LA MESURE DES ETATS DE SURFACE

1. Introduction

1.1. Généralités

La mesure des états de surface consiste à caractériser la micro-géométrie d’une surface.

Un profil d’état de surface sera décomposé en écarts géométriques de 4 ordres :
Ordre 1 : Ecarts de forme

Ordre 2 : Ecarts d’ondulation

Ordre 3 : Ecarts de rugosité périodique ( Stries , sillons )

Ordre 4 : Ecarts de rugosité apériodique ( Arrachements , fentes , piqûres )

On s’intéresse aux ordres 2 , 3 et 4. La seule méthode reconnue par les normes consiste à enregistrer un profil à
l’aide d’un instrument à contact puis à en effectuer son traitement.
On pourra consulter le tableau ci-dessous qui donne la liste des normes sur les états de surface.

Référence Date de Titre

publication
NF EN ISO Mars 1998 Spécification Géométrique des Produits (GPS)
3274 Etat de surface : Méthode du Profil
Caractéristiques nominales des appareils à contact (palpeur)
NF EN ISO 1997/98 Spécification Géométrique des Produits (GPS)
4287 Rectificatif Etat de surface : Méthode du Profil
technique Termes, définitions et paramètres d’états de surface
NF EN ISO Mars 1998 Spécification Géométrique des Produits (GPS)
4288 Etat de surface : Méthode du Profil
Règles et procédures pour l’évaluation de l’état de surface
NF EN ISO Etat de surface : Méthode du Profil : Etalons
5436-1 Août 2000 -1 : Mesures matérialisées -2 : Etalons
ISO/DIS 5436-2 logiciels
NF EN ISO Décembre 1999 Imperfections de surface - Termes, définitions et paramètres
8785
NF EN ISO Mars 1998 Spécification Géométrique des Produits (GPS)
11562 Etat de surface : Méthode du Profil
Caractéristiques métrologiques des filtres à phase correcte
NF EN ISO Mars 1998 Spécification Géométrique des Produits (GPS)
12085 Etat de surface : Méthode du Profil Paramètres
liés aux motifs
NF EN ISO 2002 Dessins Techniques Indication
1302 (1) des états de surface
NF EN ISO Mai 2000 Spécification Géométrique des Produits (GPS)
12179 Etat de surface : Méthode du Profil Etalonnage
des instruments à contact (palpeur)
NF EN ISO Mars 1998 Spécification Géométrique des Produits (GPS)
13565-1 Etat de surface : Méthode du Profil : Surfaces ayant des propriétés
NF EN ISO Mars 1998 fonctionnelles différentes suivant les niveaux
13565-2 Partie 1 : Filtrage et conditions générales de mesurage
NF EN ISO 1998 Partie 2 : Caractérisation des hauteurs par la courbe du taux de longueur
13565-3 portante
Partie 3 : Caractérisation des hauteurs utilisant la courbe de probabilité de
matière pour des surfaces ayant deux composantes verticales aléatoires
(1) En cours de publication
(2) En cours de révision

1.2. Indication sur les dessins de définition (ISO 1302-2002)

L’analyse des fonctions telles que Frottement , Glissement , Roulement , Contrainte , Etanchéité , Aspect , doit
permettre de satisfaire des caractéristiques géométriques telles que rugosité et ondulation de surface.

a : S’il y a une seule exigence d’état de surface ( Rt 6,8 ) préciser ici

sa valeur maximale en µm
b : S’il y a plusieurs exigences d’état de surface indiquer :
- la 1ère exigence à la position a
- la 2ème exigence à la position b et ainsi de suite
c : Procédé de fabrication en toutes lettres ( meulé, fraisé en bout etc)
d : Orientation des stries de surface
e : Surépaisseur d’usinage sous forme numérique en mm

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 1.3. Les appareils de mesure (ISO 3274)
On utilise des profilomètres.
On tire sur la surface un palpeur muni d’un stylet fin équipé d’une pointe en diamant.
Pour faire une bonne mesure, tenir compte de tous les paramètres liés aux appareils :
Environnement (éviter les vibrations )
Rayon et angle de la pointe en diamant ( 2µm )
Pression de palpage ( 10 –3 N)
Course de palpage ( 120 mm maxi )
Vitesse de palpage ( 0,5 et 1 mm/s )
Amplitude verticale du palpeur ( ± 500µm )
Résolution de l’appareil :
- Verticale : 16 nm
- Horizontale : 0,25 µm
Réglage du gain
Différentes caractéristiques à mesurer
Modes de filtrage (paramétrables)

1.4. Les Méthodes

1.4.1. La Méthode de la ligne moyenne :

Après avoir retiré la forme du profil total, on opère un filtrage du profil mesuré pour l’analyser. Le filtre génère
une ligne moyenne d’où le nom de la méthode.

Plusieurs types de filtres sont normalisés

- Filtres électriques de type RC , les plus anciens que l’on trouve sur les anciens appareils. Ils
introduisent une déformation et un déphasage dans le signal. Leur emploi tend à disparaître au profit
des filtres gaussiens.
- Filtres gaussiens, issus des technologies numériques. Ils évaluent les composantes de rugosité et
d’ondulation en un seul filtrage sans introduire de déphasage. On distingue ci-dessous le profil réel en
noir du profil filtré en rouge.

Certains appareils sont munis de patins. Le patin a pour but de filtrer mécaniquement l’ondulation et
certaines vibrations. Son emploi est à éviter, car mal utilisé, il peut amplifier anormalement un signal

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 1.4.2. La Méthode de la ligne enveloppe supérieure
Cette méthode, mise au point en France par l’industrie automobile qui en a généralisé l’utilisation, est
également dite méthode des motifs. On applique un algorithme de type « Reconnaissance de forme sur le profil
mesuré pour en évaluer les différents écarts géométriques.
Le système de la ligne moyenne n’est pas toujours adapté à la caractérisation de certaines surfaces car ne
prenant pas en compte leurs fonctionnalités. Pour avoir une approche fonctionnelle, il faut tenir compte des parties
actives de la surface orientées vers l’extérieur de la pièce.

1.4.3. La Méthode de la courbe de portance ( ISO 13565 )

Le taux de longueur portante est le rapport entre la somme des longueurs portantes du profil à une
profondeur donné c, et la longueur d’évaluation.
La courbe de portance décrit la variation du taux de longueur portante en fonction de l’augmentation de
la profondeur du profil de rugosité.
Cette courbe est utilisée pour prévoir la tenue à l’usure d’une pièce suivant trois critères :
Le critère de rodage où les pics les plus saillants vont être usés et disparaître pendant les premières heures
de fonctionnement. L’absence de ce critère limitera d’autant le temps de rodage d’un moteur.
Le critère de fonctionnement, qui représente la quantité de matière disponible à l’usure. Plus cette quantité
est disponible, plus un moteur fonctionnera longtemps.
Le critère de lubrification qui détermine les creux disponibles et toujours utiles pour retenir un
lubrifiant. L’absence ou la disparition des creux entrainera le grippage d’un moteur.

Ces paramètres permettent une caractérisation complémentaire de la microgéométrie des surfaces.

1.5. Les Paramètres (ISO 4287, 12085, 13565)

Parmi la cinquantaine de paramètres différents permettant de caractériser les états de surface, tous ne sont pas
normalisés, d’autres comme Rz , Ry ou Rm ont disparu et d’autres sont normalisés mais non utilisés.
Devant le choix important, les critères les plus utilisés sont Ra ou R ce qui dans beaucoup de cas satisfait
plus le dessinateur que la fonction de la surface.
Seules l’expérience et la connaissance de la fonction permettent de choisir les paramètres significatifs et
les tolérances à y affecter.
Le tableau "Relation entre la méthode des motifs et la fonction des surfaces ci-dessous peut être
consulté.

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2. Les différents Types de Profils (ISO 3274)
Le Profil Brut : Profil résultant de l’intersection de la surface et d’un plan spécifié
Axe X = direction de palpage
Axe Z = axe d’enregistrement des écarts ( >0 vers l’extérieur de la matière )
L’unité d’avance guide le capteur selon une référence rectiligne.
Les écarts de parallélisme entre la génératrice de la pièce et la référence de guidage de l’appareil apparaissent sur
ce profil.

Le Profil Primaire : Profil issu du profil brut après application du filtre de longueur d’onde courte λs qui sépare
les composantes de rugosité des composantes d’onde encore plus courtes (arrachements) présentes sur la surface
et après optimisation aux moindres carrés qui redresse le profil brut. Il est la base du traitement numérique du
profil au moyen d’un filtre de profil et du calcul des paramètres.

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Le Profil de Rugosité : Profil dérivé du profil primaire par suppression des composantes de grande longueur
d’onde (ondulation) en appliquant le filtre de profil λc qui sépare les composantes de rugosité des composantes
d’ondulation. Ce profil est intentionnellement modifié et sert de base à l’évaluation des paramètres de rugosité.

Le Profil d’ondulation : Profil dérivé du profil primaire par application successive des filtres de profil λf et λc
supprimant ainsi les composantes de très grande longueur d’onde à l’aide du filtre de profil λf et les composantes
de faible longueur d’onde à l’aide du filtre de profil λc. Ce profil est intentionnellement modifié et sert de base à
l’évaluation des paramètres d’ondulation.

3. Le Filtrage (ISO 11562)

On utilise un filtre de profil qui sépare le profil en composantes de longueur d’onde longue
(ondulation 0,1mm < λ < 10mm ) et en composantes de longueur d’onde courte ( rugosité 0,1µm < λ < 10µm )

3.1. Caractéristique de transmission de la composante de profil à longueur d’onde

longue
La caractéristique du filtre faisant passer
l’ondulation et retenant la rugosité correspond à
l’équation suivante :

a0 = amplitude d’un profil de rugosité sinusoïdal

avant filtrage
a1 = amplitude de la ligne moyenne de ce profil
sinusoïdal
λco = longueur d’onde de coupure du filtre de profil (
co = cut-off )
λ = longueur d’onde du profil sinusoïdal

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 3.2. Caractéristique de transmission de la composante de profil à longueur d’onde
courte
La caractéristique du filtre faisant passer la rugosité et retenant l’ondulation correspond à l’équation suivante

a2 = amplitude d’un profil de rugosité sinusoïdal

On retiendra que, en utilisant un filtre dont la longueur d’onde de coupure vaut 0,8mm sur un profil ayant une
longueur d’onde de 0,8 mm , ce filtre ne transmet que 50% de l’amplitude de ce profil.

3.3. Bande de transmission des profils

C’est la bande des longueurs d’onde d’un profil sinusoïdal qui sont transmises à plus de 50% lorsque deux filtres à phase
correcte de longueur d’onde de coupure différentes sont appliqués au profil.

Filtre de profil λs : filtre qui sépare les composantes de rugosité des composantes d’onde encore plus courtes (arrachements)
présentes sur la surface

Filtre de profil λc : Filtre qui sépare les composantes de rugosité des composantes d’ondulation

Filtre de profil λf : Filtre qui supprime les composantes de très grande longueur d’onde en laissant passer les composantes
de faible longueur d’onde (ondulation)

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Les valeurs normalisées des longueurs d’onde sont les suivantes :
0,0025 / 0,008 / 0,025 / 0,08 / 0,25 / 0,8 / 2,5 / 8 / 25 mm

Pour qu’un profil de rugosité soit correctement calculé après application des deux filtres λs et λc le pas de la
rugosité AR doit être compris entre λs + ∆ et λc-∆ .

La valeur de ∆ peut être déterminée grâce au graphique ci-dessous que montre la zone d’incertitude de la
caractéristique d’un palpeur de rayon 2µm.

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Remarque : La longueur de base est égale à la longueur d’onde du filtre de profil λc
Longueurs de base pour le mesurage de Ra, Rq, et pour les courbes et paramètres associés de profils non-périodiques
Mesure de Ra Longueur de base de la rugosité Longueur d’évaluation de la rugosité
µm
0,006<Ra<0,02 0,08 0,4
0,02<Ra<0,l 0,25 1,25
0,l<Ra<2 0,8 4
2<Ra<10 2,5 12,5
10<Ra<80 8 40

Longueurs de base pour le mesurage de Rz, Rv, Rp, Rc, Rt de profils non-périodiques
Mesure de Rz Longueur de base de la rugosité Longueur d’évaluation de la rugosité
µm
0,025<Rz<0,l 0,08 0,4
0,l<Rz<0,5 0,25 1,25
0,5<Rz<10 0,8 4
10<Rz<50 2,5 12,5
50<Rz<200 8 40

Longueurs de base pour le mesurage des paramètres R de profils périodiques et de Rq de profils périodiques ou non-
périodiques
Mesure de Rq Longueur de base de la rugosité Longueur d’évaluation de la rugosité
µm
13<Rq<40 0,08 0,4
40<Rq<130 0,25 1,25
130<Rq<400 0,8 4
400<Rq<1300 2,5 12,5
1300<Rq<4000 8 40

Les différentes longueurs d’exploration sont fonction de la longueur d’onde de coupure du filtre λc
Longueur d’onde
de coupure 0,08 0,25 0,8 2,5 8
λc (mm)
Longueur
d’évaluation par 0,4 1,25 4 12,5 40
défaut (mm)

Récapitulatif :

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 où N est le nombre de points de la surface
Zi est la distance entre l’altitude H du point et la plan médian de la surface.

1 é j =10 j =10
ù
RZ = ê å J å LJ ú
H -
10 ë j =1 j =1 û
Où H1 à H10 sont les 10 plus grandes hauteurs supérieures entre le plan médian et 10
points de la surface.
L1 à L10 sont les 10 plus grandes hauteurs inférieures entre le plan médian et 10
points de la surface.

Rt = Rp + Rv

Où Rp est la plus grande hauteur supérieure entre le plan médian et un point de la

surface.
Rv est la plus grande hauteur inférieure entre le plan médian et un point de la surface.

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4. Exemple d’application :

Les images suivantes sont obtenues avec le microscope interférentiel

Veeco.
Les filtres utilisés sont : 0,025mm; 0,08 mm; 0,25 mm.
Quels sont les filtres (passe-bas, passe-haut ou passe bande) utilisés
pour obtenir les trois images suivantes ? Précisez les longueurs
d'ondes de coupure.
A quelle valeur estimez-vous la rugosité Ra ?
Quel est l'ordre de grandeur de l'ondulation en amplitude?

(1) Ra = 3,7µm Rt = 15,1 µm (2) Ra = 0,3 µm Rt = 7,4 µm (3) Ra =1,0µm Rt = 11,4 µm

Image 1 Image 2 Image 3

Filtre
λCOUPURE

D’où Ra =
Ondulation =
Forme =

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