement autorisée :
FONCTION :
Date :
CACHET OFFICIEL ou SCEAU DE L’ENTREPRISE

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III - Programme détaillé par matière

(1 fiche détaillée par matière)

Compte tenu des spécificités de la physique des couches minces, il

Le volume de travail personnel que doivent fournir les étudiants est

Intitulé du Master : Physique des couches minces

Compréhension des mécanismes et phénomènes d’interaction entre un matériau et un

Contenu de la matière : (Références : Livres et polycopiés, sites internet)

a- Définitions, nature et origine des rayonnements

a- Particules élémentaires ( Leptons, quarks, …)

C- Notions fondamentales sur les interactions

a- Interactions élémentaires ( Forte, faible, électromagnétique et gravitationnelle )

D- Interaction des rayons X avec la matière

E- Interaction des électrons avec la matière

F- Interaction des neutrons avec la matière

G- Interaction des ions avec la matière

H- Quelques applications de l’interaction Rayonnement-matière

a- Diffraction des rayons X ( DRX )

Mode d’évaluation : Contrôle continu

Découverte des différents défauts et leur rôle dans les matériaux

Contenu de la matière : (Références : Livres et polycopiés, sites internet)

Introduction : Défauts et propriétés dans les matériaux solides

I : Rappels et compléments sur la structure cristalline

II : Les défauts ponctuels

III : Les dislocations

IV : Joints de grains

VI : Ségrégations, amas et précipités

Mode d’évaluation : Contrôle continu

Intitulé du Master : Physique des couches minces

Découverte des différentes propriétés physiques des matériaux massifs

Contenu de la matière : (Références : Livres et polycopiés, sites internet)

2. Diffraction des rayons X

Mode d’évaluation : Contrôle continu

Intitulé du Master : Physique des couches minces

Bases fondamentales de la thermodynamique et de la physique statistique appliquées aux

Contenu de la matière : (Références Livres et polycopiés, sites internet)

II.Equilibre Thermodynamique et lois du déplacement de l’équilibre

II.1 Condition de l’équilibre

II. 2- les différents conditions de l’équilibre

III.Etude thermodynamique d’un mélange de deux corps purs

III.1 -Titre et concentrations

IV .Introduction à la Thermodynamique Statistique :

- problème de l’étude du microscopique sur les bases de la mécanique statistique,

-introduction, marche au hasard,

-notion d’équilibre, valeurs moyennes, fluctuation/configuration,

-notions de théorie de l’information, lien entre information et entropie,

VIII- Statistique Classique:

-généralités, hypothèse ergodique, ensembles de Gibbs, statistique de Maxwell-

IX- Statistiques Quantiques:

Mode d’évaluation : Contrôle continu

Intitulé du Master : Physique des couches minces

Connaissance des principes techniques d’élaboration des matériaux et des diagrammes

Contenu de la matière : (Références Livres et polycopiés, sites internet)

2. Diagrammes de phases binaires

Intitulé du Master : Physique des couches minces

Maîtrise des méthodes de programmation pour les calculs numériques

Contenu de la matière : (Références Livres et polycopiés, sites internet)

- Résolutions d’équations ; résolution de système d’équations

Intitulé du Master : Physique des couches minces

Applications pratiques des connaissances théoriques sur l’élaboration et la caractérisation