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1.
Investigation of Converted $p^{+}$ poly-Si Gate Formed by $B_{18}H_{X}^{+}$ Cluster Ion Implantation / Hwang, Sun-Hwan ; Kim, D S ; Joo, Y H ; Oh, J G ; Lee, J K ; Jung, T W ; Cho, H J ; Sohn, Y S ; Sheen, D S ; Pyi, S H et al.
2006 - Published in : AIP Conf. Proc.: 866 (2006) , pp. 163-166 External link: Published version from AIP
In : 16th International Conference on Ion Implantation Technology, Marseilles, France, 11 - 16 Jun 2006, pp.163-166
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