Jones, E C - Αποτελέσματα αναζήτησης

Αναζήτηση συλλογές:

Ταξινόμηση με:	Παρουσίαση αποτελεσμάτων:	Μορφή αποτελεσμάτων:

CERN Document Server	1 εγγραφές βρέθηκαν	Η έρευνα πήρε 1.16 δευτερόλεπτα.

Positron annihilation lifetime spectroscopy (PALS) application in metal barrier layer integrity for porous low- k materials / Simon, Lin ; Jia Ning Sun ; Gidley, D W ; Wetzel, J T ; Monnig, K A ; Ryan, E T ; Simon, Jang ; Douglas, Yu ; Liang, M S ; En, W G et al.
Positron Annihilation Lifetime Spectroscopy (PALS) is a useful tool to pre-screen metal barrier integrity for Si-based porous low-k dielectrics. Pore size of low-k, thickness of metal barrier Ta, positronium (Ps) leakage from PALS, trench sidewall morphology, electrical test from one level metal (1LM) pattern wafer and Cu diffusion analysis were all correlated. [...]
2002
In : Materials Issues in Novel Si-Based Technology, Boston, MA, USA, 26 - 28 Nov 2001, pp.229-34

Αναλυτική εγγραφή

Δείτε ακόμη: παρόμοια ονόματα συγγραφέων
165	Jones, E
1	Jones, E A
7	Jones, E D
1	Jones, E E
3	Jones, E F
1	Jones, E J H
2	Jones, E M
9	Jones, E.
1	Jones, Ed
1	Jones, EdD, Darolyn "Lyn"
1	Jones, Edward
1	Jones, Edward A
2	Jones, Edward McClung Thompson
15	Jones, Eifionydd
495	Jones, Eleanor
3	Jones, Elfraed
1	Jones, Elizabeth Kay
1	Jones, Ellen
2	Jones, Emlyn
8	Jones, Emma
1	Jones, Eric
2	Jones, Eric T
2	Jones, Erick
1	Jones, Erick C
1	Jones, Eriita
1	Jones, Eriita G
6	Jones, Ernest Beachcroft
1	Jones, Evan
1	Jones, Evan P C

Ενδιαφέρεστε να ενημερώνεστε για νέα αποτελέσματα σχετικά με το ερώτημα αυτό;
Δημιουργήστε ένα προσωπικό email alert ή εγγραφείτε στο RSS feed.

Δεν βρήκατε αυτό που αναζητούσατε; Δοκιμάστε την έρευνά σας σε άλλους servers:
Jones, E C σε Amazon Jones, E C σε CERN EDMS Jones, E C σε CERN Intranet Jones, E C σε CiteSeer Jones, E C σε Google Books Jones, E C σε Google Scholar Jones, E C σε Google Web Jones, E C σε IEC	Jones, E C σε IHS Jones, E C σε INSPIRE Jones, E C σε ISO Jones, E C σε KISS Books/Journals Jones, E C σε KISS Preprints Jones, E C σε NEBIS Jones, E C σε SLAC Library Catalog Jones, E C σε Scirus

CERN Document Server

Access articles, reports and multimedia content in HEP

Main menu

		Παραδείγματα αναζήτησης Σύνθετη Αναζήτηση
Add to Search +

CERN Accelerating science