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    Recubrimientos PVD - CVD

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    Este documento describe diferentes técnicas de recubrimiento superficial como termorrociado, PVD, CVD e implantación iónica. El termorrociado incluye procesos como rociado por llama, HVOF y detonación, los cuales proyectan partículas a alta velocidad hacia una superficie. La PVD se caracteriza por evaporación a alta temperatura, siendo común el nitruro de titanio. La CVD usa reacciones químicas entre compuestos volátiles para depositar capas delgadas. La implantación iónica incrust

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    Recubrimientos PVD - CVD

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    Este documento describe diferentes técnicas de recubrimiento superficial como termorrociado, PVD, CVD e implantación iónica. El termorrociado incluye procesos como rociado por llama, HVOF y detonación, los cuales proyectan partículas a alta velocidad hacia una superficie. La PVD se caracteriza por evaporación a alta temperatura, siendo común el nitruro de titanio. La CVD usa reacciones químicas entre compuestos volátiles para depositar capas delgadas. La implantación iónica incrust

    Descripción original:

    Para la materia Diseño de Herramientas

    Título original

    Recubrimientos PVD -CVD

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    Recubrimientos PVD - CVD

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    Este documento describe diferentes técnicas de recubrimiento superficial como termorrociado, PVD, CVD e implantación iónica. El termorrociado incluye procesos como rociado por llama, HVOF y detonación, los cuales proyectan partículas a alta velocidad hacia una superficie. La PVD se caracteriza por evaporación a alta temperatura, siendo común el nitruro de titanio. La CVD usa reacciones químicas entre compuestos volátiles para depositar capas delgadas. La implantación iónica incrust

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    Recubrimientos PVD

    -CVD

    Contenido
    Recubrimientos
    Tcnicas de recubrimientos
    Termorrociado
    PVD
    CVD

    Implantacin Ionica
    Comparacin

    Recubrimientos
    Mejoran propiedades mecnicas en la superficie de
    una pieza
    Tenacidad
    Fatiga
    Conductividad trmica
    Resistencia a la corrosin
    Dureza

    Tcnicas de recubrimiento
    Usualmente utilizados para herramientas de
    corte, aunque tambin es utilizado e otras
    industrias como la aeronutica,
    microelectrnica, odontolgica, etc.

    Tipos de capas
    Capa delgada: Poseen espesores alrededor de 1
    micra, se utiliza tcnica de termorrociado, PVD o CVD.
    Capas gruesas: Poseen espesores mayores a los 100
    micrones se utiliza la tcnica de termorrociado .

    Materiales
    Carburo de titanio (TiC): Muy duro, buena resistencia
    al desgaste y estabilidad qumica, bajo coeficiente de
    dilatacin trmica, excelentes propiedades de
    adiccin (pueden utilizar varias capas).
    Nitruro de Titanio (TiN): Friccin muy baja entre caras,
    baja conductividad trmica, alta resistencia a la
    corrosin, menores propiedades de adherencia que el
    TiC, coloracin dorada.
    Oxido de Aluminio (Al2O5):Elevada dureza, estabilidad
    qumica, resistencia a la formacin de crteres, alta
    fragilidad, dificultad de adherencia del substrato.

    Termorrociado
    Se conoce como termorrociado al grupo de procesos donde un
    material de alimentacin es calentado y propulsado como
    partculas individuales o gotas hacia una superficie.
    Tipos:
    Gases combustin
    Arco elctrico
    Plasma

    Material de alimentacin: compuestos metlicos, cermets xidos,


    vidrios y polmeros.
    En forma de alambre, barras o polvos.

    SOPORTES O SUSTRATOS

    Esta tcnica de recubrimiento puede


    usarse en casi cualquier tipo de
    material: metales, cermicas, vidrios ,
    polmeros, materiales compuestos, etc.

    El enlace entre el sustrato y el


    recubrimiento puede ser mecnico,
    qumico, metalrgico o una combinacin
    de estos.

    Tipos de termorrociado
    Proceso de combustin
    Rociado por llama
    Rociado por hvof
    Rociado por detonacin

    Procesos elctricos
    Proyeccin al arco elctrico
    Proteccin de plasma

    Rociado por llama:


    Puede ser usada con una gran
    variedad de materiales de
    alimentacin, incluyendo
    alambres de metal, barras de
    cermica, polvos metlicos y no
    metlicos.
    El material es continuamente
    alimentado

    Rociado HVOF (High Velocity


    Oxygen Fuel)
    Se utiliza una mezcla de oxigeno y
    otros gases, acelerada a
    velocidades supersnicas y se
    alimenta con material en polvo.
    Crea recubrimientos densos , con
    baja porosidad y alta fuerza de
    enlace.

    Rociado por detonacin:


    Es un proceso de combustin
    continuo con explosiones
    intermitentes que funden y
    proyectan las partculas hacia la
    superficie.

    En la cmara hay una mezcla


    de oxgeno, acetileno y el material
    en polvo del cual se har el
    recubrimiento, y las detonaciones
    se hacen varias veces por
    segundo. El material es depositado
    a muy altas velocidades.

    Proyeccin con arco elctrico:

    Es generalmente el mtodo de
    termorrociado ms econmico.

    En este proceso se usa una corriente


    elctrica para generar la energa trmica
    necesaria para fundir los materiales,
    utilizando 2 barras de metal como
    alimentacin, las cuales actan como
    electrodos que son continuamente
    consumidos mientras se funden debido al
    arco elctrico presente entre ellos.

    Proyeccin de plasma

    Este proceso utiliza un arco elctrico DC para


    generar un flujo de plasma gaseoso ionizado
    con muy altas temperaturas que acta como
    la fuente de calor para el rociado.

    El arco se forma entre dos electrodos no


    consumibles, el ctodo de tungsteno y el
    nodo de cobre. La antorcha es alimentada
    con un flujo continuo de gas inerte el cual es
    ionizado por el arco DC y es comprimido y
    acelerado por la antorcha de forma tal que
    sale a grandes velocidades y altas
    temperaturas como un jet de plasma.

    Material alimentado en forma de polvo,


    pueden ser metales refractarios y cermicas.

    PVD
    Se caracteriza por la
    evaporacin del
    material a muy altas
    temperaturas,
    material ms utilizado
    Nitruro de Titanio (TiN)

    Tcnica de Sputterin
    Los tomos del recubrimiento se
    obtienen bombardeando unos
    blancos con iones de un gas
    inerte a baja energa.
    Es posible producir capas de
    recubrimientos binarios,
    ternarios, etc.
    El proceso es lento, pero limpio,
    verstil, y mas controlable que el
    de evaporacin.

    Los recubrimientos por PVD mas extendidos


    son los de Nitruro de Titanio (TiN), en capas
    de 1 2 m obtenidas por mtodos de
    evaporacin.(500C)
    El TiN abarca cerca del 90 % del mercado de
    recubrimientos duros, seguido por otros
    como el TiC o el Carbonitruro de Titanio
    TiCN.
    Existen otros recubrimientos comerciales
    como es el caso del Nitruro de Cromo (CrN),
    el Carburo de Tungsteno (WC) o la alumina
    (Al2O3 ).
    Otra lnea es la de la lubricacin slida. El
    Disulfuro de Molibdeno (MoS2) es ideal para
    los problemas de friccin.

    IBAD
    ION BEAM ASSITED DEPOSITION
    Se somete la superficie sobre la que se esta formando el
    recubrimiento a un bombardeo simultaneo con iones de una
    determinada energa.

    Aplicaciones PVD (Torneado)

    CVD

    Este tipo de tcnicas tienen en comn que utilizan


    medios qumicos para obtener recubrimientos a
    partir de compuestos en fase de vapor.

    Se utilizan cmaras de vaco, se utilizan


    temperaturas altas (1.000 C) o medias para
    obtener capas finas (10 micras) o gruesas de (100
    micras).

    Reacciones

    qumicas

    En esencia, los mtodos de CVD implican siempre reacciones qumicas,


    que llamamos de transporte. En ellas, determinados compuestos
    voltiles de los elementos que nos interesan son reducidos en la
    superficie a recubrir dando lugar a la deposicin de dichos elementos.

    Plasma CVD
    La presencia de una descarga elctrica (en
    forma de plasma) en el interior del reactor
    hace que las molculas de los gases pasen a
    estados de energa elevada favoreciendo la
    velocidad de reaccin.
    Fuentes de CA de alta frecuencia.
    Se puede realizar con plasma asistido por
    radiofrecuencia o por microondas.
    En la tcnica de CVD asistida por plasma de
    radiofrecuencia ( PACVD) normalmente se
    trabaja a presiones bajas ,y la T de
    operacin suele ser baja (< 350C).

    El calentamiento local del substrato se lleva a


    cabo mediante una bobina de induccin
    situada debajo del porta substrato.
    La intensidad del campo est calculada para
    que los electrones de la descarga giren
    alrededor del campo magntico con una
    frecuencia igual a la frecuencia de la descarga.
    Se alcanza as la condicin de resonancia en la
    oscilacin de los electrones ("electrn
    cyclotron resonance" o ECR) lo cual aumenta
    la eficiencia de la ionizacin y por tanto la
    densidad del plasma.

    Aplicaciones CVD (Torneado)

    Bombardeo Inico

    Si la energa es muy baja (10 voltios de


    aceleracin) los tomos se depositan en la
    superficie.

    Si la aceleracin es mayor (500 voltios)


    predomina el proceso de pulverizacin de la
    superficie (sputtering)

    A energas mayores (100000 voltios) se


    incrustan alcanzando profundidades de 0.2
    micras.

    EQUIPOS INDUSTRIALES

    Las dos aplicaciones industriales


    mas importantes de la implantacin
    inica son el dopado de
    semiconductores y el tratamiento de
    superficies metlicas.

    La implantacin de superficies
    metlicas, para ser eficaz, requiere
    dosis de iones de mil veces
    superiores a las utilizadas en
    microelectrnica.

    SUPERFICIES IMPLANTADAS
    La implantacin inica produce
    cambios de composicin que son el
    origen de aumento de la resistencia
    al desgaste, friccin y corrosin.
    Los parmetros que caracterizan
    cada implantacin son:

    Tipo de in

    Energa de implantacin

    Dosis implantada.

    VENTAJAS
    Consigue aumentos de vida til de hasta cinco o diez veces segn la aplicacin
    No produce cambio alguno de dimensiones

    No produce cambio alguno en el acabado superficial

    Hay una transicin gradual entre zona tratada y substrato de manera que la parte
    tratada no puede desprenderse.

    Se aplica a baja temperatura (por debajo de l50 c)

    Puede aplicarse sobre otros tratamientos (nitruracin, cromo duro, TiN )


    multiplicando sus efectos.

    Es extremadamente controlable y, por lo tanto, repetible.

    Puede limitarse selectivamente a las partes de las piezas que se desean proteger,
    enmascarando fcilmente el resto.

    Es muy verstil dado el gran nmero de posibles combinaciones de iones y


    parmetros del proceso.

    Es medioambientalmente limpia.

    Cuadro comparativo de Ventajas


    Implantacin
    inica

    PVD

    CVD

    PACVD

    Temperatura de proceso
    muy baja (<150c): No
    afecta al temple-revenido

    Temperatura de proceso
    relativamente baja (200500c): Normalmente no
    hay que volver a templarrevenir.

    Temperatura del proceso:


    450-550c): incluso puede aplicarse en algunos
    aceros sin tener que volver
    a templar.

    No precisa tratamientos
    posteriores.

    Normalmente no requiere
    tratamientos posteriores

    Normalmente no requiere
    tratamientos posteriores

    Acabado superficial totalmente inalterado.

    Poca influencia en el
    acabado superficial.

    Poca influencia en el
    acabado superficial.

    Forma y dimensiones
    totalmente inalteradas.

    Poca influencia en la
    forma y dimensiones.

    Sin posibilidad de desprendimiento, (no es un recubrimiento).

    Muy buena adhesin.


    Mnimo riesgo de delaminacin

    Mejor adhesin que el


    PVD y mnimo riesgo
    de laminacin.

    Tratamiento sin riesgos.

    Tratamiento muy uniforme


    incluso en recovecos.

    Puede recubrir algunos


    recovecos y formas
    complicadas

    Limpieza previa necesaria


    pero no tan crtica como
    en el PVD.

    La limpieza previa no
    es crtica.

    Limpieza previa menos


    crtica que para el PVD.

    Cuadro comparativo de Desventajas


    Implantacin
    inica

    PVD

    CVD

    PACVD

    Proceso direccional

    Proceso direccional

    No adecuado para herramientas que trabajan a


    alta temperatura (>300c).

    La temperatura del tratamiento puede afectar a


    aceros con revenidos a
    baja temperatura.

    La temperatura del proceso alcanza los 1000c.


    Puede causar deformaciones. En aceros ser preciso templar despus del
    tratamiento.

    La temperatura del tratamiento puede afectar a


    aceros con revenidos a
    baja temperatura. Puede
    causar deformaciones.

    Aade 2-3 m a las dimensiones de la herramienta.


    La limpieza previa y el
    estado superficial son
    muy crticos. Cuando no
    son perfectos no se puede
    aplicar el PVD.

    Aade 3-10 m a las


    dimensiones de la herramienta. Altera el acabado
    superficial. Puede ser
    necesario pulir despus
    del recubrimiento

    Aade 2-3 m a las dimensiones de la herramienta.

    Riesgo de desprendimiento del recubrimiento.


    La capa implantada no es
    muy profunda (<0,5). No
    adecuada para desgaste
    abrasivo severo.

    Puede no ser suficiente


    para el desgaste abrasivo
    severo.

    Cuadro comparativos de aplicaciones


    Implantacin
    inica
    Capacidad
    de solucin
    de diversos
    problemas

    aplicaciones
    tpicas

    PVD

    CVD

    PACVD

    Desgaste adhesivo
    a cargas bajas.

    Desgaste adhesivo
    a cargas relativamente altas.

    Desgaste adhesivo
    en general.

    Desgaste abrasivo
    medio.

    Desgaste abrasivo
    fuerte.

    Desgaste abrasivo
    severo.

    Corrosin.

    Corrosin
    (con limitaciones).

    Herramientas sujetas
    a grandes esfuerzos

    Punzones, troqueles y
    matrices para chapa de acero
    y otros metales.

    Herramientas de
    mecanizado, brocas,
    fresas y plaquitas.

    Plaquitas de mecanizado.

    Herramientas de
    mecanizado, brocas,
    fresas y plaquitas.

    Moldes de inyeccin
    de plstico.

    Pequeos punzones
    y troqueles para hojalata y acero inoxidable.

    Pequeos punzones y
    troqueles para hojalata y acero inoxidable.

    Pequeos punzones y
    troqueles para hojalata y acero inoxidable.

    Herramientas de corte
    para plsticos, caucho,
    papel y alimentos.

    Matrices de estirado.

    Matrices de estirado.

    Herramientas de meca
    nizado especiales.

    Componentes de
    moldes de plstico.

    Algunos componentes
    de moldes de plstico.

    Desgaste abrasivo
    severo.

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