SERVICE MICROSONDE SUD

Présentation de la Microsonde Electronique

Electron Probe Micro Analyser (EPMA)

I Introduction
L'analyse d'un échantillon par Sonde Electronique (Electron Probe Micro Analysis)
permet d'atteindre une composition. Elle s’appuie pour cela sur la mesure de l’intensité du
rayonnement X caractéristique émis par un élément donné, dans des conditions particulières
d'excitation.
Castaing a été le premier à établir les bases physiques de l'analyse quantitative en
démontrant l'existence d'une relation entre cette intensité et la concentration de l'élément
correspondant . Dans les 40 dernières années, la microanalyse a largement évolué. Si les bases
physiques posées par Castaing sont sensiblement les mêmes, nous avons maintenant à notre
disposition des moyens de calcul performants grâce au développement des calculateurs. Les
différents modèles développés depuis cette date ont permis d'affiner les effets de
ralentissement et de rétrodiffusion des électrons, l'absorption et la fluorescence.
Les modèles les plus récents s'appliquent à des situations de plus en plus complexes et il
est désormais possible de quantifier des éléments aussi difficiles à mesurer que les éléments
légers, des structures complexes telles les couches minces et les échantillons stratifiés.
L’augmentation de la puissance des calculateurs associée à l'amélioration des algorithmes de
calcul, permet, entre autres, le traitement des images quantitatives en temps réel (sur massifs
et films minces) et l'optimisation de la mesure par simulation analytique.

1
II Eléments de base
II. 1 Génération de rayons X sous faisceau d’électrons
Lorsqu’un faisceau d’électrons bombarde une cible, il se produit dans la matière une
diversité d’interactions entre les électrons et les atomes de la cible qui conduisent à l’émission
de signaux caractéristiques, électroniques et électromagnétiques exploités en analyse et
microanalyse X, en microanalyse Auger, en microscopie électronique à balayage ou en
transmission, en spectroscopie X, UV, visible. On admet généralement que le domaine
d’interaction du faisceau avec la matière est un volume hémisphérique (Figure 1). Ce volume
d’interaction est la source d’émission électronique et électromagnétique : les électrons Auger,
les électrons secondaires, les électrons rétrodiffusés, les rayons X, le rayonnement de
fluorescence.

Faisceau d’électrons
incidents d’énergie E0
Electrons Auger
Electrons
rétrodiffusés Electrons secondaires

Rayons X
0.1 à 0.5 µm
caractéristiques
1 µm

Rayonnement de freinage
Fond continu

Fluorescence induite

Figure 1 : Volume d’interaction électrons/matière. Les dimensions indiquées sont des

ordres de grandeur. Elles dépendent de E0 et du numéro atomique moyen de la cible.

II. 2 Formation des rayons X

L’émission X constitue la part du rayonnement électromagnétique dont les longueurs
d’onde sont comprises entre 0.01 nm et 10 nm. Les rayons X possèdent, comme toute forme
d’énergie radiante, un double caractère ondulatoire et corpusculaire. Ils peuvent être assimilés
à un ensemble de particules se propageant à la vitesse de la lumière et dont l’énergie est
donnée par :
hc
E = hν =
λ
où h est la constante de Planck, c la vitesse de la lumière, λ la longueur d’onde et ν la
fréquence de la radiation.
Le spectre de rayons X émis par une cible bombardée par un faisceau d’électrons
convenablement accélérés provient en majeure partie des interactions inélastiques entre
électrons incidents et atomes de la cible. Les raies d’émission X sont produites par transitions
d’électrons entre les niveaux énergétiques de cœur de l’atome. Le spectre X comporte d’une
part le spectre continu constitué par une distribution continue de l’intensité en fonction de
l’énergie, d’autre part le spectre caractéristique représenté par une série de raies d’intensité

2
variable et d’énergie discrète. Ce dernier résulte de l’interaction du rayonnement, ondes et
particules d’énergie suffisante, avec la matière.

II. 3 Spectre continu de rayons X

L’origine du fond continu est liée au ralentissement des électrons dans la cible.
L’émission du fond continu est causée par le rayonnement de freinage ou Bremsstrahlung. En
effet, les électrons traversant la matière sont freinés progressivement par interactions
successives avec les électrons atomiques. La perte d’énergie d’un électron donne naissance à
un photon X d’énergie ΔE, énergie perdue par l’électron. La perte d’énergie cinétique a lieu
par fraction aléatoire pendant le trajet des particules incidentes, et le rayonnement émis forme
un spectre continu de longueur d’onde.
L’énergie ainsi perdue rayonne sous la forme de photons X qui se distribuent suivant un
spectre continu depuis l’énergie zéro jusqu’à E0 (énergie du faisceau incident). La plus forte
contribution à l’émission du fond continu est due aux interactions avec le champ électrique du
noyau. Duane et al. ont présenté la dépendance existant entre l’énergie des éléments incidents
E0 et la longueur d’onde minimale λ0 :
hc
λ0 =
E0
La variation de l’intensité de l’émission du fond continu avec la longueur d’onde, nulle
pour λ<λ0, passe par un maximum pour λ=1.5λ0. Elle croît avec le numéro atomique et avec
l’énergie primaire des électrons. (figure2)

30 keV

20 keV

10 keV

λ (nm)

λ0
Figure 2: Spectre continu de rayonnement X en fonction de l’énergie des électrons incidents
En principe, un électron incident peut perdre toute son énergie sur une trajectoire et elle
représente alors l’énergie la plus probable du fond continu. La probabilité de générer des
rayons X augmente quand l’énergie des électrons diminue. Les pertes d’énergie possibles
varient en conséquence de 0 à l’énergie incidente et les angles possibles de diffusion sont très
nombreux.

II. 4 Spectre caractéristique de rayons X

Au spectre continu, se superpose un spectre de raies dont les énergies sont
indépendantes de l’énergie des électrons incidents. Le spectre caractéristique des rayons X est
issu des transitions s’effectuant entre les niveaux électroniques profonds de l’atome.
Une partie des électrons produit des chocs inélastiques avec la cible. Si un électron
communique assez d’énergie à un atome placé dans un état stable, il peut ioniser un niveau

3
profond de celui–ci et porter l’atome dans un état excité. Les électrons incidents, s’ils sont
suffisamment énergétiques, éjectent un électron d’une couche profonde des atomes de la
cible. C’est le phénomène d’ionisation. Une lacune apparaît sur le niveau interne et l’atome se
trouve dans un état excité. Il revient à un état d’équilibre par le déplacement d’un électron
d’un niveau moins énergétique vers le niveau instable. Cette désexcitation s’accompagne
d’une perte d’énergie égale à la différence d’énergie des deux niveaux mis en jeu. Cette
libération d’énergie s’accompagne:
• de l’éjection d’un électron appartenant à un niveau externe moins lié : c’est l’émission
Auger
• de l’émission d’un photon X dont l’énergie est caractéristique de l’atome ionisé.
Le processus de désexcitation, dont la première étape vient d’être décrite, se poursuit par une
série de transitions électroniques d’un niveau plus externe vers le niveau nouvellement ionisé
jusqu’à ce que finalement son énergie soit abaissée à une valeur approchant celle due à
l’agitation thermique (de l’ordre de l’eV).

Electron
M Auger
Photon X d’énergie
Faisceau d’électrons
E=hC/λ
incident L

Excitation du niveau K Désexcitation par émission Désexcitation par émission

d’une raie Kα1 d’un électron Auger

Figure 3: Principe de formation du rayonnement X et d’un électron Auger.

Si l’ionisation initiale se produit dans le niveau énergétique le plus profond (niveau K),
l’émission des rayons X résultants est identifiée comme une radiation K. Le spectre des raies
K contient plusieurs raies dues aux transitions provenant des différents niveaux L et M, qui
contiennent des orbites électroniques de rayon moyen croissant et dont les énergies de liaison
sont décroissantes. Le niveau L contient 3 sous-niveaux et le niveau M 5 sous-niveaux.(voir
figure 4)

Figure 4 différents niveaux et couches

4
L’émission X est appelée émission caractéristique car l’énergie des raies est spécifique à
l’élément émettant. L’énergie d’une raie X caractéristique augmente régulièrement avec le
numéro atomique de l’atome diffusant, et cela en raison de l’énergie de liaison croissante des
niveaux de cœur. Seuls les électrons de cœur sont mis en jeu, et dans ces conditions, les
énergies des raies caractéristiques sont pratiquement indépendantes de l’état physique et
chimique de l’atome diffusant. Les spectres des raies L et M sont plus complexes que le
spectre des raies K en raison de l’existence de sous-niveaux. Un exemple de spectre de raies
X est présenté figure 5.

Spectre de RX

Fe Ka

Fe Kb
Ni Ka

CrKa
Intensité

Cr Kb

Ni Kb

Mn Ka
Mn Kb

0.9 1 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 1.7 1.8 1.9 2 2.1 2.2 2.3 2.4 2.5 2.6 2.7
Longueur d'onde (Angstroem)

Figure 5: Exemple de spectre de raies X en fonction de la longueur d’onde

III De nécessaires corrections:

Ceci dit, pour quantifier, il faut tenir compte des trois phénomènes suivants:
- le premier est l'Emission X primaire c-a-d l'émission qui va être générée par les
électrons dans l'échantillon. Les électrons qui arrivent sur l'échantillon avec une énergie E0
vont subir des chocs élastiques et inélastiques jusqu'à épuisement total de leur énergie. Ces
chocs vont entraîner une modification de la trajectoire des électrons et une partie de l'énergie
perdue par les électrons incidents sert à ioniser les atomes de la cible, et donc à produire le
rayonnement X. Cette émission X primaire qui est générée dans l'échantillon n'est pas
uniforme; elle est caractérisée par sa distribution.
D'autre part les chocs élastiques peuvent amener les électrons à sortir de la cible, ce sont
les électrons rétrodiffusés. Ces électrons ne vont pas participer à l'émission X, Il y à donc une
perte d'émission. Il faut en tenir compte dans le calcul de l'émission X primaire.
- Le deuxième phénomène est l'Absorption. Une partie de l'émission primaire va être
absorbée dans l'échantillon et ne pourra donc pas être mesurée. La connaissance de la
distribution en profondeur du rayonnement X ou “ Phi-Rho-z ”, est indispensable au calcul
de l'émission X mesurée et donc à la quantification d'un échantillon.
- Le troisième phénomène rencontré est la Fluorescence. L'intensité d'une raie
caractéristique peut être augmentée par fluorescence par un rayonnement X d'énergie plus
élevée qui peut faire partie du spectre continu ou d'une raie caractéristique. Cette émission X
secondaire de fluorescence est donc générée dans un volume supérieur à celui correspondant à

5
l'émission X primaire. Le calcul exact de l'émission X secondaire de fluorescence nécessite la
connaissance de la distribution du rayonnement X primaire.

IV Appareillage

Une microsonde électronique, comme un microscope électronique à balayage, est

constituée d’un canon à électrons, d’une colonne électronique destinée à réduire le diamètre
de la sonde électronique au niveau de l’échantillon, d’un dispositif interne de balayage du
faisceau électronique, de détecteurs pour le rayonnement X, éventuellement d’autres
détecteurs (électrons, photons visibles), et aussi d’un microscope optique.

Colonne électronique

Canon à électrons
Alignement faisceau
Spectromètre

Double Camera couleur

condenseur
Cristal
diffracteur Zoom

Cercle de
focalisation

Entrée échantillon
Objectif
Détecteur électrons
rétrodiffusés

Détecteur à flux gazeux

Echantillon

Figure 6: Schéma d'une microsonde WDS

Le canon à électrons utilise le plus souvent l’effet thermoélectronique, ce qui

correspond tout simplement à un fil de tungstène en pointe (le filament) qui est chauffé par
effet Joule à une température de 2700°K. Les électrons émis par le filament sont accélérés
par le champ électrique qui règne entre le filament (polarisé négativement) et l’anode reliée à
la masse. Ce champ électrique correspond à la tension d’accélération des électrons.

La colonne électronique est constituée de plusieurs lentilles électromagnétiques, dont le

but est à la fois d’obtenir sur l’échantillon un faisceau focalisé de faible diamètre et d’ajuster
l’intensité du faisceau primaire en fonction des besoins.

IV. 1 Spectromètre à dispersion de longueur d’onde.

Un spectromètre à dispersion de longueur d’onde (WDS) est constitué d’un cristal

monochromateur, d’un compteur proportionnel à flux gazeux et d’une chaîne de comptage
(Fig.7 ). La source de rayons X (l’échantillon), le cristal monochromateur et le compteur sont
situés sur le cercle de focalisation ou de Rowland.

6
 Cristal
e-
θ

RX Cercle de Rowland

Echantillon

vers chaine de
compage
Détecteur

Figure 7: Spectromètre WDS

IV. 2Monochromateur.

Lorsque pour une rayonnement de longueur d’onde donnée λ, le cristal se trouve en

position de Bragg, c'est-à-dire lorsque l’angle d’incidence θ rayonnement X sur le cristal ; la
longueur d’onde λ et la distance inter réticulaire d obéissent à la relation 2d sinθ = nλ (n étant
un entier), ce rayonnement est difracté vers le compteur (Fig7)
Ce type de spectromètre à focalisation parfaite et à angle d’émergence constant (c'est-à-
dire qui regarde l’échantillon toujours sous le même angle) est un système mécanique
complexe, et extrêmement délicat à mettre en œuvre (usinage inférieur au micromètre) et
donc coûteux.
Un spectromètre WDS ne peut mesurer qu’une gamme de longueur d’onde restreinte.
Cette gamme dépendra du cristal monochromateur utilisé. Pour pouvoir mesurer l’ensemble
des éléments (Be, U) il est nécessaire d’avoir 4 types de cristaux différents.
Exemple : si on veut mesurer un échantillon contenant du C, Si, Ti, Fe, il est nécessaire
soit d’utiliser un spectromètre muni de 4 monochromateurs, avec changement de cristal après
la mesure de chaque élément (opération longue, qui nécessite une vérification du spectromètre
après chaque changement) soit d’utiliser une microsonde équipée de 4 spectromètres.

Domaine d’analyse (4) Raies X analysables (ordre 1)

Nom du 2d
Cristal (nm) Longueur d’onde
Energie (keV) Raie K Raie L Raie M
(nm)
LiF (1) 0.4026 0.08 à 0.33 14.76 à 3.75 Sc à Sr Te à U

PET (2) 0.874 0.18 à 0.72 6.81 à 1.73 Si à Fe Sr à Ho WàU

TAP (3) 2.575 0.54 à 2.11 2.31 à 0.59 FàP Mn à Mo La à Hg

PC1(W/Si) 6.100 1.83 à 4.42 0.68 à 0.28 C, N, O, F K à Ni La à Ce

PC2 (Ni/C) 9.500 2.36 à 6.74 0.53 à 0.19 B, C, N, O S à Cr

PC3 (Mo/B4C) 14.000 3.10 à 11.62 0.40 à 0.10 Be, B Si à Sc

Tableau 1: Cristaux utilisés en WDS en fonction des raies α et β des éléments à analyser.
(1)Fluorure de Lithium, (2)Pentaérythriol C5H12O4, (3)Phtalate Acide de Thallium
C8H5O4Tl, (4)domaine d’analyse calculé pour un angle de Bragg compris entre 13° et 55°.

7
 IV. 3 Compteur à flux gazeux.
Lorsqu’un photon X pénètre dans le compteur, il est absorbé par effet photoélectrique,
par un atome du gaz, avec émission d’un photo électron. En sortie du compteur on aura une
impulsion électrique dont l’amplitude sera proportionnelle à l’énergie du photon incident. Ces
impulsions auront leur amplitude distribuée suivant une gaussienne en raison du caractère
aléatoire des ionisations dans le gaz.

Argon

Anode
Cathode Haute tension

Fenêtre
d’entrée
RX

Figure8: Détecteur à flux gazeux

IV. 4 Chaîne de comptage monocanal.

La chaîne de comptage consiste en un ensemble d’amplificateurs et d’un analyseur
monocanal permettant de sélectionner l’amplitude des impulsions dans un intervalle centré sur
l’énergie des photons X incidents. En sortie on aura une impulsion de type numérique, qui
pourra être comptabilisée par un compteur numérique.
L’intensité du rayonnement X émis par l’échantillon sera donnée par le nombre d’impulsions
qui arrivent dans le compteur en une seconde.

a. Spectre X émis par la cible

b. Spectre diffracté par le monochromateur

c. Conversion RX impulsions (compteur)

d. Spectre énergétique du compteur

Figure 9: Spectre X et spectre énergétique.

8
V Modèles analytiques de quantification
Le but d'une méthode de quantification est de relier une intensité émise à une
concentration massique et donc de déterminer la concentration CA d'un élément A à partir de
l'intensité mesurée. Cette intensité détectée est donnée par:

Ie = CA.
No
A
. n.
Ω
4π
ε . ω j Pnl . (1 + T KC ).
1
cos α
. Q lA ( E o ). ( ∫ φ ( ρ z ). exp( χρ z ). d ρ z ). (1 + ∑ f c + f FC )
avec
CA la concentration massique de l'élément,
Ν o le nombre d’Avogadro,
A la masse atomique,
n le nombre d'électrons incidents,
Ω l'angle solide de détection,
ε le rendement du détecteur,
ω j
le rendement de fluorescence,
Pn l le poids de la raie,
(1+TKC) les transitions de Coster-Kronig,
α l’angle d’inclinaison de l’échantillon,
Q l A ( E o ) . la section efficace d'ionisation,

(
φ ( ρz ) = f Eo , E j ,α , ∑ Ci )
la distribution en profondeur du rayonnement X primaire
dans l'échantillon,
χ = μ ρ cos ec(θ )
,
μ
ρ le coefficient d'absorption massique,
θ l'angle d'émergence, et
(1 + ∑ f c + f FC ) le facteur de fluorescence pour les raies caractéristiques et pour le
fond continu.

Dans un contexte historique et pour simplifier les calculs, la distribution du

rayonnement X est habituellement exprimée non pas spatialement, mais en fonction,
uniquement, de la profondeur dans l’échantillon. En effet Castaing et Descamps [2], en
mettant au point la méthode du traceur, ont permis de mettre en évidence expérimentalement
la distribution en profondeur du rayonnement X (figure 10). Mais cette simplification a pour
conséquence de limiter les calculs de quantification aux échantillons massifs et aux
échantillons stratifiés (ou présentant des variations en fonction de la profondeur).
Ces dix dernières années, une attention particulière a été portée sur la distribution en
profondeur du rayonnement X. En effet, la forme de cette distribution, comme nous venons
de le voir (si on ne tient pas compte de la fluorescence), contrôle l'intensité mesurée, c'est-à-
dire l'émission X primaire après absorption. Des coefficients d'absorption élevés caractérisent
les rayonnements de faible énergie, et en particulier ceux des éléments légers. Cette
distribution en profondeur est la caractéristique qui permet de quantifier les échantillons
stratifiés ou inhomogènes. Il est important de noter que, pour des conditions expérimentales
identiques, suivant le matériau, et la raie analysée, cette distribution peut varier dans de larges
proportions.

9
 A
B
A

(ρz)
φ
Profondeur massique (mg/cm²)

ρZf ΔρZf
ρZf+1

ρZx

Figure 10: Distribution en profondeur du rayonnement X ( φ ( ρz) ) obtenue par la méthode

du traceur développée par Castaing et Descamps [2]. La distribution du rayonnement
caractéristique de l'élément B (traceur) dans une matrice A est donnée (après correction
d'absorption) par le rapport de l’intensité du rayonnement de l'élément B dans le système
multicouche A-B-A à celle dans le film mince autosupporté.

La quantité mesurée est généralement le rapport de l'intensité d'une raie caractéristique

émise par l'échantillon à l'intensité émise dans les mêmes conditions opératoires par un
témoin de concentration connue, et ceci pour chaque élément présent dans l'échantillon. Ce
rapport d'intensité est appelé couramment K-ratio (KA), ou concentration en première
approximation si on utilise un témoin pur (première approximation de Castaing ).

KA =
I mes
=
( )(
C A . ∫ φ A ( ρ z ).exp( χ A ρ z ). d ρ z . 1 + ∑ f c A + f FC A )
I std ( )( )
∫ φ S ( ρ z ).exp( χ S ρ z ). d ρ z . 1 + ∑ f c S + f FC S
Pour des tensions d'accélération supérieures à 10kV, pour des raies caractéristiques
d'énergie supérieure à 5keV et pour des matériaux dont le numéro atomique moyen est voisin
du témoin pur, la concentration calculée à partir de ce rapport est une approximation correcte
de la concentration CA. En revanche, pour les éléments légers dont le coefficient d'absorption
peut être très important, le K-ratio peut être très différent de la concentration CA, il en est de
même pour des matériaux contenant des éléments de numéros atomiques très différents.
L'utilisation de témoins permet d'éliminer les facteurs suivants: angle solide, efficacité du
spectromètre, poids de la raie, rendement de fluorescence, section efficace d'ionisation et
transitions de Coster-Kronig (en partant de l’hypothèse qu’il n’y a pas d’effets chimiques
susceptible de faire varier ces facteurs).

10
VI Aspects pratiques de la microanalyse

VI. 1 mode d’utilisation

Si à l’origine, la microanalyse a été développée dans le but essentiel de fournir
une information quantitative ponctuelle, l’aspect “ imagerie ” a pris une importance de plus en
plus grande.
- mode ponctuel. En positionnant à l’aide du microscope électronique à balayage
ou du microscope optique, la sonde sur la phase à analyser, on peut obtenir la composition
élémentaire dans un volume de l’ordre du micron cube.
- mode “ traversée ” ou “ profil ”. En déplaçant linéairement le faisceau
électronique, ou l’échantillon, et en mesurant la variation de l’émission X d’un élément
donné, on obtient le profil de concentration correspondant. Ce mode d’utilisation est en
général qualitatif. Ce mode peut être quantitatif, mais nécessite un échantillon parfait sur tout
le déplacement.
- mode image. C’est le mode habituel du microscope électronique à balayage. On
peut ainsi obtenir l’image de la distribution des éléments de l’échantillon. Ce mode peut être
qualitatif, ou quantitatif et visualisé en pseudo couleur. Une image X complète quantitative
nécessite une à deux heures de mesures avec une sonde WDS.

VI. 2 Analyse qualitative

La mesure d’un spectre permet de préciser la nature des éléments en présence.
L’intensité des raies donne une estimation de la concentration. Dans les cas simples, cette
estimation sera de l’ordre de 20%. Dans les cas complexes, par exemple les éléments légers
on ne peut que donner un ordre de grandeur.

VI. 3 Analyse quantitative

Nécessite des conditions de préparation d’échantillon, et des conditions
opératoires draconiennes.
- échantillon massifs. La microanalyse par sonde électronique est capable de
quantifier avec une incertitude de l’ordre du % ou mieux les échantillons massifs.
- échantillon stratifiés. Il est possible également de quantifier en concentration et
en épaisseur les différentes couches d’un échantillon composé de couches de matériaux
différents. La profondeur maximale analysée sera de l’ordre d’une dizaine de microns. Des
couches d’une épaisseur monoatomique peuvent être quantifiées en concentration et en
épaisseur.

VI. 4 conditions opératoires

- Choix de la tension d’accélération. Cette tension d’accélération (HT) devra être
choisie de manière à exciter tous les éléments de l’échantillon. Le volume analysé est
proportionnel à la tension d’accélération, et en première approximation le volume excité
double tout les 5 keV. L’intensité émise sera également proportionnelle à cette tension (très
grossièrement si le volume double, l’intensité mesurée double). On augmente la sensibilité en
augmentant la HT, mais on perd en résolution spatiale.

11
 - Choix de l’intensité du faisceau électronique. L’intensité du faisceau
électronique doit être suffisante pour que le signal X soit statistiquement significatif. Quant
on augmente l’intensité électronique, le diamètre de la sonde augmente, on a donc une perte
de résolution (faible comparée à la HT). On ne peut augmenter indéfiniment l’intensité du
faisceau électronique, car il y aura destruction de l’échantillon.

VI. 5 Préparation de l’échantillon

Pour l’analyse quantitative il est nécessaire d’avoir un échantillon poli
optiquement. Une surface rugueuse (au sens microscopique, c-a-d des défauts de planéité de
l’ordre du micron) entraîne des modifications importantes de l’émission X primaire et donc
des concentrations calculées. Pour les échantillons isolants il est nécessaire d’effectuer une
faible métallisation de surface, afin d’établir la continuité électrique entre l’échantillon et la
masse de l’appareil (le faisceau électronique étant un courant électrique).
Le document http://www.gm.univ-montp2.fr/spip/IMG/pdf/formEPMA-2.pdf
détaille la préparation à l’analyse par microsonde électronique.

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