contamination rateとは 意味・読み方・使い方

To provide an ECR sputtering system capable of improving a deposition rate and of preventing the contamination of a microwave introducing window by sputter particles.例文帳に追加

成膜速度が向上し、かつ、スパッタ粒子によるマイクロ波導入窓の汚染を防止することができるＥＣＲスパッタリング装置の提供。 - 特許庁

Further, a characteristic curve on the contamination degree of the air filter 4 is used as a function of differential pressure calculated at the predetermined air mass flow rate, and a characteristic diagram on the contamination degree of the air filter 4 is used as a function of standardized air mass flow rate and measured differential pressure.例文帳に追加

さらには、この算出時に、既定の空気質量流量において算定した差圧の関数として、エア・フィルタ４の汚染度に関する特性曲線を使用し、さらに標準化空気質量流量と測定した差圧との関数として、エア・フィルタ４の汚染度に関する特性図を使用する。 - 特許庁

Moreover, its throughput is increased by the reduced pumping flow rate and the exhaust flow rate, which leads to a reduction in the probability of substrate contamination due to particulate and condensation.例文帳に追加

更に、高処理能力はポンプ流量と排気流量の減少で可能になり、微粒子や凝縮による基板汚染確率の低下に対応する。 - 特許庁

After processing at such a process pressure and flow rate, even a lower level of oxygen contamination may be achieved by then increasing the process pressure, hydrogen flow rate, and process temperature, through the process temperature still remains less than 800°C.例文帳に追加

こうした処理圧力及び流量で処理後、処理温度は８００未満のままであっても、処理圧力、水素流量、及び処理温度を増大することによって、さらに低いレベルの酸素汚染を達成可能である。 - 特許庁

To suppress metallic contamination in a processing chamber and a breakage of a quartz member, while suppressing decrease in film formation rate in a thin film formation process immediately after dry cleaning of the inside of the processing chamber, and to enhance the operation rate of the apparatus.例文帳に追加

処理室内のドライクリーニング直後の薄膜形成工程における成膜速度の低下を抑制しつつ、処理室内の金属汚染や石英部材の破損を抑制すると共に、装置稼働率を向上させる。 - 特許庁

To efficiently perform membrane separation using even a permeable membrane of low chlorine resistance by preventing the contamination of the permeable membrane due to the growth of microbes without causing the decline of a removal rate and a desalination rate due to the degradation of the permeable membrane.例文帳に追加

耐塩素性の低い透過膜においても、透過膜の劣化による除去率や脱塩率の低下を引き起こすことなく、微生物の増殖による透過膜の汚染を防止し、効率良く膜分離を行う。 - 特許庁

To provide a toner causing little base contamination after lapse of time even when a layered inorganic compound having a high modification rate by inorganic ions is used as a layered inorganic mineral, and to provide an image forming apparatus in which base contamination is effectively prevented by using the above toner as a single component developer or a two-component developer.例文帳に追加

層状無機鉱物に有機イオンによる変性率が高い層状無機化合物を用いた場合でも、経時後に地汚れの発生の少ないトナーの提供、このようなトナーを１成分現像剤、２成分現像剤として用いて地汚れを有効に防止した画像形成装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a contamination-preventing coating material which allows to enjoy excellent prevention from contamination for a long term and provides the improved coating film with a favorable performance to keep a stable polishing rate for a long term and to be resistant against a crack.例文帳に追加

得られる塗膜が安定したポリッシングレート（研磨速度）を長期間にわたって維持でき、かつ、クラック等を生じにくい好適な塗膜性能を有するものに塗膜を改良することにより、長期間にわたってより優れた防汚性を示す防汚塗料を提供する。 - 特許庁