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1.
Efficient High Current Process Transfer and Device Matching Strategies for sub-90nm Manufacturing / Lee, Dennis ; Loh, NyenSiong ; ChinTan, Miow ; Shim Kyu Ha ; Falk, Scott ; Guo, Baonian ; Jillson, Scott ; Wong, Bryan ; Loh, Kherchong ; Mehta, Sandeep et al.
2006 - Published in : AIP Conf. Proc.: 866 (2006) , pp. 472-474 External link: Published version from AIP
In : 16th International Conference on Ion Implantation Technology, Marseilles, France, 11 - 16 Jun 2006, pp.472-474
2.
APC Implementation on VIISta Ion Implanters / KiKim, Youn ; Adams, Bret ; Parisi, Nick ; Mehta, Sandeep ; Hamilton, Jim
2006 - Published in : AIP Conf. Proc.: 866 (2006) , pp. 449-452 External link: Published version from AIP
In : 16th International Conference on Ion Implantation Technology, Marseilles, France, 11 - 16 Jun 2006, pp.449-452
3.
Process Transferability from a Spot Beam to a Ribbon Beam Implanter : CMOS Device Matching / Kaeppelin, Vincent ; Chalupa, Zdenek ; Frioulaud, Laurent ; Mehta, Sandeep ; Guo, Baonian ; Shim Kyu Ha ; Lendzian, Horst ; Erokhin, Yuri
2006 - Published in : AIP Conf. Proc.: 866 (2006) , pp. 353-356 External link: Published version from AIP
In : 16th International Conference on Ion Implantation Technology, Marseilles, France, 11 - 16 Jun 2006, pp.353-356
4.
Defect Behavior in $BF_{2}$ Implants For S/D Applications as a Function of Ion Beam Characteristics / Cagnat, Nathalie ; Laviron, Cyrille ; Auriac, Nicolas ; Liu, Jinning ; Mehta, Sandeep ; Frioulaud, Laurent ; Mathiot, Daniel
2006 - Published in : AIP Conf. Proc.: 866 (2006) , pp. 133-136 External link: Published version from AIP
In : 16th International Conference on Ion Implantation Technology, Marseilles, France, 11 - 16 Jun 2006, pp.133-136

Voir aussi: noms d'auteurs similaires
6 Mehta, S
1 Mehta, S R
2 Mehta, Sajjan S
1 Mehta, Sameep
1 Mehta, Saransh
2 Mehta, Shalin B
2 Mehta, Shashank K
1 Mehta, Shikha
2 Mehta, Shreya
3 Mehta, Sohum
6 Mehta, Swapneel Sundeep
1 mehta, swapneel
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