floating chuckとは 意味・読み方・使い方

Thus, a floating head 100 floats above the substrate W secured on the chuck 158 via an interval of about 5 μm.例文帳に追加

このことにより、浮上ヘッド１００は、基板チャック１５８の上に固定された基板Ｗの上を、５μｍ程度の微細な間隔を開けて浮上する。 - 特許庁

To precisely connect and disconnect a work to and from a chuck while a spindle rotates by using a floating mechanism by holding an outer diameter or an inner diameter of the work.例文帳に追加

ワークの外径又は内径を把持し、フローティング機能を用いて、ワークを主軸の回転中にチャックに的確に着脱する。 - 特許庁

To provide a floating chuck mechanism whereby the range of diameters capable of being supported by a clamping click is wider and the structure is simpler.例文帳に追加

クランプ爪で支持可能な径の範囲がより広く、且つ構造がよりシンプルなフローティングチャック機構を提供する。 - 特許庁

The floating means 83 reduces friction resistance generated between the chuck table 20 and the support base 45 when the chuck table 20 is mounted on the support base 45.例文帳に追加

浮揚手段８３は、チャックテーブル２０が支持台４５に積載される際にチャックテーブル２０と支持台４５との間に生じる摩擦抵抗が軽減させる。 - 特許庁

To provide a floating chuck structure capable of clamping a workpiece with chuck claw parts which move to be centered in simple structure to achieve high work precision.例文帳に追加

構造が簡単でチャック爪部が求心移動してワークをクランプして高精度の加工精度が得られるフローティングチャック構造を提供する。 - 特許庁

Water or bubbles for floating the semiconductor wafer W from the chuck table is then ejected and the semiconductor wafer W is transferred from the chuck table to the holding means 28.例文帳に追加

この搬送装置を研削装置に配設し、研削後洗浄した被加工物をチャックテーブルから搬送する際に、シャワー部から水を噴射してチャックテーブルのリリースに伴うコンタミの研削面への回り込みを阻止する。 - 特許庁

A transport unit 61 is provided with: a hand part 69 having a support surface 70a supporting the chuck table 20 from the bottom surface 20a side; a transport table moving mechanism 67 moving the hand part 69 in the Y-axis direction; a lifter 68 vertically moving the hand part 69; and a floating means 83 floating the chuck table 20 supported to the support surface 70a.例文帳に追加

搬送ユニット６１は、チャックテーブル２０を底面２０ａ側から支持する支持面７０ａを有するハンド部６９と、ハンド部６９をＹ軸方向に移動させる搬送テーブル移動機構６７と、ハンド部６９を昇降させるリフタ６８と、支持面７０ａに支持されたチャックテーブル２０を浮揚させる浮揚手段８３を備える。 - 特許庁

To provide a spark plug manufacturing method, capable of efficiently manufacturing a composite chip with high accuracy by using a chuck device, which is, by advancing a plurality of chuck jaws for welding a noble metal chip, capable of easily and efficiently preventing floating and tilting of the chip main body when chucking the chip main body at its large-diameter portion with the chuck jaws.例文帳に追加

貴金属チップを溶接するため、複数のチャック爪が前進することで、チップ本体を、その大径部にて、チャック爪でチャッキングする際に、そのチップ本体が浮き上がったり、傾いたりするのを、簡易、効率的に防止できるようにしたチャック装置を用いることで、精度良く、しかも効率的に複合チップの製造ができるようにしたスパークプラグの製造方法を提供する。 - 特許庁