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@book{UBHD-67968296,
  editor={Yoshida, Yutaka and Langouche, Guido},
  title={Defects and Impurities in Silicon Materials},
  subtitle={An Introduction to Atomic-Level Silicon Engineering},
  publisher={Springer},
  address={Tokyo ; Heidelberg ; New York ; Dordrecht ; London},
  year={2015},
  pages={Online-Ressource (XV, 487 p. 292 illus., 180 illus. in color, online resource)},
  language={eng},
  isbn={978-4-431-55800-2},
  number={ARRAY(0x5609c4c729f8)},
  series={Lecture notes in physics},
  doi={10.1007/978-4-431-55800-2},
  keywords={Silicium / Gitterbaufehler ; Silicium / Gitterbaufehler},
  url={http://dx.doi.org/10.1007/978-4-431-55800-2},
  library={UB},
}