Electron Cyclotronとは 意味・読み方・使い方

The electrically conductive carbon film 2 is formed on the substrate 1 using an ECR (Electron Cyclotron Resonance) sputtering process.例文帳に追加

導電性炭素膜２は、ＥＣＲスパッタリング法を用いて基板１上に形成される。 - 特許庁

To provide a plasma generating device which can perform a good electron cyclotron resonance heating.例文帳に追加

良好な電子サイクロトロン共鳴加熱を行うことができるプラズマ発生装置を提供する。 - 特許庁

The power source and the magnets 220 interact with each other and cause resonance of an electron cyclotron along a passage.例文帳に追加

パワー源と磁石220とは相互作用し、通路に沿って電子サイクロトロンの共振状態を与える。 - 特許庁

In this case, an electron cyclotron resonance spatter method using a target comprising ZnO containing Eu may be used.例文帳に追加

この場合、Ｅｕを含有するＺｎＯからなるターゲットを用いた電子サイクロトロン共鳴スパッタ法を用いればよい。 - 特許庁

To provide an ECR (Electron Cyclotron Resonance)sputtering system capable of performing the film deposition sputtering on a substrate to which the low-temperature film deposition is requested.例文帳に追加

低温成膜が要求される基板に対して、成膜スパッタリングを可能とするＥＣＲスパッタ装置を提供する。 - 特許庁

SYSTEM FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION AT AMBIENT TEMPERATURE USING ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE AND METHOD FOR DEPOSITING METAL COMPOSITE USING THE SAME例文帳に追加

電子サイクロトロン共鳴を利用した常温化学蒸着システム及びこれを利用した複合金属膜の製造方法 - 特許庁

The substrate is a transparent one, and the lower part substrate electrode can be formed by the electron cyclotron resonance sputtering method.例文帳に追加

前記基板が透明基板であり、前記下部電極も電子サイクロトン共鳴スパッタ法によって形成してもよい。 - 特許庁

To provide a plasma treatment method and a plasma treatment equipment which can control electron temperature of electron cyclotron resonance (ECR) plasma with high precision.例文帳に追加

電子サイクロトロン共鳴（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ ｒｅｓｏｎａｎｃｅ：ＥＣＲ）プラズマの電子温度を高精度に制御可能なプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁