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ganged valveとは 意味・読み方・使い方
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To provide a substrate treatment apparatus capable of checking a ganged operation of a valve without performing a recipe by displaying the ganged operation of an automatic on/off-valve which cooperates with a control valve when editing the recipe.例文帳に追加
レシピ編集時に制御用バルブと連動動作する自動開閉バルブの連動動作を表示することで、レシピを実行することなくバルブの連動動作を確認できる基板処理装置を提供する。 - 特許庁
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