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1.	Kieninger, Jochen: Electrochemical methods for the micro- and nanoscale : theoretical essentials, instrumentation and methods for applications in MEMS and nanotechnology / Jochen Kieninger. - Berlin ; Boston: De Gruyter, [2022]. - XVII, 382 Seiten : Illustrationen, Diagramme, ISBN 978-3-11-064974-1 (De Gruyter STEM) Themen: Elektrochemie \| Elektrochemisches Verfahren \| MEMS \| Mikrosystemtechnik \| Nanotechnologie Buch/keine Angabe → Ähnliche Titel suchen Inhaltsverzeichnis	bestellen Signatur: UBN/VE 6300 K47 → Andere Auflagen/Ausgaben
2.	Microsystem technologies : sensors, actuators, system integration ; research journal. - Berlin ; Heidelberg: Springer, 1994-. - Online-Ressource, ISSN 1432-1858 1.1994/95 - Themen: Mikrosystemtechnik \| Online-Ressource \| Zeitschrift Online-Ressource Zeitschrift → Ähnliche Titel suchen	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
3.	Büttgenbach, Stephanus: Mikrosystemtechnik : Vom Transistor zum Biochip / von Stephanus Büttgenbach. - Berlin ; Heidelberg: Springer, 2016. - Online-Ressource (VIII, 151 S. 52 Abb, online resource), ISBN 978-3-662-49773-9 (SpringerLink : Bücher) (Technik im Fokus) DOI: 10.1007/978-3-662-49773-9 Themen: Mikrosystemtechnik Online-Ressource → Ähnliche Titel suchen	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
4.	Modelling of microfabrication systems / Raja Nassar; Weizhong Dai. - Berlin ; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2003. - X, 269 S : Ill., graph. Darst, ISBN 978-3-540-00252-9 (Microtechnology and MEMS) (Physics and astronomy online library) Themen: Dünnschichttechnik \| Laser-CVD-Verfahren \| Laserablation \| Laserstrahlung \| Mathematisches Modell \| Mikrosystemtechnik \| Nanotechnologie \| Photopolymerisation \| Röntgenlithografie Buch/keine Angabe → Ähnliche Titel suchen Inhaltsverzeichnis	bestellen Signatur: UBN/ZN 3750 N265 → Andere Auflagen/Ausgaben
5.	Microsystem technology in chemistry and life sciences / A. Manz ... (ed.). - Berlin ; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1999. - 252 S : Ill., graph. Darst, ISBN 978-3-540-65555-8 (Springer desktop editions in chemistry) Themen: Biologie \| Chemie \| Mikrosystemtechnik Buch/keine Angabe → Ähnliche Titel suchen	bestellen Signatur: UBN/VG 6700 M296 → Andere Auflagen/Ausgaben
6.	Kockmann, Norbert: Transport Phenomena in Micro Process Engineering / by Norbert Kockmann. - Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2008. - Online-Ressource (XX, 365 p. 214 illus, digital), ISBN 978-3-540-74618-8 (SpringerLink : Bücher) (Heat and Mass Transfer) DOI: 10.1007/978-3-540-74618-8 Themen: Chemieanlage \| Chemische Verfahrenstechnik \| Mikroreaktor \| Mikrosystemtechnik \| Transportprozess Online-Ressource → Ähnliche Titel suchen Inhaltsverzeichnis	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
7.	Lambert, Pierre: Capillary Forces in Microassembly : Modeling, Simulation, Experiments, and Case Study / by Pierre Lambert. - Boston, MA: Springer US, 2007. - Online-Ressource (digital), ISBN 978-0-387-71089-1 (SpringerLink : Bücher) (Microtechnology And Mems) DOI: 10.1007/978-0-387-71089-1 Themen: Kapillarität \| Mikrosystemtechnik Online-Ressource → Ähnliche Titel suchen Inhaltsverzeichnis	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
8.	Shire, Karen A.: Technologiegestützte Dienstleistungsinnovation in der Gesundheitswirtschaft / herausgegeben von Karen A. Shire, Jan Marco Leimeister. - Wiesbaden: Gabler Verlag, 2012. - Online-Ressource (XXXII, 349S. 84 Abb, digital), ISBN 978-3-8349-3506-9 (SpringerLink : Bücher) DOI: 10.1007/978-3-8349-3506-9 Themen: Dienstleistungsangebot \| Gesundheitswesen \| Mikrosystemtechnik \| Technische Innovation Online-Ressource → Ähnliche Titel suchen	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
9.	Handbuch Mikrotechnik / hrsg. von Wolfgang Ehrfeld. Mit Beitr. von Jochen Bähr .... - München [u.a.]: Hanser, 2002. - XIV, 520 S. : Ill., graph. Darst., ISBN 978-3-446-21506-1 Themen: Mikrosystemtechnik Buch/keine Angabe → Ähnliche Titel suchen	Präsenznutzung → Exemplare (Institute) → Andere Auflagen/Ausgaben
10.	Frühauf, Joachim: Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique : A Manual of Wet-Etched Silicon Structures / by Joachim Frühauf. - Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2005. - Online-Ressource (XII, 221 p. 165 illus, digital), ISBN 978-3-540-26876-5 (SpringerLink : Bücher) DOI: 10.1007/b138230 Themen: Mikrosystemtechnik \| Nassätzen \| Silicium Online-Ressource → Ähnliche Titel suchen Inhaltsverzeichnis	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
11.	Mahalik, Nitaigour Premchand: Micromanufacturing and Nanotechnology / by Nitaigour Premchand Mahalik. - Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2006. - Online-Ressource (XXIII, 468 p. 300 illus, digital), ISBN 978-3-540-29339-2 (SpringerLink : Bücher) DOI: 10.1007/3-540-29339-6 Themen: Mikrosystemtechnik \| Nanotechnologie Online-Ressource → Ähnliche Titel suchen	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
12.	Hierlemann, Andreas: Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology / by Andreas Hierlemann; edited by H. Baltes, Hiroyuki Fujita, Dorian Liepmann. - Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2005. - Online-Ressource (IX, 229 p. 125 illus, digital), ISBN 978-3-540-27372-1 (SpringerLink : Bücher) (Microtechnology and MEMS) DOI: 10.1007/b138987 Themen: CMOS \| Chemischer Sensor \| Integrierter Sensor \| Mikrosensor \| Mikrosystemtechnik \| Multisensor Online-Ressource → Ähnliche Titel suchen	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
13.	Massobrio, Carlo: Atomic-scale modeling of nanosystems and nanostructured materials / C. Massobrio; H. Bulou; C. Goyhenex (Eds.). - Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2010. - Online-Ressource (X, 371p. 100 illus, digital), ISBN 978-3-642-04650-6 (Lecture notes in physics ; 795) (SpringerLink : Bücher) DOI: 10.1007/978-3-642-04650-6 Themen: Dichtefunktionalformalismus \| Mikrosystemtechnik \| Molekulardynamik \| Nanostruktur \| Nanostrukturiertes Material Online-Ressource → Übergeordnete Aufnahme → Ähnliche Titel suchen Inhaltsverzeichnis	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
14.	Nanoscopy and nanospectroscopy / edited by Sandip Dhara, Deep Jariwala, and Soumen Das. - First edition. - Boca Raton ; London ; New York: CRC Press, 2023. - 1 Online-Ressource (xii, 267 Seiten) : Illustrationen, Diagramme, ISBN 978-1-003-24832-3 DOI: 10.1201/9781003248323 Themen: Nahfeldoptik \| Nanooptik \| Nanophotonik \| Spektroskopie Online-Ressource → Ähnliche Titel suchen	online aufrufen → Andere Auflagen/Ausgaben
15.	Micro- and nanomanipulation tools / edited by Yu Sun and Xinyu Liu. - Weinheim: Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, [2015]. - XXXV, 570 Seiten : Diagramme, ISBN 978-3-527-33784-2 (Advanced micro & nanosystems ; [13]) Themen: Mikromanipulator \| Mikrosystemtechnik \| Miniroboter \| Nanobiotechnologie \| Nanotechnologie Buch/keine Angabe → Übergeordnete Aufnahme → Ähnliche Titel suchen Inhaltsverzeichnis	bestellen Signatur: UBN/ZN 3700 S957 → Andere Auflagen/Ausgaben
16.	The nano-micro interface : bridging the micro and nano worlds / ed. by Marcel van de Voorde .... - Weinheim: Wiley-VCH, 20XX-, ISBN 978-3-527-33633-3 Themen: Mikrosystemtechnik \| Nanotechnologie Mehrteiliges Werk → Bände → Ähnliche Titel suchen	siehe Bände → Andere Auflagen/Ausgaben
17.	Schramm, Laurier L.: Nano- and microtechnology from A - Z : from nanosystems to colloids and interfaces / Laurier L. Schramm. - Weinheim: Wiley-VCH-Verl., 2014. - IX, 378 S., ISBN 978-3-527-33728-6 Themen: Grenzfläche \| Kolloid \| Mikrosystemtechnik \| Nanotechnologie Buch/keine Angabe → Ähnliche Titel suchen Inhaltsverzeichnis	bestellen Signatur: UBN/VE 9850 S377 → Andere Auflagen/Ausgaben
18.	Mescheder, Ulrich: Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen ; mit 21 Tabellen / von Ulrich Mescheder. - Stuttgart ; Leipzig: Teubner, 2000. - IX, 323 S. : Ill., graph. Darst., ISBN 978-3-519-06256-1 Themen: Mikrosystemtechnik Buch/keine Angabe → Ähnliche Titel suchen Inhaltsverzeichnis	bestellen Signatur: UBN/ZN 3750 M578 → Andere Auflagen/Ausgaben
19.	Serré, Robert: Elsevier's dictionary of microscopes and microtechnique : in English, French and German / compiled by Robert Serré. - Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1993. - 286 S., ISBN 978-0-444-88973-7 Themen: Deutsch \| Englisch \| Französisch \| Mikroskopie \| Mikroskopische Technik \| Mikrosystemtechnik Buch/keine Angabe → Ähnliche Titel suchen	Präsenznutzung Signatur: UBN/WC 2900 S488 → Andere Auflagen/Ausgaben
20.	Metev, Simeon M.: Laser-assisted microtechnology / Simeon M. Metev; Vadim P. Veiko. - 2., updated ed.. - Berlin ; Heidelberg ; New York: Springer, 1998. - XII, 270 S : Ill., graph. Darst, ISBN 978-3-540-63973-2 (Springer series in materials science ; 19) Themen: Dünnschichttechnik \| Laser \| Laserbearbeitung \| Mikrosystemtechnik Buch/keine Angabe → Übergeordnete Aufnahme → Ähnliche Titel suchen	bestellen Signatur: UBN/UH 5750 M589(2) → Andere Auflagen/Ausgaben

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