�����²��������ϵ����Ի��֣����������������ǽ������������մɡ��黯���뵼���ȣ����л��߷��Ӳ������Ƚ����ϲ����Ĵ��ࡣ�����ϵ�ʹ���������ܷ֣��нṹ���Ϻ��ܲ��ϡ��ṹ������Ҫ�����ò��ϵ���ѧ���������ܣ��������ǿ�ȡ��߸նȡ���Ӳ�ȡ����¡���ĥ����ʴ�������յ�����Ҫ���ܲ�����Ҫ�����ò��Ͼ��еĵ硢�š��������ȵ�ЧӦ����ʵ��ij�ֹ��ܣ����뵼����������Բ��ϡ��������ϡ��������ϡ��������Ϻ�����ԭ�ӵ����ⵯ�ĺ˲��ϵȡ��²����ڹ��������������ش����磬�����衢�黯�����Ƴɹ������´��ģ�ͳ����ģ���ɵ�·�ĵ�����ʹ����������ٶȴ�ÿ�뼸ʮ�����ߵ����ڵ�ÿ����ڴ����ϣ����շ��������ϵĹ����¶�ÿ���100�棬����������24%������������������Ų�������װ�������������ʹ�з�̽��ϵͳ���Է��֣��ȵȡ�
�����²��ϼ�������Ϊ“����֮ĸ”��“��ҵ��ʳ”��
�����²��ϼ����ķ�չ�����ٽ�����Ϣ���������\���ĸ��������Ҷ�����ҵ�����ʹ�Ӧ�Լ��������ʽ�����ش��Ӱ�졣������ǰ�ɷ����й���ѧԺ“�߿Ƽ���չ����”��������й�ר�ң������ǽ����˵�ǰ�������²��ϼ������о���չ�������չ���ơ����ϼ����Ľ���ʹ��“оƬ�ϵ�ʵ����”��Ϊ���ܣ����ٽ����ִ����\���ķ�չ���²��ϼ����ķ�չ������Ͽ�ѧ�µ��ں������ķ�չ�ռ䡣
����Ŀǰ���²��ϼ�������������������С�������ܡ���ܡ��������Լ��ɶ��ƵIJ�Ʒ��Ԫ���ȷ���չ���ײ���20����90�����ȫ�������������ײ����о��ȳ��������������Ӹ����ϸı��˲��Ϻ����������췽����ʹ�����ײ����ڴš��⡢�������Է�����ֳ�������ϲ��߱����������ԣ��������������Ź�����Ӧ��ǰ����ר��Ԥ�⣬���ײ��ϵ��о���������һ�μ�������������������21������һ�β�ҵ������
�����ձ����������˾����ȥ��ĩ�����ù�˾����������̼��������2002��4�¿�ʼ���������120�ֵ������豸��9�·�Ͷ���������������������״����������ͼ����ײ�Ʒ������ibm��˾�Ŀ�����Ա����2001��4�£���̼����������˵�һ�����������һ���õ��ӵIJ��ԣ������dz��浼��ʵ�ִ���ס���ļ���ͻ�ƣ��п��ܵ��¸����С�IJ�Ʒ���֣�������ʹ���еĹ�оƬ��������̭��
������̼�����о�����δ����ͬʱ��������ҵ�����㣭��“���״�”�������ˡ�����������������ѧԺ��������λ�й���ѧ��2001������ø���������෨�����������״κϳ��˰뵼�廯�����״�״�ṹ�����Ǽ̷��ֶ��̼���ܺͺϳɵ�������������һά���ײ��Ϻϳ��������һ��ͻ�ơ�
�����������״��ĺ������һ��խ���νṹ������Ϊ30��300mm�����Ϊ5��10nm�������ȿɴX���ף�������Ϊֹ�ϳɵ�Ωһ���нṹ�ɿ�����ȱ�ݵ������뵼��һά��״�ṹ��Ŀǰ�Ѿ��ɹ��ϳ��������������������������Ȳ������״������ڰ뵼�����������״��˷���̼���ܵIJ��ȶ��Ժ��ڲ�ȱ�����⣬���б�̼���ܸ����غ���Խ�Ľṹ���������ܣ�����ܹ������Ͷ�빤ҵ��������ҵ������
���������������������ڵ綯������ѹ���ʹ������г����������ž���г������ó��������������������������20������������90%���������ϵ����ƣ��ؼ�������߲��ϵ��ٽ��¶ȣ���������õ���������ʹ������������ش�仯��ȥ�꣬��ѧ���ڳ����������в������ջ���̷������ٽ��¶ȸ�ѵ�����ͳ������ϣ�ʹ���೯�ſ������³�������������һ��
�������ձ������˷��ֶ���þ���ڣ�234���Ϊ�����壬��������Ϊֹ�����ٽ��¶���ߵĽ��������ﳬ���塣���ڶ���þ�ķ��֣�ʹ��������̬����ѧ��Ϊ֮��ܡ����ڶ���þ�������ϳɡ��ӹ����������Ƴɱ�Ĥ���߲ģ����Ӧ��ǰ�����á�
����������ѧ�������Ƹ���ʵ���Գ������Ϸ���ȡ�������ԵĽ�չ������ʼ����ʵ�ýΡ����������ɵĸ���˹�ȵ�վ�ڵ���������360���ij���������������123kg�صĵ������ɺ��顢�ȡ��ơ�ͭ�������ﳬ��������ġ������������״�ʵ�õij��������·��
�����ҹ��ڸ��³�����ҵ��������Ҳ������ش�ͻ�ƣ�Ŀǰ���и��³����߲�������Ͷ�����ݹ��ƣ���2010�곬����Ʒ����1000����Ԫ���г�����Ӧ��ָ�����ǣ��������������⣬����������������Ҫ�����ͬʱ��Ҫ�����о��������³����壬�����³������ϡ�
���������ܽṹ���ϸ����ܽṹ���Ͼ��и���ǿ�Ⱥá���ĥ�𡢿���ʴ���ŵ㡣���½ṹ�մɲ���Ŀǰ�������Ƶ���̼�����������衢�����衢�������������մɺ���ά��ǿ���ϳɲ��ϵȡ�������ȼ�������մɴ�������ɼ���ȼ������30%�������Ч��50%��
���������ܸ��ϲ��Ͽ��Ը���Ҫ�������ƣ��ܹ�ʹ������̣ܶ���ǰ���о��ص��У���ά��ǿ���ϡ�̼/̼���ϲ��ϡ��մɻ����ϲ��Ϻͽ��������ϲ��ϡ��߷��ӹ��ܲ����ǽ�������չ�����л��ϳɲ��ϣ�ÿ��ĵ����ٶȴﵽ14%�����⣬������ѧ�һ�������һ�ֿɺͲ�����ϵĻ�������ֹ��黯�����ܹ�ճ�������β������棬�γ�һ����һ���Ӳ�Ͷ���Ӳ㣬�Ӷ����Ա����������棬����ʴ���ٵ���С�̶ȣ���һ���ֶ���߲����Ŀ���ʴ������Ҫ���塣
�������ſ�ѧ�����Ľ������������²��ϵķ�Χ���ƶ����²�������ߡ����·���չ����ѧ��ҵ�����˴����Ļ����²��ϣ�Ϊ�²��ϵķ�չ�ṩ����֧�֡�ͬʱ���²��ϵķ�չͬ�������ƶ���ѧ��ҵ�ĿƼ���������ҵ�ṹ�ı仯��
���������ܽṹ���ϵĿ�����Ӧ�ã�ʹһЩ������е���豸�Ĵ��ͻ�����Ч�����߲���������ܻ��������ʻ������������㻯������������Ҫ��ʹһЩ�������յ�ʵ�ֳ�Ϊ���ܡ����ײ����ڻ�ѧ��ҵ�ɹ㷺Ӧ�ã���Ӧ���ڶ��ֻ�ѧ������������ǰ;�IJ��ϡ�չ��21���ͣ��²��ϼ����ķ��ٷ�չ���ؽ�Ϊ���ǵ�������������õ����졣
������ǰ��������ŷ�ޡ��ձ��ȷ�����Һ͵���ʮ�������²��ϼ����ķ�չ�����ѷ�չ�²�����Ϊ�Ƽ���չս�Ե���Ҫ��ɲ��֣����ƶ����ҿƼ����ҵ��չ�ƻ�ʱ�����²��ϼ�����Ϊ21�������ȷ�չ�Ĺؼ�����֮һ�������ص㷢չ���Ա����侭�úͿƼ������ȵ�λ��
�����й����²��ϿƼ�����ҵ�ķ�չ���������Ĵ������ĺ�֧���£�Ҳȡ�����ش�Ľ�չ�ͳɼ���Ϊ���ú���ᷢչ�ṩ��ǿ������֧�š�
����Ϊ�о��ҹ��²�������ķ�չ��״��̬�ƣ����������й��ڿ������ݿ���Ϊͳ�Ʒ���Դ����������ѧ�ĽǶȽ��з����о����������²��ϰ����������ϡ��������ϡ��ǽ������ϡ��߷��Ӳ��Ϻ��ϲ��ϵ������о����Ʊ����ա���ƷӦ�á�����װ���ȷ�������ݡ�
������ͳ�ƣ��ҹ��²�������2000�깲��������15866ƪ��2005�����ӵ�27278ƪ��������11412ƪ���������ȴ�71.9%�����У�2000����2002�����ķ���������ÿ��2000��ƪ�ٶ����ӣ��������ȴ�13%���ϣ�2003-2004�꣬��������������Ȼ�����ӣ��������ٶ���������������2003��ֻ��2002��������7.72%��2004���2003���������4.09%��������2005�꣬��������������ȴ���˴�������ӣ������ﵽ4512ƪ����������Ϊ19.82%�����ּ������������ơ������Ͽ�����2000�굽2005���ҹ����²����������������ʲ���ʽ���������м��ٵ����ơ�
����1���²��ϸ�רҵ���IJ���Ȩ�ص���ȱ仯
������2000����2005�꣬�²��ϸ�רҵ������������ռ�����²�������ı�����Ȼÿ�궼�ڱ仯�����ܵķֲ����û�б����ơ��߷��Ӳ��ϳ�2001���2002����ռ���ص���50%���⣬�����������50%���ϣ�һֱռ��������λ�����ϲ�����ռ������20-30%֮�䣬�ӵڶ�λ���ǽ���������ռ������һ�ɶ࣬�ӵ���λ��������������������������ռ������С����5��רҵ�����һλ��
�����Ӹ�רҵ�ķ�չ״���������������ϵķ�չ�����²����������½������ƣ�����������Ϊһ�ִ�ͳ�����������䷢չ���ִ���½��ľ��棻�ǽ�����������������������������ȶ���̬�ƣ�����ռ�����仯���߷��Ӳ����Ƿ�չ����ѧ�ƣ������¼����IJ���ӿ�֣����������²��������е�Ȩ�سʲ���������̬�ƣ����ϲ��ϳ�2002�����������⣬�������������½��������������������1%��
����2���²��ϸ�רҵ���IJ�����������ȱ仯
����2000����2005�꣬���²��ϸ�רҵ�������ĵ������������������������������ķ������������������ķ�չ��֣����������½����ƣ�����Ϊ10%���ң��������ϵ����ķ����������ָ���������2000���1614ƪ���ٵ�2005���254ƪ���ܽ�����84%���ǽ������Ϸ������������ܵ��������Ȳ��������ҵ���2005���м������������ƣ���������������2000��������1527ƪ������������29.3%��6�������������66.65%���߷��Ӳ��ϵ���������Ҳ�ڲ������ӣ���2000���8201ƪ���ӵ�2005���15895ƪ����������93.3%����������һ�������ϲ������ķ������ֲ����ľ��棬2001���2000���нϴ�������ӣ���2003-2004��ȴ���ָ���������2005����������7215ƪ����2000���3672ƪ�����˽�һ����
����1���²����������巢չ�ٶȽϿ죬��ͷǿ��
���������ǵ�ǰ�����¼�������������֧��(���ϡ���Ϣ����Դ)֮һ������Ϣ���������\��һ����21������������Ҫ����߷�չDZ������������֮һ���Բ��ϵ���ʶ����������������������������̬������������������������ʷ�Ѿ�֤����������������ᷢչ�����ʻ������ȵ������²���������������������̱����²����ڷ�չ���¼����������������ͳ��ҵ����ǿ�ۺϹ�������ʵ������������Ҫ�����ã���������Ȼ��ѧ���̼��������з�չҲԽ��Խ�죬��λ������Ҫ�����ݶ�ͬʱ�����ķ�������ͳ�ƣ�6�������²����������ķ�����������ƽ��������Ϊ9.15%��������Ȼ��ѧ���̼�������8.34%�����ķ��������ʣ��²�����������ռ��Ȼ��ѧ�빤�̼����������ĵı���Ҳ������������ͷ��6���������0.13���ٷֵ㡣
�����²�������ķ�չ�仯�������ڼ������ºͳɹ�ת���ٶȼӿ졣ǰ�ؼ�����ͻ��ʹ�����˲��ϲ�ҵ����ӿ�֣�ͬʱ�²�������Ϣ����Դ��ҽ����������ͨ�������Ȳ�ҵ���Խ��Խ���ܣ����Ͽ�ѧ����������ѧ�ƽ��������ģ���ڲ���������������������߶������²��ϲ�ҵ�ķ�չ���ƶ����ƶ��²��ϲ�ҵ�ͿƼ���չ����ؼƻ������ʽ��ϸ���������֣��Ӷ��ƶ��˱�����ļ���������������ߺͷ�չ��ȡ����һϵ�п�ϲ���о��ɹ�����֤���²�������չ���������پ��档
����2���߷��Ӳ��ϡ����ϲ��Ϸ�չѸ��
����2.1�߷��Ӳ����µ�Ӧ�������ƶ��������ijɳ�
�����߷��ӹ��ܲ����ǽ�������չ�����л��ϳɲ��ϣ�����������ҽ�ò��ϡ�ҩ������ͷ���ϵ���ǿƹ̶�����֯��������������ߵȷ��治����չ���µ�Ӧ������ȫ������߷��Ӳ�����ҽѧ�ϵ�Ӧ�þ���90���Ʒ�֡�1800������Ʒ������������ҽѧ�����ĵĸ߷��Ӳ���ÿ����10-20%���ٶ��������ҹ��ĸ߷��Ӳ��Ϸ�չҲʮ��Ѹ�٣�2000����2005�����ķ���������1862ƪ���ӵ�6640ƪ��6���������256.61%�����У��߷���ҩ�﷽������Ĵ�182ƪ���ӵ�802ƪ���������ȴ�340%��ҽ�ø߷��Ӳ��Ϸ�������Ĵ�285ƪ���ӵ�821ƪ���������ȴ�188%�������߷��Ӳ��ϵ����Ĵ�416ƪ���ӵ�1108ƪ���������ȴ�166%���߷���Ĥ���ϵ����Ĵ�979ƪ���ӵ�3909ƪ���������ȴ�299%�������������п��Կ������߷��Ӳ����з���Ծ����չ�൱Ѹ�ͣ��ѳ�Ϊҽѧ�����\���в���ȱ�ٵ���ɲ��֣�Ҳ���²�������չ����רҵ��
����2.2���Ϲ��ܲ�����չ���µķ�չ�ռ�
�������ڶ��ֲ��϶�ѧ�ƵĽ��桢�ں�,ʹ���ϵĸ��ϻ���Ϊ��չ�²��ϵ�һ����Ҫ�ֶΡ����ö��ֻ�������ǿ��ĸ��ϡ����ֲ�εĸ����Լ����÷����Ը���ЧӦ���Դ����ȫ�����ܵIJ��ϡ��������Ƚ����ϲ��ϼ��¹��շ�չ�ܿ죬Ŀǰ���ϲ��ϵķ�չ����֬�����ϲ���Ϊ�����ر����ȹ��Բ��ϣ����ļ�������죬Ӧ����㡣���������ϲ��ϴִ����о������Σ����ر������ڽ���ռ�ṹ�塣
�����մɻ����ϲ����ǸĽ��մɵĿɿ��Ե���Ҫ;�����Ӷ�ʹ�մɲ�������ĸ������ܵ���Ӧ�á�����̼/̼���ϲ����ھ��¼������кܴ�ʵ�ü�ֵ��������һ����Ӧ�ã��䷢չ���ƽϿ졣���ҹ�2000����2005�긴�Ϲ��ܲ������ķ������������������3672ƪ���ӵ�7215ƪ��6���ܼ�����96.49%�����У����������ϲ������Ĵ�573ƪ���ӵ�611ƪ������6.6%���մɻ����ϲ������Ĵ�298ƪ���ӵ�1050ƪ������252%��ˮ������ϲ������Ĵ�1533ƪ���ӵ�2428ƪ������58.3%���ۺ��������ϲ��ϵ����Ĵ�1134ƪ���ӵ�2383ƪ������110%��̼�����ϲ������Ĵ�134ƪ���ӵ�743ƪ��������454%�����о������п��Կ������մɻ����ϲ��ϡ��ۺ�������ϲ��Ϸ�չ�Ͽ죬�������¹��ա������ʼ����䷽�IJ���ӿ��������أ�̼�����ϲ���Ҳ���Ӿ���ת�����ã�ʹ�䷢չ�ʿ���������̬�ơ�
����2.3�������Ϸ�չ���ڵȣ��д�ͻ��
��������ڸ߷��Ӳ��ϡ����ϲ��Ϻͷǽ������ϵ�Ѹ�ͷ�չ����ʷ�ƾõĽ������ϵķ�չ����ͣ���������˵ľ��棬��2000����2005�꣬�ҹ������������ķ���������1614ƪ���ٵ�254ƪ���½���535%����һ����˵�������ڸ�����ļ��������������㡣��ǰ�����������������ķ�չ�����˺ܶ��µ��ص㼰�����㣬�����ܽ������Ϸ�չѸ�١��ҹ�Ŀǰ�����ܽ������ϵIJ�Ʒ���ơ��ӹ����ͼ����������豸�ȶ�涼�������⣬�谭�˽������ϵķ�չ����ˣ�ֻҪ�Ӵ�������ϵļ����������ȣ���һ���ܴ����䷢չͣ�Ͳ�ǰ�ľ��棬ʵ���µ����˺Ϳ��ٷ�չ��ָ�տɴ���