��ȨͶ��
��ҳ / �ٿ� / ������
������

������

�������赥��
���ࣺ ̫���ܹ��
���ԣ� ��Ʒ
����޸�ʱ�䣺 2013��05��25��
�������������6
��������һ�ֱȽϻ��õķǽ���Ԫ�أ��Ǿ�����ϵ���Ҫ��ɲ��֣������²��Ϸ�չ��ǰ�ء�����Ҫ��;�������뵼����Ϻ�����̫���ܹ�����硢���ȵȡ�����̫���ܾ�����ࡢ�����������������ƣ�����ʮ������̫�������ü������о���������ҵ���������г����ط��涼����˳��㷢չ����Ϊ������١��ȶ���չ�����˲�ҵ֮һ��

�����跢չ��״
 

�����轨����Ŀ���о޴���г��͹����ķ�չ�ռ䡣�ڵؿ��к�����25.8%�Ĺ�Ԫ�أ�Ϊ������������ṩ��ȡ֮������ԴȪ��

�����������־�����ϣ��ر����Ե�����Ϊ�����ĸ߿Ƽ�����ֵ���ϼ�����ظ߼�����ҵ�ķ�չ����Ϊ������Ϣ������ҵ��֧������ʹ��Ϣ��ҵ��Ϊȫ�򾭼÷�չ�����������ȵ���ҵ����������Ϊһ�ּ���DZ�ܣ�ؽ���������õĸ߿Ƽ���Դ��������Խ��Խ��Ĺ�ע�����ӡ�

 ���ͬʱ�����ڳ�����Դ�����������Ժͻ���ѹ�������ӣ�������������������𿪷�����̫���ܵ��ȳ�����Ϊ�����ƶ��ɳ�����չս��ն��Ҫ���ݡ� 
 

�ڿ���21�����ż���������������ӻԾ����������ȫ��Χ������̫���ܿ������õ�“��ɫ��Դ��”��һ���㷺�Ĵ��ģ������̫���ܵ�ʱ���������٣�̫���ܼ��������ƷҲ��������ֿ��ȡ�

���⣬�����ҹ����ڵĸ�������Ҳ��̨��һϵ��“�����ҵ”���Ż����ߣ����������ҵ�ص���֣��������ҵ���ֳ����õķ�չǰ����

�Ǿ�����һ��ֱ���ܴ��뵼�������Ľṹ�ڲ���������ν��“����”��Ҳ����û�к���Χ�Ĺ�ԭ�ӳɼ��ĵ��ӣ���Щ�����ڵ糡�����¾Ϳ��Բ���������������Ҫ���ӵİ���������Ǿ���������úܱ������������ɱ��͵��ŵ㣮

��������������

���ǵ����ϴ�����ḻ�IJ���֮һ����19���Ϳ�ѧ���Ƿ����˾����İ뵼�����Ժ��������ı���һ�У����������˼ά��ֱ��������60�����ʼ������Ͼ�ȡ����ԭ������ϡ�����ϨD�D��������͸��ºͿ��������ܽϺã��ر����������������������Զ���ΪӦ������һ�ְ뵼����ϣ�Ŀǰ�����ɵ�·�뵼��������������ù��������ġ�

��ĵ����塣���л��������ĵ���ṹ�ľ��塣��ͬ�ķ�����в�ͬ�����ʣ���һ�����õİ뵼���ϡ�����Ҫ��ﵽ99.9999���������ﵽ99.9999999�����ϡ���������뵼��������̫���ܵ���ȡ��øߴ��ȵ��ྦྷ���ڵ���¯�����ƶ��ɡ�

���������ڵĵ��ʹ�������ʱ��ԭ���Խ��ʯ�������г����ྦྷ�ˣ������Щ���˳��ɾ���ȡ����ͬ�ľ���������Щ����ƽ�н��������ᾧ�ɵ����衣���������׼�������������ʣ��н����ĵ����ԣ���絼�����¶ȵ����߶����ӣ��������İ뵼���ԡ������ĵ������DZ����뵼�塣

�ڳ����������в���΢���Ģ�A��Ԫ�أ����������䵼��ij̶ȣ����γ�p�͹�뵼�壻�����΢���Ģ�A��Ԫ�أ����׻���Ҳ����ߵ���̶ȣ��γ�n�͹�뵼�塣��������Ʒ�ͨ�������Ƶöྦྷ����޶��ι裬Ȼ����ֱ�������������۷�����������������״�����衣

��������Ҫ��;

��������Ҫ���������뵼��Ԫ����

��;�� ������뵼���������ԭ�ϣ������ƴ���������������������������ܡ�����������

���ڣ����ǵ������д����ɼ�“��”����Ӱ�����ã������̫���ܵ���ǽ�15�����γɲ�ҵ�����ġ�

���ڵĵ��ʹ�������ʱ��ԭ���Խ��ʯ�������г����ྦྷ�ˣ������Щ���˳��ɾ���ȡ����ͬ�ľ���������Щ����ƽ�н��������ᾧ�ɵ����衣

��������Ʒ�ͨ�������Ƶöྦྷ����޶��ι裬Ȼ����ֱ�������������۷�����������������״�����衣

�������������������Ƭ��ԭ���ϣ����Ź��ں͹����г��Ե�����Ƭ�������Ŀ������ӣ�����������г�����Ҳ�ʿ������������ơ�

������ԲƬ����ֱ����Ϊ6Ӣ�硢8Ӣ�硢12Ӣ�磨300���ף���18Ӣ�磨450���ף��ȡ�ֱ��Խ���ԲƬ�����ܿ��Ƶļ��ɵ�·Խ�࣬оƬ�ijɱ�Ҳ��Խ�͡�����ߴ羧Ƭ�Բ��Ϻͼ�����Ҫ��ҲԽ�ߡ������谴�����쳤�����IJ�ͬ����Ϊֱ������CZ�������۷���FZ�������ӷ���ֱ���������۷��쳤��������ģ����ӷ��쳤�����象Ĥ��ֱ�����쳤�ĵ�������Ҫ���ڰ뵼�弯�ɵ�·�������ܡ�����Ƭ�ĵס�̫���ܵ�ء�Ŀǰ����ֱ���ɿ�����Φ3~8Ӣ�硣���۷�������Ҫ���ڸ�ѹ���ʿɿ������������򣬹㷺���ڴ������硢������������������Ƶ������һ�廯�����ܵ������ӻ���ϵ�в�Ʒ��Ŀǰ����ֱ���ɿ�����Φ3~6Ӣ�硣����Ƭ��Ҫ���ڼ��ɵ�·����

���ڳɱ������ܵ�ԭ��ֱ������CZ�����������Ӧ����㡣��IC��ҵ�����õIJ�����Ҫ��CZ�׹�Ƭ������Ƭ���洢����·ͨ��ʹ��CZ�׹�Ƭ����ɱ��ϵ͡��߼���·һ��ʹ�ü۸�ϸߵ�����Ƭ��������IC�������и��õ������Բ���������Latch��up��������
 

��Ƭֱ��Խ�󣬼���Ҫ��Խ�ߣ�Խ���г�ǰ������ֵҲ��Խ�ߡ�

�����������

�ձ��������͵¹�����Ҫ�Ĺ�������������й�����Ϲ�ҵ���ձ�ͬʱ�𲽣���������ԣ���������ˮƽ��Ȼ��Խϵͣ����Ҵ󲿷�Ϊ2.5��3��4��5Ӣ��趧��Сֱ����Ƭ���й����ĵĴ󲿷ּ��ɵ�·�����Ƭ��Ȼ�������ڡ����ҹ��Ƽ���Ա��ӭͷ���ϣ���1998��ɹ����������12Ӣ�絥���裬��־���ҹ������������������µķ�չʱ�ڡ�Ŀǰ��ȫ���絥����IJ���Ϊ1���/�꣬��������ԼΪ6000�֡�7000�֡�δ�������У����絥������Ϸ�չ���������·�չ���ƣ�

1���������Ʒ��300mm���ɣ���ֱ�����������ԣ�
 

���Ű뵼����ϼ����ķ�չ���Թ�Ƭ�Ĺ�������Ҳ������ߵ�Ҫ���ʺ�΢ϸ�ӹ��Ĵ�ֱ����Ƭ���г��е��������������Ӵ�Ŀǰ����Ƭ������Ʒ��200mm������300mm���ɣ�����ˮƽ�ﵽ400mm��450mm����ͳ�ƣ�200mm��Ƭ��ȫ������ռ60%���ң�150mmռ20%���ң�����ռ20%���ҡ�Gartner�����ĶԹ�Ƭ�����5��Ԥ�������ȫ��300mm��Ƭ����2000���1.3%���ӵ�2006���21.1%���ա��������ȹ��Ҷ��Ѿ���1999�꿪ʼ������300mm��Ƭ�������ݲ���ȫͳ�ƣ�ȫ��Ŀǰ�ѽ����ڽ��ͼƻ�����300mm������������Լ��40��������Ҫ�ֲ����������ҹ�̨��ȣ����ҹ�̨�����20���������ߣ�������ա������¼�ŷ�ޡ�

����뵼���豸������Э�ᣨSEMI���ĵ�����ʾ��2004���2005�꣬�����еĹ�Ƭ�����豸�У�Ͷ����300mm�������ϵı������ֱ�Ϊ55%��62%��Ͷ�ʶ�Ҳ�ֱ�ﵽ130.3����Ԫ��184.1����Ԫ����չʮ��Ѹ�͡�����1996��ʱ����һ���ػ��������㡣

2������Ϲ�ҵ��չ�������ʻ������Ż��������߶ȼ��У�

�з��������ɱ����ս����ߣ���������������Ʒ�Ƶ����ƣ�ʹ�ù���ϲ�ҵ�γ�“���ߺ��”�ľ��棬������Լ���Ĵ��ͼ��Ź�˾¢�ϲ����г���������90���ĩ���ձ����¹��ͺ�������Ҫ���ա����������ʱ����Ƶ�8���Ƭ��˾������ռ�����Ƭ������90%���ϡ�����SEMI�ṩ��2002���������������̵��г��ݶ���ʾ��Shinetsu��SUMCO��Wacker��MEMC��Komatsu��5�ҹ�˾ռ�г��ܶ�ı��شﵽ89%��¢�ϵ�λ�Ѿ��γɡ�

3��������ϳ�Ϊ����Ϲ�ҵ��չ����Ҫ����

���Ź���Ӻ�ͨ�Ų�ҵ�ķ�չ��������ϳ�Ϊ����Ϲ�ҵ��չ����Ҫ���򡣹���������ڳ��������������ģ��dz������ϵķ�չ��������������������蹤�����ݡ���Ҫ�Ĺ�����ϰ���SOI����Ե���Ϲ裩��GeSi��Ӧ���衣ĿǰSOI�����ѿ�ʼ�������ϱ��㷺ʹ�ã�SOI����Լռ�����뵼������г���30%���ң�Ԥ�Ƶ�2010�꽫ռ��50%���ҵ��г���Soitec��˾����������SOI�����̣���2000�ꡫ2010��SOI�г�Ԥ���Լ�2005����ߴ�SOI��Ƭ����Ԥ���˲�ҵ�ķ�չǰ����

4����Ƭ���켼����һ���������뵼��,оƬ,���ɵ�·,���,��ͼ,оƬ,����,����Ŀǰ�����ձ�����Ƚ����С�ĥ���׺ͽྻ��װ���գ�ʹ��Ƭ����ȡ�����Խ�չ�����ձ���Φ200mm��Ƭ����50%�������и��������Ƭ����������߹�Ƭ���������ҿ�ʹ�и���ʧ����10%���ձ����Ͱ뵼�峧���Ѿ���300mm��Ƭת�ͣ�����0.13μm���µ�΢ϸ����չ�����⣬���¼�˼����ĵ��룬SOI�ȸ߹��ܾ�Ƭ�����ƿ���Ҳ�������������׶Ρ��Դˣ���Ƭ��������Ҳ�����˶�300mm��Ƭ���豸Ͷ�ʣ������ƹ���Ľ�һ��΢ϸ�����������˸�ƽ̹�ȹ�Ƭ����ȱ�ݹ�Ƭ�ȣ������豸�����˸Ľ���

���ǵؿ��и�����ߵĹ�̬Ԫ�أ��京��Ϊ�ؿǵ��ķ�֮һ��������Ȼ�粻���ڵ���裬���������������״̬�����ԭ�Ӽ���ҪΪ4�ۣ����Ϊ2�ۣ��ڳ��������Ļ�ѧ�����ȶ��������ڵ�һ��ǿ�ᣬ�����ڼ�ڸ����»�ѧ���ʻ��ã���������Ԫ�ػ��ϡ�

�������Դ�ḻ�������޶��ĵ��ʰ뵼����ϣ�����������ֱ����λ����΢ȱ�ݵ�����������ѧ������Խ������ʵ�ֲ�ҵ�����Խ���Ϊ�뵼���������ϡ�

�ྦྷ��������Թ�ҵ��Ϊԭ�Ͼ�һϵ�е�������ѧ��Ӧ�ᴿ��ﵽһ�����ȵĵ��Ӳ��ϣ��ǹ��Ʒ��ҵ���е�һ����Ϊ��Ҫ���м��Ʒ����������׹�Ƭ��̫���ܵ�ؼ��ߴ�����Ʒ����Ҫԭ�ϣ�����Ϣ��ҵ������Դ��ҵ�������ԭ���ϡ�

�������г���չ�ſ�

2007�꣬�й��г����и���赥�������豸1500��̨���ֲ���70���������ҵ��2007��5��24�գ�����“863”�ƻ������ģ���ɵ�·��IC�����ײ����ش�ר���������ڱ�����֯ר�Ҷ�����������ѧ�ͱ�����ɫ�����о���Ժ�е���“TDR-150�͵���¯��12Ӣ��MCZ�ۺ�ϵͳ��”��������ա����־��ӵ������֪ʶ��Ȩ�Ĵ�ߴ缯�ɵ�·��̫�����ù赥�������豸�����ҹ��״����Ƴɹ��������Ʒʹ�й��ܹ�������������֪ʶ��Ȩ�Ĺؼ����켼���뵥��¯�����豸����˹��ڿհף������ı����ھ��������豸�����з������������˵ľ��档

������г�ǰ���������й��赥���IJ����������������������Ͽ죬����С�ߴ�Ϊ���Ĺ�Ƭ�����ѳ�Ϊ���ʹ��ϵ���ʵ��Ϊ������й����ɵ�·���뵼��������������̫���ܵ�ز�ҵ�ķ�չ�����˽ϴ�Ĺ��ס�
 

  • ��������
  • ���Ŵ���

���������� 44030502002758��