Online-Ressource
Verfasst von:	Büttgenbach, Stephanus
Titel:	Mikrosystemtechnik
Titelzusatz:	Vom Transistor zum Biochip
Verf.angabe:	von Stephanus Büttgenbach
Verlagsort:	Berlin ; Heidelberg
Verlag:	Springer
Jahr:	2016
Umfang:	Online-Ressource (VIII, 151 S. 52 Abb, online resource)
Gesamttitel/Reihe:	Technik im Fokus
	SpringerLink : Bücher
ISBN:	978-3-662-49773-9
Abstract:	Einleitung -- Transistor und Halbleitertechnik -- Piezoresistiver Effekt -- Bulk Micromachining -- LIGA-Verfahren -- Surface Micromachining -- Atomic Force Microscope (AFM) -- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern -- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept -- Deep Reactive Ion Etching (DRIE) -- Soft-Lithografie -- Die Zukunft.
	Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.
DOI:	doi:10.1007/978-3-662-49773-9
URL:	Volltext ; Resolving-System: https://doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9
	Volltext: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9
	DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9
Schlagwörter:	(s)Mikrosystemtechnik
Datenträger:	Online-Ressource
Sprache:	ger
Bibliogr. Hinweis:	Erscheint auch als : Druck-Ausgabe: Büttgenbach, Stephanus, 1945 - : Mikrosystemtechnik. - Berlin : Springer, 2016. - VIII, 151 Seiten
RVK-Notation:	ZN 3750
Sach-SW:	Mikrosystemtechnik
K10plus-PPN:	1654539694
	Universitätsbibliothek
Lokale URL UB:	Zum Volltext
	Bibliothek der Medizinischen Fakultät Mannheim der Universität Heidelberg
	Bestellen/Vormerken für Benutzer des Klinikums Mannheim Eigene Kennung erforderlich
Bibliothek/Idn:	UW / m337413159X
Lokale URL Inst.:	Zum Volltext