MICROSCOPIO

ELECTRÓNICO DE BARRIDO
CON ANALIZADOR DE
ENERGÍAS (SEM/ESEM-EDS)
 EL MICROSCOPIO ELECTRÓNICO
DE BARRIDO
• CONCEPTO: El microscopio electrónico de barrido
(scanning electron microscope, SEM) se basa en la
obtención de una imagen de la muestra a partir del barrido
de la misma con un haz de electrones, como resultado de
las interacciones entre los electrones incidentes y la
muestra.
 PARTES DE SEM
• El SEM se compone de varios elementos básicos:
• un cañón de electrones con un filamento emisor de electrones,
• lentes magnéticas que dirigen y focalizan el haz de electrones sobre
la muestra,
• sistema de barrido,
• portamuestras móvil y con giro universal,
• sistemas de obtención de la imagen y de análisis.
a) Estructura
interna del SEM-
EDS.
b) Fotografía general del SEM (ESEM Quanta 200 FEI, XTE 325/D8395). C) Detalle
de la introducción de una lámina delgada en el portamuestras.
 OBSERVACIONES:
• Para analizar una muestra en el SEM se requieren generalmente
condiciones estrictas de vacío en el interior del microscopio, ya que
de lo contrario los electrones pueden ser dispersados por las
moléculas de aire.
• Los mejores resultados se obtienen con muestras conductoras o
convertidas en conductoras mediante un recubrimiento pelicular con
un material conductor (generalmente, grafito; pueden emplearse
también oro o aluminio).
• No obstante, actualmente existen microscopios electrónicos que no
precisan ni recubrimiento de la muestra ni alto vacío en la cámara.
Son los denominados microscopios electrónicos ambientales
(Environmental Scanning Electron Microscope, ESEM).
 FUNCIONALIDAD
• Se da por las interacciones entre los electrones incidentes y la
muestra, originando la emisión de electrones secundarios, de
electrones retrodispersados (la cual veremos en la figura de las
siguientes diapositivas) y de rayos X característicos de los
elementos presentes en la muestra (para el análisis químico
cualitativo y, en algunos casos, semicuantitativo).
• En el SEM, diferentes detectores amplifican la señal emitida por la
superficie de la muestra cuando es barrida por un delgado haz de
electrones.
• La intensidad de la señal amplificada es visualizada en una
pantalla de televisión convencional.
 ¿CÓMO SE DAN ESTAS
INTERACCIONES?
• Las interacciones entre los electrones incidentes y los átomos de la muestra
se clasifican en elásticas, inelásticas y emisión de radiación de frenado.
• Las colisiones elásticas modifican la trayectoria de los electrones incidentes.
• Las colisiones inelásticas provocan una pérdida de energía.
¿Y QUE PRODUCEN ESTAS COLISIONES?
• Los electrones secundarios (secondary electrons, SE) son electrones de la
muestra que son emitidos durante las colisiones inelásticas. En cambio,
• Los electrones retrodispersados (backscattered electrons, BSE) son aquellos
electrones del haz incidente que son reflejados por la muestra tras sufrir
múltiples colisiones elásticas e inelásticas.
Interacción de los electrones
incidentes con los átomos de la
muestra y producción de
electrones secundarios. Nótese
que sólo pueden escapar los
electrones secundarios
generados durante la entrada
de los electrones incidentes
(SEI) o durante su salida (SEII)
en los primeros nanómetros por
debajo de la superficie, el resto
es absorbido por la muestra.
Los electrones incidentes
tienen una trayectoria en
forma de zig-zag dentro de la
muestra y pueden acabar
siendo reflejados (electrones
retrodispersados) o absorbidos.
 RELACION NUMERO DE ELECTRONES
VS NUMERO ATOMICO DE LA MUESTRA
• Los electrones secundarios tienen, por convenio, una energía
menor de 50 eV.
• El número de electrones secundarios (SE)que se produce durante
el bombardeo de la muestra varía con el ángulo de incidencia del
haz sobre la muestra, y el número atómico promedio de los
elementos presentes en la muestra tiene poca influencia.
• Pero en cambio, el número de electrones retrodispersados (BSE)
aumenta casi linealmente con el número atómico Z de la muestra
(Como lo veremos en la imagen siguiente).
Comparación del
número de electrones
retrodispersados (BSE) y
secundarios (SE)
producidos en las
mismas condiciones
experimentales en
función del número
atómico de la muestra.
Nótese el crecimiento
casi lineal de los
electrones
retrodispersados al
aumentar el número
atómico, en
comparación con los
secundarios.
 CONCLUSIONES
• Por consiguiente, si la muestra es rugosa, cada sector de la muestra enviará
hacia los detectores una diferente cantidad de electrones secundarios
dependiendo de la inclinación de cada sector; en la pantalla, se
apreciarán unas zonas iluminadas (correspondientes a zonas que producen
muchos electrones secundarios), otras zonas de sombra (zonas que
producen pocos electrones secundarios) y zonas con diferentes claroscuros
(con diversas producciones intermedias de electrones secundarios).
• Es precisamente esta asociación de zonas iluminadas, oscuras y claroscuras
lo que da una sensación de relieve (figura siguiente).
• Por lo tanto, los electrones secundarios son ideales para el estudio
morfológico de las muestras, alcanzando una resolución que puede ser
inferior a 1 nm. Todo ello encuentra aplicación, por ejemplo, en el estudio
de detalle de la morfología de granos de arena en un concentrado de
batea o el de microcristales en suelos o zonas de alteración, y en el de
minerales de las arcillas.
 Morfología de granos de
arena en un
concentrado de batea.
Entre diversos granos
irregulares de cuarzo
destaca un cristal de
circón, idiomórfico y de
hábito prismático. En
este cristal la existencia
de zonas más claras,
oscuras y claroscuras da
sensación de relieve.
• El número de electrones del haz incidente que son retrodispersados depende de la
composición química promedio del mineral excitado. De este modo, cuanto más
alto sea el promedio de los números atómicos de los elementos que componen el
mineral, tanto mayor será el número de electrones retrodispersados.
• Por consiguiente, los minerales pesados emiten más electrones retrodispersados que
los ligeros, de modo que los detectores captan mucha más intensidad y, por tanto,
transmiten a la pantalla una imagen brillante.
• Así pues, las áreas donde existan más elementos pesados se ven más brillantes y
donde aparezcan elementos más ligeros, más oscuras. Por tanto, los detectores de
electrones retrodispersados son muy útiles para obtener imágenes de los cambios
composicionales (mapas de contraste de Z), obteniéndose los mejores resultados
sobre muestras pulidas.
• Como aplicaciones de estos principios, por ejemplo, destaca la posibilidad de
poner de manifiesto zonaciones intracristalinas, incluso aquéllas que puedan ser
progresivas; también son muy útiles para obtener secuencias de cristalización a
microescala (Figuras A y B). Pero, sobre todo, las imágenes de electrones
retrodispersados serán muy útiles para localizar minerales con elementos pesados,
tanto en concentrados de batea como en muestras pulidas (Figura LP-6).
Imagenes de electrones retrodispersados de minerales. A) Pepita tomada de un
concentrado de batea, compuesta por diferentes minerales del grupo del platino. Nótense
los intercrecimientos de laurita III (tono intermedios de gris) con irarsita (más brillante) que
reemplaza a la laurita I (gris más claro). Las zonas más oscuras corresponden a zonas más
ricas en rutenio (laurita II). La=laurita, Ira=irarsita, Er= erlichmanita. B) Zonación compleja en
cristales de la serie ferrocolumbita-tantalita de las pegmatitas del Cap de Creus (Catalunya).
Las zonas más claras son más ricas en Ta (elemento más pesado), las más oscuras, en Nb.
Nótese el paso progresivo entre algunas de las zonas. Este tipo de imágenes pueden ser
imprescindibles a la hora de diseñar el beneficio de las menas.
Figura LP-6. Imagen de electrones retrodispersados de un concentrado pesado,
obtenido mediante el método de hidroseparación, de una muestra de cromitita (∼
3kg) de Loma Peguera (Cordillera Central de la República Dominicana). Nótese la
mayor reflectividad electrónica de la aleación de Pt-Ni-Fe con respecto a los
granos de cromita. Este tipo de imágenes son muy útiles en prospección.
 RAYOS X CARACTERÍSTICOS
• Por otra parte, durante las colisiones inelásticas, los electrones incidentes
pueden arrancar electrones de las capas más profundas de los átomos,
siempre y cuando la energía del electrón incidente sea superior al umbral
de ionización de la capa atómica en cuestión. Cuando un átomo tiene
una vacante en una capa interna, se produce un salto de un electrón de
una capa superior para llenar dicha vacante, que dejará otra vacante en
la capa superior. Ésta se llenará a su vez mediante un salto electrónico de
una capa superior y así sucesivamente.
• Durante cada salto, el átomo puede emitir rayos X característicos, que se
denominan así ya que su energía es “característica” de cada elemento
químico (la energía de un rayo X es igual a la diferencia de energías de los
niveles atómicos involucrados).
• Como resultado del impacto electrónico, el átomo emite una familia de
rayos X característicos.
 CONCLUCIONES

• Los microscopios electrónicos de barrido pueden incorporar un

detector de rayos X del tipo “dispersivo” en energía (Energy
Dispersive Spectrometer, EDS) que permite identificar cuáles son las
energías de los rayos X emitidos por la muestra y, por lo tanto, saber
qué elementos químicos existen en la muestra.
• De este modo, el espectro continuo de rayos X, originado por la
radiación de frenado, se le superpone una serie de picos que se
corresponden con las radiaciones características de cada uno de los
elementos presentes en la muestra (Figura RX).
Figura RX. Espectro de rayos X obtenido por SEM-EDS de una muestra de garnierita en el que se aprecia
el espectro característico de sus componentes (Si, O, Ni, Mg, Fe) superpuesto al espectro continuo
(fondo casi plano). El pico de C presente en el espectro proviene del recubrimiento de carbono de la
muestra, que se le da para conferirle conductividad eléctrica. En este estudio podemos discriminar los
componentes principales, pero también los accesorios.
 VENTAJAS, RX DISPERSIVO (EDS)
• Este espectro se genera en muy pocos segundos y la identificación del
elemento que genera cada uno de los picos es inmediata, de modo que el
análisis cualitativo de todos los elementos químicos (a partir del berilio)
presentes en la muestra por encima del límite de detección del método
puede realizarse en escasos segundos. Por tanto, este método es práctico
(en tiempo y costo) para realizar análisis cualitativos puntuales.
• Puesto que el haz de electrones que excita la muestra puede ser muy fino
(menos de 1 µm), el uso del EDS en el SEM permite identificar los elementos
presentes en volúmenes de muestra inferiores a 1 µm3.
• Además, como se puede trabajar con corrientes de sonda muy bajas, el
daño debido a la radiación es bajo y por tanto es un método poco
destructivo y puede aplicarse al estudio de minerales lábiles, en particular,
algunos minerales hidratados que aparecen como productos de alteración
de balsas de residuos y que tienen implicaciones medioambientales.
 SIMPLIFICANDO Y RECORDANDO
• La intensidad de los rayos X producidos por cada elemento depende de la
cantidad del mismo que haya en la muestra, de modo que el espectro en
energía de los rayos X emitidos (intensidad versus energía) contiene dos
niveles de información: por una parte, al espectro continuo se le superpone
el espectro característico, en el que la posición de cada pico indica la
energía de una radiación X característica de un elemento.
• Por otra parte, la intensidad de cada pico (o lo que es lo mismo, la altura
del mismo), es directamente proporcional a la cantidad de este elemento
en la muestra. Por tanto, puede utilizarse este método para determinar la
composición química de un volumen de muestra que, si lo deseamos,
puede ser puntual, del orden de 1 µm3.
 DESVENTAJAS, RX DISPERSIVO (EDS)
• Desgraciadamente, muchos elementos producen rayos X con
energías próximas a las de otros elementos y debido a la baja
resolución espectral de los espectrómetros EDS, los análisis
obtenidos no siempre son muy precisos, pese al desarrollo
reciente de software que ha mejorado los resultados.
• No obstante, debido a que puede trabajar con bajas corrientes
de sonda, es un método muy poco destructivo, que lo convierte
en imprescindible para el análisis semicuantitativo de cristales
de tamaño de grano muy fino (menos de 1 µm), incluso
hidratados, y en muestra rugosa.
• Por consiguiente, el microanálisis semicuantitativo mediante
SEM-EDS es una herramienta potencialmente muy poderosa y
posiblemente infrautilizada actualmente en el campo de las
Ciencias de la Tierra.